Оглавление

Введение ........................................................................................................ 2

Назначение и классификация ...................................................................... 2

Методы измерения ускорений ..................................................................... 3

Емкостные акселерометры .......................................................................... 5

Акселерометр трансформаторного типа .................................................. 15

Акселерометр с электромагнитным подвесом ротора ............................ 17

Феррогидродинамический акселерометр ................................................. 19

Маятниковый компенсационный акселерометр ...................................... 22

Cервоакселерометры .................................................................................. 23

1
 Введение

Измерительные устройства, предназначенные для измерения ускорений

летательных аппаратов и вращающихся элементов их агрегатов, называются
акселерометрами.

В данном реферате рассмотрены специальные типы акселерометров,

использующие преобразователи ферромагнитной природы. Рассмотрены
различные конструктивные решения акселерометров.

Назначение и классификация

Приборы и датчики линейных ускорений применяются в пилотажных и

навигационных системах ВС для решения различных задач, в том числе:

a) для формирования сигнала обратной связи, пропорционального

ускорению летательного аппарата, в системах телеуправления
траекторией полета;
b) для выдачи предупреждающего сигнала при достижении летательным
аппаратом предельно допустимой перегрузки; сигнал может быть
использован летчиком или системой автоматического ограничения
опасных режимов;
c) для выдачи сигнала на отключение коррекции гировертикали при
достижении самолетом заданного ускорения;
d) для выдачи сигналов, пропорциональных ускорению летательного
аппарата, в инерциальную систему навигации, где они интегрируются
с целью определения путевой скорости и местоположения.

В инерциальных навигационных системах, в зависимости от их типа,

датчики линейных ускорений инерциальных систем навигации
устанавливаются на гироскопической платформе, стабилизированной в
горизонтальной плоскости, или жестко связываются с летательным аппаратом.

Датчики угловых ускорений используются в системах стабилизации

летательного аппарата относительно центра масс, где их сигналы воздействуют
на рули для компенсации возмущений. Сигналы датчиков угловых ускорений
могут интегрироваться, и в этом случае образуются сигналы,
пропорциональные угловой скорости летательного аппарата. Оси
чувствительности датчиков угловых ускорений ориентируются по главным
осям летательного аппарата.

Для получения полной информации о линейных и угловых ускорениях

летательного аппарата необходимо иметь шесть датчиков (три линейных и три

2
угловых), оси чувствительности которых ориентированы по главным осям
летательного аппарата и каждый из которых воспринимает соответствующую
составляющую линейного или углового ускорения.

В системах телеуправления траекторией полета обычно ограничиваются

применением двух датчиков, воспринимающих составляющие линейных
ускорений по поперечным осям летательного аппарата.

Акселерометры классифицируются по разным признакам:

1. по области применения;
2. по виду подвесов чувствительного элемента;
3. по способу снятия сигналов;
4. по числу измеряемых компонентов ускорения;
5. по виду выходного сигнала и т.д.

Методы измерения ускорений

Измерение линейных ускорений возможно инерциальным методом,

методом дифференцирования скорости полета и методом двукратного
дифференцирования расстояния до неподвижной базы.

1. Инерциальный метод заключается в измерении силы, развиваемой

инерционной массой при ее движении с ускорением. Приборы и
датчики, основанные на этом принципе действия, называются
акселерометрами.

В зависимости от способа измерения силы различают акселерометры

пружинные и компенсационные.

В пружинных акселерометрах сила, развиваемая инерционной массой,

вызывает упругую деформацию пружины, которая создает
противодействующую силу. Деформация пружины служит мерой измеряемого
ускорения и при необходимости преобразуется в электрический сигнал.

В компенсационных акселерометрах инерционная сила уравновешивается

силой, развиваемой магнитоэлектрическим или другим преобразователем. Эта
сила пропорциональна силе тока, которая и служит выходным сигналом.
Структурная схема таких акселерометров содержит позиционную
отрицательную обратную связь.

Инерциальный метод используется также и в интегрирующих

акселерометрах, сигнал которых пропорционален интегралу от линейного
ускорения за определенный промежуток времени.
3
 Интегрирующие акселерометры отличаются тем, что противодействующая
сила является не позиционной, а скоростной. Интегрирующие акселерометры
могут быть прямого измерения, в которых противодействующая сила создается
демпфером со стабильным коэффициентом демпфирования, и
компенсационные, в которых для создания противодействующей силы
применяется скоростная обратная связь.

Существуют также компенсационные акселерометры с двукратным

интегрированием ускорений; противодействующая сила создается обратной
связью по относительному ускорению инерционной массы.

2. Метод дифференцирования скорости полета заключается в

дифференцировании одним из известных способов сигнала
датчика скорости полета. Возможно дифференцирование не только
электрических сигналов, но и пневматических. Например, если
подать полное давление встречного потока воздуха в вариометр,
то показания последнего будут функцией продольного ускорения.
3. Метод двукратного дифференцирования расстояния до
неподвижной базы пригоден в основном для измерения
вертикального ускорения и заключается в двукратном
дифференцировании одним из известных способов сигнала
высотомера.

Измерение угловых ускорений возможно аналогичными методами.

При инерциальном методе измерения инерционная масса подвешивается на

оси с одной степенью свободы, проходящей через центр тяжести этой массы.
Измеряется момент инерционных сил, развиваемый массой при ее вращении с
угловым ускорением. Применимы те же два способа измерения инерционных
сил, что и в линейных акселерометрах, — пружинный и компенсационный.

При определении угловых ускорений методом дифференцирования

производится дифференцирование сигнала гироскопического датчика угловых
скоростей.

Для определения угловых ускорений методом двукратного

дифференцирования используется сигнал гироскопического датчика угла.

4
 Емкостные акселерометры

Емкостные датчики используются для решения широкого круга задач—

этот тип устройств позволяет определять положение, перемещение, ускорение
и многие другие параметры. Применение емкостной технологии в
автоэлектронике ассоциируется именно с акселерометрами, которые получили
наиболее широкое распространение благодаря их высокой чувствительности,
стабильности при детектировании статического ускорения, малого дрейфа,
низкой температурной чувствительности, малой потребляемой мощности,
высокой надежности, хорошим шумовым свойствам, удовлетворительному
разрешению и точности, низкой цене.

В сравнении с пьезоэлектрическими датчиками (табл. 1), которым

требуются только специальные материалы и динамический вход минимальной
частоты, емкостные акселерометры могут быть построены на кремнии и
обеспечивают способность детектирования DC-ускорения без ослабления
сигнала и значимого нулевого смещения (что важно, например, в системах
инерциальной навигации).

В сравнении с недорогими микромеханическими пьезорезистивными

акселерометрами, которые могут эффективно использоваться в комбинации с
недорогой мостовой обрабатывающей электроникой, причем именно в
низкочастотных или статических измерениях ускорения, емкостные датчики
предлагают низкую температурную чувствительность. Температурный
коэффициент сопротивления допированного кремния на два порядка выше, чем
температурный коэффициент емкости, несмотря на изменения в геометрии
емкостного акселерометра вследствие температурного расширения.

Принцип действия емкостного акселерометра (variable capacitance) основан

на изменении емкости3 чувствительного элемента с электродами при
перемещении инерционной массы, являющейся его частью, под действием
ускорения.

Большинство MEMS-акселерометров использует принцип, в котором

ускорение изменяет расстояние d между обкладками и, таким образом, емкость
конденсатора. Датчик преобразует изменение емкости акселерометра в
выходной сигнал — электрический заряд, напряжение или ток.

Типичный емкостной сенсорный элемент состоит из двух фиксированных

электродов — между ними подвешена подвижная обкладка, нагруженная

5
инерционной массой, которая представляет собой общий электрод емкостного
полумоста (рис. 19а–в).

Рис.1. Иллюстрация измерительного принципа дифференциального

емкостного акселерометра: а, б — физическая модель измерительной
структуры (корпус преобразователя условно не показан): 1, 3 —
неподвижные металлические обкладки; 2, 4 — зафиксированные
печатные платы; 5 — подвижная обкладка; 6 — инерционная масса
(металл или диэлектрик); 7, 8 — слои диэлектрика; S —
фиксированная площадь перекрытия обкладок; d1, d2 — переменные
расстояния между обкладками; а — акселерометр в состоянии покоя;
б — под действием ускорения a; в — эквивалентная электрическая
схема; г — размещение измерительных осей и степеней свободы
(полуосей) относительно корпуса ИС в корпусе SOIC(16

6
 Дифференциальный режим соединения двух конденсаторов C1 и C2 (рис.
19в) позволяет увеличить амплитуду и улучшить линейность сигнала, так как
зависимость емкости от перемещения является нелинейной. Большинство
дифференциальных емкостных акселерометров объединяет электронику,
которая завершает мост Уитстона (аналогично пьезорезистивным датчикам) и
обрабатывает сигнал, используя, например, соотношение C1/C2 или (C1–
C2)/(C1+C2).

Пояснить данное утверждение поможет известное выражение для емкости

плоского конденсатора:

где ε — относительная диэлектрическая проницаемость материала; ε0 —

диэлектрическая постоянная; S — площадь перекрытия обкладок; d —
расстояние между обкладками.

Многие преимущества и недостатки емкостных датчиков вытекают из их

физической природы.

Так, емкостные структуры просты в конструировании — в зависимости от

размещения емкостного чувствительного элемента относительно ИС или
печатной платы, они позволяют детектировать ускорения в направлении любой
из шести степеней свободы (рис. 19г). С развитием технологий MEMS данное
преимущество дополнилось возможностью детектировать три измерительные
оси посредством только одной ИС.

7
 Рис.2. Дифференциальный емкостной акселерометр с гибкой
металлической диафрагмой (корпус преобразователя условно не
показан): а — физическая модель акселерометра под действием
ускорения a (вид в сборке); б — вид акселерометра в разрезе; 1 —
элемент крепления диафрагмы — общий электрод с «земляным»
экраном; 2 — металлическая диафрагма с отверстиями для газового
демпфирования; 3, 6 — зафиксированные печатные платы; 4, 7 —
терминалы для снятия зарядового сигнала с неподвижных обкладок;
5, 8 — диэлектрические слои; 9 — верхний «земляной» экран

Возможность конструирования емкостного датчика обеспечивается не

только MEMS-решениями. Например, ранние технологии использовали
емкостной элемент с металлической сенсорной диафрагмой и фиксированными
обкладками конденсатора из окиси алюминия или металлизированной
керамики (рис. 20, 21) [71, 72]. Сведения о текущей актуальности подобных
датчиков в автоэлектронике предоставляют компании Texas Instruments (см.
рис. 1г и 8б и [71]) и PCB Piezotronics [1].

Таблица 1. Сравнительные технические данные акселерометров различных

типов (преимущественно автомобильного назначения): –‫ כ‬Данные не
специфицируются производителем; –‫ ככ‬Значения, специфицируемые
производителем как типичные

8
 Другое значимое преимущество емкостных акселерометров —
температурный дрейф конденсаторов небольшой емкости и, следовательно,
схема температурной компенсации минимальна. Емкостные датчики
обеспечивают широкий рабочий температурный диапазон, но важно
подчеркнуть, что относительно нечувствительны к температурным вариациям
емкостные акселерометры с газовым демпфированием, поскольку частотная
полоса емкостного акселерометра также температурно чувствительна (вязкость
демпфирующей жидкости является функцией температуры).

Емкостные MEMS-акселерометры измеряют ускорения в диапазоне от <2

g/с (вплоть до статического) до нескольких сотен g/с, на частотах, как правило,
до 1 кГц.

9
 Поскольку частотная полоса емкостных акселерометров ограничена
значениями в несколько кГц, для описания этого типа датчиков используется
динамическая модель4. В динамике, в условиях отсутствия демпфирования, на
частотах, значительно ниже резонансной, чувствительность акселерометра не
зависит от частоты возбуждения. Напротив, возбуждение системы на частотах,
близких к резонансной частоте, будет образовывать очень большие амплитуды
колебаний, для предотвращения которых в систему вводится демпфирование.

В динамической модели (рис. 22) акселерометр представляет собой

колебательную систему с коэффициентом демпфирования λ «пружина–масса–
демпфер», в которой перемещение инерционной массы относительно корпуса
моделируется дифференциальным уравнением второго порядка:

10
 или, с учетом (9),

где

— декремент затухания, (13)

F — внешняя сила, и решается через преобразования Лапласа или методами

численного интегрирования.

Из выражения для чувствительности акселерометра

видно также, что существует компромисс между шириной полосы

пропускания (динамическим диапазоном) и чувствительностью емкостного
акселерометра. В зависимости от коэффициента демпфирования, частотная
полоса пропускания акселерометра обычно находится в диапазоне 0,2–0,5 от
резонансной частоты ω. Для достижения оптимально плоской рабочей
частотной полосы декремент затухания ξ выбирается равным √2/2 [73, 76].
Демпфирование регулируется давлением газа в корпусе устройства и
геометрией сейсмической массы (рис. 19–20, 24).

11
Рис.3. Компактный автомобильный емкостной датчик с металлической
диафрагмой [72]: 1— цилиндрический корпус; 2— стенка корпуса 1;
3, 4, 5— внешние части корпуса для его монтажа; 6— уплотнительное
кольцо; 7— упругий слой; 8— открытая область упругого слоя; 9 —
подложка, содержащая 94% окиси алюминия; 10 — вывод
диафрагмы; 11 — диафрагма; 12 — цилиндрическая оболочка; 13 —
схема обработки сигнала; 14 — гибкая подложка для размещения
компонентов и проводников; 15 — контакт «земляного»
соединения—расширение подложки 14; 16 — корпус разъема; 17 —
полость для схемы обработки; 18–20 — терминалы датчика; 21 —
окно калибровки; 22 — уплотнение из эпоксидного материала

12
 Рис.4. Физическая модель акселерометра с демпфированием и
ограничением рабочего диапазона детектируемых ускорений: a—
направление ускорения, действующего на датчик; 1— корпус
устройства; 2— пружина; 3— инерционная масса; 4— демпфер; 5,
6— механические ограничители перемещений при перегрузках
(выходе за допустимые рабочие пределы ускорения a, детектируемого
датчиком)

Емкостные техники считывания позволяют легко электрически изолировать

структурные компоненты акселерометра, но полученная структура датчика в
теории не предназначена для детектирования больших перемещений и,
следовательно, больших ускорений, поскольку емкости конденсаторов с
большими расстояниями между обкладками падают до значений, которые
сложно измерить.

Природа емкостной структуры также предполагает использование

механических ограничителей перемещений массы при выходе за рабочие
пределы датчика (больших ускорений или частот, близких к резонансной).
Важным свойством емкостных акселерометров является то, что они могут
противостоять ударам уровнями в 5000 g/с или выше.

Кроме нелинейности, как видно из (10), емкостные акселерометры отличает

чувствительность к загрязнениям и влажности и присутствию вблизи обкладок
различных материалов5, которые изменяют свойства диэлектрического
материала и емкостную связь, поэтому в автоэлектронике акселерометры
предполагают именно специализированный дизайн и надежную инкапсуляцию.

Особенности схемотехники емкостных акселерометров

Автомобильные емкостные акселерометры требуют присутствия

встроенной схемы формирователя сигнала, выполняющей функции
преобразования изменений емкости в сигнал, совместимый со считывающей
автомобильной аппаратурой, например, в пропорциональный аналоговый
сигнал напряжения или токовый выход ШИМ, что логически подводит к
актуальности однокристальных интегрированных устройств на основе
технологических решений MEMS.

Типичный подход к измерению емкости заключается в измерении

импеданса на переменном токе, обычно при подаче на электроды
возбуждающего сигнала источника питания в виде синусоидальных или
прямоугольных импульсов напряжения. Выходной сигнал емкостного элемента
13
является высокоимпедансным (1–100 МОм), для снижения которого
целесообразно подавать питание высокой частоты (выше 50 к Гц). Высокие
частоты помогают снизить уровень шумов.

Обработка сигнала емкостного чувствительного элемента обычно

производится в цепи демодулятора. Дополнительные элементы схемы
осуществляют усиление и фильтрацию сигнала.

Датчики, возбуждаемые непрерывным волновым сигналом, используют

синхронные демодуляторы, обеспечивающие высокую точность и
минимизирующие влияние рабочих частот.

Дифференциальные акселерометры (например, представители семейства

ADXL Analog Devices, которые обеспечивают нелинейность <0,2%)
используют для питания неподвижных обкладок равные, но противофазные
напряжения частотой порядка 1 МГц — при нулевом положении подвижной
обкладки они дадут нулевое выходное напряжение на входе демодулятора.

Другой распространенный метод измерения емкости состоит в применении

усилителя заряда, который преобразует соотношение измеряемой и опорной
емкостей в сигнал напряжения. Типичные значения нелинейности,
обеспечиваемые этим методом, составляют порядка 1% (например, линейка
акселерометров Freescale). Альтернативный метод использует усилитель
напряжения, который позволяет получить более линейную (с линейностью
порядка 0,5%) зависимость напряжения на подвижной обкладке как функцию
изменения расстояния.

Эффективный способ устранения нелинейности зависимости емкости от

перемещения — применение цепи обратной связи в так называемых
сервоакселерометрах, позволяющих получать линейный выходной сигнал.

14
 Акселерометр трансформаторного типа

Рис.5. Схема акселерометра трансформаторного типа. Акселерометр

состоит из замкнутого магнитопровода, содержащего
ферромагнитный цилиндр 1 и внешние цилиндры 2 и 3. В торцовых
частях магнитопровода размещены двухсекционная обмотка
возбуждения 4 и двухсекционная измерительная обмотка 5,
подвижное коротко-замкнутое кольцо 6

Акселерометр трансформаторного типа с распределенными магнитными

параметрами, предложенный М. Ф. Зариновым [А. с. 184467 (СССР)], приведен
на рис. 1. Секции обмотки возбуждения включены параллельно, а секции
измерительной обмотки - последовательно и встречно. В центральной части
магнитопровода расположено подвижное коротко-замкнутое кольцо ,
выполняющее одновременно роль массы сейсмического датчика.

Внутреннюю полость магнитопровода заливают трансформаторным

маслом, необходимым для демпфирования. При отсутствии ускорения у
объекта, к которому крепится магнитопровод акселерометра, короткозамкнутое
кольцо занимает центральное положение за счет упругих электромагнитных
сил, созданных напряжением U, действующим в обмотке возбуждения, а в
измерительной обмотке ЭДС равна нулю.

15
 При наличии ускорения короткозамкнутое кольцо смещается в ту или иную
сторону, что вызывает ЭДС Е в измерительных обмотках, по величине которой
можно судить об ускорении объекта в направлении, параллельном оси датчика.

Рис.6. Схема индуктивного преобразователя

Оценку угловых (и линейных) ускорений можно получить, дифференцируя

сигналы с датчиков угловой (линейной) скорости. Угловое ускорение можно
измерить и непосредственно, например с помощью индуктивного
преобразователя, представленного на рис. 9.28 [А. с. 163446 (СССР)]. Датчик
содержит упругий элемент в виде немагнитного, например пластмассового или
эбонит-ного, диска / со сквозными отверстиями 7 по торцовой поверхности,
снижающими его жесткость в тангенциальном направлении, скрепленного
ферромагнитным инерционным кольцом 3 с зубьями, которые
взаимодействуют в магнитном потоке с зубьями ферромагнитного диска 4.
Диски 1 я 4 жестко крепят на немагнитном валу 5. Для получения
электрического сигнала применена двух-обмоточная катушка 6, питаемая
переменным током. С целью получения знака величины ускорения в исходном
положении зубья кольца 3 смещены относительно зубьев диска 4.

16
 При появлении углового ускорения промежутки между отверстиями -
спицы 2 - будут деформироваться, вызывая смещение наружной части
инерционного кольца относительно вала 5, что изменит исходное положение
зубьев кольца и диска 4, следовательно, изменится и величина магнитного
потока, создаваемого обмоткой возбуждения катушки. При малых смещениях
кольца (0,3 ширины зуба) изменение потока пропорционально углу его
поворота, т. е. пропорционально угловому ускорению вала. Сигналы с
измерительной обмотки катушки поступают в измерительную цепь.

Акселерометр с электромагнитным подвесом ротора

Ферромагнитный ИММ-32-125/70 и гироскопический инклинометры ИГИ-

42-120/70

В ГП «Момент» (С.-Петербург) разработана более современная и

совершенная конструкция кабельного ферромагнитного инклинометра
диаметром 32 мм с поверхностным прибором типа ПЭВМ, а также совместно с
ВИТРом принципиально новая конструкция малогабаритного
гироскопического инклинометра диаметром 42 мм для ферромагнитных сред со
сферическим гироскопом -акселерометром с электромагнитным подвесом
ротора.

Конструктивно чувствительный элемент ЧЭ представляет собой ротор,

размещенный в сферической полости, создаваемой торцами окружающих ротор
полюсов восьми электромагнитов (рис. 4.39).

17
 Рис.7. Конструкц
К ция чувсствительн
ного элеемента в форме шаровоого
гиросскопа - акселером
а метра с электром
магнитнымм подвессом ротоора
гироиинклином
метра ИГИИ-42-120/70.

1 - датчик момента;
м 2, 5 - стаатор подвееса; 3 - роотор; 4 - сстатор дввигателя; 6 -
корпусс; 7 - датч
чик угла.

Маагнитопроводы электром магнитов объеди инены в два кольцевы ых

ферриитовых сттатора 2,
2 5. Акссиально отверсти ию роторра с обееих сторрон
размещщены дваа идентич
чных четыырехзубцовых элеектромагннитных сттатора 1, 7,
выполлняющих функции и датчикаа момента, прилаггаемого к ротору,, и датчи
ика
угла.

В экватори иальной плоскостти ротор ра располложен сттатор дввигателя 4,

обеспеечивающи ий вращеение ротоора на приинципе асинхронн ной электтромашинны.
Эти узлы раасположеены в цилиндри ц ической вакуумп плотной камере 6,
необхоодимое разрежен ние в которой обеспеч чивается магнито оразрядны
ым
газопооглотителлем. Подвводка питания и сввязь гиросскопа с нааземным приборомм-
ПЭВМ М осущесттвляется через геррмовводы, располооженные в торцевы ых крышкках
чувстввительногго элемен
нта.

18
 Феррогидродинамический акселерометр

Все известные материалы, обладающие ферромагнитными свойствами,

представляют собой твердые тела. Возможность существования
ферромагнитных жидкостей теоретически не исключена, но до сих пор мы не
знаем ни одной такой жидкости. Можно, однако, изготовить стойкую
суспензию тонко измельченных частиц твердого ферромагнитного тела в
жидкости «носителе» и получить, таким образом, жидкость, чрезвычайно
чувствительную к магнитному полю. Подобные жидкости получили название
«феррогидродинамических» (ФГД), или просто магнитных жидкостей.

Хотя в феррогидродинамике подобные проблемы не возникают, если

только магнитная жидкость не является проводником, там имеются свои, не
менее трудные проблемы, обусловленные прежде всего сложным характером
магнитного поля и его воздействием на жидкость. Дело в том, что магнитное
поле является вектором, а в простое уравнение Бернулли входят только
скалярные величины. Нам удалось написать расширенное уравнение Бернулли
для магнитных жидкостей *. В нем магнитный эффект выражается
дополнительным членом, который освобождает нас от необходимости
учитывать направление магнитного поля,

где μ0 — магнитная проницаемость вакуума, Μ — магнитный момент

единицы объема жидкости, индуцированный под действием поля
напряженности Н. Таким образом, оказывается, что условия в какой-нибудь
точке вдоль линии тока однозначным образом связаны с условиями в другой ее
точке независимо от того, насколько сложны и насколько быстро меняются
условия на линии, соединяющей обе эти точки.

В расширенном уравнении можно рассмотреть сочетание магнитного члена

с каждым из остальных. Возьмем, например, отдельно случаи, когда одна из
величин — давление, скорость или высота — изменяется, а две остальные
остаются постоянными; тогда получатся три новых вида взаимодействия
магнитной жидкости с полем.

В опытах с магнитной жидкостью сразу же привлекает внимание очень

своеобразное явление: поверхность покоящейся магнитной жидкости, налитой
в бутылку, сильно деформируется даже от действия маленького магнита.
Происходит это потому, что вдоль поверхности жидкости давление постоянно
и никакого движения нет (ν = 0). Если приложить сильное магнитное поле, то

19
для того, чтобы было удовлетворено расширенное уравнение Бернулли, высота
жидкости h должна возрасти. Варьируя форму магнитных полей, мы смогли
проверить справедливость расширенного уравнения Бернулли. Опыты такого
типа дают возможность получить подробную картину намагничивания
магнитной жидкости.

Рассмотрим теперь течение свободной горизонтальной струи магнитной

жидкости. Здесь высота h и давление Ρ постоянны. Отсюда легко сделать
вывод, что при вхождении этой струи в магнитное поле скорость ν не
повысится и, следовательно, площадь поперечного сечения должна
уменьшиться. И наоборот, при выходе струи из магнитного поля ее скорость
должна уменьшиться, а площадь поперечного сечения увеличиться.

Возможно, что этот и аналогичные эффекты найдут применение в

жидкостных счетно-решающих устройствах, поскольку они дают способ
введения электрических сигналов в гидравлическую систему без движущихся
частей. Другой запроектированный способ применения этого эффекта
приведет, вероятно, к созданию индукционных электрогенераторов с
жидкостными роторами.

Пожалуй, еще более поразительно явление всплывания, наблюдаемое при

определенном соотношении между давлением и магнитным полем. Если
поместить магнит под стаканом с магнитной жидкостью, то ее свободная
поверхность продолжает оставаться невозмущенной и никакого заметного
эффекта не наблюдается. Между тем расширенное уравнение Бернулли
предсказывает для этого случая перераспределение давления внутри жидкости,
которое должно оказаться выше в тех участках, где магнитное поле сильнее.
Если это так, то повышенное местное давление должно оказывать свое
действие на любую соприкасающуюся с ним поверхность, например, на
поверхность погруженного в жидкость предмета. Для демонстрации этого
явления мы опустили в стакан с магнитной жидкостью нейлоновую сфер,
плотность которой больше плотности жидкости; в отсутствие магнитного поля
эта сфера падает на дно стакана. Однако стоит поднести ко дну стакана магнит,
как сфера всплывает и продолжает держаться на свободной поверхности
жидкости. Это вполне соответствует предлагаемой теории.

Погруженный в магнитную жидкость немагнитный предмет стремится

двигаться к областям, где поле слабее. В случае нейлоновой сферы сила
магнитного поля оказалась достаточной для преодоления силы тяжести. Можно
попытаться найти область применения этой идеи для подъема предметов в
отсутствие свободной поверхности.

20
 Попытаемся создать магнитное поле с «нейтральной точкой» нулевой
напряженности в центре симметрии, вокруг которой величина поля возрастала
бы во всех направлениях. Оказывается, что подобное поле можно создать
различными способами: например, с помощью двух прямых магнитов,
одноименные полюсы которых обладают одинаковой намагниченностью,
причем направлены навстречу друг к другу. Всплывание предметов в такого
рода полях сопровождается появлением положительной восстанавливающей
силы, возникающей при смещении тела в любом направлении. Поведение этого
устройства можно уподобить поведению трехмерной магнитной «пружины».

Схема трехосного акселерометра — измерителя ускорений, основанного на

использовании явления всплывания, показана на рис. 2. Подвешенный шарик в
отсутствие ускорения находится в центре сферического кожуха, наполненного
магнитной жидкостью, плотность которой отлична от плотности шарика. Если
сообщить шарику ускорение в любом направлении, то он будет стремиться
выйти из первоначального положения. При работе с «разомкнутой цепью»
шарик может передвигаться на заметные расстояния и его положение можно
определить, например, путем измерений индуктивности. В случае «замкнутой
цепи» изменяют ток питания магнитов так, чтобы удержать шарик в центре, и
таким образом получают возможность измерить ускорение.

Рис.8. В данном осуществлении идеи трехосного измерителя ускорении

шарик удерживается жидкостью в равновесии в нейтральной точке
магнитного поля.
21
 Маятниковый компенсационный акселерометр

Электромеханический маятниковый компенсационный акселерометр

(МКА) предназначен для бесплатформенных инерциальных навигационных
систем (БИНС) и управления движением беспилотными высокоманевренными
летательными аппаратами.

Базовая функциональная схема МКА показана на рис. Датчик

акселерометра конструктивно объединяет маятниковый чувствительный
элемент (ЧЭ), выполненный в виде бескаркасной рамки 1, подвешенный на
металлическом торсионном упругом подвесе (УП) 3 в основании акселерометра
2, и измерительную систему 4 дифференциального индуктивного
вихретокового датчика перемещений (ДП) инерционной массы ЧЭ. Рамка ЧЭ
является одновременно инерционной массой и катушкой
магнитоэлектрического обратно-компенсационного преобразователя ( МЭ
ОКП). Токоподводами к катушке ОКП является металлический торсион УП,
образующий токовую цепь подключения рамки в контур формирования
момента силы обратной связи Fос. Измерительная система вихретокового ДП
состоит из двух закрепленных в основании неподвижных катушек 5 и
электропроводного флажка 6, жестко закрепленного на рамке и совершающего
с ней относительное угловое перемещение. От этого перемещения зависят
комплексные сопротивления катушек, преобразуемые далее измерительной
цепью в выходной сигнал ДП в виде напряжения постоянного тока. МЭ ОКП,
входящих в цепь силовой компенсации, содержит два постоянных магнита 7,
магнитопровод-основание 2 и катушку-рамку 1, нижняя грань которой
перемещается в прямоугольном зазоре магнитной системы, имеющем
магнитную индукцию B.

22
 Рис.9. Базовая функциональная схема МКА с торсионным УП ЧЭ

Cервоакселерометры

Акселерометры, рассматриваемые до сих пор (включая пьезоэлектрические,

пьезорезистивные или емкостные), классифицируются как устройства
незамкнутого цикла — open-loop-акселерометры, и составляют большинство
коммерчески доступных устройств. В датчиках этого типа непосредственно
регистрируется малое конечное перемещение сейсмической массы,
пропорциональное ускорению. Этот тип акселерометров отличается
погрешностями измерений и нелинейностью.

Cреди емкостных акселерометров широко распространены устройства,

работающие в режиме замкнутого цикла, — так называемые closed loop, force
balanced (балансируемые силой) или servo (следящие) акселерометры, которые
используют полученный сигнал изменения в емкости в качестве напряжения
обратной связи, противодействия движению массы и удержания ее в
центральном положении (принудительная обратная связь). В случае емкостных
устройств сервотипа разности потенциалов между одним неподвижным
сенсорным электродом и подвижной массой и между массой и другим
электродом контролируются таким образом, что электростатическая сила
стремится отменить перемещение, наводимое ускорением. Помимо того что
подавляется перемещение массы, одновременно достигается улучшение в
чувствительности и частотных характеристиках. Удержание массы в
сбалансированном режиме фактически исключает ошибки вследствие

23
нелинейностей и способствует уменьшению влияния температуры
окружающей среды, временных изменений параметров и т. д.

Эквивалентная линейная6 физическая модель, иллюстрирующая принцип

работы сервоакселерометра в направлении одной степени свободы (полуоси),
показана на рис. 23.

Рис.10. Сервоакселерометр: a— направление ускорения, действующего

на датчик; 1— корпус устройства; 2— пружина; 3— инерционная
масса (с ферромагнитным материалом); 4— демпфер; 5—
механический ограничитель перемещений при перегрузках (выходе за
допустимые рабочие пределы ускорения a); 6— постоянный магнит,
прикрепленный к массе 3; 7— датчик Холла; 8— электромагнит; Fэл,
F, F1, F2 — силы, действующие в модели

В емкостном closed-loop-акселерометре емкостной элемент также

регистрирует перемещение инерционной массы, но в сервоцепи вводится
отрицательная обратная связь — напряжение, снятое с чувствительного
емкостного элемента (с выхода предусилителя) и пропорциональное
ускорению, возвращается на обкладки датчика, создавая электростатические
силы между подвижной и неподвижной обкладками, возвращающие
инерционную массу в исходное состояние.

Размеры емкостного микромеханического элемента позволяют эффективно

использовать электростатические силы для осуществления сброса, с
одновременным преимуществом малого потребления мощности и недостатком,
состоящим в том, что электростатические силы — нелинейная функция
приложенного напряжения, и при больших смещениях массы они могут
вызывать ее «прилипание» к одной из неподвижных обкладок.

24
 Выделяются три метода осуществления сброса:

Аналоговый — напряжение прикладывается к обоим, подвижным и

неподвижным, электродам, электростатическая сила удерживает массу в
центральном положении. Приложение смещающего напряжения линеаризует
отрицательную обратную связь при малых отклонениях массы.

Цифровой — сигналы ускорения и обратной связи разделяются во времени:

в течение первого короткого периода времени датчик определяет положение
инерционной массы, предоставляя выход в цифровом формате, в течение
второго периода времени обратная связь (электростатическая сила)
обеспечивается посредством импульсов напряжения, приложенных к
электродам. Метод осуществляется с применением сигма-дельта-модуляции,
стабильность обеспечивается за счет того, что выходной сигнал является
ШИМ, электростатическая сила определяется по среднему числу импульсов, и
напряжение, фактически, прикладывается к одному из электродов, тогда как
другой заземлен. Недостатком является сложность практических схем,
осуществляемых для снижения влияния шумов и поперечной
чувствительности, на основе методов переключающего конденсатора с ASIC.

Гибридный — аналого-цифровой: аналоговый сигнал ускорения подается

на усилитель заряда, а затем в управляющую электронику, осуществляющую
выборку пика, и логическую схему, обратная связь осуществляется приемами
сигма-дельта модуляции сигнала.

Сервоакселерометры измеряют частоты до DC (0 Гц); верхний частотный

диапазон зависит в конечном итоге от резонансной частоты, чувствительности,
демпфирования.

Сервоакселерометры обеспечивают высокую точность, важную в

автоэлектронике для прецизионных инклинометров систем контроля
параметров и навигации (например, блоков IMU с шестью степенями свободы
(см. рис. 23), комбинируемых с гироскопами), но их цена может на порядок
превышать стоимость устройств незамкнутого цикла. Поскольку отклонение
инерционной массы уменьшается (например, в акселерометрах Analog Devices
оно составляет менее 0,01 мкм), детектируемые диапазоны ускорений
составляют обычно <50 g.

25