MODUL PEMBELAJARAN

SENSOR DAN TRANSDUSER

Oleh:
Ilmawan Mustaqim, [Link].T.,M.T

MODUL INI DIDANAI OLEH PROGRAM PHKI

NOMOR KONTRAK: 04/KTM-PHKI/IV/2011

PROGRAM STUDI PENDIDIKAN TEKNIK ELEKTRO FAKULTAS TEKNIK

UNIVERSITAS NEGERI YOGYAKARTA
2011
 DAFTAR ISI
Daftar Isi................................................................................................... i
1. Pendahuluan ..................................................................................... 1
2. Pengertian Sensor ............................................................................. 2
3. Persyaratan Umum Sensor ............................................................... 3
4. Sensor dan Transduser ..................................................................... 4
5. Jenis Sensor dan Transduser ............................................................ 6
6. Sensor Posisi .................................................................................... 9
1) Potensiometri Sensor ................................................................. 9
2) Sensor Gravitasi ......................................................................... 11
3) Sensor Kapasitif ......................................................................... 15
4) Sensor Induktif dan Magnetic ..................................................... 20
5) Optical Sensors .......................................................................... 37
6) Sensor Ultrasonic ....................................................................... 53
7) Radar Sensor ............................................................................. 57
7. Sensor Gaya ..................................................................................... 66
1) Strain Gage ................................................................................ 66
2) Piezoelectric Force Sensors ....................................................... 68
8. Flow Sensor ...................................................................................... 74
9. Temperature Sensors ........................................................................ 89
10. Transduser Kelembaban ................................................................... 114
11. Chemical Sensors ............................................................................. 127
Daftar Pustaka ......................................................................................... 142

i
 SENSOR DAN TRANDUSER

I. PENDAHULUAN
Manusia sebagai makhluk hidup, harus berinteraksi dengan
lingkungan yang ada, baik interaksi langsung maupun tidak langsung.
Interaksi dengan lingkungan sekitar, manusia mempunyai beberapa alat
yang ada di tubuhnya untuk menangkap dan merespon apa yang ada di
lingkungannya.
Pada dasarnya manusia mempunyai 5 indra, yang digunakan
manusia untuk berinteraksi dengan lingkungannya, indra tersebut adalah :
mata, telinga, hidung, kulit, dan lidah. Masing-masing dari organ manusia
tersebut mempunyai fungsi sendiri-sendiri, yaitu:
1. Mata (Indra Penglihatan)
Mata merupakan organ manusia yang berfungsi sebagai alat
penglihatan. Manusia dapat menangkap visual dari lingkungan sekitar
dengan organ tubuh ini.
2. Telinga (Indra Pendengaran)
Telinga merupakan organ manusia yang berfungsi untuk
menangkap audio/suara dari lungkungan sekitar. Organ ini membuat
manusia dapat mengetahui suara-suara yang ada di sekitarnya.
3. Hidung (Indra Pencium)
Manusia dapat mengetahui bau apa saja yang ada di
lingkungan sekitarnya melalui organ ini sehingga dapat membedakan
berbagai macam bau yang ada.
4. Lidah (Indra Perasa)
Lidah membantu manusia untuk membedakan rasa dari benda-
benda di sekitarnya. Lidah terletak di dalam mulut manusia. Biasanya
organ ini digunakan untuk membedakan bahan-bahan yang akan
dikonsumsi manusia.
5. Kulit (Indra Perasa)
Dengan menggunakan Indra ini manusia akan dapat
merasakan apa yang ada di sekitarnya, baik secara langsung maupun
tidak langsung, misalnya merasakan permukaan kasar, halus, panas,
dingin, dan lain-lain.

1
 Organ-organ tubuh manusia yang digunakan untuk berinteraksi
dengan lingkungan sekitar merupakan organ dari Maha Pencipta, dan
memang merupakan kodratnya ada pada manusia yang digunakan untuk
berinteraksi dengan lingkungannya.
Dalam perkembangannya manusia menciptakan alat yang
mempunyai fungsi menyamai atau mungkin mendekati dari organ-organ
di atas. Alat alat yang diciptakan manusia akan digunakan untuk
membantu dalam melakukan pekerjaan yang dilakukan manusia,
misalnya dalam pabrik dibutuhkan suatu system yang bekerja dengan
melakukan penyensoran atau pengidentifikasian seperti organ manusia
mata, maka manusia menciptakan alat yang mempunyai karakteristik
kerja seperti mata.
Sensor-sensor yang diciptakan manusia, terdiri dari banyak jenis,
dan mempunyai banyak fungsi. Beberapa fungsi dan kerja alat
didasarkan pada organ indra manusia walaupun tidak seratus persen
sama. Alat yang diciptakan manusia untuk melakukan pengindraan
disebut dengan sensor.

II. PENGERTIAN SENSOR

Sensor adalah alat untuk mendeteksi/mengukur sesuatu, yang
digunakan untuk mengubah variasi mekanis, magnetis, panas, sinar, dan
kimia menjadi tegangan dan arus listrik. Dalam lingkungan sistem
pengendali dan robotika, sensor memberikan kesamaan yang
menyerupai mata, pendengaran, hidung, lidah yang kemudian akan
diolah oleh kontroler sebagai otaknya (Petruzella, 2001).
Sensor adalah komponen yang dapat digunakan untuk
mengkonversi suatu besaran tertentu menjadi satuan analog sehingga
dapat dibaca oleh suatu rangkaian elektronik.
D Sharon, dkk (1982), mengatakan sensor adalah suatu peralatan
yang berfungsi untuk mendeteksi gejala-gejala atau sinyal-sinyal yang
berasal dari perubahan suatu energi seperti energi listrik, energi fisika,
energi kimia, energi biologi, energi mekanik dan sebagainya.

2
III. PERSYARATAN UMUM SENSOR
Dari beberapa pengertian di atas dapat dilihat, bahwa sensor
merupakan alat yang mempunyai perubahan karakteristik setelah pada
alat tersebut diberi perubahan besaran. Perubahan karakteristik sensor
tersebut ada bermacam-macam, mulai dari gerakan, perubahan besar
resistansi, perubahan panjang, dan lain-lain. Sensor dalam teknik
pengukuran dan pengaturan ini harus memenuhi persyaratan-persyaratan
kualitas, yaitu :
1. Linieritas
Sensor biasanya menghasilkan sinyal keluaran yang berubah
secara kontinyu sebagai tanggapan terhadap masukan yang berubah
secara kontinyu, misalnya sebuah sensor panas dapat menghasilkan
tegangan sesuai dengan panas yang dirasakannya. Perubahannya dapat
digambarkan dalam bentuk grafik. Gambar 1.1 merupakan contoh grafik
keluaran sensor, yaitu perbandingan antara tegangan dan suhu.
Liner Non linier

Gambar 1.1 Grafik Output

2. Tidak tergantung temperature
Keluaran konverter tidak boleh tergantung pada temperatur di
sekelilingnya, kecuali sensor suhu.
3. Kepekaan
Kepekaan sensor harus dipilih sedemikian rupa, sehingga pada
nilai-nilai masukan yang ada dapat diperoleh tegangan listrik keluaran
yang cukup besar.
4. Waktu respon/tanggapan
Waktu respon/tanggapan adalah waktu yang diperlukan keluaran
sensor untuk mencapai nilai akhirnya pada nilai masukan yang berubah

3
 secara mendadak. Sensor harus dapat menyesuaikan perubahan yang
terjadi bila nilai masukan pada sistem tempat sensor tersebut berubah.
5. Batas frekuensi terendah dan tertinggi
Batas-batas tersebut adalah nilai frekuensi masukan periodik
terendah dan tertinggi yang masih dapat dikonversi oleh sensor secara
benar. Pada kebanyakan aplikasi disyaratkan bahwa frekuensi terendah
adalah 0 Hz.
6. Stabilitas waktu
Untuk nilai masukan (input) tertentu sensor harus dapat
memberikan keluaran (output) yang tetap nilainya dalam waktu yang
lama.
7. Histerisis
Gejala histerisis yang ada pada magnetisasi besi dapat pula
dijumpai pada sensor. Misalnya, pada suatu temperatur tertentu sebuah
sensor dapat memberikan keluaran yang berlainan.
Empat sifat diantara syarat-syarat dia atas, yaitu linieritas,
ketergantungan pada temperatur, stabilitas waktu dan histerisis
menentukan ketelitian sensor (Link, 1993).
Dari perubahan karakteristik jika ditambahkan dengan beberapa
komponen lagi, dan akan membuat sensor tersebut mempunyai
peribahan yang bersifat merubah besaran yang ada maka alat tersebut
sudah menjadi tranduser. Seperti pada pengertian berikut :
Transduser (Inggris: transducer) adalah sebuah alat yang
mengubah satu bentuk daya menjadi bentuk daya lainnya untuk berbagai
tujuan termasuk pengubahan ukuran atau informasi (misalnya, sensor
tekanan).

IV. SENSOR DAN TRANSDUSER

Dalam pengertian yang lebih luas, transduser juga didefinisikan
sebagai suatu peralatan yang berfungsi mengubah suatu bentuk sinyal
menjadi bentuk sinyal lainnya. Contoh suatu transduser adalah mikrofon,
yang mengubah suara kita, bunyi, atau energi akustik menjadi sinyal atau
energi listrik.
Secara umum, tranduser merupakan sebuah alat yang terdiri dari
sensor. Sensor akan menerima perubahan karakteristik sehingga pada

4
 sensor juga akan terjadi perubahan karakteristik, pada tranduser
karakteristik sensor akan digunakan untuk membuat perubahan
karakteristik yang dapat digunakan sebagai sinyal inputan.
Perbedaan dari sensor dan tranduser adalah.
Sensor merupakan sebuah alat yang mempunyai perubahan
karakteristik, saat alat tersebut diberi perubahan besaran, sesuai jenis
sensornya, sedangkan tranduser merupakan alat yang di dalamnya
terdapat sensor, dan komponen lain, yang fungsinya, untu meneruskan
perubahan karakteristik sensor tersebut, dalam sebuah sinyal/besaran.
Tranduser sendiri dibagi menjadi dalam 2 jenis umum, yaitu :
1. Transduser pasif, yaitu transduser yang dapat bekerja bila mendapat
energi tambahan dari luar, contohnya :
thermistor. Untuk mengubah energi panas menjadi energi listrik
yaitu tegangan listrik, maka thermistor harus dialiri arus listrik. Ketika
hambatan thermistor berubah karena pengaruh panas, maka tegangan
listrik dari thermistor juga berubah
2. Transduser aktif, yaitu transduser yang bekerja tanpa tambahan energy
dari luar, tetapi menggunakan energi yang akan diubah itu sendiri,
contohnya :
Termokopel. Ketika menerima panas, termokopel langsung meng-
hasilkan tegangan listrik tanpa membutuhkan energi dari luar.
Dalam kenyataaannya, banyak tranduser yang mrubah dari energy
yang disensor menjadi energy listrik, karena dalam perkembangannya
banyak teknologi yang dikembangkan bersifat elektris. Tranduser-
tranduser yang dibuat manusia, bermacam-macam, dan mempunyai
banyak aplikasi. Baik dalam industry maupun kehidupan sehari-hari,
Suatu sensor mempunyai tingkat sensitivitas, sensitivitas merupakan
tingkat kepekaan sensor dalam menanggapi gejala-gejala masukan yang
terjadi pada sensor tersebut.

5
V. JENIS SENSOR DAN TRANDUSER
Jenis jenis sensor dan tranduser sanngat banyak, mulai dariyang
sederhana sampai yang komplek. Jenis-jenisnya antara lain :
1. Tranduser dan Sensor Posisi
Tranduser dan sensor ini merupakan Tranduser dan sensor
yang memiliki perubahan karakteristik. Dengan perubahan posisi. Jadi
tranduser ini merubah energy mekanik, ke energy elektrik. Biasanya
yang disensor merupakan gerakan, misalnya: gerakan maju-mundur,
gerakan berputar, dan naik turun
a. Potentiometric
b. Gravitasi sensor
c. Sensor Kapasitif
d. Sensor Induktif dan Magnetic
 LVDT and RVDT
 Eddy Current Sensors
 Sensor Transverse induktif
 Hall Effect Sensors
 Sensor Magnetoresistive
 Detektor Magnetostrictive
e. Optical Sensors
 Jembatan Optic
 Kedekatan Detector dengan Cahaya Terpolarisasi
 Fiber-Optic Sensors
 Fabry–Perot Sensors
 Grating Sensors
 Linear Optical Sensors (PSD)
f. Sensors Ultrasonic
g. Radar Sensors
 Micropower Impulse Radar
 Ground-Penetrating Radar
2. Sensor Gaya
Sensor ini secara umum merubah gaya menjadi energy listrik,
misalnya, gaya tekanan. Sensor ini akan mengeluarkan karakteristik
berdasarkan dari gaya yang diberikan kepadanya, jenisnya
a. Bonded strain gage
6
 b. Unbonded strain gage
c. Piezoelectric force sensors
3. Tranduser Aliran
Tranduser ini merupakan tranduser digunaan untuk menyensor
aliran, biasanya yang disensor merupakan aliran liquid atau cairan.
a. Pressure Tranducer
b. Liquid/Flow Tranducer
c. Level Tranducer
4. Tranduser Suhu
Suatu sensor yang berfungsi untuk mengkonversikan energi
panas menjadi sinyal listrik. Jenisnya adalah
a. Sensor-sensor Thermoresistif
 Resistance Temperature Detector (RTD)
 Thermistor
 Thermoelektric Contact Sensors
b. Sensor Suhu Rangkaian Terpadu (IC)
 IC LM35
5. Tranduser Kelembaban
Tranduser kelembaban, yaitu tranduser yang digunakan untuk
mengukur atau mengetahui kelembaban,misalnya kelembaban udara,
kelembaban benda, dan lain-lain. Beberapa jenis tranduser
kelembaban:
a. Capacitive Sensors
b. Electrical Conductivity Sensors
c. Thermal Conductivity Sensor
d. Optical Hygrometer
e. Oscilating Hygrometer
6. Tranduser Kimia
Merupakan tranduser yang memiliki perubahan karakteristik
berdasarkan reaksi kimia yang ada, jenis- jenisnya :
a. Direct Sensor
 Metal-Oxide Chemical Sensors
 AchemFET
 Sensor Elektromekanikal
 Ampermetric Sensor
7
  Enhanced Catalytic Gas Sensors
b. Sensor komplek.
 Thermal Sensors
 Optical Chemical Sensors
 Biochemical Sensors

8
 SENSOR POSISI

1. Potensiometri Sensor
Sebuah posisi atau transduser perpindahan dapat dibangun dengan
potensiometer linear atau putar atau pot untuk pendek. Prinsip operasi dari
sensor ini didasarkan pada Pers. (3.54) Bab 3 untuk ketahanan kawat. Dari
rumus, maka bahwa perlawanan linear berhubungan dengan panjang kawat.
Jadi, dengan membuat objek untuk mengendalikan panjang kawat, seperti
yang dilakukan dalam pot, pengukuran perpindahan dapat dilakukan. Karena
pengukuran resistansi memerlukan bagian dari sebuah arus listrik melalui
kawat panci, transduser potensiometri adalah jenis aktif, yaitu, membutuhkan
sinyal eksitasi, (misalnya, arus DC). Sebuah stimulus (perpindahan)
digabungkan ke panci wiper, yang menyebabkan gerakan resistensi
perubahan (Gambar 7.1A). Di sirkuit paling praktis, pengukuran resistansi
digantikan oleh pengukuran drop tegangan. Tegangan pada wiper dari pot
linear sebanding dengan perpindahan d:

(7.1)

di mana D adalah perpindahan skala penuh dan E adalah tegangan di pot

(sinyal eksitasi). Ini mengasumsikan bahwa tidak ada efek pembebanan dari
rangkaian antarmuka. Jika ada beban yang cukup, hubungan linier antara
posisi wiper dan tegangan output tidak akan terus. Selain itu, sinyal output
sebanding dengan tegangan eksitasi diterapkan di sensor. Tegangan ini, jika
tidak dijaga konstan, mungkin sumber kesalahan. Perlu dicatat bahwa sensor
potensiometri adalah perangkat ratiometric (lihat Bab 4); maka perlawanan
dari pot bukan merupakan bagian dari persamaan. Ini berarti bahwa stabilitas
(misalnya, pada rentang suhu) hampir tidak berpengaruh pada akurasi. Untuk
aplikasi rendah daya, impedansi tinggi pot yang diinginkan, namun, efek
pembebanan harus selalu dipertimbangkan. Dengan demikian, seorang
pengikut tegangan yang baik diperlukan. Wiper dari pot biasanya elektrik
terisolasi dari poros penginderaan.

9
Gambar. 2.1. (A) Potensiometer sebagai sensor posisi; (B) cairan tingkat
sensor gravitasi dengan pelampung; (C) potensiometer linier. (Courtesy of
Piher Group, Tudela, Spanyol.)

Gambar 2.1.A memperlihatkan satu masalah yang terkait dengan

potensiometer kawat-luka. Wiper mungkin, saat bergerak melintasi berkelok-
kelok, melakukan kontak dengan satu atau dua kawat, sehingga
mengakibatkan langkah tegangan tidak merata (Gambar 2.1B) atau resolusi
variabel. Karena itu, ketika potensiometer kumparan dengan N ternyata
digunakan, hanya resolusi rata-rata n harus dipertimbangkan:

Gaya yang diperlukan untuk memindahkan wiper berasal dari objek yang
diukur, dan energi yang dihasilkan didisipasikan dalam bentuk [Link]-luka
potensiometer yang dibuat dengan kawat tipis yang memiliki diameter pada
urutan 0,01 mm. Sebuah potensiometer kumparan yang baik dapat
memberikan resolusi rata-rata sekitar 0,1% dari FS (skala penuh), sedangkan
berkualitas tinggi potensiometer Film resistif dapat menghasilkan resolusi
yang sangat kecil yang hanya dibatasi oleh keseragaman bahan resistif dan
lantai kebisingan antarmuka sirkuit. Yang terus menerus resolusi pot yang

10
 dibuat dengan plastik konduktif, film karbon, film logam, atau campuran
keramik-logam yang dikenal sebagai keramik logam. Wiper dari
potensiometer presisi terbuat dari paduan logam mulia. Perpindahan
dirasakan oleh berbagai sudut potensiometer dari sekitar 10 ◦ untuk lebih dari
3000 ◦ untuk pot multiturn (dengan mekanisme gear). Meski cukup berguna
dalam beberapa aplikasi, potensiometer memiliki beberapa kelemahan:
1. Terlihat mekanik beban (gesekan)
2. Perlu untuk kopling fisik dengan objek
3. kecepatan rendah
4. Gesekan dan tegangan eksitasi penyebab pemanasan potensiometer
5. Rendah stabilitas lingkungan

Gambar. 2.2. Ketidakpastian yang disebabkan oleh potensiometer kawat-

luka: (A) wiper dapat menghubungi salah satu atau dua kabel pada suatu
waktu; (B) langkah tegangan tidak merata.

2. Sensor Gravitasi
Gravitasi populer -tingkat transduser digunakan dalam tangki toilet. Unsur
utama transduser adalah pelampung-perangkat yang densitasnya lebih
rendah dari air. Dalam kebanyakan tank, secara langsung digabungkan ke
katup air untuk menjaga itu baik membuka atau menutup, tergantung pada
seberapa banyak air tangki memegang. Mengapung adalah detektor dari
posisi permukaan air. Untuk tujuan pengukuran, mengapung dapat
digabungkan dengan transduser posisi, seperti (Gambar 7.1B) potensiometri,
11
magnetik, kapasitif, atau sensor langsung lainnya. Perlu dicatat bahwa
sensor gravitasi rentan terhadap berbagai kekuatan yang mengganggu, yang
dihasilkan dari gesekan dan percepatan. Jelas, seperti sensor tidak akan
bekerja setiap kali gravitasi diubah atau tidak ada. Stasiun luar angkasa atau
jet adalah bukan tempat yang cocok untuk seperti sensor. Kecenderungan
detektor, yang mengukur sudut dari arah ke pusat gravitasi bumi, bekerja di
konstruksi jalan, peralatan mesin, sistem navigasi inersia, dan aplikasi lain
yang membutuhkan referensi gravitasi. Detektor tua dan masih cukup populer
posisi adalah switch merkuri (Gambar 2.3A dan 2.3B). Saklar terbuat dari non
konduktif (sering kaca) tabung yang memiliki dua kontak listrik dan setetes
merkuri. Ketika sensor diposisikan sehubungan dengan gaya gravitasi
sedemikian rupa sehingga merkuri bergerak menjauh dari kontak, saklar
terbuka. Perubahan dalam orientasi saklar menyebabkan merkuri untuk
pindah ke kontak dan menyentuh kedua mereka, sehingga menutup saklar.
Salah satu aplikasi yang populer dari desain ini adalah termostat rumah
tangga, di mana merkuri saklar dipasang pada kumparan bimetal yang
berfungsi sebagai sensor suhu sekitarnya. Gulungan atau lilitan kumparan
dalam menanggapi suhu kamar mempengaruhi orientasi saklar. Membuka
dan menutup saklar kontrol sistem pemanas / pendingin. Keterbatasan yang
jelas dari desain ini adalah pada pengoperasian (pengontrol bang-bang di
jargon rekayasa). Sebuah saklar merkuri adalah perangkat ambang batas,
yang terkunci ketika sudut rotasi melebihi nilai yang telah ditentukan.
Untuk mengukur perpindahan sudut dengan resolusi yang lebih tinggi,
sebuah sensor yang lebih kompleks diperlukan. Satu desain yang elegan
ditunjukkan pada Gambar. 2.3C. Hal ini disebut sensor kemiringan elektrolitik.
Sebuah tabung gelas kecil sedikit melengkung diisi dengan elektrolit
konduktif sebagian. Tiga elektroda yang dibangun ke dalam tabung: dua di
ujung, dan elektroda ketiga di tengah tabung. Sebuah gelembung udara
berada dalam tabung dan bisa bergerak sepanjang panjangnya sebagai
tabung miring. Resistensi listrik antara elektroda pusat dan masing-masing
akhir elektroda tergantung pada posisi gelembung. Sebagai tabung bergeser
jauh dari posisi keseimbangan, resistensi kenaikan atau penurunan secara
proporsional. Elektroda yang terhubung ke dalam satu sirkuit jembatan yang
sangat tertarik dengan ac saat ini untuk menghindari kerusakan pada
elektrolit dan elektroda.

12
Gambar. 2.3. Konduktif gravitasi sensor: (A) merkuri saklar dalam posisi
terbuka; (B) merkuri saklar dalam posisi tertutup; (C) sensor kemiringan
elektrolitik.
Sensor kemiringan elektrolitik yang tersedia untuk spektrum yang luas
dari sudut berkisar dari ± 1 ◦ untuk ± 80 ◦. Sejalan dengan itu, bentuk tabung
kaca bervariasi dari sedikit melengkung ke doughnutlike. Sebuah sensor
kemiringan lebih maju menggunakan sebuah array dari photodetectors.
Detektor berguna dalam teknik sipil dan mekanik untuk pengukuran bentuk
dari obyek yang kompleks dengan resolusi tinggi.

13
Gambar. 2.4. Optoelektronik kecenderungan sensor: (A) desain; (B)
bayangan pada posisi horisontal; (C) bayangan pada posisi miring.

Contoh termasuk pengukuran tanah dan jalan bentuk dan kerataan dari
plat besi, yang tidak dapat dilakukan dengan metode konvensional. Sensor
(Gambar 2.4A) terdiri dari dioda pemancar cahaya (LED) dan tingkat
semangat hemispherical dipasang pada array photodiode pn-junction.
Sebuah bayangan gelembung dalam cairan diproyeksikan ke permukaan dari
array photodiode. Ketika sensor disimpan horisontal, bayangan pada sensor
adalah melingkar, seperti yang ditunjukkan pada Gambar. 2.4B, dan daerah
bayangan pada setiap photodiode array adalah sama. Namun, ketika sensor
cenderung, bayangan menjadi sedikit berbentuk bulat panjang, seperti yang
ditunjukkan pada Gambar. 2.4C, menyiratkan bahwa arus output dari dioda
tidak lagi sama. Dalam sensor praktis, diameter LED adalah 10 mm dan jarak
antara LED dan tingkat adalah 50 mm, dan diameter dari kaca hemispherical
dan gelembung itu adalah 17 dan 9 mm, masing-masing.
Keluaran dari dioda diubah menjadi bentuk digital dan dikalibrasi pada
berbagai sudut kemiringan. Data kalibrasi dikompilasi ke dalam tabel look-up
yang diproses oleh perangkat komputasi. Dengan posisi sensor pada titik
silang dari garis yang ditarik longitudinal dan latitudinally pada interval pada
permukaan miring dari sebuah objek, komponen x dan y dari sudut
14
 kemiringan dapat diperoleh dan bentuk objek yang direkonstruksi oleh
komputer.

3. Sensor Kapasitif
Sensor perpindahan kapasitif memiliki aplikasi yang sangat luas, mereka
dipekerjakan secara langsung untuk mengukur perpindahan dan posisi dan
juga sebagai building blocks dalam sensor lain di mana perpindahan yang
dihasilkan oleh kekuatan, tekanan, suhu, dan sebagainya. Kemampuan
detektor kapasitif merasakan hampir semua bahan membuat mereka sebuah
pilihan menarik bagi banyak aplikasi. Persamaan (3.20) Bab 3 menyatakan
bahwa kapasitansi dari kapasitor datar berbanding terbalik dengan jarak
antara pelat. Prinsip operasi dari sensor pengukur, kedekatan, dan posisi
kapasitif didasarkan atas perubahan geometri (yaitu, jarak antara pelat
kapasitor) atau variasi kapasitansi di hadapan konduktif atau bahan dielektrik.
Ketika perubahan kapasitansi, dapat dikonversi menjadi sinyal listrik variabel.
Seperti dengan banyak sensor, sensor kapasitif dapat berupa monopolar
(menggunakan hanya satu kapasitor) atau diferensial (menggunakan dua
kapasitor), atau jembatan kapasitif dapat digunakan (menggunakan empat
kapasitor). Ketika dua atau empat kapasitor yang digunakan, satu atau dua
kapasitor dapat baik tetap atau variabel dengan fase berlawanan.
Sebagai contoh pengantar mempertimbangkan tiga piring sama spasi,
masing-masing dengan luas A (Gambar 2.5A). Pelat membentuk dua
kapasitor C1 dan C2. Pelat atas dan bawah diberi makan dengan out-of-fase
gelombang sinus sinyal, yaitu fase sinyal bergeser oleh 180 ◦. Kedua
kapasitor hampir sama satu sama lain dan dengan demikian pelat pusat telah
hampir tidak ada tegangan karena arus melalui C1 dan C2 membatalkan satu
sama lain. Sekarang, mari kita asumsikan bahwa lempeng utama bergerak
ke bawah dengan jarak x (Gambar 2.5B). Hal ini menyebabkan perubahan
dalam nilai-nilai kapasitansi masing-masing:

dan peningkatan sinyal pusat pelat sebanding dengan perpindahan dan

fase dari sinyal yang merupakan indikasi dari arah pusat pelat-atas atau
bawah. Amplitudo sinyal output

15
 Selama x << x0, tegangan output dapat dianggap sebagai fungsi linear
dari perpindahan. Para summand kedua merupakan ketidakcocokan
kapasitansi awal dan merupakan penyebab utama untuk output offset. Offset
juga disebabkan oleh efek renda di bagian perifer dari piring dan oleh
kekuatan yang disebut elektrostatik. Gaya adalah hasil dari tarik biaya dan
tolakan diterapkan pada pelat dari sensor, dan piring berperilaku seperti mata
air. Nilai sesaat dari gaya adalah

Dalam aplikasi praktis, ketika mengukur jarak ke objek konduktif listrik,

permukaan obyek itu sendiri dapat berfungsi sebagai piring kapasitor. Desain
sensor kapasitif monopolar ditunjukkan pada Gambar. 2,6, dimana satu plat
kapasitor dihubungkan ke konduktor pusat kabel koaksial dan plat lain
dibentuk oleh target (objek). Perhatikan bahwa plat probe dikelilingi oleh
pelindung beralasan untuk meminimalkan efek tepi dan meningkatkan
linearitas. Sebuah probe kapasitif yang khas beroperasi pada frekuensi
dalam rentang 3MHz dan dapat mendeteksi target yang bergerak sangat
cepat, sebagai respons frekuensi probe dengan built-in antarmuka elektronik
dalam kisaran 40 kHz. Sebuah sensor jarak kapasitif dapat sangat efisien
ketika digunakan dengan objek konduktif elektrik.

16
Gambar. 2.5. Prinsip operasi sensor kapasitif plat datar (A) - posisi yang
seimbang; B - posisi yang tidak seimbang

Gambar. 2.6. Sebuah probe kapasitif dengan cincin penjaga: (A) potongan
melintang; (B) tampilan luar. (Courtesy of ADE Technologies, Inc, Newton,
MA.)
Sensor mengukur kapasitansi antara elektroda dan objek. Namun
demikian, bahkan untuk objek konduktif rokok, sensor ini dapat digunakan
cukup efisien, meskipun dengan akurasi yang lebih rendah. Setiap objek,
konduktif atau non konduktif, yang dibawa di sekitar elektroda, memiliki sifat
dielektrik sendiri yang akan mengubah kapasitansi antara elektroda dan
perumahan sensor dan, pada gilirannya, akan menghasilkan respon terukur.
Untuk meningkatkan sensitivitas dan mengurangi efek renda, sensor
kapasitif monopolar mungkin disertakan dengan perisai didorong. Seperti
perisai diposisikan di sekitar sisi operasi non elektroda dan diberi makan
dengan tegangan sama dengan yang dari elektroda. Karena perisai dan
17
tegangan elektroda InPhase dan memiliki magnituda yang sama, tidak ada
medan listrik ada antara dua dan semua komponen diposisikan di belakang
perisai tidak berpengaruh pada operasi. Teknik didorong-perisai diilustrasikan
pada Gambar. 2.7.

Gambar. 2.7. Didorong perisai sekitar elektroda dalam sebuah sensor jarak
kapasitif.

Saat ini, jembatan kapasitif menjadi semakin populer dalam desain

sensor perpindahan. Sebuah jembatan kapasitif sensor posisi linear
ditunjukkan pada Gambar. 2.8A. Sensor ini terdiri dari dua set elektroda
planar yang paralel dan berdekatan satu sama lain dengan jarak pemisahan
konstan, d. Peningkatan kapasitansi, jarak antara pelat set relatif kecil. Satu
set berisi empat elektroda stasioner unsur persegi panjang, sedangkan satu
set elektroda berisi dua elemen bergerak persegi panjang. Semua enam
elemen adalah sekitar ukuran yang sama (sisi dimensi adalah b). Ukuran
piring masing-masing dapat sebagai besar seperti yang mekanis praktis
ketika berbagai macam linearitas yang diinginkan. Keempat elektroda dari
himpunan stasioner lintas - terhubung elektrik, sehingga membentuk sebuah
jembatan - jenis jaringan kapasitansi.
Sebuah sumber eksitasi jembatan menyediakan tegangan sinusoidal (50-
50 kHz) dan perbedaan tegangan antara sepasang lempeng bergerak
dirasakan oleh penguat diferensial yang outputnya dihubungkan ke input dari
detektor sinkron. Kapasitansi dari dua plat paralel, jarak pemisahan tetap,
adalah sebanding dengan luas baik pelat yang langsung menghadapi wilayah
18
yang sesuai dari pelat lain. Gambar 7.8B menunjukkan rangkaian ekivalen
dari sensor yang memiliki konfigurasi jembatan kapasitif. Nilai kapasitor C1
yaitu

Kapasitansi lain yang diturunkan untuk persamaan identik. Perhatikan

bahwa kapasitor berlawanan hampir sama: C1 = C2 = C3 dan C4.
Pergeseran lempeng saling sehubungan dengan hasil posisi sepenuhnya
simetris di mengacaukan keseimbangan jembatan dan output fase-sensitif
dari penguat diferensial.
Keuntungan dari rangkaian jembatan kapasitif adalah sama dengan
setiap rangkaian jembatan: linearitas dan kekebalan kebisingan. Selain
elektroda datar seperti dijelaskan sebelumnya, metode yang sama dapat
diterapkan setiap pengaturan simetris sensor, (misalnya, untuk mendeteksi
gerakan berputar).

Gambar. 2.8. Pelat sejajar kapasitif sensor jembatan: (A) pelat pengaturan,
(B) Diagram rangkaian ekuivalen.

19
4. Sensor Induktif dan Magnetic
Salah satu dari banyak keuntungan dari menggunakan medan magnet
untuk merasakan posisi dan jarak adalah bahwa setiap bahan bukan
magnetik dapat ditembus oleh lapangan tanpa kehilangan akurasi posisi.
Stainless steel, aluminium, kuningan, tembaga, plastik, batu, dan kayu dapat
ditembus, yang berarti bahwa posisi yang akurat sehubungan dengan probe
di sisi berlawanan dari tembok dapat ditentukan hampir seketika. Keuntungan
lain adalah sensor magnetik dapat bekerja dalam lingkungan yang parah dan
situasi korosif karena probe dan target dapat dilapisi dengan bahan inert
yang tidak akan mempengaruhi medan magnet.

4.1 LVDT and RVDT

Posisi dan perpindahan dapat dirasakan oleh metode induksi
elektromagnetik. Sebuah fluks magnet penghubung antara dua kumparan
dapat diubah oleh pergerakan dari sebuah objek dan kemudian diubah
menjadi tegangan. Variabel-induktansi sensor yang menggunakan media
feromagnetik nonmagnetized untuk mengubah keengganan (resistensi
magnetik) dari jalur fluks dikenal sebagai variabel-keengganan
transduser. Pengaturan dasar dari sebuah transduser multi kumparan
induksi berisi dua: primer dan sekunder. Arus utama eksitasi AC (Vref)
yang menginduksi tegangan AC yang stabil dalam kumparan sekunder
(Gambar 2.9). Amplitudo diinduksi tergantung pada kopling fluks antara
kumparan.

Gambar. 2.9. Circuit diagram dari sensor

LVDT.

20
 Ada dua teknik untuk mengubah kopling. Salah satunya adalah
gerakan obyek terbuat dari bahan feromagnetik dalam jalur fluks. Hal ini
akan mengubah keengganan jalan, yang, pada gilirannya, mengubah
kopling antara kumparan. Ini adalah dasar untuk pengoperasian LVDT
(transformator diferensial linear variabel), sebuah RVDT (diferensial rotary
variabel transformator), dan sensor induktansi bersama kedekatan.
Metode lainnya adalah untuk fisik memindahkan satu kumparan
sehubungan dengan yang lain.
LVDT adalah transformator dengan inti mekanis digerakkan.
Kumparan primer didorong oleh gelombang sinus (sinyal eksitasi) yang
memiliki amplitudo stabil. Gelombang sinus menghilangkan kesalahan
yang terkait harmonik dalam transformator. Sebuah sinyal AC diinduksi
dalam kumparan sekunder. Sebuah inti yang terbuat dari bahan
feromagnetik dimasukkan ke dalam pembukaan coaxially silinder tanpa
menyentuh fisik kumparan. Kedua sekunder yang terhubung dalam fase
menentang. Ketika inti diposisikan di pusat magnetik transformator, sinyal
output sekunder membatalkan dan tidak ada tegangan output. Inti
bergerak menjauh dari posisi sentral tidak seimbang rasio fluks induksi
magnet antara sekunder, mengembangkan output. Sebagai bergerak inti,
keengganan perubahan jalur fluks. Oleh karena itu, derajat kopling fluks
tergantung pada posisi aksial dari inti. Pada keadaan stabil, amplitudo
dari tegangan induksi sebanding, di wilayah operasi linier, untuk
perpindahan inti. Akibatnya, tegangan dapat digunakan sebagai ukuran
perpindahan. LVDT memberikan arah serta besarnya perpindahan. Arah
ditentukan oleh sudut fase antara tegangan (referensi) primer dan
tegangan sekunder. Tegangan eksitasi yang dihasilkan oleh osilator
stabil. Untuk contoh bagaimana sensor bekerja, Gambar. 2.10
menunjukkan LVDT terhubung ke detektor sinkron yang memperbaiki
gelombang sinus dan menyajikan pada output sebagai sinyal dc. Detektor
sinkron terdiri dari multiplekser analog (MUX) dan detektor nol-
persimpangan yang mengubah gelombang sinus menjadi pulsa persegi
yang kompatibel dengan input kontrol dari multiplexer. Sebuah fase dari
detektor nol-persimpangan harus dipangkas untuk output nol pada posisi
sentral inti. Amplifier output dapat dipangkas dengan keuntungan yang
diinginkan untuk membuat sinyal yang kompatibel dengan tahap

21
berikutnya. Jam disinkronisasi ke multiplexer berarti bahwa informasi
yang disajikan ke filter RC di masukan dari penguat adalah amplitudo dan
fase sensitif. Tegangan keluaran mewakili seberapa jauh inti adalah dari
pusat dan di sisi mana.
Untuk LVDT untuk mengukur gerakan secara akurat sementara,
frekuensi dari osilator harus setidaknya 10 kali lebih tinggi daripada
frekuensi yang signifikan tertinggi gerakan. Untuk proses yang lambat
berubah, osilator stabil mungkin akan digantikan dengan kopling ke
frekuensi kabel listrik 60 atau 50 Hz.

Gambar. 2.10. Sebuah diagram rangkaian yang disederhanakan dari

sebuah antarmuka untuk sensor LVDT.

Keuntungan dari LVDT dan RVDT adalah sebagai berikut: (1)

Sensor adalah perangkat noncontact dengan perlawanan gesekan tidak
ada atau sangat kecil dengan kekuatan resistif kecil; (2) hystereses
(magnet dan mekanik) dapat diabaikan; (3) impedansi output sangat
rendah; (4) ada kerentanan rendah untuk kebisingan dan gangguan; (5)
konstruksi solid dan kuat, (6) resolusi sangat kecil adalah mungkin.
Salah satu aplikasi yang berguna untuk sensor LVDT dalam apa
yang disebut kepala pengukur, yang digunakan dalam inspeksi alat dan

22
 peralatan mengukur. Dalam kasus itu, inti dari LVDT adalah musim semi
dimuat untuk mengembalikan kepala ukur untuk referensi posisi preset.
RVDT beroperasi pada prinsip yang sama seperti LVDT, kecuali
bahwa inti feromagnetik rotary digunakan. Penggunaan utama untuk
RVDT adalah pengukuran perpindahan sudut. Kisaran linier pengukuran
adalah sekitar ± 40 ◦, dengan kesalahan non-linear dari sekitar 1%.

4.2 Eddy Current Sensors

Untuk merasakan kedekatan bahan nonmagnetik namun
konduktif, efek dari arus eddy yang digunakan dalam sensor dual-coil
(Gambar 2.11A). Satu kumparan digunakan sebagai referensi, dan yang
lainnya adalah untuk penginderaan arus induksi magnetik pada objek
konduktif. Eddy (melingkar) arus menghasilkan medan magnet yang
menentang bahwa dari kumparan penginderaan, sehingga
mengakibatkan mengacaukan keseimbangan sehubungan dengan
kumparan referensi. Semakin dekat obyek kumparan, semakin besar
perubahan impedansi magnetik. Kedalaman dari objek mana arus eddy
dihasilkan
ditentukan oleh

dimana f adalah frekuensi dan σ adalah konduktivitas target.

Tentu, untuk operasi yang efektif, ketebalan objek harus lebih besar dari
kedalaman. Oleh karena itu, detektor eddy tidak boleh digunakan untuk
mendeteksi film yang metalisasi atau benda foil. Umumnya, hubungan
antara impedansi kumparan dan jarak ke objek x nonlinier dan
bergantung pada temperatur. Frekuensi operasi dari sensor arus eddy
berkisar dari 50 kHz sampai 10 MHz.
Gambar 2.11B dan 2.11C menunjukkan dua konfigurasi dari
sensor eddy: dengan perisai dan tanpa satu. Sensor terlindung memiliki
penjaga logam di sekitar inti ferit dan perakitan koil. Ini berfokus medan
elektromagnetik ke depan sensor. Hal ini memungkinkan sensor yang
akan tertanam ke dalam struktur logam tanpa mempengaruhi jangkauan
deteksi. Sensor tanpa pelindung dapat merasakan di sisi-sisinya serta

23
dari depan. Akibatnya, rentang mendeteksi sebuah sensor tanpa
pelindung biasanya agak lebih besar daripada sensor terlindung dari
diameter yang sama. Untuk beroperasi dengan baik, sensor tanpa
pelindung membutuhkan benda-benda non logam sekitarnya.

Gambar. 2.11. (A) Electromagnetic sensor jarak; (B) sensor dengan ujung
depan terlindung; (C) sensor tanpa pelindung.

Selain deteksi posisi, sensor eddy dapat digunakan untuk

menentukan ketebalan material, ketebalan lapisan nonconductive,
konduktivitas dan pengukuran plating, dan retak dalam materi. Deteksi
Crack dan permukaan kelemahan menjadi aplikasi yang paling populer
untuk sensor. Tergantung pada aplikasi, probe eddy mungkin banyak
konfigurasi koil: Beberapa sangat kecil dengan diameter (2-3 mm) dan
yang lain cukup besar (25 mm). Beberapa perusahaan bahkan membuat
probe dirancang khusus untuk memenuhi kebutuhan yang unik dari
pelanggan (Staveley Instruments, Inc, Kennewick, WA). Satu keuntungan
penting dari sensor arus eddy adalah bahwa mereka tidak perlu bahan
magnetik untuk operasi, sehingga mereka dapat cukup efektif pada suhu
tinggi (baik melebihi suhu Curie dari bahan magnetik) dan untuk
mengukur jarak atau tingkat konduktif cairan, termasuk logam cair.
Keuntungan lain dari detektor adalah bahwa mereka tidak mekanis

24
 digabungkan dengan objek dan, dengan demikian, efek pembebanan
sangat rendah.

Gambar. 2.12. Sebuah

sensor jarak transversal
induktif.

4.3 Sensor Transverse induktif

Perangkat lain posisi-sensing disebut sensor jarak transversal
induktif. Hal ini berguna untuk penginderaan pemindahan relatif kecil
[Link] feromagnetik namanya, sensor mengukur jarak ke obyek
yang mengubah medan magnet dalam kumparan. Induktansi kumparan
diukur dengan sebuah sirkuit elektronik eksternal (Gambar 2.12). Sebuah
prinsip induksi diri adalah dasar untuk operasi seperti transducer. Ketika
sensor jarak bergerak ke sekitar benda feromagnetik, perubahan medan
magnet, sehingga mengubah induktansi dari kumparan. Keuntungan dari
sensor adalah bahwa hal itu adalah perangkat noncontact yang interaksi
dengan objek hanya melalui medan magnet. Keterbatasan yang jelas
adalah bahwa hal itu berguna hanya untuk benda feromagnetik pada
jarak yang relatif pendek.
Sebuah versi modifikasi dari melintang transduser ditampilkan
pada Gambar. 2.13A. Untuk mengatasi keterbatasan untuk mengukur
hanya bahan besi, feromagnetik disk terpasang ke objek menggusur
sedangkan kumparan berada dalam posisi stasioner. Atau, kumparan
mungkin melekat pada objek dan inti adalah stasioner. Sensor jarak ini
berguna untuk mengukur pergeseran kecil saja, karena linearitas adalah
sedikit dibandingkan dengan LVDT. Namun, cukup berguna sebagai

25
 detektor jarak untuk indikasi dari dekat obyek yang terbuat dari bahan
padat. Besarnya sinyal keluaran sebagai fungsi dari jarak ke disk
ditunjukkan pada Gambar. 2.13B.

Gambar. 2.13. Transverse sensor dengan disk tambahan feromagnetik

(A) dan sinyal output sebagai fungsi jarak (B).

Gambar. 2.14. Sirkuit diagram dari sensor (B) efek linear (A) dan ambang
Hall.

4.4 Hall Effect Sensors

Selama beberapa tahun terakhir, Hall sensor efek menjadi
semakin populer Ada dua jenis sensor Hall. Linier dan ambang (Gambar
2.14) biasanya menggabungkan sensor Alinear sebuah penguat untuk
antarmuka lebih mudah dengan sirkuit perifer. Dibandingkan dengan
sensor dasar, mereka beroperasi pada rentang tegangan yang lebih luas

26
dan lebih stabil dalam lingkungan yang bising. Sensor ini tidak cukup
linear (Gambar.2.15A) sehubungan dengan kerapatan medan magnet
dan, oleh karena itu, pengukuran presisi memerlukan kalibrasi. Selain
penguat, sensor tipe ambang berisi detektor pemicu Schmitt dengan
histeresis built-in. Sinyal output sebagai fungsi dari kerapatan medan
magnet ditunjukkan pada Gambar.27.15B. Sinyal adalah satu dua tingkat
dan telah jelas diucapkan histeresis sehubungan dengan medan magnet.
Ketika kerapatan fluks magnet diterapkan melebihi ambang tertentu,
memicu menyediakan transien bersih dari OFF ke posisi ON. Histeresis
menghilangkan osilasi palsu dengan memperkenalkan zona mati-band, di
mana tindakan dinonaktifkan setelah nilai ambang batas telah berlalu.
Sensor Hall biasanya dibuat sebagai chip silikon monolitik dan dikemas
ke dalam epoksi kecil atau paket keramik.

Gambar. 2.15. Fungsi transfer dari sebuah sensor (B) efek linear
(A) dan ambang Hall.
Untuk posisi dan pengukuran perpindahan, sensor efek Hall harus
disediakan dengan sumber medan magnet dan sebuah sirkuit elektronik
antarmuka. Medan magnet memiliki dua karakteristik penting untuk
aplikasi ini: kepadatan fluks dan polaritas (atau orientasi). Perlu dicatat
bahwa untuk responsivitas yang lebih baik, garis-garis medan magnet
harus normal (tegak lurus) ke wajah datar sensor dan harus di polaritas
yang benar. Di ambang sensor Sprague, kutub magnet selatan akan
menyebabkan beralih tindakan dan kutub utara tidak akan berpengaruh.
Sebelum merancang sebuah detektor posisi dengan sensor Hall,
sebuah analisis keseluruhan harus dilakukan di sekitar dengan cara
berikut. Pertama, kekuatan medan magnet harus diselidiki. Kekuatan ini
27
akan menjadi terbesar di wajah tiang dan akan menurun dengan jarak
meningkat dari magnet. Lapangan dapat diukur oleh gaussmeter atau
sensor Hall dikalibrasi. Untuk sensor Hall ambang-jenis, jarak terpanjang
di mana output sensor pergi dari ON (tinggi) ke OFF (rendah) disebut titik
pelepasan. Hal ini dapat digunakan untuk menentukan jarak kritis di mana
sensor berguna. Kekuatan medan magnet tidak linear dengan jarak dan
sangat tergantung pada bentuk magnet, rangkaian magnetik, dan jalan
yang ditempuh oleh magnet. Strip konduktif Hall adalah terletak pada
kedalaman beberapa di dalam perumahan sensor. Ini menentukan jarak.
Magnet operasi minimum harus beroperasi andal dengan celah udara
total yang efektif di lingkungan kerja. Ini harus sesuai dengan ruang yang
tersedia dan harus mountable, terjangkau, dan tersedia.
Sensor Hall dapat digunakan untuk saklar pemutus dengan objek
yang bergerak. Dalam mode ini, mengaktifkan magnet dan sensor Hall
terpasang pada perakitan kasar tunggal dengan celah udara kecil di
antara mereka (Gambar 2.16). Jadi, sensor diadakan dalam posisi ON
dengan mengaktifkan magnet. Jika piring feromagnetik, atau baling-
baling, ditempatkan antara magnet dan sensor Hall, baling-baling bentuk
shunt magnetis yang mendistorsi fluks magnetik jauh dari sensor. Hal ini
menyebabkan sensor untuk flip ke posisi OFF. Sensor Hall dan magnet
bisa dibentuk menjadi perumahan umum, sehingga menghilangkan
masalah keselarasan. Baling-baling besi yang mengganggu fluks magnet
dapat memiliki gerakan linier atau berputar. Sebuah contoh dari
perangkat adalah distributor mobil.
Seperti sensor lainnya, empat Hall sensor dapat dihubungkan ke
dalam satu sirkuit jembatan untuk mendeteksi gerakan linier atau
melingkar. Angka 2.17Aand 2.17B menggambarkan konsep di mana
sensor ini dibuat menggunakan teknologi MEMS pada satu chip tunggal
dan dikemas dalam sebuah perumahan-SOIC 8 plastik. Sebuah magnet
melingkar ditempatkan di atas chip dan sudut rotasi dan arah dirasakan
dan dikonversi menjadi kode digital. Sifat dari sebuah konverter analog-
ke-digital menentukan kecepatan respon yang memungkinkan untuk
memutar magnet dengan tingkat hingga 30.000 rpm. Seperti sensor
mengizinkan penginderaan gesekan-bebas linear dan sudut presisi posisi,
pengkodean presisi sudut, dan bahkan membuat rotary switch diprogram.

28
Karena koneksi jembatan sensor individu, sirkuit ini sangat toleran
terhadap misalignment magnet dan gangguan eksternal, termasuk medan
magnet.

Gambar. 2.16. Efek Hall sensor di pemutus switching modus: (A) fluks
magnet berubah sensor pada; (B) fluks magnet didorong oleh baling-
baling satu.

Desain sensor tiga dimensi (3-D) efek Hall mengkoordinasikan

bekerja dengan elektronik mengukur dan membandingkan fluks magnetik
dari target bergerak melalui empat jalur magnetik geometris yang sama
diatur simetris di sekitar sumbu probe (Gbr. 2.17C dan 2.17 D). Ini adalah
setara magnetik dari sebuah jembatan Wheatstone. Medan magnet
simetris target, yang dihasilkan oleh sebuah magnet permanen,
perjalanan dari kutub pusat melalui udara ke tepi luar, jika tidak di sekitar
probe. Karena fluks dari target akan mengambil jalur yang paling
resistensi (keengganan), fluks akan melalui probe ketika target cukup
dekat dengan itu.

29
Gambar. 2.17. sensor Hall sudut jembatan (A) dan antarmuka sensor
internal (B) (Courtesy dari Austria Sistem Mikro). Sebuah dipotong - view
jauhnya (C) sensor dengan target dan probe menunjukkan jalur fluks
magnetik. Sebuah dipotong - view jauhnya (D) menunjukkan empat
sensor efek Hall dengan empat jalur fluks kembali.
Probe memiliki wajah tiang pusat dibagi menjadi empat bagian
yang sama. Nilai fluks di A, B, C, dan D adalah jalan diukur oleh sensor
efek Hall masing-masing. Ada dua cara untuk membuat target. Salah
satunya adalah aktif dan yang lainnya adalah target [Link] aktif
menggunakan magnet permanen untuk menghasilkan medan magnet,
yang dirasakan oleh probe ketika berada dalam kisaran operasi. Target
pasif tidak menghasilkan medan magnet, sebaliknya, bidang ini dihasilkan
oleh probe dan dikembalikan oleh target.
Sebuah contoh dari aplikasi ini adalah sistem bimbingan
kendaraan tak berawak yang mengarah kendaraan atas roadbed dengan
target strip logam pasif terkubur tepat di bawah permukaan jalan. Probe
terpasang pada kendaraan. Sasaran akan memberikan posisi, kecepatan,
dan arah sebagai probe melewati di atasnya. Sebuah probe dan target
dapat dipisahkan dengan beberapa inci.

30
Gambar. 2.18. Konversi dari perpindahan linier (panjang benang atau
kabel) menjadi gerakan berputar (A) dan kabel sensor posisi (B).
(Courtesy Ruang Umur Kontrol, Inc)

Seperti ditunjukkan dalam Gambar. 2.17A dan 2.17B, sebuah

gerakan berputar dapat dikodekan digital dengan presisi tinggi. Untuk
mengambil keuntungan dari fitur ini, sebuah sensor jarak linier dapat
dibangun dengan konverter dari linier menjadi gerakan berputar seperti
ditunjukkan pada Gambar. 2.18. Sensor tersebut diproduksi, misalnya,
dengan SpaceAge Kontrol, Inc ([Link]).

Gambar. 2.19. Magnetoresistive sensor output dalam bidang magnet

permanen sebagai fungsi dari x perpindahan yang sejajar dengan sumbu
31
 magnetik (A-C). Magnet menyediakan baik bidang aksilaris dan
transversal. Pembalikan dari sensor relatif terhadap magnet akan
membalikkan karakteristik. (D dan E) Sensor output dengan medan
magnet terlalu kuat.

4.5 Sensor Magnetoresistive

Sensor ini mirip dalam aplikasi dengan sensor efek Hall. Untuk
berfungsi, mereka membutuhkan medan magnet eksternal. Oleh karena
itu, setiap kali sensor magnetoresistive digunakan sebagai kedekatan,
posisi, atau detektor rotasi, itu harus dikombinasikan dengan sumber
medan magnet. Biasanya, bidang ini berasal dari magnet permanen yang
melekat pada sensor. Gambar 2.19 menunjukkan pengaturan yang
sederhana untuk menggunakan kombinasi-permanen-magnet sensor
untuk mengukur perpindahan linier. Ia mengungkapkan beberapa
masalah yang mungkin ditemui apakah account yang tepat tidak diambil
dari efek yang dijelaskan dalam ayat ini. Ketika sensor ditempatkan dalam
medan magnet, itu terkena bidang baik dalam arah x dan y.. Jika magnet
yang berorientasi dengan paralel sumbu untuk strip sensor (misalnya,
dalam arah x) seperti ditunjukkan pada Gambar. 2.19A, Hx kemudian
memberikan bidang pembantu, dan variasi dalam Hy dapat digunakan
sebagai ukuran perpindahan x. Gambar 2.19B menunjukkan bagaimana
kedua Hx dan Hy bervariasi dengan x, dan Gambar.2.19C menunjukkan
sinyal output yang sesuai. Dalam contoh ini, Hx pernah melebihi ± Hx
(bidang yang dapat menyebabkan membalik sensor), dan karakteristik
sensor tetap stabil dan berperilaku baik sepanjang rentang pengukuran.
Namun, jika magnet terlalu kuat atau sensor melewati terlalu dekat
dengan magnet, sinyal output akan berbeda secara drastis.
Misalkan awalnya sensor pada sumbu transversal dari magnet (x
= 0). Hy akan menjadi nol dan Hx akan berada pada nilai maksimum (>
Hx). Jadi, sensor akan berorientasi dalam arah x + dan tegangan output
akan bervariasi seperti pada Gambar. 2.19E. Dengan gerakan sensor di
Hy x + arah, dan V0 meningkat, dan Hx jatuh ke nol dan kemudian
meningkat sampai Hy negatif melebihi-Hx. Pada titik ini, karakteristik
sensor membalik dan tegangan keluaran membalikkan, bergerak fromAto
B pada Gambar. 2.19E. Sebuah peningkatan lebih lanjut dalam x

32
menyebabkan tegangan sensor untuk bergerak sepanjang BE. Jika
sensor tersebut akan dipindahkan ke arah yang berlawanan,
bagaimanapun, Hx meningkat sampai melebihi + Hx dan V0 bergerak dari
B ke C. Pada titik ini, karakteristik sensor lagi membalik dan V0 bergerak
dari C ke D. Kemudian, di bawah kondisi ini, karakteristik sensor akan
melacak ABCD histeresis loop dan loop serupa di x-arah. Gambar 7.19E
adalah kasus ideal, karena tidak pernah seperti pembalikan tiba-tiba
seperti yang ditunjukkan.
Gambar 2.20A menunjukkan bagaimana KMZ10B dan sensor
KM110B magnetoresistive dapat digunakan untuk membuat pengukuran
posisi benda logam. Sensor terletak antara plat dan magnet permanen,
yang berorientasi dengan sumbu magnetik normal terhadap sumbu plate.
Pemegatan logam dalam struktur plat itu, seperti lubang atau wilayah dari
bahan bukan magnetik, akan mengganggu medan magnet dan
menghasilkan variasi pada sinyal output dari sensor. Gambar 2.20B
menunjukkan sinyal output untuk dua nilai spasi d. Pada titik mana lubang
dan sensor yang tepat sesuai, output adalah nol terlepas dari jarak d atau
suhu sekitarnya.

33
Gambar. 2.20. Satu titik pengukuran dengan KMZ10 tersebut. (A) Sensor
terletak antara magnet permanen dan pelat logam; sinyal output (B) untuk
dua jarak antara magnet dan plat.

Gambar. 2.21. Sudut

pengukuran dengan sensor
KMZ10.

Gambar 2.21 menunjukkan setup yang lain berguna untuk

mengukur perpindahan sudut. Sensor itu sendiri terletak di bidang magnet
yang dihasilkan oleh dua RES190 magnet permanen tetap ke frame
rotable. Output dari sensor kemudian akan menjadi ukuran rotasi dari
frame.

Gambar. 2.22. (A) posisi pengoperasian optimum dari modul

magnetoresistive. Catatan magnet permanen diposisikan di belakang
sensor. (B) Blok diagram rangkaian modul.

34
 Gambar 2.22A menggambarkan penggunaan sensor KM110
tunggal untuk mendeteksi rotasi dan arah roda bergigi. Metode deteksi
arah didasarkan pada pemrosesan sinyal terpisah untuk dua sensor
setengah-jembatan output.

Gambar. 2.23. Sinyal output dari amplifier untuk arah 1 (A) dan 2 (B).

Gambar. 2.24. Sebuah detektor magnetostrictive menggunakan

gelombang ultrasonik untuk mendeteksi posisi magnet permanen.
Sensor beroperasi seperti sebuah jembatan Wheatstone magnetik
mengukur kondisi non magnetik simetris seperti ketika gigi atau pin
bergerak di depan sensor. Pemasangan sensor dan magnet sangat
penting, sehingga sudut antara sumbu simetri sensor dan bahwa dari

35
 roda bergigi harus tetap mendekati nol. Selanjutnya, kedua sumbu
(sensor dan roda itu) harus sesuai. Rangkaian (Gambar 2.22B)
menghubungkan kedua output jembatan ke amplifier yang sesuai dan,
selanjutnya, untuk low-pass filter dan Schmitt memicu untuk membentuk
[Link] perbedaan keluaran persegi panjang antara kedua output
(Gambar 2.23Aand 2.23B) adalah indikasi arah rotasi.

4.6 Detektor Magnetostrictive

Sebuah transduser yang dapat mengukur perpindahan dengan
resolusi tinggi melintasi jarak jauh dapat dibangun dengan menggunakan
teknologi magnetostrictive dan ultrasonik. Transduser ini terdiri dari dua
bagian utama: Waveguide panjang (hingga 7 m panjang) dan cincin
magnet permanen (Gambar 2.24). Magnet dapat bergerak bebas
sepanjang Waveguide tanpa menyentuhnya. Sebuah posisi magnet yang
adalah stimulus yang diubah oleh sensor menjadi sinyal output listrik.
Waveguide berisi sebuah konduktor yang, setelah menerapkan pulsa
listrik, membuat sebuah medan magnet atas seluruh panjang. Lain
medan magnet yang dihasilkan oleh magnet permanen hanya ada di
sekitarnya. Jadi, dua medan magnet dapat setup di titik di mana magnet
permanen berada. Sebuah superposisi dari dua hasil field dalam medan
magnet bersih, yang dapat ditemukan dari penjumlahan vektor. Bidang ini
bersih, meskipun spiral terbentuk di sekitar Waveguide, menyebabkannya
mengalami regangan torsi menit, atau twist di lokasi magnet. Putar ini
dikenal sebagai efek theWiedemann.
Oleh karena itu, pulsa listrik konduktor koaksial disuntikkan ke
Waveguide ini menghasilkan pulsa sentuhan mekanis yang merambat
sepanjang Waveguide dengan kecepatan tertentu suara untuk
materialnya. Ketika pulsa tiba di kepala eksitasi sensor, saat
kedatangannya justru diukur. Salah satu cara untuk mendeteksi pulsa itu
adalah dengan menggunakan detektor yang dapat mengkonversi kedutan
ultrasonik menjadi output listrik. Hal ini dapat dicapai dengan sensor
piezoelektrik atau, seperti yang ditunjukkan pada Gambar. 2.24, oleh
sensor magnetik keengganan. Sensor ini terdiri dari dua kumparan kecil
diposisikan dekat dua magnet permanen. Kumparan secara fisik
digabungkan ke Waveguide dan dapat brengsek kapan Waveguide

36
 pengalaman kedutan itu. Ini set pulsa listrik sampai pendek di kumparan.
Waktu tunda ini pulsa dari pulsa eksitasi yang sesuai pada konduktor
koaksial adalah ukuran yang tepat dari posisi magnet cincin. Sebuah
sirkuit elektronik yang sesuai mengubah waktu tunda menjadi kode digital
perwakilan posisi dari magnet permanen di Waveguide. Keuntungan dari
sensor ini adalah linearitas yang tinggi (pada orde 0,05% dari skala
penuh), pengulangan yang baik (pada urutan 3 pM), dan stabilitas jangka
panjang. Sensor dapat menahan lingkungan agresif, seperti tekanan
tinggi, suhu tinggi, dan radiasi yang kuat. Keuntungan lain dari sensor ini
adalah suhu rendah sensitivitas yang dengan desain yang cermat dapat
dicapai pada urutan 20 ppm / ◦ C.
Aplikasi dari sensor ini termasuk silinder hidrolik, mesin molding
injeksi-(untuk mengukur perpindahan linier untuk posisi cetakan penjepit,
injeksi bahan cetakan, dan ejeksi dari bagian dibentuk), pertambangan
(untuk deteksi gerakan batu sekecil 25 pM), bergulir pabrik, menekan,
menempa, lift, dan perangkat lain di mana resolusi baik di sepanjang
dimensi yang besar adalah suatu kebutuhan.

5. Optical Sensors
Setelah kontak mekanik dan sensor potentionometric, sensor optik
mungkin yang paling populer untuk mengukur posisi dan perpindahan.
Keuntungan utama mereka adalah kesederhanaan, tidak adanya efek
pembebanan, dan jarak operasi relatif lama. Mereka tidak sensitif
menyimpang medan magnet dan gangguan listrik, yang membuat mereka
sangat cocok untuk aplikasi yang sensitif banyak. Posisi sensor optik
biasanya memerlukan setidaknya tiga komponen penting: sumber
cahaya, photodetektor, dan perangkat bimbingan cahaya, yang mungkin
termasuk lensa, cermin, serat optik, dan sebagainya. Pengaturan serupa
sering dilaksanakan tanpa serat optik ketika cahaya dipandu menuju
sasaran dengan berfokus lensa dan dialihkan kembali ke detektor oleh
reflektor. Produk secara substansial [Link] kompleks dan
canggih saat ini, teknologi ini dasar telah telah berevolusi. Perbaikan ini
bertujuan untuk selektivitas yang lebih baik, kekebalan kebisingan, dan
kehandalan dari sensor optik.

37
5.1 Jembatan Optic
Konsep dari rangkaian jembatan, seperti jembatan Wheatstone
klasik, digunakan di banyak sensor dan sensor optik adalah contoh
yang baik itu. Salah satu penggunaan tersebut ditunjukkan pada
Gambar. 2,25. Sebuah empat kuadran photodetektor terdiri dari
empat detektor cahaya terhubung dalam sirkuit bridgelike. Objek
harus memiliki kontras optik terhadap latar belakang. Pertimbangkan
sebuah sistem posisi pesawat ruang angkasa (Gambar 2.25A).
Sebuah gambar dari Matahari atau benda cukup terang lainnya
difokuskan oleh sebuah sistem optik (teleskop) pada photodetektor
empat kuadran. Bagian kebalikan dari detektor yang terhubung ke
input amplifier yang sesuai dari perbedaan (Gambar 2.25B). Setiap
amplifier menghasilkan sinyal output sebanding dengan perpindahan
gambar dari pusat optik sensor sepanjang sumbu yang sesuai. Ketika
gambar sempurna berpusat, baik amplifier menghasilkan output nol.
Hal ini mungkin terjadi hanya ketika sumbu optik teleskop melewati
objek.

5.2 Kedekatan Detector dengan Cahaya Terpolarisasi

Salah satu metode untuk membangun sebuah sensor
optoelektronik lebih baik adalah dengan menggunakan cahaya
terpolarisasi. Setiap foton cahaya memiliki arah yang spesifik medan
magnet dan listrik tegak lurus satu sama lain dan terhadap arah
propagasi. Arah medan listrik adalah arah dari polarisasi cahaya.
Sebagian besar sumber cahaya menghasilkan cahaya terpolarisasi
dengan foton secara acak. Untuk membuat cahaya terpolarisasi,
dapat diarahkan melalui sebuah filter polarisasi, (yaitu, material
khusus yang memancarkan cahaya terpolarisasi hanya dalam satu
arah dan menyerap dan merefleksikan foton dengan polarisasi yang
salah).

38
Gambar. 2,25. Empat kuadran photodetektor: (A) fokus objek pada
sensor; (B) sambungan dari elemen penginderaan ke amplifier
perbedaan; (C) sensor dalam kemasan. (Dari Lanjutan Photonix, Inc
Camarillo, CA.)

Gambar. 2.26. Melewati cahaya terpolarisasi melalui filter polarisasi:

(A) arah polarisasi adalah sama seperti dari filter; (B) arah polarisasi
diputar sehubungan dengan filter; (C) arah polarisasi tegak lurus
sehubungan dengan filter.

39
Gambar. 2.27. Kedekatan detektor dengan dua filter polarisasi
diposisikan pada sudut 90 ◦ sehubungan dengan satu sama lain: (A)
mengembalikan cahaya terpolarisasi dari objek logam dalam pesawat
yang sama polarisasi; (B) bukan logam depolarizes objek cahaya,
sehingga memungkinkan untuk melewati polarisasi filter.

Namun, setiap arah polarisasi dapat direpresentasikan sebagai

jumlah geometris dua polarisasi ortogonal: Salah satunya adalah yang
sama sebagai filter dan yang lainnya adalah nonpassing. Jadi,
dengan memutar polarisasi cahaya sebelum filter polarisasi, secara
bertahap kami dapat mengubah intensitas cahaya pada output filter
(Gambar 2.26).
Ketika cahaya terpolarisasi pemogokan objek, cahaya yang
dipantulkan dapat mempertahankan polarisasi (refleksi specular) atau
sudut polarisasi dapat berubah. Yang terakhir ini khas untuk benda
non logam banyak. Jadi, untuk membuat sensor tidak sensitif
terhadap objek reflektif (seperti kaleng logam, bungkus foil, dan
sejenisnya), mungkin meliputi dua filter polarisasi posisi tegak lurus:
satu di sumber cahaya dan yang lainnya di detektor (Gambar 2.27A
dan 2.27B). Filter pertama diposisikan pada lensa memancarkan
(sumber cahaya) untuk polarisasi cahaya keluar. Filter kedua adalah
pada lensa penerima (detektor) untuk memungkinkan bagian hanya
komponen cahaya yang memiliki rotasi 90° sehubungan dengan
polarisasi keluar. Setiap kali cahaya dipantulkan dari sebuah reflektor
specular, arah polarisasi tidak berubah dan filter penerima tidak akan
membiarkan cahaya untuk lolos ke photodetektor. Namun, ketika
cahaya dipantulkan dengan cara specular rokok, komponen-
komponennya akan berisi jumlah yang cukup untuk pergi melalui
polarisasi filter menerima dan mengaktifkan detektor. Oleh karena itu,
penggunaan polarizer mengurangi positif palsu deteksi benda bukan
logam.

40
 Gambar.2.28. Optical cair-tingkat deteksi memanfaatkan perubahan
dalam indeks bias.

5.3 Fiber-Optic Sensors

Serat optik sensor dapat digunakan cukup efektif sebagai detektor
kedekatan dan tingkat. Salah satu contoh sensor perpindahan, di
mana intensitas cahaya yang dipantulkan dimodulasi oleh jarak d ke
permukaan reflektif.
Sebuah detektor cair-tingkat (lihat juga Bagian 7.8.3) dengan dua
serat dan prisma ditunjukkan pada Gambar. 2.28. Ini menggunakan
perbedaan antara indeks bias dari udara (atau fase gas material) dan
cairan yang diukur. Ketika sensor di atas permukaan cairan, serat
transmisi (di sebelah kiri) mengirimkan sebagian besar cahaya untuk
serat penerima (di sebelah kanan) karena refleksi internal total dalam
prisma. Namun, beberapa sinar cahaya mendekati permukaan prisma
reflektif pada sudut kurang dari sudut refleksi internal total hilang ke
lingkungan. Ketika prisma mencapai tingkat cair, sudut dari total
perubahan refleksi internal karena indeks bias cairan adalah lebih
tinggi dari udara. Hal ini mengakibatkan kerugian jauh lebih besar
pada intensitas cahaya, yang dapat dideteksi di ujung lainnya dari
serat penerima. Intensitas cahaya diubah menjadi sinyal listrik oleh
photodetektor yang tepat. Versi lain dari sensor ditunjukkan pada
Gambar. 2.29, yang menunjukkan sensor dibuat oleh Sensor Gems
(Plainville, CT). Serat berbentuk U, dan setelah dicelupkan ke dalam
cairan, itu memodulasi intensitas cahaya yang lewat. Detektor

41
 memiliki dua daerah sensitif di dekat tikungan, di mana jari-jari
kelengkungan adalah yang terkecil. Perakitan seluruh dikemas ke
probe 5-mm diameter dan memiliki pengulangan kesalahan sekitar
0,5 mm. Perhatikan bahwa bentuk dari elemen penginderaan menarik
tetesan cair jauh dari daerah penginderaan ketika probe tinggi di atas
tingkat cair.

5.4 Fabry–Perot Sensors

Untuk mengukur pergeseran kecil dengan presisi tinggi dalam
lingkungan yang keras, yang disebut rongga Fabry-Perot optik dapat
rongga employed. Berisi dua cermin semireflective saling berhadapan
dan dipisahkan oleh jarak L (Gambar 2.30A). Rongga disuntikkan
dengan cahaya dari sebuah sumber yang dikenal (laser, misalnya)
dan foton di dalam rongga memantul bolak-balik antara dua cermin,
mengganggu satu sama lain dalam proses. Bahkan, rongga adalah
tangki penyimpanan untuk cahaya. Pada beberapa frekuensi foton,
cahaya dapat keluar dari rongga. Sebuah interferometer Fabry-Perot
filter pada dasarnya frekuensi transmisi frekuensi yang sangat erat
terkait dengan panjang rongga (Gambar 2.30B). Sebagai perubahan
panjang rongga, frekuensi di mana ia mentransmisikan mengubah
cahaya sesuai. Jika Anda membuat salah satu cermin bergerak,
dengan memantau frekuensi transmisi optik, perubahan sangat kecil
dalam rongga panjang dapat diselesaikan. Band sempit cahaya yang
ditransmisikan yang dipisahkan oleh frekuensi yang berbanding
terbalik dengan panjang rongga:

dimana c adalah kecepatan cahaya. Untuk rongga praktis dengan

pemisahan cermin di urutan 1 Î ¼ m, nilai-nilai khas Î ½ adalah antara
500 MHz dan 1 GHz. Jadi, dengan mendeteksi pergeseran frekuensi
dari cahaya yang ditransmisikan sehubungan dengan sumber cahaya
referensi, perubahan dalam rongga dimensi dapat diukur dengan
akurasi yang sebanding dengan panjang gelombang cahaya. Apapun
dapat menyebabkan perubahan dalam dimensi rongga (gerakan

42
cermin) mungkin menjadi subyek pengukuran. Ini termasuk regangan,
gaya, tekanan, dan suhu.

Gambar. 2.29. U-berbentuk serat optik cair-tingkat sensor: (A) Ketika

sensor berada di atas tingkat cair, cahaya pada output terkuat; (B)
ketika cairan daerah sensitif sentuhan, cahaya disebarkan melalui
tetes serat.

Sensor rongga Fabry-berbasis Perot telah banyak digunakan

untuk fleksibilitas mereka, misalnya, mereka telah digunakan untuk
merasakan baik tekanan dan temperatur [7-10]. Semacam ini sensor
mendeteksi perubahan panjang jalur optik yang disebabkan oleh
salah satu perubahan dalam indeks bias atau perubahan panjang fisik
rongga. Teknik micromachining membuat Fabry-Perot sensor lebih
menarik dengan mengurangi ukuran dan biaya dari elemen
penginderaan. Keuntungan lain dari sensor Fabry-Perot miniatur
adalah bahwa sumber cahaya rendah koherensi, seperti cahaya-
emitting diode (LED) atau bahkan cahaya umbi, dapat digunakan
untuk menghasilkan sinyal interferometric.

43
Gambar. 2.30. (A) Beberapa sinar-gangguan di dalam rongga Fabry-Perot;
(B) frekuensi cahaya ditransmisikan.

Sebuah sensor tekanan dengan rongga Fabry-Perot ditunjukkan

pada Gambar. 2.31A. Tekanan diterapkan ke membran atas. Di
bawah tekanan, diafragma mengalihkan hati, sehingga mengurangi
rongga rongga L. dimensi ini dibangun oleh teknologi monolithically
micromachined dan cermin dapat berupa lapisan dielektrik atau
lapisan logam diendapkan atau menguap selama proses manufaktur.
Ketebalan lapisan masing-masing harus dikontrol ketat untuk
mencapai target kinerja sensor. Tekanan ultraminiature sensor
diproduksi oleh FISO Technologies ([Link]) ditunjukkan pada
Gambar. 2.31B. Sensor ini memiliki koefisien temperatur yang sangat
kecil dari sensitivitas (<0,03%) dan memiliki diameter luar 0,55 mm,
yang membuatnya ideal untuk aplikasi kritis seperti dalam perangkat
medis implan dan instrumen invasif lainnya.

44
Gambar. 2.31. Pembangunan sensor tekanan Fabry-Perot (A) dan
pandangan FISO FOP-M sensor tekanan (B).

Sistem Ameasuring untuk sensor Fabry-Perot ditunjukkan pada

Gambar. 2.32. Cahaya dari sumber cahaya putih ditambah melalui
splitter 2 2 × untuk serat optik yang, pada gilirannya, terhubung ke
sensor. Sensor berisi rongga Fabry-Perot interferometer (FPI) dan
mencerminkan kembali cahaya pada panjang gelombang
berhubungan dengan ukuran rongga. Sekarang, tugas ini adalah
untuk mengukur pergeseran panjang gelombang. Hal ini dicapai oleh
correlator lintas cahaya putih yang berisi irisan Fabry-Perot. Baji, pada
dasarnya, adalah sebuah rongga dimensi linear variabel. Tergantung
dari panjang gelombang yang diterima, lewat cahaya hanya pada
lokasi tertentu dari baji. Posisi cahaya keluar di baji dapat dideteksi
oleh detektor posisi-sensitif (PSD) yang dijelaskan secara rinci dalam
Bagian 7.5.6. Output dari detektor langsung berhubungan dengan
stimulus masukan diterapkan pada sensor FPI.
Metode penginderaan memiliki keuntungan dari ketidakpekaan,
respon linier dengan intensitas cahaya yang dihasilkan dari sumber
cahaya atau transmisi serat, fleksibilitas untuk mengukur rangsangan
yang berbeda dengan instrumen yang sama, rentang dinamis yang
lebar (1: 15.000), dan resolusi tinggi. Selain itu, serat optik sensor
elektromagnetik kebal terhadap banyak dan interferensi frekuensi
radio (EMI dan RFI) dan dapat beroperasi andal dalam lingkungan
yang keras tanpa efek samping. Sebagai contoh, sebuah sensor FPI
dapat berfungsi di dalam oven microwave.

45
 Gambar. 2.32. Mengukur sistem untuk sensor Fabry-Perot. (Courtesy
of [Link].)

5.5 Grating Sensors

Sebuah transduser perpindahan optik dapat dibuat dengan dua
kisi-kisi tumpang tindih yang berfungsi sebagai modulator cahaya
intensitas (Gambar 2.33A). Sinar percontohan masuk pemogokan
kisi-kisi, pertama stasioner yang memungkinkan hanya sekitar 50%
cahaya untuk lulus ke kisi-kisi, kedua bergerak. Ketika sektor buram
kisi-kisi yang bergerak tepat sesuai dengan sektor transmisi kisi-kisi
stasioner, cahaya akan benar-benar redup keluar. Oleh karena itu,
intensitas cahaya sinar transmisi dapat dimodulasi dari 0% sampai
50% dari berkas percontohan (Gambar 7.33B). Sinar ditransmisikan
difokuskan pada permukaan sensitif dari photodetektor, yang
mengkonversi cahaya menjadi arus listrik.
Perpindahan skala penuh sama dengan ukuran sektor (atau jelas)
buram. Ada trade-off antara jangkauan dinamis dari modulator dan
sensitivitas, yaitu, untuk lapangan besar kisi-kisi (ukuran besar sektor
transparan dan opak), sensitivitas rendah, namun, perpindahan skala
penuh besar. Untuk sensitivitas yang lebih tinggi, pitch kisi dapat
dibuat sangat kecil, sehingga gerakan menit dari kisi-kisi akan
menghasilkan sinyal keluaran yang besar. Jenis modulasi yang
digunakan pada hidrofon sensitif untuk merasakan perpindahan dari
diafragma. Lemparan kisi adalah 10 pM, yang berarti bahwa

46
perpindahan skala penuh adalah 5 pM. Sumber cahaya adalah 2-mW
Dia-Ne laser yang cahaya digabungkan ke kisi-kisi melalui serat optik.
Uji hidrofon telah menunjukkan bahwa perangkat ini sensitif dengan
rentang dinamis dari 125 dB tekanan sebagai direferensikan 1 μPa,
dengan respon frekuensi sampai 1 kHz.

Gambar. 2.33. Perpindahan optik sensor dengan modulasi kisi

cahaya: (A) skema; (B) fungsi transfer.

Suatu prinsip modulasi kisi cahaya digunakan dalam berputar

sangat populer atau encoders linier, di mana masker bergerak
(biasanya dibuat dalam bentuk disk) memiliki bagian-bagian
transparan dan opak (Gambar 2.34).
Fungsi pengkodean disk sebagai suatu interrupter balok cahaya
dalam sebuah optocoupler, yaitu ketika bagian buram dari disk
istirahat sinar, detektor dimatikan (digital menunjukkan ZERO), dan
ketika cahaya melewati bagian transparan, detektor adalah pada
(digital menunjukkan SATU). Encoders optik biasanya menggunakan
emitter inframerah dan detektor yang beroperasi di rentang spektral
820-940 nm. Disk yang terbuat dari plastik laminasi dan garis-garis
buram yang dihasilkan oleh proses fotografi. Disk ini ringan, memiliki
inersia yang rendah dan biaya rendah dan menunjukkan ketahanan
yang sangat baik untuk shock dan getaran. Namun, mereka memiliki
rentang suhu operasi terbatas. Disk untuk rentang suhu yang lebih
luas yang dibuat dari logam terukir.

47
Gambar. 2.34. Incremental (A) dan mutlak (B) disk optik pengkodean.
Ketika roda berputar searah jarum jam (CW), saluran sinyal mengarah
b oleh 90 ◦ (C); ketika roda berputar berlawanan arah jarum (CCW),
saluran b sinyal memimpin dengan 90 ◦ (D).
Ada dua jenis disket pengkodean: incremental, yang
menghasilkan transien setiap kali diputar untuk sudut pitch, dan
absolut, yang sudut posisi dikodekan dalam kombinasi daerah buram
dan transparan di sepanjang jari-jari. Encoding dapat didasarkan pada
setiap kode digital yang nyaman. Yang paling umum adalah kode
abu-abu, biner, dan BCD (desimal kode biner).
Sistem pengkodean inkremental lebih sering digunakan daripada
sistem mutlak, karena biaya yang lebih rendah dan kompleksitas,
terutama dalam aplikasi di mana jumlah yang diinginkan, bukan
posisi. Ketika menggunakan disk pengkodean inkremental,
penginderaan dasar gerakan dapat dibuat dengan saluran optik
tunggal (sebuah pasangan emitor-detektor), sedangkan kecepatan
dan posisi tambahan dan penginderaan arah harus menggunakan
dua. Pendekatan yang paling umum digunakan adalah penginderaan
kuadratur, di mana posisi relatif dari sinyal output dari dua saluran
optik dibandingkan. Perbandingan memberikan informasi arah, dan

48
 salah satu saluran individu memberikan sinyal transisi digunakan
untuk menurunkan baik menghitung atau kecepatan informasi
(Gambar 2.31C dan 2.31D).

5.6 Linear Optical Sensors (PSD)

Untuk pengukuran presisi posisi atas rentang pendek dan jangka
panjang, sistem optik yang beroperasi di dekat inframerah dapat cukup
efektif. Contohnya adalah detektor posisi-sensitif (PSD) diproduksi untuk
posisi presisi sensing dan autofocusing kamera fotografi dan video. Posisi
modul pengukuran dari tipe aktif: Ini menggabungkan light emitting diode
(LED) dan PSD photodetective. Posisi obyek ditentukan dengan
menerapkan prinsip pengukuran segitiga. Gambar 7.35 menunjukkan
bahwa dekat-inframerah LED melalui lensa kolimator menghasilkan sinar
sudut sempit (<2 ◦). Balok adalah pulsa 0,7 ms-lebar. Pada mencolok
objek, balok dipantulkan kembali ke detektor. Cahaya yang diterima
rendah intensitas difokuskan pada permukaan sensitif dari PSD. PSD
kemudian menghasilkan sinyal output (arus IB dan IA), yang sebanding
dengan x jarak titik cahaya pada permukaannya, dari posisi sentral.
Intensitas sinar yang diterima sangat tergantung pada sifat reflektif dari
sebuah objek. Reflektivitas difusif dalam kisaran spektral inframerah
dekat-dekat dengan yang di kisaran terlihat, maka, intensitas cahaya
pada insiden PSD memiliki banyak variasi. Namun demikian, keakuratan
pengukuran sangat sedikit tergantung pada intensitas cahaya yang
diterima.

Gambar. 2.35. PSD Sensor mengukur jarak dengan menerapkan prinsip

segitiga.

49
 APSD beroperasi pada prinsip photoeffect. Itu membuat
penggunaan resistensi permukaan fotodioda silikon. Tidak seperti MOS
dan mengintegrasikan sensor CCD array multielement dioda, PSD
memiliki daerah sensitif nondiscrete. Ini memberikan sinyal posisi satu-
dimensi atau dua dimensi pada sebuah titik cahaya perjalanan selama
[Link] sensitif yang dibuat dari sepotong resistensi tinggi silikon
dengan dua lapisan (p dan n + jenis) yang dibangun di sisi berlawanan
(Gbr. 2.36). AonE-dimensi sensor memiliki dua elektroda (A dan B) yang
terbentuk pada lapisan atas untuk memberikan kontak listrik untuk
perlawanan tipe-p. Ada elektroda umum (C) di tengah-tengah lapisan
bawah. Efek fotolistrik terjadi di persimpangan pn atas. Jarak antara dua
elektroda atas ISD, dan resistensi yang sesuai antara kedua elektroda
RD.

Gambar. 2.36. Desain PSD satu dimensi.

Mari kita berasumsi bahwa kejadian pemogokan permukaan balok

pada x jarak dari elektroda A. Lalu, perlawanan yang sesuai antara yang
elektroda dan titik masing-masing insiden, Rx. Para I0 fotolistrik saat ini
diproduksi oleh balok sebanding dengan intensitasnya. Arus yang akan
mengalir ke kedua output (A dan B) dari sensor dalam proporsi yang
sesuai dengan resistensi dan, karena itu, untuk jarak antara titik kejadian
dan elektroda:

50
Jika resistensi dibandingkan jarak adalah linear, mereka dapat digantikan
dengan jarak masing-masing di permukaan:

Untuk menghilangkan ketergantungan arus fotolistrik (dan intensitas

cahaya), kita dapat menggunakan teknik ratiometric, yaitu, kita mengambil
rasio dari arus,

yang kita dapat menulis ulang untuk nilai dari x:

Gambar 2.35 menunjukkan hubungan geometris antara berbagai jarak

dalam sistem pengukuran. Pemecahan dua segitiga untuk L0 hasil

dimana f adalah jarak fokus lensa penerima. Dengan mensubstitusikan

Persamaan. (7.12) kita memperoleh jarak dalam hal rasio lancar:

di mana k adalah konstanta geometris disebut modul. Oleh karena itu,

jarak dari modul untuk objek linear mempengaruhi rasio arus output PSD.

51
Gambar. 2.37. Optical sensor perpindahan posisi (Dari Keyence Corp of
America, Fair Lawn, NJ.)
Sebuah prinsip operasi serupa diimplementasikan dalam sebuah sensor
perpindahan industri optik (Gambar 2.37) di mana PSD digunakan untuk
pengukuran pergeseran kecil pada jarak operasi beberapa sentimeter.
Sensor optik tersebut sangat efisien untuk on-line pengukuran ketinggian
dari perangkat (papan sirkuit tercetak inspeksi, cairan dan padatan-tingkat
pengendalian, laser kontrol obor tinggi, dll), untuk pengukuran
eksentrisitas benda berputar , untuk ketebalan dan pengukuran presisi
perpindahan, untuk mendeteksi ada atau tidak adanya obyek (obat tutup
botol), dan sebagainya. Sebuah keuntungan besar dari sebuah sensor
perpindahan optik dengan PSD adalah bahwa keakuratan mungkin jauh
lebih besar daripada keakuratan PSD itu sendiri.
52
 Unsur-unsur PSD diproduksi dari dua tipe dasar: satu dan dua
dimensi. Setara sirkuit kedua ditunjukkan pada Gambar. 2.38. Karena
rangkaian ekivalen memiliki kapasitansi didistribusikan dan resistansi,
konstanta waktu PSD bervariasi tergantung pada posisi titik cahaya.
Dalam menanggapi sebuah fungsi langkah input, PSD kecil daerah
memiliki waktu naik di kisaran 1-2 mikrodetik. Respon spektral adalah
sekitar 320-1100 nm, yaitu PSD meliputi ultraviolet (UV), terlihat, dan
rentang spektral nearinfrared. PSDS kecil area satu-dimensi memiliki
permukaan sensitif mulai dari 1 × 2 sampai 1 × 12 mm, sedangkan area
yang luas-dua-dimensi sensor memiliki area persegi dengan sisi berkisar
4-27 mm.

6. Sensors Ultrasonic
Untuk pengukuran jarak noncontact, sebuah sensor aktif yang
mengirimkan semacam sinyal pilot dan menerima sinyal yang dipantulkan
dapat dirancang. Energi dapat ditransmisikan dalam bentuk apapun
radiasi elektromagnetik-misalnya, elektromagnetik dalam rentang optik
(seperti dalam sebuah PSD) di kisaran microwave, akustik, dan
sebagainya. Transmisi dan penerimaan dari energi ultrasonik merupakan
dasar untuk yang sangat populer jarak ultrasonik meter, dan detektor
kecepatan. Gelombang ultrasonik adalah gelombang akustik mekanis
meliputi rentang frekuensi baik di luar kemampuan telinga manusia (yaitu,
lebih dari 20 kHz). Namun, frekuensi ini mungkin cukup perseptif oleh
hewan yang lebih kecil, seperti anjing, kucing, tikus, dan serangga.
Memang, detektor ultrasonik adalah perangkat mulai biologis untuk
kelelawar dan lumba-lumba.
Ketika gelombang insiden pada objek, bagian dari energi mereka
adalah tercermin. Dalam banyak kasus praktis, energi ultrasonik
tercermin dalam cara difus, yaitu, terlepas dari arah dari mana energi
berasal, hal ini tercermin hampir seragam dalam sudut padat yang luas,
yang dapat mendekati 180 ◦. Jika objek bergerak, frekuensi dari
gelombang yang dipantulkan akan berbeda dari gelombang yang
ditransmisikan. Ini disebut efek Doppler.

53
Gambar. 2.38. Setara sirkuit untuk (A) satu-dan (B) dua-dimensi posisi-
sensitif detektor. (Courtesy of Hamamatsu Photonics K.K., Jepang.)

Para L0 jarak ke objek dapat dihitung melalui v kecepatan

gelombang ultrasonik di media, dan sudut, K (Gambar 7.39A):

di mana t adalah waktu untuk gelombang ultrasonik untuk melakukan

perjalanan ke objek dan kembali ke penerima. Jika pemancar dan
penerima diposisikan dekat satu sama lain dibandingkan dengan jarak ke
objek, kemudian cosK ≈ 1. Gelombang ultrasonik memiliki keuntungan
yang jelas atas microwave: mereka merambat dengan kecepatan suara,
yang jauh lebih lambat daripada kecepatan cahaya di mana gelombang
mikro merambat. Jadi, t waktu lebih lama dan pengukuran yang dapat
dicapai lebih mudah dan lebih murah.

54
 Gambar. 2.39. Jarak ultrasonik pengukuran: (A) pengaturan dasar; (B)
impedansi karakteristik transduser piezoelektrik.

Untuk menghasilkan satu pun gelombang mekanik, termasuk

ultrasonik, gerakan permukaan diperlukan. Gerakan ini menciptakan
kompresi dan ekspansi medium, yang dapat gas (udara), cairan, atau
padatan. Jenis yang paling umum perangkat yang dapat menghasilkan
eksitasi gerakan permukaan dalam kisaran ultrasonik transduser
piezoelektrik yang beroperasi dalam modus bermotor yang disebut.
Namanya bahwa perangkat piezoelektrik langsung mengubah energi
listrik menjadi energi mekanik.
Gambar 2.40A menunjukkan bahwa tegangan input yang
diterapkan ke elemen keramik menyebabkannya untuk flex dan
mengirimkan gelombang ultrasonik. Karena piezoelektrik adalah
fenomena reversibel, keramik menghasilkan tegangan ketika gelombang
ultrasonik masuk fleksibel itu. Dengan kata lain, elemen dapat bekerja
baik sebagai pemancar dan penerima (mikrofon). Frekuensi operasi khas
dari elemen piezoelektrik transmisi sudah dekat 32 kHz. Untuk efisiensi
yang lebih baik, frekuensi dari osilator mengemudi harus disesuaikan
dengan frekuensi resonansi fr keramik piezoelektrik (Gambar 2.39B),
dimana sensitivitas dan efisiensi elemen yang terbaik. Ketika rangkaian
pengukuran beroperasi dalam mode berdenyut, elemen piezoelektrik
yang sama digunakan untuk kedua transmisi dan menerima. Ketika
55
sistem membutuhkan transmisi terus menerus gelombang ultrasonik,
elemen piezoelektrik terpisah digunakan untuk pemancar dan penerima.
Sebuah desain khas sensor udara-operasi ditunjukkan dalam Gambar.
2.40B dan 2.41A. Diagram sensitivitas directional (Gambar 2.41B) adalah
penting untuk aplikasi tertentu. Diagram sempit, transduser lebih sensitif
tersebut.

Gambar. 2.40. Transduser ultrasonik piezoelektrik: (A) masukan tegangan

elemen fleksi dan mengirimkan gelombang ultrasonik, sedangkan
gelombang masuk menghasilkan tegangan output; (B) buka-bukaan jenis
transduser ultrasonik untuk operasi di udara. (Courtesy of Nippon
Keramik, Jepang.)

Gambar. 2.41. (A) ultrasonik transduser untuk udara. (B) Diagram terarah.

56
7. Radar Sensors

7.1 Micropower Impulse Radar

Pada tahun 1993, Lawrence Livermore National Laboratory telah
mengembangkan sebuah radar microPower impuls (MIR), yang
merupakan noncontact murah mulai sensor. Prinsip operasi MIR
adalah dasarnya sama dengan sistem radar konvensional pulsa,
tetapi dengan beberapa perbedaan yang signifikan. MIR (Gambar
7.42) terdiri dari sebuah generator noise yang putih sinyal output
generator pulsa memicu. Generator pulsa menghasilkan pulsa sangat
pendek dengan tingkat rata-rata ± 20% 2MHz. Pulsa masing-masing
memiliki durasi pendek tetap τ, sedangkan pengulangan pulsa ini
adalah acak, menurut memicu oleh generator kebisingan. Pulsa
adalah spasi secara acak terhadap satu sama lain dalam suara
Gaussian-seperti pola. Jarak antara kisaran pulsa 200-625 ns. Dapat
dikatakan bahwa pulsa memiliki modulasi frekuensi pulsa (PKP)
dengan kebisingan putih dengan indeks maksimum 20%. Pada
gilirannya, gelombang persegi pulsa menyebabkan modulasi
amplitudo (AM) dari sebuah pemancar radio. Modulasi memiliki
kedalaman 100%, yaitu pemancar dihidupkan dan dimatikan oleh
pulsa. Seperti modulasi ganda-langkah ini disebut PFM-AM.
Pemancar radio menghasilkan semburan pendek dari tinggi
frekuensi sinyal radio yang merambat dari antena pemancar ke ruang
sekitarnya. Gelombang elektromagnetik mencerminkan dari objek
dan menyebarkan kembali ke radar. Generator yang sama pulsa
yang memodulasi gerbang pemancar (dengan penundaan yang telah
ditentukan) penerima radio untuk mengaktifkan penerimaan dari MIR
hanya selama jendela waktu tertentu. Alasan lain untuk gating
penerima untuk mengurangi konsumsi daya. Pulsa tercermin diterima
dan didemodulasi (bentuk persegi-gelombang dikembalikan dari
sinyal radio), dan waktu tunda sehubungan dengan pulsa
ditransmisikan diukur. Waktu tunda adalah sebanding dengan jarak D
dari antena ke objek dari gelombang radio yang tercermin: td = 2 tr -
1, di mana c adalah kecepatan cahaya.

57
G
ambar. 2.42. Blok diagram dari microPower radar (A) dan diagram
waktu (B)

Frekuensi pembawa (frekuensi tengah) dari pemancar radio baik

1,95 atau 6,5 GHz. Karena pulsa sangat pendek modulasi, bandwidth
perkiraan terpancar sinyal sangat lebar sekitar 500 MHz (untuk
pembawa 1.95-GHz). Distribusi spasial dari energi yang
ditransmisikan ditentukan oleh jenis antena. Untuk antena dipol,
mencakup hampir 360 ◦, tetapi mungkin berbentuk pola yang
diinginkan dengan menggunakan tanduk, reflektor, atau lensa.
Karena pola modulasi terduga, bandwidth lebar, dan kepadatan
spektral rendah dari sinyal yang ditransmisikan, sistem MIR cukup
kebal terhadap penanggulangan dan hampir merupakan
tersembunyi-energi radiasi yang dirasakan oleh penerima
nonsynchronous sebagai kebisingan termal putih.
Siklus rata-rata dari pulsa yang ditransmisikan adalah kecil (<1%).
Karena pulsa spasi secara acak, praktis sejumlah sistem MIR identik
dapat beroperasi dalam ruang yang sama tanpa pembagian frekuensi
(yaitu, mereka bekerja pada frekuensi carrier yang sama dalam

58
 bandwidth yang sama). Ada sedikit kemungkinan bahwa semburan
dari pemancar campur tumpang tindih, dan jika mereka
melakukannya, tingkat gangguan secara signifikan dikurangi dengan
sirkuit rata-rata. Hampir 10.000 pulsa rata-rata yang diterima sebelum
waktu tunda diukur.

Gambar. 2.43. Pencitraan baja beton dengan MIR: (A) unsur internal
dari pelat beton sebelum menuangkan; (B) 3-D direkonstruksi MIR
gambar unsur-unsur tertanam dalam lempengan 30-cm-tebal beton
selesai.

Keuntungan lain dari MIR adalah biaya rendah dan sangat rendah
konsumsi daya dari penerima radio, sekitar 12 μW. Konsumsi daya
total dari sistem MIR seluruh dekat 50 μ[Link] baterai
mungkin kekuatan terus menerus selama beberapa tahun.
Aplikasi untuk kisaran MIR termasuk meter (Gambar 7.43), alarm
intrusi, detektor level, perangkat kendaraan mulai, sistem otomasi,
robotika, peralatan medis, senjata, produk baru, dan bahkan mainan
mana kisaran yang relatif singkat deteksi diperlukan.

7.2 Ground-Penetrating Radar

Teknik sipil, arkeologi, ilmu forensik hanya beberapa contoh dari
banyak aplikasi frekuensi tinggi radar penembus tanah (GPR).
Operasi radar agak klasik: Ini mentransmisikan gelombang radio dan
menerima sinyal yang dipantulkan. Waktu tunda antara sinyal dikirim
dan diterima adalah ukuran jarak ke permukaan yang mencerminkan.

59
Meskipun radar dioperasikan di udara dan ruang memiliki rentang
yang mencapai ribuan kilometer, kisaran GPR paling hanya beberapa
ratus meter. Radar beroperasi pada frekuensi dari 500 MHz sampai
1,5 GHz (noggin Sistem dari Sensor & Software, Inc, Kanada,
[Link]).

Gambar. 2.44. (A) Atenuasi gelombang radio di bahan yang berbeda.

Atenuasi bervariasi dengan frekuensi eksitasi dan jenis bahan. Pada
frekuensi rendah (<1 MHz), redaman terutama dikendalikan oleh
konduktivitas dc. Pada frekuensi tinggi (> 1000 MHz), air adalah
penyerap energi yang kuat. (B) Ketika redaman batas kedalaman
eksplorasi, listrik harus meningkat secara eksponensial dengan
kedalaman.
Gelombang radio tidak menembus jauh melalui tanah, batu, dan
sebagian besar buatan manusia bahan-bahan seperti beton.
Koefisien atenuasi eksponensial, α, terutama ditentukan oleh
konduktivitas listrik bahan.

60
 Dalam bahan seragam yang sederhana, ini biasanya merupakan
faktor dominan. Dalam bahan yang paling, energi juga hilang untuk
hamburan dari variabilitas material dan isi air. Air memiliki dua efek:
Pertama, air yang mengandung ion berkontribusi untuk konduktivitas
massal, dan kedua, molekul air menyerap energi elektromagnetik
pada frekuensi tinggi, biasanya di atas 1000 MHz. Gambar 2.44
menunjukkan bahwa atenuasi bervariasi dengan frekuensi eksitasi
dan material. Jadi, jarak maksimum praktis untuk meningkatkan
bahan kering (Gambar 2.45A). Sebuah contoh dari data yang
disajikan pada monitor radar ditunjukkan pada Gambar. 2.45B.
Menurunkan frekuensi meningkatkan kedalaman eksplorasi
karena pelemahan terutama meningkat dengan frekuensi. Seperti
frekuensi berkurang, Namun, dua aspek fundamental lainnya dari
pengukuran GPR ikut bermain. Pertama, mengurangi hasil frekuensi
pada hilangnya resolusi. Kedua, jika frekuensi terlalu rendah, medan
elektromagnetik perjalanan tidak lagi sebagai gelombang, tetapi
menyebar, yang merupakan bidang elektromagnetik induktif (EM)
atau eddy-saat pengukuran.

61
Gambar. 2.45. (A) maksimum mendalam untuk berbagai bahan; (B)
presentasi grafis dari tempat tidur diukur dalam deposito pasir basah.
(Courtesy of Sensor & Software, Inc, Kanada, [Link].)

62
EVALUASI
1. Jika potensiometer digunakan untuk mengukur sebuah panel yang bergerak
sejauh 0,8 meter, dengan diperlukan perubahan tahanan setiap 0,1 cm. Pada
o
bagian mekanim panel mempunyai sudut putar poros sebesar 250 jika
digerakkan dari posisi awal sampai ke posisi akhir. Kemudian untuk
mendeteksi putaran panel ini digunakan potensiometer yang mempunyai rasio
o
300 pada putaran penuh dan mempunyai 1000 lilitan. Dapatkah hal ini
dilakukan
2. Potensiometer mempunyai rate 150 /1 watt (pada temperatur diatas 65 oC
terjadi kenaikan 10 mW/oC) dan mempunyai tahanan terhadap panas sebesar
30oC/Watt. Dapatkah potensiometer ini digunakan apabila dengan catu daya
10 volt yang di-operasikan pada temperatur ambang 80 oC
3. Buatlah blok diagram untuk menggunakan sensor ultrasonik dengan
jangkauan detektor pada tangki ditentukan dengan kedalaman 5 m. Keluaran
harus 0 saat tangki kosong dan 1000 pada saat tangki penuh.
4. Sebutkan kelemahan potensiometer!
5. Sebutkan keuntungan penggunaan LVDT dan RVDT!

63
 JAWABAN

1. Jika potensiometer digunakan untuk mengukur sebuah panel yang bergerak

sejauh 0,8 meter, dengan diperlukan perubahan tahanan setiap 0,1 cm. Pada
o
bagian mekanim panel mempunyai sudut putar poros sebesar 250 jika
digerakkan dari posisi awal sampai ke posisi akhir. Kemudian untuk
mendeteksi putaran panel ini digunakan potensiometer yang mempunyai
o
rasio 300 pada putaran penuh dan mempunyai 1000 lilitan. Dapatkah hal
ini dilakukan.
Poros mempunyai jangkauan : 250 o /0,8m =0,3125 o /m
Atau : 3,125 o /cm
Resolosi 0,1 cm pada panel adalah : 0,1 cm x 3,125 o /cm = 0,3125 o
Potensiometer mempunyai resolusi sebesar : 300 o /1000 = 0,300 o
Oleh karena itu potensiometer dapat mendeteksi setiap perubahan sebesar
0,300 o yang lebih baik dari yang dikehendaki yaitu sebesar 0,3125 o
2. Potensiometer mempunyai rate 150 /1 watt (pada temperatur diatas 65 oC
terjadi kenaikan 10 mW/oC) dan mempunyai tahanan terhadap panas sebesar
30oC/Watt. Dapatkah potensiometer ini digunakan apabila dengan catu daya
10 volt yang di-operasikan pada temperatur ambang 80 oC.
Disipasi daya pada potensiometer adalah :
P = E2/R = (10 V)2/150  = 667 mW
Temperatur pada potensiometer tergantung pada temperatur ambang dan
kenaikan temperatur disebabkan oleh daya disipasi pada potensiometer, yaitu
:
Tpot = Tambang + P
= 80 oC + (667 mW)(30oC/W)
= 100oC
Daya disipasi yang diperbolehkan harus dikurangi dengan 10 mW tiap derajat
diatas 65 o C, yaitu :
Pboleh = P rate – (Tpot – 65 oC)(10mW/oC)
= (1 W – (100 oC – 65 oC)(10mW/oC)
= 650 mW
3. Buatlah blok diagram untuk menggunakan sensor ultrasonik dengan
jangkauan detektor pada tangki ditentukan dengan kedalaman 5 m. Keluaran
harus 0 saat tangki kosong dan 1000 pada saat tangki penuh.
64
4. Sebutkan kelemahan potensiometer!
 Terlihat mekanik beban (gesekan)
 Perlu untuk kopling fisik dengan objek
 kecepatan rendah
 Gesekan dan tegangan eksitasi penyebab pemanasan potensiometer
 Rendah stabilitas lingkungan
5. Sebutkan keuntungan penggunaan LVDT dan RVDT!
Keuntungan dari LVDT dan RVDT adalah sebagai berikut: (1) Sensor adalah
perangkat noncontact dengan perlawanan gesekan tidak ada atau sangat
kecil dengan kekuatan resistif kecil; (2) hystereses (magnet dan mekanik)
dapat diabaikan; (3) impedansi output sangat rendah; (4) ada kerentanan
rendah untuk kebisingan dan gangguan; (5) konstruksi solid dan kuat, (6)
resolusi sangat kecil adalah mungkin.

65
 SENSOR GAYA

Berfungsi untuk mengubah gaya, beban, torsi dan regangan menjadi

resistansi/hambatan.

STRAIN GAGE
Sensor ini terbuat dari kawat tahanan tipis berdiameter sekitar 1 mm.
Kawat tahanan yang biasa digunakan adalah campuran dari bahan konstantan
(60 % Cu dan 40 % Ni).
Kawat tahanan ini dilekatkan pada papan penyangga membentuk strain
gage dengan tipe-tipe:
1. Bonded strain gage

Susunan kawat tahanan di dalamnya berliku-liku sehingga

memudahkan pendeteksian terhadap gaya tekanan yang tegak lurus
dengan arah panjang lipatan kawat, karena tekanan akan menarik
kabel sehingga meregang. Dengan meregannya starin gage, maka
terjadi perubahan resistansi kawat.

2. Unbonded strain gage

Jenis strain gage yang dibentuk dengan kawat tahanan yang
terpasang lurus dan simetris. Jika papan atau rangka mendapat
tekanan dari luar, maka resistansinya akan bertambah.

66
Konstruksi strain gage :

Strain gage dipasang/ditempelkan pada logam yang lentur yang

dengan permukaan yang rata agar saat logam meregang strain gage juga
ikut meregang tetapi tidak bergeser dar posisinya. Dengan
melengkungnya besi/logam membuat strain gage melengkung
juga/meregang sehingga resistansinya berubah.

67
PIEZOELECTRIC FORCE SENSORS
Meskipun sensor taktil yang menggunakan efek piezoelektrik
seperti yang dijelaskan sebelumnya tidak dimaksudkan untuk pengukuran
presisi kekuatan, efek yang sama dapat digunakan cukup efisien untuk
pengukuran presisi. Efek piezoelektrik dapat digunakan dalam sensor
gaya, baik pasif dan aktif. Harus diingat, bagaimanapun, bahwa efek
piezoelektrik, sehingga untuk berbicara, efek ac. Dengan kata lain, dapat
mengkonversi kekuatan berubah menjadi sinyal listrik berubah,
sedangkan kekuatan mapan tidak menghasilkan respons listrik. Namun,
gaya dapat mengubah beberapa sifat bahan yang akan mempengaruhi
respon ac piezoelektrik saat sensor disediakan oleh sinyal eksitasi yang
aktif. Salah satu contoh pendekatan aktif ditunjukkan pada Gambar. 9.4.
Namun, untuk pengukuran kuantitatif, gaya yang diberikan harus terkait
dengan resonansi mekanik dari kristal piezoelektrik. Ide dasar dibalik
operasi sensor adalah bahwa pemotongan tertentu dari kristal kuarsa, bila
digunakan sebagai resonator dalam osilator elektronik, menggeser
frekuensi resonansi mekanis pada yang dimuat. Persamaan
menggambarkan spektrum frekuensi alami mekanik dari osilator
piezoelektrik diberikan oleh

dimana n adalah jumlah harmonik, l adalah dimensi resonansi

menentukan (misalnya, ketebalan pelat tipis yang relatif besar atau
panjang batang yang panjang dan tipis), c adalah konstanta kekakuan
elastis yang efektif (misalnya, kekakuan geser konstan dalam arah
ketebalan pelat atau modulus Young dalam kasus batang tipis), dan ρ
adalah densitas dari bahan kristal.
Pergeseran frekuensi diinduksi oleh kekuatan eksternal adalah
karena efek nonlinier dalam kristal. Dalam persamaan di atas, perubahan
kekakuan konstanta c sedikit dengan tegangan. Efek dari tekanan pada
dimensi (strain) atau kepadatan dapat diabaikan. Sensitivitas minimal
untuk kekuatan eksternal dapat terjadi ketika dimensi diperas sejajar
dalam arah tertentu untuk memotong diberikan. Arah ini biasanya dipilih
ketika osilator kristal yang dirancang, karena stabilitas mekanik mereka

68
adalah penting. Namun, dalam aplikasi sensor, tujuannya adalah justru
sebaliknya. Sebagai contoh, kekuatan diametral telah digunakan untuk
transduser tekanan tinggi-kinerja (Gambar 3.12).
Lain desain sebuah sensor yang mengoperasikan lebih dari
kisaran yang relatif sempit 0-1,5 kg tetapi dengan linearitas yang baik dan
lebih dari 11-bit resolusi yang ditunjukkan pada Gambar. 3.12. Untuk
membuat sensor, piring persegi panjang dipotong dari kristal seperti itu
hanya satu sisi yang sejajar dengan sumbu x, dan wajah piring dipotong
pada sudut sekitar K = 35 ◦ sehubungan dengan sumbu z. Potongan ini
umumnya dikenal sebagai plat potongan AT (Gambar 3.13A).

Gambar. 3.12. Sebuah disk piezoelektrik resonator sebagai kekuatan

sensor diametral.

Plat diberikan elektroda permukaan untuk memanfaatkan efek

piezoelektrik, yang terhubung dalam umpan balik positif dari osilator
(Gambar 3.13B). Sebuah kristal kuarsa berosilasi pada frekuensi dasar f0
(diturunkan) yang menggeser pada loading oleh

di mana F adalah gaya yang diterapkan, K adalah sebuah konstanta, n

adalah jumlah modus nada, dan l adalah ukuran kristal. Untuk
mengkompensasi variasi frekuensi karena efek suhu, kristal ganda dapat
digunakan, di mana satu setengah digunakan untuk kompensasi suhu.
Setiap resonator dihubungkan ke rangkaian berosilasi sendiri dan
frekuensi yang dihasilkan dikurangi, sehingga meniadakan efek suhu.
Sebuah sensor kekuatan komersial ditunjukkan pada Gambar. 9.13C.

69
Gambar. 3.13. Kuarsa sensor gaya: (A) AT-potongan kristal kuarsa; (B)
struktur sensor; (C) penampilan luar. (Courtesy of Quartzcell, Santa
Barbara, CA.)

Masalah mendasar dalam semua kekuatan sensor yang

menggunakan resonator kristal didasarkan pada dua tuntutan
mengimbangi. Di satu sisi, resonator harus memiliki faktor kualitas
tertinggi, yang berarti sensor harus dipisahkan dari lingkungan dan
mungkin harus beroperasi dalam ruang hampa. Di sisi lain, penerapan
gaya atau tekanan memerlukan struktur yang relatif kaku dan efek
pembebanan besar osilasi pada kristal, sehingga mengurangi faktor
kualitas.
Kesulitan ini mungkin sebagian diselesaikan dengan
menggunakan struktur sensor yang lebih kompleks. Misalnya, dalam
photolithographically diproduksi ganda dan triple-balok struktur [13,16],
yang disebut "string" konsep digunakan. Idenya adalah untuk
mencocokkan dimensi elemen berosilasi dengan panjang gelombang
seperempat-akustik (1/4λ). Refleksi gelombang Total terjadi pada titik-titik
mendukung melalui mana kekuatan eksternal digabungkan dan efek
loading pada faktor kualitas berkurang secara signifikan.

70
EVALUASI
1. Strain Gage mempunyai panjang 10 cm dan luas penampangnya 4cm2.
Modulus elastisitasnya 20,7x1010 N/m2. Strain gage mempunyai tahanan
nominal 240 dan Gage Faktornya 2,2. Jika diberikan beban maka akan
terjadi perubahan tahanan 0,013. Hitung besarnya perubahan panjang dan
besarnya gaya yang diberikan.
2. Apa sajakah fungsi sensor gaya?
3. Sebutkan berbagai macam konstruksi straingage beserta gambarnya!
4. Gambarkan struktur bounded strain gage!
5. Sebutkan perbedaan bounded dan unbounded strain gage!

71
 JAWABAN

1. Strain Gage mempunyai panjang 10 cm dan luas penampangnya 4cm2.

Modulus elastisitasnya 20,7x1010 N/m2. Strain gage mempunyai tahanan
nominal 240 dan Gage Faktornya 2,2. Jika diberikan beban maka akan
terjadi perubahan tahanan 0,013. Hitung besarnya perubahan panjang dan
besarnya gaya yang diberikan.

2. Apa sajakah fungsi sensor gaya?

Berfungsi untuk mengubah gaya, beban, torsi dan regangan menjadi
resistansi/hambatan.

72
3. Sebutkan berbagai macam konstruksi straingage beserta gambarnya!

4. Gambarkan struktur bounded strain gage!

5. Sebutkan perbedaan bounded dan unbounded strain gage!

Bounded Strain gage:
Susunan kawat tahanan di dalamnya berliku-liku sehingga memudahkan
pendeteksian terhadap gaya tekanan yang tegak lurus dengan arah panjang
lipatan kawat, karena tekanan akan menarik kabel sehingga meregang.
Dengan meregannya starin gage, maka terjadi perubahan resistansi kawat.
Unbounded Strain gage:
Jenis strain gage yang dibentuk dengan kawat tahanan yang terpasang lurus
dan simetris. Jika papan atau rangka mendapat tekanan dari luar, maka
resistansinya akan bertambah.

73
 FLOW SENSOR

Flow dalam bahasa Indonesia berarti aliran. Flow di sini didefinisikan

sebagai aliran fluida. Aliran dapat diklasifikasikan (digolongkan) dalam banyak
jenis, seperti: turbulen, laminar, nyata, ideal, mampu balik, tak mampu balik,
seragam, tak seragam, rotasional, tak rotasional. Sebuah sensor aliran adalah
alat yang digunakan untuk merasakan laju aliran fluida atau mengukur jumlah
dari material fluida, baik berupa gas, uap, cair, atau padat yang melewati sebuah
titik pada suatu waktu. Material tersebut adalah material yang biasanya lewat
pada sebuah pipa tertutup atau terbuka. Material yang diukur dapat berupa :
 Darah dalam urat nadi
 Aliran gas pada pipa ventilasi
 Air yang mengalir dalam pipa
 Minyak pada pipa yang panjang
Dalam aliran fluida perlu ditentukan besarannya, atau arah vektor
kecepatan aliran pada suatu titik ke titik yang lain. Agar memperoleh penjelasan
tentang medan fluida, kondisi rata-rata pada daerah atau volume yang kecil
dapat ditentukan dengan instrument yang sesuai.
Pengukuran aliran adalah untuk mengukur kapasitas aliran, massa laju
aliran, volume aliran. Pemilihan alat ukur aliran tergantung pada ketelitian,
kemampuan pengukuran, harga, kemudahan pembacaan, kesederhanaan dan
keawetan alat ukur tersebut.
Dalam pengukuran fluida termasuk penentuan tekanan, kecepatan, debit,
gradien kecepatan, turbulensi dan viskositas. Terdapat banyak cara
melaksanakan pengukuran-pengukuran, misalnya : langsung, tak langsung,
gravimetrik, volumetrik, elektronik, elektromagnetik dan optik. Pengukuran debit
secara langsung terdiri dari atas penentuan volume atau berat fluida yang
melalui suatu penampang dalam suatu selang waktu tertentu. Metoda tak
langsung bagi pengukuran debit memerlukan penentuan tinggi tekanan,
perbedaan tekanan atau kecepatan dibeberapa dititik pada suatu penampang
dan dengan besaran perhitungan debit. Metode pengukuran aliran yang paling
teliti adalah penentuan gravimerik atau penentuan volumetrik dengan berat atau
volume diukur atau penentuan dengan mempergunakan tangki yang
dikalibrasikan untuk selang waktu yang diukur.

74
 Pada prinsipnya besar aliran fluida dapat diukur melalui :
1. Kecepatan (velocity)
2. Berat (massanya)
3. Luas bidang yang dilaluinya
4. Volumenya
Biasanya sensor aliran adalah elemen penginderaan yang digunakan
dalam flowmeter atau perangkat datalogging aliran. Sensor aliran biasanya dapat
mengukur baik kecepatan, laju aliran, atau arus totalised. Flow sensor kadang-
kadang berkaitan dengan sensor yang disebut velocimeter yang berfungsi
mengukur kecepatan cairan yang mengalir melaluinya. Aliran teknologi sensor
dapat didasarkan pada hal-hal seperti: cahaya, panas, sifat-sifat elektromagnetik,
ultrasonik, dan banyak teknologi lainnya dalam spektrum yang luas. Sebuah
sensor aliran dapat bekerja dengan pengukuran langsung atau pengukuran
inferensial. Beberapa jenis sensor aliran non-mekanis dan biasanya bekerja
dengan metode inferensial.
Flow (aliran) dalam pipa kapiler dijelaskan oleh hukum Hagen-Poiseuille
dengan persamaan :

W = Flow dalam cm3/det.

 P = Perbedaan tekanan antara ujung-ujung kapiler
D = diameter dalam kapiler dalam cm
 = viscositas fluida dalam dyne-detik/cm2
L = panjang kapiler dalam cm
K = konstanta
Alat-alat ukur instrument yang dipergunakan untuk mengukur dan
menunjukkan besaran suatu fluida disebut dengan alat ukur fluida. Alat ukur
aliran fluida dari dua bagian pokok yaitu :
a. Alat Ukur Primer
Yang dimaksud alat ukur primer adalah bagian alat ukur yang berfungsi
sebagai alat perasa (sensor).
b. Alat Ukur Sekunder
Sedangkan alat ukur sekunder adalah bagian yang mengubah dan
menunjukkan besaran aliran yang dirasakan alat perasa supaya dapat
dibaca.

75
 Jenis-jenis sensor aliran:
1. pressure-based flow sensor
2. turbine flow sensors
3. magnetic flowmeters

1. Pressure-based flow sensors (berdasarkan perbedaan tekanan)

a. Orifice plate
Pembatas atau penghalang sederhana di dalam pipa menyebabkan
tekanan jatuh pada aliran, seperti pada resistor yang menyebabkan
terjadinya tegangan jatuh pada rangkaian. Alat ini berfungsi untuk
mengukur drop tekanan pada fluida yang melalui pelat orifice.
Agar dapat melakukan pengendalian atau proses-proses industri,
kuantitas bahan yang masuk dan keluar dari proses perlu diketahui.
Kebanyakan bahan ditransportasikan atau dialirkan dalam bentuk fluida,
maka penting sekali mengukur kecepatan aliran fluida dalam pipa.
Berbagai jenis meteran digunakan untuk mengukur laju arus seperti Flat
orifice.
Untuk plat orifice ini, fluida yang digunakan adalah jenis cair dan gas.
Pada Flat orifice ini piringan harus bentuk plat dan tegak lurus pada sumbu
pipa. Piringan tersebut harus bersih dan diletakkan pada perpipaan yang
lurus untuk memastikan pola aliran yang normal dan tidak terganggu oleh
fitting, kran, atau peralatan lainnya.
Prinsip dasar pengukuran Flat orifice dari suatu penyempitan yang
menyebabkan timbulnya suatu perbedaan tekanan pada fluida yang
mengalir.
Untuk menghitung hubungan perubahan tekanan dengan debit aliran
fluida menggunakan rumus sebagai berikut:

Qf = debit aliran (m3/s)

Kf = konstanta (0,8251)
= rasio orifice terhadap diameter pipa

A = diameter pipa (m2)

= densitas fluida (kg/m2)

76
Untuk mengetahui luas penampang digunakan rumus:

A = Luas penampang (m2)

= 3.14 (radian/m)
d = diameter plat orifice (m)
Maka kecepatan atau laju aliran dapat dihitung dengan:
Q=VxA
Q = debit aliran (m3/s)
V = kecepatan atau laju aliran (m/s)
A = Luas penampang (m2)
Flat orifice dapat dibagi atas 3 jenis, yaitu :
1) Jenis Concentric Orifice
2) Jenis Eccentric Orifice
3) Jenis Segmental Orifice

1) Jenis Concentric Orifice

Pada jenis Concentric Orifice dipergunakan untuk semua jenis
fluida yang tidak mengandung partikel-partikel padat. Concentric dibuat
dengan mengebor port secara sentrik dalam bagian tengah. Tipe
orifice ini lebih popular karena konstruksinya yang lebih sederhana dan
mudah dibuat. Jenis ini dapat dilihat pada Gambar.

Gambar 4.1. Flat Jenis Concentric Orifice

77
2) Jenis Eccentric Orifice
Eccentric Orifice memiliki potongan lubang pembatas secara
eccentric sehingga mencapai bagian dasar pipa. Pada jenis eccentric
orifice ini dipergunakan untuk fluida yang mengandung partikel-partikel
padat. Tipe orifice ini sangat bermanfaat untuk pengukuran cairan
yang telah memiliki padatan. Bila padatan tidak berkumpul pada
orifice, maka sisi orifice tidak akan mengalami kerusakan atau error
dalam pengukurannya dapat dikurangi. Jenis Eccentric Orifice dapat
dilihat pada Gambar.

Gambar 4.2. Flat Jenis Eccentric Orifice

3) Jenis Segmental Orifice

Pada jenis segmental orifice ini dipergunakan untuk mengukur
laju aliran yang mengandung padatan, sama seperti jenis eccentric
orifice hanya saja kalau jenis eccentric berbentuk lingkaran yang
berada di bawah atau dekat dasar pipa, sedangkan kalau jenis
segmental ini berlubang setengah lingkaran. Plat Orifice jenis
Segmental dapat dilihat pada Gambar.

78
 Gambar 4.3. Flat Orifice Jenis Segmental

b. Venturi
Penyempitan bertahap pada pipa menyebabkan kecepatan fluida
meningkat. Daerah yang memiliki kecepatan tinggi akan memiliki tekanan
rendah. Aliran sebanding dengan perbedaan tekanannya. Sensor ini
cenderung menjaga aliran agar laminer (halus), tapi orifice dan venturi
menyebabkan tekanan jatuh pada pipa di mana mungkin tidak dapat
disetujui.
Alat yang digunakan untuk mengukur aliran dengan ,memanfaatkan
beda tekanan disebut venturimeter. Venturimeter ini merupakan alat primer
dari pengukuran aliran yang berfungsi untuk mendapatkan beda tekanan.
Sedangkan alat untuk menunjukan besaran aliran fluida yang diukur atau
alat sekundernya adalah manometer pipa U. Venturi Meter memiliki
kerugian karena harganya mahal, memerlukan ruangan yang besar, dan
rasio diameter throatnya dengan diameter pipa tidak dapat diubah.
Untuk sebuah venturi meter tertentu dan sistem manometer tertentu,
kecepatan aliran yang dapat diukur adalah tetap, sehingga jika kecepatan
aliran berubah maka diameter throatnya dapat diperbesar untuk
memberikan pembacaan yang akurat atau diperkecil untuk
mengakomodasi kecepatan aliran maksimum yang baru.
Untuk Venturi Meter ini dapat dibagi 4 bagian utama yaitu :

79
 1) Bagian Inlet
Bagian yang berbentuk lurus dengan diameter yang sama
seperti diameter pipa atau cerobong aliran. Lubang tekanan awal
ditempatkan pada bagian ini.
2) Inlet Cone
Bagian yang berbentuk seperti kerucut, yang berfungsi untuk
menaikkan tekanan fluida.
3) Throat (leher)
Bagian tempat pengambilan beda tekanan akhir bagian ini
berbentuk bulat datar. Hal ini dimaksudkan agar tidak mengurangi
atau menambah kecepatan dari aliran yang keluar dari inlet cone.
Pada Venturi meter ini fluida masuk melalui bagian inlet dan
diteruskan ke bagian outlet cone. Pada bagian inlet ini ditempatkan titik
pengambilan tekanan awal. Pada bagian inlet cone fluida akan mengalami
penurunan tekanan yang disebabkan oleh bagian inlet cone yang
berbentuk kerucut atau semakin mengecil kebagian throat. Kemudian fluida
masuk kebagian throat inilah tempat-tempat pengambilan tekanan akhir
dimana throat ini berbentuk bulat datar. Lalu fluida akan melewati bagian
akhir dari venturi meter yaitu outlet cone. Outlet cone ini berbentuk kerucut
dimana bagian kecil berada pada throat, dan pada Outlet cone ini tekanan
kembali normal.
Jika aliran melalui venturi meter itu benar-benar tanpa gesekan,
maka tekanan fluida yang meninggalkan meter tentulah sama persis
dengan fluida yang memasuki meteran dan keberadaan meteran dalam
jalur tersebut tidak akan menyebabkan kehilangan tekanan yang bersifat
permanen dalam tekanan.
Penurunan tekanan pada inlet cone akan dipulihkan dengan
sempurna pada outlet cone. Gesekan tidak dapat ditiadakan dan juga
kehilangan tekanan yang permanen dalam sebuah meteran yang
dirancangan dengan tepat.

c. Pitot tube
Pitot tube ialah pipa terbuka kecil dimana permukaannya
bersentuhan langsung dengan aliran. Terdiri dari 2 pipa, yaitu :

80
 Static tube (untuk mengukur tekanan statis)
Pipa ini membuka secara tegak lurus sampai ke aliran sehingga dapat
diketahui tekanan statisnya.
 Impact/stagnation tube (untuk mengukur tekanan stagnasi = velocity
head)
Impact pressure selalu lebih besar daripada static pressure dan
perbedaan antara kedua tekanan ini sebanding dengan kecepatan.

Gambar A

Gambar B
Gambar 4.4. A dan B Skema Pipa Pitot
Cara kerja pitot tube :
 Pipa yang mengukur tekanan statis terletak secara radial pada batang
yang dihubungkan ke manometer (pstat)
 Tekanan pada ujung pipa di mana fluida masuk merupakan tekanan
stagnasi(p0)
81
 Kedua pengukuran tekanan tersebut dimasukkan dalam persamaan
Bernoulli untuk mengetahui kecepatan alirannya
Sensor ini menggunakan prinsip perbedaan tekanan untuk mengetahui
kecepatan aliran dengan persamaan Bernoulli.

P0 = stagnation pressure
Pstat = static pressure
Sulit untuk mendapat hasil pengukuran tekanan stagnasi secara
nyata karena adanya friksi pada pipa. Hasil pengukuran selalu lebih kecil
dari kenyataan akibat faktor C (friksi empirik)
Ada beberapa macam kegunaan dari Pipa Pitot, diantaranya:
 mengukur tekanan fluida pada wind tunnel
 menghitung profil kecepatan aliran pada pipa

Gambar A

82
 Gambar B
Gambar 4.5. A dan B Pengukuran Tekanan Fluida
Pipa pitot ini memiliki banyak kegunaan dan dapat diaplikasikan dalam beberapa
hal. Contoh aplikasi pipa pitot:
 Mengukur kecepatan pada pesawat (airspeed)
 Altimeter pesawat
 Mengukur tekanan fluida pada wind tunnel (terowongan angin)
Namun dalam pengaplikasiaannya, pipa pitot ini memiliki kelebihan dan
kekurangan. Kelebihan dari pipa pitot antara lain :
 Susunan sederhana
 Relatif mudah dan murah
 Tidak perlu adanya kalibrasi
 Pressure drop aliran kecil
Sedangkan kekurangan dari pipa pitot antara lain:
 Keakuratan rendah untuk beberapa aplikasi
 Pipa harus lurus dengan kecepatan aliran untuk mendapatkan hasil
yang baik

83
 d. Flow Nozzle
Flow Nozzle sama halnya dengan plat orifice yaitu terpasang diantara dua
flensa. Flow Nozzle biasa digunakan untuk aliran fluida yang kecil. Karena flow
nozzle mempunyai lubang lebih besar dan kehilangan tekanan lebih kecil
daripada plat orifice sehinga flow nozzle dipakai untuk fluida kecepatan tinggi
pada temperatur tinggi dan untuk penyediaan air ketel. Flow nozzle ini
merupakan alat primer dari pengukuran aliran yang berfungsi untuk
mendapatkan beda tekanannya. Sedangkan alat untuk menunjukkan besaran
aliran fluida yang diukur atau alat sekundernya adalah berupa manometer. Pada
flow nozzle kecepatan bertambah dan tekanan semakin berkurang seperti dalam
venturi meter. Dan aliran fluida akan keluar secara bebas setelah melewati
lubang flow nozzle sama seperti pada plat orifice. Flow nozzle terdiri dari dua
bagian utama yang melengkung pada silinder.

2. Turbine flow sensors

Turbine flow sensors disebut juga flow meter, menggunakan tongkat roda
(paddle wheel) atau baling-baling yang diletakkan pada garis aliran. Kecepatan
rotasi dari roda berbanding langsung dengan kecepatan aliran.
Aliran medium akan mengeliminasi tipe sensor ini untuk beberapa aplikasi,
khususnya temperatur tinggi atau fluida tipe abrasive.

84
3. Magnetic flow meters
Jika sebuah cairan bersifat konduktif, maka magnetic flow meter dapat
digunakan. Magnetic flow meter tidak memiliki bagian yang bergerak dan hadir tidak
untuk mengganggu atau menghalangi aliran. Sebuah bagian nonconducting dari
pipa ditempatkan pada medan magnetik. Fluida yang mengalir pada pipa seperti
perpindahan konduktor pada sebuah generator yang menghasilkan tegangan.
Tegangan sebanding dengan kecepatan fluida, dimana dideteteksi dari elektrode
yang ditempatkan pada sisi dari pipa.

85
EVALUASI
1. Sebutkan dan jelaskan alat ukur aliran fluida dari dua bagian pokok yaitu :
a. Alat Ukur Primer
b. Alat Ukur Sekunder
2. Sebutkan komponen inti pipa pitot beserta fungsinya!
3. Sebutkan aplikasi penggunaan pipa pitot!
4. Air mengalir sepanjang pipa horisontal, penampang tidak sama besar. Pada tempat
dengan kecepatan air 35 cm/det tekanannya adalah 1 cmHg. Tentukanlah tekanan
pada bagian pipa dimana kecepatan aliran airnya 65 cm/det.(g = 980 cm/det2) !
5. Sebutkan faktor yang menentukan besarnya aliran fluida!

86
 JAWABAN

1. Sebutkan dan jelaskan alat ukur aliran fluida dari dua bagian pokok yaitu :
a. Alat Ukur Primer
Yang dimaksud alat ukur primer adalah bagian alat ukur yang berfungsi
sebagai alat perasa (sensor).
b. Alat Ukur Sekunder
Sedangkan alat ukur sekunder adalah bagian yang mengubah dan
menunjukkan besaran aliran yang dirasakan alat perasa supaya dapat dibaca.
2. Sebutkan komponen inti pipa pitot beserta fungsinya!
 Static tube (untuk mengukur tekanan statis)
Pipa ini membuka secara tegak lurus sampai ke aliran sehingga dapat
diketahui tekanan statisnya.
 Impact/stagnation tube (untuk mengukur tekanan stagnasi = velocity head)
Impact pressure selalu lebih besar daripada static pressure dan perbedaan
antara kedua tekanan ini sebanding dengan kecepatan.
3. Sebutkan aplikasi penggunaan pipa pitot!
 Mengukur kecepatan pada pesawat (airspeed)
 Altimeter pesawat
 Mengukur tekanan fluida pada wind tunnel (terowongan angin)
4. Air mengalir sepanjang pipa horisontal, penampang tidak sama besar. Pada
tempat dengan kecepatan air 35 cm/det tekanannya adalah 1 cmHg. Tentukanlah
tekanan pada bagian pipa dimana kecepatan aliran airnya 65 cm/det.(g = 980
cm/det2) !
P1 = 1 cmHg = 1.13,6.980 dyne/cm2
P1 = 13328 dyne/cm2
v1 = 35 cm/det; v2 = 65 cm/det
Prinsip Bernoulli:
2 2
P1 + pgy1 + 1/2 1 = P2 2 2

Karena y1 = y2 (pipa horisontal), maka:

2
P1 - P2 2 - V12)
P1 - P2 = 1/2 1 (652 352)

87
 P1 - P2 = 1/2 3000
P1 - P2 = 1500 dyne/cm2
Jadi:
P2 = P1 - 1500
P2 = 13328 - 1500
P2 = 11828 dyne/cm
P2 = 0,87 cmHg
5. Sebutkan faktor yang menentukan besarnya aliran fluida!
 Kecepatan (velocity)
 Berat (massanya)
 Luas bidang yang dilaluinya
 Volumenya

88
 TEMPERATURE SENSORS

Mensensor suhu pada dasarnya merupakan proses transmisi sebagian kecil

panas dari objek ke sensor yang fungsinya adalah mengkonversikan energi panas
menjadi sinyal listrik.
Apabila ditinjau dari struktur umum sensor suhu, terdapat 2 macam jenis sensor,
yaitu:
1. Sensor Kontak
2. Sensor Non-Kontak (Radiasi Panas)
Bila sensor kontak diletakkan di dalam atau di atas objek akan terjadi konduksi
panas melalui interface antara objek dan sensor kontak (probe). Hal yang sama terjadi
juga bila panas ditransfer dalam bentuk radiasi energi panas dalam bentuk sinar
inframerah diserap oleh sensor tergantung pada suhu objek dan kopel optiknya. Setiap
sensor, seberapapun kecilnya akan menimbulkan error pada tempat pengukurannya.
Hal ini dapat terjadi pada metoda sensor cunductive, convective maupun radiative.
Kemajuan ilmu pengetahuan bertujuan untuk terus meminimimalisir error dan
mendisain sensor yang tepat serta teknik pengukuran yang benar.
Ada dua tipe pemrosesan sinyal dalam pengukuran suhu:
 Equilibrium (kesetimbangan)
Pada metode ini pengukuran lengkap bila tidak terdapat gradien suhu antara
permukaan kontak dengan elemen sensor yang berada pada probe.
 Predictive
Pada metode ini titik kesetimbangan tidak pernah dicapai, hal ini ditentukan
sebelumnya, melalui perubahan pada nilai temperatur sensor
 Setelah penempatan probe pertama kali, proses pencapaian kesetimbangan panas
antara objek dan sensor mungkin lambat, terutama jika daerah kontaknya kering.
Karena itu, proses perataan suhu pada metode kesetimbangan akan memekan
waktu yang signifikan. Misalnya sebuah termometer elektronik untuk medikal akan
memakan waktu 10 detik untuk mengukur temperatur air panas untuk mandi, tetapi
jika yang diukur suhu badan, mungkin akan memakan waktu 3-5 menit.
Pada sensor kontak, jumlah panas yang disensor berbanding lurus terhadap gradient
suhu antara elemen termometer (T) dan suhu objek (T1) :

89
 dQ = aA(T1-T)dt
a = konduktivitas suhu
A = permukaan penyebaran panas
Jika sensor mempunyai panas spesifik dan massa (m) maka panas yang diserap:
dQ = mcdT
Jika kerugian suhu diabaikan, maka persamaan menjadi:
aA(T1-T)dt = mcdT
Selanjutnya jika mc/aA = T merupakan konstanta waktu dari suhu, maka:
dT/(T1-T) = dt/T
Solusi persamaan:
T = T1 - T0 e –t/T

Gambar 5.1. Perubahan suhu pada sensor

A. sensor ideal
B. sensor dengan kerugian panas
Sebuah typical kontak dari sensor suhu terdiri dari :
1. Sebuah elemen sensor
Sebuah material yang responsip terhadap perubahan temperaturnya sendiri.
Elemen yang baik harus mempunyai spesifik panas yang rendah, daya hantar
panas yang tinggi kuat dan kepekaan terhadap temperatur yang dapat diprediksi.

90
2. Kontak-kontak yaitu pad atau kawat yang interface antara elemen sensor dan
rangkaian elektronik luar. Kontak-kontak harus mempunyai daya hantar panas dan
resistansi listrik serendah mungkin . Digunakan untuk mensuport sensor.
3. Selubung protektif semacam sarung atau pelapis yang secara pisik memisahkan
elemen sensor dari lingkungan luar. Selubung yang baik harus mempunyai
resistansi panas yang rendah dan isolasi kelistrikan yang tinggi. Juga harus kedap
terhadap kelembaban dan faktor lain yang dapat mempengaruhi secara langsung
elemen sensor

Gambar 5.2. Stuktur umum sensor suhu

A. Sensor kontak
B. Sensor non-kontak ( radiasi panas)
Sensor suhu non-kontak adalah sensor radiasi panas. Prinsip kerjanya sama
dengan sensor kontak, tetapi bedanya adalah cara mentransfer suhu dari objek ke
elemen sensor. Pada sensor kontak melalui kunduksi, sedangkan pada sensor non-
kontak melalui radiasi.

1. Sensor-sensor Thermoresistif
Sensor Thermoresistif memiliki beberapa keuntungan, yaitu: sederhana,
sensitif dan stabil dalam jangka waktu lama. Sensor thermoresistive dapat
digolongkan dalam 3 kelompok yaitu :
a. Resistance Temperature Detector (RTD)
Resistance Temperature Detector (RTD) atau dikenal dengan Detektor
Temperatur Tahanan adalah sebuah alat yang digunakan untuk menentukan nilai
atau besaran suatu temperatur atau suhu dengan menggunakan elemen sensitif
dari kawat platina, tembaga, atau nikel murni, yang memberikan nilai tahanan

91
yang terbatas untuk masing-masing temperatur di dalam kisaran suhunya.
Semakin panas benda tersebut, semakin besar atau semakin tinggi nilai tahanan
listriknya, begitu juga sebaliknya.
Konsep utama dari yang mendasari pengukuran suhu dengan detektor
suhu tahanan (resistant temperature detector = RTD) adalah tahanan listrik dari
logam yang bervariasi sebanding dengan suhu. Kesebandingan variasi ini adalah
presisi dan dapat diulang lagi sehingga memungkinkan pengukuran suhu yang
konsisten melalui pendeteksian tahanan.
RTD biasanya berhubungan dengan sensor logam dan dibuat dalam
bentuk thin film (film tipis) atau kawat. Film tipis pada RTD banyak yang terbuat
dari platinum tipis atau alloy. Bentuknya sering dibuat dalam bentuk spiral untuk
memastikan ratio panjang/lebar yang mencukupi. Kawat pada RTD, di mana
platinum yang dililitkan pada perekat kaca yang bertemperatur tinggi ditempatkan
dalam tabung keramik. Konstruksi ini memberikan detektor yang sangat stabil
untuk keperluan sains dan di industri.

Gambar 5.3. RTD

RTD memiliki terdiri dari beberapa struktur di dalamnya, yaitu berupa lilitan
kawat dan lapisan metal (metal film) pada substrat keramik yang di trim
menggunakan laser untuk meningkatkan kepresisian & interchangeability, yang
membuat berfungsinya RTD ini, seperti terlihat pada gambar di bawah.

92
 Gambar 5.5. Lilitan kawat (wire-wound)

Gambar 5.6. lapisan metal (metal film) pada substrat keramik

Resistance Temperature Detector merupakan sensor pasif, karena sensor
ini membutuhkan energi dari luar. Elemen yang umum digunakan pada tahanan
resistansi adalah kawat nikel, tembaga, dan platina murni yang dipasang dalam
sebuah tabung guna untuk memproteksi terhadap kerusakan mekanis. Jenis
RTD yang cukup banyak digunakan adalah PT100. Resistance Temperature
Detector, khususnya pada PT100 digunakan pada kisaran suhu -2000C sampai
dengan 6500C.
Pada tipe RTD (PT100) ini, jika suhu yang dibaca adalah 0°C berarti
tahanan yang dihasilkan oleh RTD dan diterima oleh Tranduser adalah 100Ω,
begitu juga jika suhu 100°C berarti tahanan yang dihasilkan oleh RTD dan
diterima TRC (Temperature Recorder Control) adalah 138,5 Ω.
Perbandingan antara suhu dengan tahanan yang dibaca, dapat juga
dihitung dengan menggunakan persamaan, yaitu :
Rt = R0 ( 1 + At + Bt2 )

93
 Rt = Tahanan listrik pada temperatur t 0C (Ohm)
R0 = Tahanan listrik pada temperatur 0 0C (Ohm) = 100Ω (PT100)
A = 3.9083 x 10 -3
B = -5.775 x 10 -7
t = Suhu
Gambar grafik karakteristik RTD dapat terlihat seperti gambar di bawah ini:

Gambar 5.7. Karakteristik RTD

b. Thermistor
Istilah Thermistor berasal dari singkatan THERMally sensitive
semicondutor resISTOR. Berdasarkan dari namanya dapat diketahui bahwa
Thermistor merupakan alat pendeteksi (sensor) suhu yang terbuat dari bahan
semikonduktor (metal-oxide) yang juga memanfaatkan tahanan. Persamaan
untuk tahanan pada thermistor tersebut adalah:
ΔR = k . ƒ(ΔT)
dengan nilai k pada NTC adalah negatif, sedangkan pada PTC adalah positif.

94
 Gambar 5.8. Grafik Perbandingan Karakteristik antara NTC dan PTC

Thermistor ini terdiri dari 2 jenis, yaitu:

1) NTC
2) PTC

1) Thermistor NTC
Elemen resistansi NTC, seperti resistor lainnya, ditentukan oleh ukuran
fisik dan resistivitas bahan. Hubungan antara resistansi dan suhu sangat
nonlinier

Gambar 5.9. Diagram Rangkaian Ekuivalen

95
 Gambar 5.10. Error sensor termistor yang dihasilkan dari penggunaan
pendekatan empat dan dua - parameter
Dari rangkaian ekuivalen diatas diturunkan persamaan :
1/(R-rs) = gp + 1/R0 e -(1/T – 1/To)
rs = tahanan seri,
R0 & T0 = Tahanan & suhu referensi
 = jumlah yang mewakili sensitivitas suhu (karakteristik
temperatur termistor)
Jika nilai rs dan gp sangat kecil dan dianggap nol, maka persamaan menjadi :
R = R0 e - (1/T – 1/To)
Untuk menguji parameter R0 dan  hanya dibutuhkan 2 temperatur uji T1 dan
T2. Nilai  ditentukan dengan pengukuran R1 dan R2 pada suhu tersebut.
 = (1/(1/T1-1/T2) ln(R1/R2)
 Menentukan kurva termistor tetapi tidak secara langsung menggambarkan
sensitivitasnya yang merupakan koefisien suhu negatip,  (NTC). Nilai 
dapat dicari dengan persamaan:
 = 1/R . dR/dT = - /T2
Untuk pengukuran presisi digunakan persamaan Steinhart-Hart dalam suhu) :
1/T = A + B ln RT + C ln3RT (T dalam kelvin)
dimana A, B dan C merupakan koefisien yang diperoleh dari eksperimen.
Persamaan Steinhart-Hart ( dengan eksplisit Resistansi )

96
  1 1 
 2 3  3  2 3  3
RT  exp α  α  β    α  α  β  
 2 4 27   2 4 27  
  
 
 
1
dimana A B
α T, β
C C

Gbr.5.11 Glass coated bead thermistors

Gbr.5.12. Long-term stability of thermistors

2) PTC thermistor
 Semua logam dapat disebut bahan PTC.
 Koefisien suhu resistivitasnya (TCR)rendah

97
 Pabrik pembuat PTC biasanya menetapkan spesifikasi suatu PTC
termistor dengan besaran-besaran :
1. Zero power resistance, R25, pada 25 oC, dimana self-heating diabaikan.
2. Minimum Resistance Rm yaitu nilai pada kurva dimana TCR termistor
berubah dari nilai positip ke negatip.
3. Transition temperature T yaitu temperatur dimana resistansi mulai
berubah secara cepat. Interval transisi suhu dari -30 sampai +160 oC
4. TCR didefinisikan dalam bentuk standar : 1
AB
α T, β
C C
5. Tegangan maksimum Emax adalah nilai tegangan tertinggi dimana
termistor dapat tahan terhadap suatu suhu.
6. Thermal Characteristics, yang dinyatakan dengan kapasitas termal,
konstanta disipasi  dan konstanta waktu termal.

Gbr.5.14 Transfer functions PTC dan NTC dibandingkan dengan RTD

98
 Gambar 5.15 Karakteristik tegangan-arus termistor PTC
Beberapa pemakaian dimana pengaruh self-regulating thermistor sangat
diperlukan :
1. Pengaman rangkaian
Sebuah PTC thermistor dapat bekerja sebagai fuse yang dapat direset di
dalam rangkaian listrik, menyensor arus yang berlebihan.
2. Miniatur self-heating thermostat
Sebuah miniatur self-heating thermostat untuk mikroelektronik, biomedical,
chemical dan pemakaian lainnya yang sesuai dapat dirancang dengan PTC
thermistor tunggal. Perpindahan temperatur harus dipilih secara tepat.
3. Time delay.
Rangkaian time delay dapat dikreasi dengan PTC thermistor berkat waktu
transisi yang relative panjang antara pemakaian daya listrik pada pemanas
terhadap titik resistansi rendah
4. Flow meter dan liquid level.
Flow meter dan pendeteksi ketinggian cairan yang bekerja
berdasarkanprinsip disipasi panas dengan mudah dapat dibuat dengan
PTC thermistor.

99
 Gambar 5.16 Pemakaian Thermistor PTC dengan Current Limiting Circuit

Gambar 5.17. Pemakaian Thermistor PTC dengan Micro Thermostat

Rangkaian pembacaan pada Thermistor:
1. R seri sederhana, dengan ciri:
 penguat cukup single-ended.
 perlu mencari R optimal
 Sensitivitas menurun
 Linier pada daerah ukur (range) terbatas.

R R PTC

R NTC R
Vo Vo

Gambar Pembacaan Thermistor dengan Menggunakan R Seri Sederhana

100
 Gambar 5.18. Grafik Hubungan antara Tegangan dan Thermistor
2. Rangkaian Jembatan Wheatstone
 Lebih linier  akurasi lebih tinggi
 Daerah ukur lebih lebar
 Perlu resistor yang match dengan NTC nya
 Perlu penguat diferensial
VCC

R
NTC
R1

+ Vo

R2 R3

Gambar 5.19. Rangkaian Jembatan Wheatstone untuk Thermistor

Namun seringkali di rasa rangkaian ini kurang praktis.
3. Thermistor dan rangkaian pembaca dalam sebuah IC
 Linear input-output characteristic
 Range terbatas -55°C to +150°C
 Calibrated, with accuracy ±0.5°C
 Power cukup besar  dapat digunakan secara remote (hingga
belasan meter), menggunakan kabel.
 Contoh : AD590, LM35, dll

101
 Gambar 5.20. Rangkaian Pembaca dalam IC

c. Thermoelectric Contact Sensors

Thermoelectric contact disebut juga sebagai thermocouple, karena
diperlukan dua konduktor yang tidak sama untuk membuan sensor. Thermokopel
adalah salah satu sensor temperature yang banyak digunakan. Sebagai sensor
temperature, thermokopel berfungsi untuk merubah besaran suhu menjadi
besaran tegangan, yaitu besaran Celcius, Kelvin, Reamur, atau Fahrenheit
menjadi besaran tegangan dalam orde mV. Range pengukuran yang luas dan
didesain yang kuat mengakibatkan sensor ini lebih sering digunakan untuk
mengukur suhu daripada sensor yang lain.
Termokopel merupakan sensor suhu yang bekerja berdasarkan efek
seeback. Efek seeback adalah efek yang ditimbulkan apabila dua kabel yang
terbuat dari logam berbeda disambungkan pada kedua ujungnya dan salah satu
ujung itu dipanaskan, maka akan mengalir arus listrik.
Termokopel pada pokoknya terdiri dari sepasang penghantar berbeda yang
disambung dengan las dan dilebur bersama. Salah satu sisi membentuk “hot”
atau sambungan pengukuran yang ada ujung-ujung bebasnya untuk hubungan
dengan sambungan referensi. Perbedaan suhu antara sambungan pengukuran
dengan sambungan referensi akan muncul pada alat ini, sehingga akan berfungsi
sebagai thermocouple.
Suatu benda selalu terdiri dari atom atom yang didalamnya terdapat
elektron, proton, dan neutron. Proton dan Neutron terletak pada inti atom,

102
sedangkan elektron mengitari inti atom. Elektron mudah berpindah dari orbit
atom satu ke orbit atom yang lain jika dikenai suatu energi. Perpindahan elektron
inilah yang kita sebut dengan arus listrik.
Timbulnya tegangan ini dapat terjadi berdasarkan fisika quantum. Jika
ujung suatu logam dipanaskan maka elektron pada ujung yang dipanaskan akan
memiliki energi yang cukup untuk berpindah orbit. Perpindahan orbit ini adalah
dari ujung yang dipanaskan menuju ujung yang tidak dipanaskan. Perpindahan
elektron inilah yang mengakibatkan ujung yang dipanaskan memiliki polaritas
yang lebih positif dibandingkan ujung yang tidak dipanaskan sehingga peristiwa
ini menimbulkan tegangan Hukum ini berlaku pada setiap logam yang memiliki
ujung yang berbeda suhu.

Gambar 5.21. Termokopel

Secara umum rakitan sebuah thermokopel yang lengkap terdiri dari satu
atau lebih komponen berikut:
 Rakitan elemen sensor (the junction)
 Tabung protektif ( ceramic or metal jackets)

103
 Sebuah thermowell
 terminasi
Untuk pemakaian dengan temperatur tinggi, isolator mungkin terbuat dari
keramik jenis ball atau fish-spine (tulang ikan)
Jika kawat thermokopel tidak diisolasi secara kelistrikan maka kesalahan
pengukuran dapat terjadi. Isolasi dipengaruhi oleh kelembaban, goresan,
lenturan, panas yang berlebihan dan bahan kimia. Untuk itu diperlukan
pengetahuan tentang bahan isolasi yang esensial untuk ketelitian pengukuran.

Gambar 5.22. Rangkaian Ekuivalen Termokopel

Gambar 5.23. Bagian Depan Termometer dengan Sensor Referensi

Semikonduktor (LM35DZ)

104
 Gambar 5.24. Beberapa rakitan termokopel
Berdasarkan ISA dan mengadopsi dari American standard dalam ANSI MC
96.1, direkomendasikan untuk menggunakan thermokopel sebagai sensor
sebagai berikut:
1. Type T : cu (+) versus constantan (-), tahan terhadap korosi dan cocok
untuk mengukur subzero temperatur. (sampai 370 oC)
2. Type J : Fe (+) versus constantan (-), cocok untuk ruang hampa dan oksidasi
atau atmosfir lembam. (0 – 760 oC)
3. Type E : 10% Ni/Cr (+) versusConstantan (-), direcomendasikan untuk
temperatur -200 sampai 900 oC.
4. Type K : 10% Ni/Cr (+) versus 5% Ni/Al/Si (-), direkomendasikan untuk
temperatur -200 sd. 1260 oC
5. Type R dan S : Pt/Rh (+) versus Pt (-), direkomendasikan untuk pemakaian
yang kontinyu ( 0 – 1480 oC )
6. Type B : 30% Pt/Rh (+) versus 6% Pt/Rh (-), direkomendasikan untuk
pemakaian yang kontinyu ( 870 – 1700 oC )

105
2. Sensor Suhu Rangkaian Terpadu (IC)
Sensor suhu dengan IC ini menggunakan chip silikon untuk elemen yang
merasakan (sensor). Memiliki konfigurasi output tegangan dan arus. Meskipun
terbatas dalam rentang suhu (dibawah 200oC), tetapi menghasilkan output yang
sangat linear di atas rentang kerja.
a. IC LM35
Sensor suhu LM35 adalah komponen elektronika yang memiliki fungsi
untuk mengubah besaran suhu menjadi besaran listrik dalam bentuk tegangan.
Sensor Suhu LM35 berupa sebuah komponen dari berbagai rangkaian
elektronika untuk pengukuran. LM 35 ini difungsikan sebagai basic temperature
sensor seperti pada gambar.

Gambar 5.25. Basic Temperature Sensor

Komponen ini juga merupakan komponen elektronika yang diproduksi oleh
National Semiconductor. LM35 memiliki keakuratan tinggi dan kemudahan
perancangan jika dibandingkan dengan sensor suhu yang lain. IC LM 35 sebagai
sensor suhu yang teliti dan terkemas dalam bentuk Integrated Circuit (IC),
dimana output tegangan keluaran sangat linear berpadanan dengan perubahan
suhu. IC LM 35 ini tidak memerlukan pengkalibrasian atau penyetelan dari luar
karena ketelitiannya sampai lebih kurang seperempat derajat celcius pada
temperature ruang. Meskipun tegangan sensor ini dapat mencapai 30 volt akan
tetapi yang diberikan ke sensor adalah sebesar 5 volt, sehingga dapat digunakan
dengan catu daya tunggal dengan ketentuan bahwa LM35 hanya membutuhkan
arus sebesar 60 mA hal ini berarti LM35 mempunyai kemampuan menghasilkan
panas (self-heating) dari sensor yang dapat menyebabkan kesalahan
pembacaan yang rendah yaitu kurang dari 0,5 ºC pada suhu 25 ºC .

106
 Gambar 5.26. IC LM 35

Gambar diatas menunjukan bentuk dari LM35 tampak depan dan tampak
bawah. 3 pin LM35 menujukan fungsi masing-masing pin diantaranya, pin 1
berfungsi sebagai sumber tegangan kerja dari LM35, pin 2 atau tengah
digunakan sebagai tegangan keluaran atau Vout dengan jangkauan kerja dari 0
Volt sampai dengan 1,5 Volt dengan tegangan operasi sensor LM35 yang dapat
digunakan antar 4 Volt sampai 30 Volt. Keluaran sensor ini akan naik sebesar 10
mV setiap derajad celcius sehingga diperoleh persamaan sebagai berikut :
VLM35 = Suhu x 10 mV
Secara prinsip sensor akan melakukan penginderaan pada saat perubahan
suhu setiap suhu 1 ºC akan menunjukan tegangan sebesar 10 mV. Pada
penempatannya LM35 dapat ditempelkan dengan perekat atau dapat pula
disemen pada permukaan akan tetapi suhunya akan sedikit berkurang sekitar
0,01 ºC karena terserap pada suhu permukaan tersebut. Dengan cara seperti ini
diharapkan selisih antara suhu udara dan suhu permukaan dapat dideteksi oleh
sensor LM35 sama dengan suhu disekitarnya, jika suhu udara disekitarnya jauh
lebih tinggi atau jauh lebih rendah dari suhu permukaan, maka LM35 berada
pada suhu permukaan dan suhu udara disekitarnya .
Sensor suhu LM35 berfungsi untuk mengubah besaran fisis yang berupa
suhu menjadi besaran elektri tegangan. Sensor ini memiliki parameter bahwa
setiap kenaikan 1°C tegangan keluarannya naik sebesar 10mV dengan batas
maksimal keluaran sensor adalah 1,5V pada suhu 150°C. Pengukuran secara
langsung saat suhu ruang, keluaran LM35 adalah 0,3V (300mV). Tegangan ini
diolah dengan mengunakan rangkaian pengkondisi sinyal agar sesuai dangan
tahapan masukan ADC.

107
 Jarak yang jauh diperlukan penghubung yang tidak terpengaruh oleh
interferensi dari luar, dengan demikian digunakan kabel selubung yang
ditanahkan sehingga dapat bertindak sebagai suatu antenna penerima dan
simpangan didalamnya, juga dapat bertindak sebagai perata arus yang
mengkoreksi pada kasus yang sedemikian, dengan mengunakan metode bypass
kapasitor dari Vin untuk ditanahkan.
Berikut ini adalah karakteristik dari sensor LM35:
 Memiliki sensitivitas suhu, dengan faktor skala linier antara tegangan dan
suhu 10 mVolt/ºC, sehingga dapat dikalibrasi langsung dalam celcius.
 Memiliki ketepatan atau akurasi kalibrasi yaitu 0,5ºC pada suhu 25ºC.
 Memiliki jangkauan maksimal operasi suhu antara -55ºC sampai +150ºC.
 Bekerja pada tegangan 4 sampai 30 volt.
 Memiliki arus rendah yaitu kurang dari 60 μA.
 Memiliki pemanasan sendiri yang rendah (low-heating) yaitu kurang dari 0,1ºC
pada udara diam.
 Memiliki impedansi keluaran yang rendah yaitu 0,1 W untuk beban 1 mA.
 Memiliki ketidaklinieran hanya sekitar ± ¼ ºC.

Gambar 5.27. LM35 terhadap suhu

Sensor suhu tipe LM35 merupakan IC sensor temperatur yang akurat yang
tegangan keluarannya linear dalam satuan celcius. Jadi LM35 memilik kelebihan

108
 dibandingkan sensor temperatur linear dalam satuan kelvin, karena tidak
memerlukan pembagian dengan konstanta tegangan yang besar dan
keluarannya untuk mendapatkan nilai dalam satuan celcius yang tepat. LM35
memiliki impedansi keluaran yang rendah, keluaran yang linear, dan sifat
ketepatan dalam pengujian membuat proses interface untuk membaca atau
mengotrol sirkuit lebuh mudah. Pin V+ dari LM35 dihubungkan ke catu daya, pin
GND dihubungkan ke Ground dan pin Vout- yang menghasilkan tegangan analog
hasil pengindera suhu dihubungkan ke Vin (+) dan rangkaian ADC.

Karakteristik dan Perbandingan Sensor-Sensor Suhu

Termocouple RTD Thermistor IC Sensor
Simbol
Karakteristik

 Self powered  Paling stabil  Output tinggi  Paling linear

 Sederhana  Paling akurat  Cepat  Output paling
 Murah  Lebih linear  Mengukur tinggi
Kekuatan

 Banyak daripada Ohms dua  Murah

macamnya thermocouple kawat
 Range suhu
luas

109
  Tidak linear  Mahal  Tidak linear  T < 200C
 Tegangan  Memerlukan  Range suhu  Memerlukan
rendah suply daya terbatas suply daya
Kelemahan

 Memerlukan   Rentan  Lambat

referensi  Tahanan  Memerlukan  Self heating
 Kurang stabil absolut rendah suply daya  Konfigurasi
 Kurang sensitif  Self heating  Self heating terbatas

Kesimpulan
 Temperatur dapat dideteksi dengan beberapa jenis sensor suhu.
 Ada beberapa jenis sensor temperatur dengan karakteristik pendeteksian suhu
yang berbeda.
 Dari keterengan diatas, pengukuran dan atau pendeteksian dapat dilakukan
dengan sistem ON/OFF dengan indikator LED, dsbnya, atau dapat dengan sistem
membatasi range suhu yang dapat diukur/dideteksi.
 Berdasarkan itu pula, guna membantu pengajaran/pengenalan tentang pengukuran
temperatur dengan menggunakan elemen sensor, maka dapat dibuat alat bantu
pengajaran ( trainer ), dengan dilengkapi satu atau lebih sensor temperatur dan
dengan sistem ON/OFF atau dengan set point ( membatasi range pengukuran
temperatur )
 Untuk pengukuran dengan set point, perlu pengetahuan dan perangkat lainnya
seperti transduser, Op-amp, ADC/DAC, dan lainnya yang mendukung.

110
EVALUASI
1. Sebuah thermokopel menghasilkan tegangan keluaran sebesar 50mV pada suhu
1400 derajat celcius, sedangkan pada suhu 200 derajad celcius menhasilkan
tegangan 10mV. Berapa tegangan sesungguhnya 9 (Vnet) yang dihasilkan
thermokopel?
2. Buatlah rangkaian sensor suhu dengan menggunakan LM 35 agar output keluaran
tegangan menjadi 0V-5 V saat suhu 00C-500C dengan menggunakan op-amp!
3. Jika rangkaian menggunakan IC LM335 yang mempunyai jarak –10oC sampai
dengan +50oC pada temperatur nominal 20oC, menggunakan catu daya +5V hitung
tahanan beban minimum yang diperbolehkan
4. Sebutkan dan jelaskan kelebihan serta kelemahan sensor-sensor suhu!

111
 JAWABAN

1. Sebuah thermokopel menghasilkan tegangan keluaran sebesar 50mV pada suhu

1400 derajat celcius, sedangkan pada suhu 200 derajad celcius menhasilkan
tegangan 10mV. Berapa tegangan sesungguhnya 9 (Vnet) yang dihasilkan
thermokopel?
Vnet = Vh - Vs
Vnet = 50 mV-10 mV
Vnet = 40 mV
2. Buatlah rangkaian sensor suhu dengan menggunakan LM 35 agar output keluaran
tegangan menjadi 0V-5 V saat suhu 00C-500C dengan menggunakan op-amp!
3. Jika rangkaian menggunakan IC LM335 yang mempunyai jarak –10oC sampai
dengan +50oC pada temperatur nominal 20oC, menggunakan catu daya +5V hitung
tahanan beban minimum yang diperbolehkan
Penyelesaian
Pada temperatur nominal maka outputnya :
Vz = 2,73 V + (10mV/0C) (200C) = 2,93 V
Tetapi, anode pada zener diode pada –2,73 V, maka tegangan keluarannya adalah
:
Vout = Vz + V(offset) = (2,93 – 2,73) V = 200 mV

R(bias) = 5V – 0,2V = 4,8 K

1mA
Dipilih harga R(bias) besarnya 4,7 K.
Untuk menentukan nilai minimum harus ditentukan R(zero) pada I(bias), sehingga
harus dipilih harga R(zero) << R(bias) dan dipilih R(zero) = 500.
Untuk koreksi besarnya tahanan beban digunakan persamaan berikut :
Vmak . R(bias) :
RL >> Vmak – R(bias )
V(supply) – Vmak
Vz = 2,73 + (10)(50) = 3,23V
Vmak = 3,23V – 2,73V = 0,5V

112
 RL >> (0,5V)-(4,7K = 522
5V – 0.5V

4. Sebutkan dan jelaskan kelebihan serta kelemahan sensor-sensor suhu!

Termocouple RTD Thermistor IC Sensor
 Self powered  Paling stabil  Output tinggi  Paling linear
 Sederhana  Paling akurat  Cepat  Output paling
 Murah  Lebih linear  Mengukur tinggi
Kekuatan

 Banyak daripada Ohms dua  Murah

macamnya thermocouple kawat
 Range suhu
luas

 Tidak linear  Mahal  Tidak linear  T < 200C

 Tegangan  Memerlukan  Range suhu  Memerlukan
rendah suply daya terbatas suply daya
Kelemahan

 Memerlukan   Rentan  Lambat

referensi  Tahanan  Memerlukan  Self heating
 Kurang stabil absolut rendah suply daya  Konfigurasi
 Kurang sensitif  Self heating  Self heating terbatas

113
 TRANSDUSER KELEMBABAN

Pengertian Kelembaban

Kelembaban merupakan konsentrasi dari uap air pada udara, jadi di dalam
udara terdapat banyak elemen, antara lain :
a. Oksigen
Oksigen (H2O) merupakan gas yang sangat penting bagi makhluk hidup.
Manusia dan hewan memerlukan oksigen untuk pernapasan. Sebagian besar
jasad renikpun memerlukan oksigen. Pada jasad renik oksigen diperlukan untuk
penguraian bahan makanan. Tumbuhan juga menggunkan oksigen, tetapi
hanya pada malam hari, sedangkan pada sang hari tumbuhan berfotosintesis,
dan menghasilkan oksigen.
b. Nitrogen
Nitrogen adalah gas terbanyak dalam udara. Nitrogen disebut juga zat lemas.
Zat ini tidak berbau dan tidak berwarna, juga tidak mengganggu kesehatan.
c. Karbondioksida
Gas ini berasal dari hasil pernapasan manusia dan binatang. Karbon dioksida
juga berasal dari hasil penguraian zat-zat dari tumbuhan atau hewan oleh
bakteri.
d. Gas Amoniak
Berasasl dari sampah yang dalam proses pembusukan. Jadi, semakin banyak
sampah, semakin banyak pula gas amoniak yang terdapa di udara.
e. Uap Air
Jumlah uap air di udara tidak tetap. Uap air berasal dari penguapan sumber-
sumber air yang terdapat di permukaan bumi. Sumber-sumber air tersebut
sungai, danau, dan laut.

Dari banyak zat di atas ada uap air, banyaknya uap air di udara akan
menentukan tingkat kelembaban dari udara tersebut. Kelembaban diekspresikan
dalam beberapa bentuk, yaitu: kelembaban absolute, kelembaban spesifik, dan
kelembaban relatif, definisinya :

114
 - Kelembaban absolute: Merupakan bilangan yang menunjukkan berapa gram
uap air yang tertampung dalam satu meter kubik udara.

- Kelembaban spesifik : Menggambarkan perbandingan massa uap air yang ada

di udara dengan satu satuan massa udara

- Kelembaban relatif: bilangan yang menunjukkan berapa persen perbandingan

antara uap air yang ada dalam udara saat pengukuran dan jumlah uap air
maksimum yang dapat ditampung oleh udara tersebut.
Alat untuk mengukur kelembaban disebut higrometer. Sebuah humidistat
digunakan untuk mengatur tingkat kelembaban udara dalam sebuah bangunan
dengan sebuah pengawalembap (dehumidifier).
Sensor kelembaban merupakan sensor yang berfungsi untuk mengukur
intensitas atau tingkat kelembaban. Pengukuran dapat dilakukan pada berbagai
macam bentuk, mulai dari benda padat, benda cair, maupun udara, besaran yang
diukur dalam pengukuran ada dua, yaitu suhu dan air.

Beberapa contoh Sensor Kelembaban :

a. Capacitive sensor
Sensor kapasitif merupakan sensor yang perubahan karakteristiknya
merupakan perubahan kapasitansi, komponen penyusun dari sensor ini adalah
sebuah kapasitor yang terisi udara, berikut merupakan gambar dari sensor
kapasitiv persamaan yang digunakan, untuk menyatakan perubahan permivitas
udara karena perubahan tingkat uap air adalah

Dimana :
T = ketentuan suhu (dalam K)
P = adalah tekanan udara basah (dalam mHg)

115
Ps = adalah tekanan saturasi uap air ditemperatur T (dalam mHg)
H = adalah kelembaban relative (dalam %)

Rumus di atas merupakan konstanta dielektrik dari udara basah, maka

dari itu perubahan nilai kapasitansinya sebanding dengan kelembaban relative.
Jarak atau ruang antara plat kapasitor dapat diisi dengan suatu isolator solid
yang memiliki konstanta dielektrik yang memiliki perubahan secara
signifikandalam satu satuan waktu tergantung pada kelembaban. Sensor
kapasitif dapat dibentuk dari film polimer hygroscopic dengan lapisan metal
elektroda pada bagian yang berlawanan. Kapasitansi suatu sensor kira-kira
proporsional/sebanding dengan kelembaban relative H.

Dimana Co adalah kapasitansinya pada H = 0

Berikut merupakan gambar dari sensor kapasitif :

Pada gambar di atas menujukkan sebuah blok diagram system

pengukuran kapasitif, konstanta dielektrik dari contoh (sample material)
tersebut berfungsi untuk merubah frekuensi osilator. Dengan menggunakan
metode di atas ada beberapa kelemahan, misalnya:

1. keakuratannya akan kurang ketika digunakan untuk melakukan

pengukuran dibawah 0,5%,

116
 2. material yang dijadikan sample harus bersih dari partikel asing selain
itu bahan tersebut harus memiliki konstanta dielektrik relative yang
tinggi (contohnya: benda metal dan plastic).
3. hasil sampel pengukuran harus tetap
Prinsip dari sensor kapasitif adalah :
 Memanfaatkan perubahan kapasitif
 perubahan posisi bahan dielektrik diantara kedua keping
 pergeseran posisi salah satu keping dan luas keping yang berhadapan
langsung
 Perubahan jarak antara kedua keepi

Berikut merupakan salah satu contoh sensor kelembaban kapasitif, yaitu

sensor kelembaban HS1101LF. Sensor ini bekerja dengan sel kapasitif sendiri, jadi
sensor ini bersifat kapasitif. Biasanya digunakan untuk pengukuran tingkat tinggi,
misal : kabin mesin, industri, dan rumah. Sensor ini
Keunggulan :
- Berdiri sendiri.
- Kalibrasi tidak diperlukan pada kondisi normal.
- Perubahan cepat, setealah sampai pada titik jenuh
- Cocok dengan prosess otomasi.
- Stabil dan handal
- Terbuat dari polimer solid
- Cocok untuk tegangan linier dan output frekuensi
- Respon yang cepat dan koefisien temperatur rendah
- Komponen dapat disentuhkan ke air

KELAS Simbol Nilai Satuan

- Tegangan operasi Ta -60 to 140 °C
- Suhu penyimpanan Tstg -60 to 140 °C
- Tegangan masukan (puncak) Vs 10 Vac
- Range operasi kelembaban RH 0 to 100 % RH

117
Contoh:
karakteristik (Ta = 25ºc, frekuensi :10khz)
- Hasil respon, berdasarkan grafik (10kHz/1V)

contoh penggunaan :

118
Keterangan :
R22 = 499kΩ
R4 = 49.9 Ω
R1 =1kΩ
RV1 = 50 k Ω potentiometer
C1 = 10nF
C2 = 2.2nF
C3 = 100nF

Rangkaian di atas di desain menggunakna IC 555 sebagai pembangki

gelombang, sensor HS 110LF digunakan sebagai variable kapasitor, yang
dikoneksikan ke trigger pada IC 555.
b. Electrical Conductivity Sensors
Pada beberapa bahan konduktor nonmetal, besarnya kandungn air
biasanya tergantung akan menyebakan perubahan besarnya resistansi, dengan
menggunakan konsep di tersebut digunakan untuk membuat sebuah sensor
kelembaban dengan peruahan karakteristik Resistansi. Bahan yang digunakan
untuk membuat sensor ini adalah bahan yang tingkat resistivitasnya rendah, namun
mempunyai tingkat perubahn karakteristik resistivitas tinggi bergantung pada
tingkat kelembaban.

119
Gambar di atas merupakan gambar contoh layout sensor kelembaban.

Salah satu bahan yang digunakan untuk membuat sensor

kelembaban konduktivitas adalah disebut dengan “Pope element”, yang terdiri
dari polystyrene direaksikan dengan asam sulfur untuk memperoleh
karakteristik surface-resistivitas. Material lainnya yang dapat digunakan
untuk pembuatan suatu sensor kelembaban konduktivitas adalah solid
polyelectrolytes karena konduktivitas elektrik dari bahan itu bervariasi/
berubah terhadap kelembaban.

Gambar (a)

Gambar (b)

120
 (Gambar a) merupakan gambar sensor kelembaban solid-state yang
terbuat dari substrat silicon. Silikon tersebut harus berkonduktansi tinggi, yang
mempunyai garis edar elektrik dari elektroda aluminium hampa udara/vacuum
yang ditempatkan pada permukaan sensor.
Lapisan oksida diletakkan pada bagian atas lapisan aluminium
konduktiv, dan pada bagian atas itu, dilektakkan elektroda lainnya. Lapisan
aluminium tersebut dianodized dalam suatu cara untuk membentuk permukaan
oksida berpori. Elektroda bagian paling atas terbuat dari emas berpori yang
dapat ditembus gas, dan diwaktu yang sama dapat menyediakan kontak
elektric. Oksida aluminium (Al2O3), seperti banyak material-material lainnya,
yang dengan siap mengabsorbsi air ketika sensor terhubung dengan
campuran gas yang mengandung air dalam keadaan beruap air.
(Gambar b) merupakan ekuivalen sederhana dari circuit sensor,R1 dan
C1 merupakan variabel yang tergantung pada kelembaban,nilai variabel
diperoleh dari perubahan pada pori-pori Al203. R2 dan C2 merupakan istilah
untuk lapisan oksida yag tidak terpengaruh oleh kelembaban, R3 dan C3 juga
tidak terpengaruh juga dengan kelembaban.

c. Sensor Konduktivitas Thermal

Penggunaan konduktivitas thermal untuk pengukuran tingkat
kelembaban gas, prinsip kerjanya kelembaban diukur dengan menggunakan
termistor. Dua thermistor kecil (Rt1 dan Rt2) didukung dengan kawat-kawat
tipis untuk memperkecil rugi konduktivitas thermal. Thermistor pada sebelah kiri
dibuka agar gas yang berada di luar masuk melalui lubang, dan
thermistor sebelah kanan tertutup dengan rapat dalam udara kering.

121
 Pada awalnya sistem tersebut dikalibrasi dalam udara kering untuk
menentukan suatu nilai referensi nol. Kemudian setelah digunakan untuk
pengkuran gas yang masuk melalui termistor yang tutupnya terbuka, maka
keluaran dari sensor ini bertambah secara berangsur-angsur seperti kenaikan
kelembaban absolute dari nol. Gambar B merupakan gambar karakteristik
keluaran tegangan dari sensor tersebut.

d. Optical Hygrometer
Ide dari sensor ini adalah memanfaatkan photo detector untuk
menyensor titik embun yang berasal dari udara yang dipompakan melalui
sensor tersebut, dengan menurunnya suhu pada cermin, seiring dengan
tingkat kelembaban dari udara yang dipompakan, maka pada cermin tersebut
akan terjadi titik-titik embun, dengan adanya titik- titk air pada cermin maka
akan merubah kesetimbangan dari photodetector, dan dari perubahan yang
terjadi akan diteruskan ke rangkaian pengontrol, sehingga dengan adanya
rangakaina tersebut, maka perubahan kelembaan dapat disensor, pada bagian
bawah cermin, terdapat pompa panas, yang berfungsi untuk memompa panas
dari udara yang dimasukkan.
Photodetectors menyensor dari cahaya LED, pada saat di cermin itu
terdapat titik air, maka cahaya yang diterima photodetectors akan terbias. Pada
saat kering reflektifitas dari cermin akan tinggi.

122
e. Oscillating Hygrometer

Ide di balik hygrometer isolasi adalah menggunakan plat yang terbuat

dari Kristal kuarsa tipis, yang merupakan bagian dari rangkaian isolasi. karena
osilasi piring kuarsa didasarkan pada efek piezoelektrik.
kristal kuarsa digabungkan dengan pendingin Peltier.
Ketika suhu turun dikarenakan dengan adanya gas lembab yang
dipompakan pada permukaan plat kristal kuarsa, maka embun, maka pada
permukaan itu akan ada titik-titik uap. Karena terjadi perubahan massa Kristal.
Akan terjadi perubahan frekuensi resonansi, yang akan diteruskan ke rangkaian
pengolah perubahan frekuensi. Dari situ maka kelembaban yang dari udara
dapat di sensor dengan sensor ini.

123
EVALUASI
1. Sebutkan prinsip dari sensor kapasitif!
2. Sebutkan beberapa aplikasi yang menggunakan sensor kelembapan!
3. Perhatikan gambar di bawah!

Sebutkan kelemahan penggunaan metode tersebut!

4. Jelaskan prinsip kerja dari Optical Hygrometer!
5. Sebutkan prinsip kerja dari Oscillating Hygrometer!

124
 JAWABAN

1. Sebutkan prinsip dari sensor kapasitif!

a. Memanfaatkan perubahan kapasitif
b. perubahan posisi bahan dielektrik diantara kedua keping
c. pergeseran posisi salah satu keping dan luas keping yang berhadapan
langsung
d. Perubahan jarak antara kedua keepi
2. Sebutkan beberapa aplikasi yang menggunakan sensor kelembaban!
kabin mesin, industri, dan rumah
3. Perhatikan gambar di bawah!

Sebutkan kelemahan penggunaan metode tersebut!

a. keakuratannya akan kurang ketika digunakan untuk melakukan
pengukuran dibawah 0,5%,
b. material yang dijadikan sample harus bersih dari partikel asing selain
itu bahan tersebut harus memiliki konstanta dielektrik relative yang
tinggi (contohnya: benda metal dan plastic).
c. hasil sampel pengukuran harus tetap
4. Jelaskan prinsip kerja dari Optical Hygrometer!
Ide dari sensor ini adalah memanfaatkan photo detector untuk menyensor titik
embun yang berasal dari udara yang dipompakan melalui sensor tersebut, dengan
menurunnya suhu pada cermin, seiring dengan tingkat kelembaban dari udara
yang dipompakan, maka pada cermin tersebut akan terjadi titik-titik embun, dengan
adanya titik- titk air pada cermin maka akan merubah kesetimbangan dari
photodetector, dan dari perubahan yang terjadi akan diteruskan ke rangkaian

125
 pengontrol, sehingga dengan adanya rangakaina tersebut, maka perubahan
kelembaan dapat disensor, pada bagian bawah cermin, terdapat pompa panas,
yang berfungsi untuk memompa panas dari udara yang dimasukkan.
5. Sebutkan prinsip kerja dari Oscillating Hygrometer!
Penggunakan plat yang terbuat dari Kristal kuarsa tipis, yang merupakan bagian
dari rangkaian isolasi. karena osilasi piring kuarsa didasarkan pada efek
piezoelektrik. kristal kuarsa digabungkan dengan pendingin Peltier. Suhu turun
dikarenakan dengan adanya gas lembab yang dipompakan pada permukaan plat
kristal kuarsa, maka embun, maka pada permukaan itu akan ada titik-titik uap.
Karena terjadi perubahan massa Kristal. Akan terjadi perubahan frekuensi
resonansi, yang akan diteruskan ke rangkaian pengolah perubahan frekuensi. Dari
situ maka kelembaban yang dari udara dapat di sensor dengan sensor ini.

126
 CHEMICAL SENSORS

Chemical sensors atau sensor kimia merupakan sensor yang

menanggapi perubahan dari perubahan atau perubahan kimia. Bahan kimia
yang sensor termasuk dan fase gas, sensor sedangkan untuk bahan kimia
padat sangat jarang disensor. Aplikasi dari sensor ini sangat banyak, mulai dari
penyensoran bahan-bahan kimia, yang kemungkinan dapat membahayakan,
atau pada laboratorim kimia, dan masih banyak lagi. Berbagai bidang banyak
memakai : mulai dari bidang penelitian dan sains, militer, industry, bahkan pada
bidang kesehatan.
Sensor kimia dapat digambarkan dengan menggunakan kriteria dan
karakteristik umum untuk semua sensor seperti stabilitas, pengulangan,
linearitas, histeresis, saturasi, waktu respon, dan rentang. Namun ada dua
karakteristik yang unik yang hanya digunakan pada sensor kimia, yaitu
selektifitas dan karakteristik sensitivitas. Karena sensor kimia digunakan untuk
identifikasi dan kuantifikasi, mereka harus baik dalam hal selektifitas dan
sensitifitas terhadap bahan kimia yang akan diukur. Selektifitas
menggambarkan seberapa besar sensor tersebut menyensor bahan yang
harusnya disensor, bukan yang lain, sehingga sensor hanya akan bekerja
dengan bahan-bahan yang seharusnya. Sensitivitas menggambarkan
seberapakah perubahan dari sensor, seiring dengan perubahan konsentrasi
dari bahan kimia yang disensor.
Sensor kimia diklasifikasikan dalam beberapa macam, mulai dilihat dari
segi cara penyensoran, yaitu : Sederhana dan Komplek, selain itu juga
dibedakan sensor yang bersifat kimiawi, dan sensor yang berbentuk fisik,
berikut gambaran pembagiannya :

127
 Gambar di atas memperlihatkan sensor kimia langsung berbagai
fenomena reaksi kimia secara langsung memberikan karakteristik listrik seperti
resistansi, potensial, atau kapasitansi. Jadi sama seperti sensor-sensor lainnya,
dia juga mempunyai karakteristik-karakteristik keluaran, yaitu: resistif,
tegangan, dan kapasitansi, tanpa mengalami pengkonversian-pengkonversian.
Intinya yaitu reaksi kimia akan langsung memberikan perubahan-perubahan
elektrikal secara langsung.

128
 Sedangkan gambar di atas memperlihatkan tentang sensor yang
komplek. Hasil Perangkat yang kompleks reaksi kimia maka secara tidak
langsung akan mempengaruhi karakteristik listrik tidak langsung di sini
dimaksudkan bahwa untuk memerlukan beberapa bentuk perubahan untuk
mendapatkan sinyal, sehingga hasil/sinyal outputan akan diolah dahulu dengan
menggunakan rangkaian elektronik, sebelum digunakan untuk control, maupun
pengukuran. perubahan yang mungkin terjadi bentuk fisik, pergeseran
frekuensi, modulasi cahaya, temperatur atau perubahan panas yang dihasilkan,
dan bahkan perubahan massa.
Perangkat reaktif kimia mempunyai kelemahan/kekurangan ketika ada
reversibilitas tidak yang lengkap, atau bila terjadi penurunan dari penyerapan
dari sensor / analit kimia, misalnya ketika pengukuran ada zat-zat lain yang
mempengaruhi, dalam pengukuran tersebut. Sedangkan perangkat reaktif fisik,
biasanya akan memakan tempat, dan biaya yang harus bertambah, sedangkan
untuk tingkat penyensorannya juga lambat, walaupun dengan stabilitas
pengukuran yang lerbih baik.

1. Direct Sensor (sensor langsung)

Sama seperti pengertian tadi, sensor ini akan memberikan hasil
reaksi langsung, berdasarkan reaksi kimia yang terjadi. Beberapa jenis dari
sensor ini adalah conductometric, alat ini mempunyai perubahan langsung
dari reaksi kimia , misalnya resistansi atau impedansi . Amperometri, pada
sensor dengan jenis ini, perubahannya adalah arus. Dan yang terakhir yaitu

129
jenis potensiometri hasil reaksi kimia yaitu perubahan potensial listrik atau
tegangan sepasang elektroda. Dengan menggunakan komponen tambahan
lainnya , karakteristik ini dapat dikonversi ke dalam bentuk karakteristik
yang lain.

1. Metal-Oxide Chemical Sensors

Sensor gas metal-oksida (seperti dioksida timah, SnO2) telah
populer sejak 1960-an [2]. Sensor ini adalah perangkat kasar sederhana
yang dapat berkerja baik dengan rangkaian elektronik sederhana.
sensor memiliki perubahan karakteristik kelistrikan dengan reduksi gas
seperti metil mercaption (CH3SH) dan etil alkohol (C2H5OH). Ketika
kristal logam oksida seperti SnO2 dipanaskan pada suhu tinggi tertentu
di udara, oksigen akan teradsorpsi pada permukaan kristal dan
permukaan potensial dibentuk yang menghambat elektron. ketika
permukaan tersebut terkena reduksi gas, tingkat hambatan akan turun
dan konduktivitas terukur meningkat. Hubungan antara hambatan listrik
film dan gas direduksi dijelaskan dalam :
Rs =A[C]−α
Di mana Rs adalah resistansi listrik sensor, A adalah konstanta
tertentu yang diberikan untuk film. C adalah konsentrasi gas, dan α
adalah kemiringan karakteristik dari kurva Rs untuk itu materi dan gas
yang diharapkan. Sensor ini mempunyai perubahan resistivitas saat
terjadi reduksi gas, maka ada rangkaian elektronik tambahan untuk
beroperasi. Dengan menggunakan jembatan wheatstone maka dapat
dilihat karakteristik perubahan gas dengan perubahan tegangan. Berikut
contoh rangkaiannya :

130
 Koefisien Suhu negatif (NTC) termistor dengan resistor paralel
digunkaan untuk mengatur titik keseimbangan jembatan tersebut.
Dengan menggunakan comparator, maka ketika pada sensor Metal
Oxide memberika perubahan karakteristik, kesetimbangan dari
jembatan akan berubah, dan jika tegangan pada Vrl, lebih besar dari
tegangan Vref, maka output komparator akan positive, sehingga pada
rangkaian itu akan memicu transistor dan akan menyalakan Alarm. Hasil
outputan dari rangkaian tersebut, juga dapat digunakan untuk
melakukan tindakan lain, misal, memberikan picu ke microcontroller,
relay, dll.

2. AchemFET
AchemFET adalah transistor efek medan yang di dalamnya
terdapat laisan penyensor gas dan rangkaian elektronik. Berikut
gambarnya

131
 ChemFETs dapat digunakan untuk mendeteksi H2 di udara, O2
dalam darah,gas syaraf yang digunakan dalam militer, CO2, dan gas
peledak. ChemFET ini dibuat menggunakan film tipis biasanya silikon
tipe-p dan dua silikon difusi tipe-n. Lapisan isolator memisahkan
gerbang akhir logam elektroda teratas agar tetap kering. chemFET
adalah sebuah konduktor kimia yang dikontrol (resistor). Konduktansi
dari chemFET yang diukur oleh sebuah penguat diferensial dan diwakili
oleh tegangan output e. Untuk menghitung konduktansi, arus dalam
rangkaian diukur oleh converter I / Vdengan sebuah resistor R
referensi.

3. Sensor Elektromekanikal
Sensor ini merupakan sensor yang paling fleksible digunakan
dan paling maju diantara sensor kimia yang lainnya. Sensor ini
menggunakan elektroda khusus dalam melakukan pengukuran, yang
mudah termodulasi dengan reaksi kimia. Dasar dari sensor ini adalah,
Elektroda dalam sistem penginderaan sering dibuat dari logam katalitik
seperti platina atau paladium, logam-logam itu juga dapat dilapisi oleh
logam karbon.

132
 RE (Refrence Electrode) atau elektroda refrensi digunakan untuk
mengukur dan referensi dari potensial sensor yang dihasilkan oleh
masing-masing elektroda dan elektrolit atau lebih tepatnya sebagai
pembanding potensial. WE (Working Electrode) adalah penynsor dari
ahan yang akan disensor, AE (auxiliary electrode) adalah electrode yang
bukan merupakan katalis dalam sensor ini, ketiga electrode di atas akan
bereaksi sesuai dengan jernis bahan yang disensor oleh elektroda-
elektroda tersebut, yang kemudian tegangan outputan yang akan diolah
ke pengendali, atau digunakan ntuk pengukuran.
4. Ampermetric Sensor
Contoh dari sensor kimia amperometrik adalah sensor oksigen
Clark yang diusulkan pada tahun 1956. Prinsip operasi elektroda
didasarkan pada penggunaan larutan elektrolit yang terkandung dalam
elektrode untuk transportasi oksigen dari suatu membran permeabel
oksigen ke katoda logam selektif yang membutuhkan arus yang sangai
tinggi, representasi dari proses pengurangan oksigen yang
kemungkinan terjad adalah :
O2 +2H2O+2e−→H2O2 +2OH−
H2O2 +2e−→2OH−

133
 Gambar di atas menunjukkan membran yang membentang di
ujung elektroda, memungkinkan oksigen berdifusi melalui lapisan
elektrolit tipis untuk katoda. Baik anoda dan katoda yang terkandung
dalam pembuatan sensor, dan tidak ada hubungan dengan kelistrikan
dari luar (pada gambar tersebut). Sistem membran elektrolit-elektroda
dianggap bertindak sebagai sistem difusi satu dimensi dengan tekanan
parsial di membran sama dengan tekanan p0 ekuilibrium parsial
permukaan dan bahwa pada katoda sama dengan nol. Perubahan arus
pada sensor ini dapat ditunjukkan dengan :

Dimana A dalah area elektroda, αm is the solubitas of oksigen di

permukaan membram, F adalah konstantan faraday, Dm adalah
konstanta disfusi, and xm adalah ketebalan ri membram. Arus yang
dihasilkan akan sangat tidak bergantung dengan vareasi ketebalan dan
difungsi. Sebuah teflon dapat kita gunakan sebagai film yang digunakan
sebagai permeable oksigen. sensitivitas sensor ini dapat didefinisikan
sebagai rasio arus oksigen tekanan parsial:

134
 Sebagai contoh, sebuah membram, ketebalannya adalah 25 µm,
dan area katoda adalah 2×10−6 cm2, Sensor kimia tipe amperometic
dibuat dengan menggunakan. Sensor yang mampu mengukur
kekurangan oksigen relatif yang disebabkan oleh reaksi enzimatik
dengan menggunakan dua elektroda oksigen Clark. Prinsip operasinya
adalah :

Sensor ini terdiri dari dua elektroda oksigen identik, dimana

elektroda A merupakan elektrode yang dilapisi dengan oksidasi aktif
lainnya, dan Elektrode B adalah lapisan yang tidak aktif. Sebagai contoh
adalah aplikasi peda sensor glukosa, di mana inaktivasi dapat dilakukan
baik dengan kimia, radiasi, atau termal. Sensor dienkapsulasi ke dalam
plastik dengan kerangka tabung dengan tabung kaca koaksial yang
mendukung dua katoda Pt dan satu anoda Ag.
Ketika glukosa ada dalam larutan dan reaksi enzimatik
berlangsung, jumlah oksigen mencapai permukaan elektroda aktif
dikurangi dengan jumlah yang dikonsumsi oleh reaksi enzimatik, yang
menghasilkan ketidakseimbangan, dan akan mengasilkan keluaran,
berupa arus yang akan diteruskan ke rangkaian elektronik lainnya.
5. Enhanced Catalytic Gas Sensors
Merupakan alat yang digunnakan untuk mengukur peningkatan
katalis zat kimia, yang ditambahkan dengan sel electromecanical
sederhana. Electromecanical terbuat dari film keramik logam dan

135
memberikan reaksi untuk pengukuran delam bentuk potensiometri dan
amperometri.
Perangkat katalitik ditingkatkan dibagi menjadi elektro-
enchanced dan foto-enchanced. Elektrokatalitik menggunakan film tebal
padat elektrolit elektrokimia. Sel ini dibuat menggunakan teknik screen-
printing/firing untuk menghasilkan sandwich dari keramik-logam
(keramik logam) bahan pada aluminium dengan tebal 625-µm terbuat
dari substrat oksida (Al2O3).
Elektroda referensi yang rendah berukuran sekitar 15µm, yang
terbuat dari terbuat dari platinum (Pt) terikat pada oksida nikel (NiO).
Elektroda referensi bagian atas, berukuran 5 µm yang terbuat dari
platinum (Pt). dua electrode itu dipisahkan dengan jarak 25-30 µm. dan
Dalam mode sederhana sebuah potensial listrik yang dihasilkan sebagai
fungsi dari og natural dari tekanan parsial gas-gas pada permukaan
yang berlawanan dari sensor. Ketika elektroda dalam keadaan yang
sangat tinggi perbedaan maka sebenarnya terjadi reaksi kimia. Sebagai
potensi berubah adalah gas pada permukaan perangkat akan
mengurangi atau teroksidasi dan melepaskan atau menangkap elektron
bebas. Reaksi ini mempengaruhi arus listrik (i) melewati film, yang dapat
diukur dengan amperimeter sebagai sebuah fungsi dari sample gas
yang mempengaruhi rangkaian tersebut. Saat ini dipengaruhi oleh
tingkat perubahan potensi diterapkan dan komponen arus reaktif.
Dengan mengubah bentuk berbasis waktu dari potensi
diterapkan, kedua komponen sinyal dapat dipisahkan dan lebih baik
digunakan untuk mendeteksi jenis gas. Karena reaksi tergantung pada
suhu, pemanas dan sensor suhu dimasukkan ke dalam sensor untuk
mempertahankan suhu pada tingkat yang telah ditetapkan.
Electrocatalyst Enchanced, menggunakan bahan seperti
Titanium Dioksida (TiO2) sebagai alat yang mempunyai reaksi dengan
adanya peningkatan catalyst. TiO2 elektro-oksidasi bereaksi ketika
terkena gelombang dari ultraviolet (UV) yang panjangnya kurang dari
320 nm. Sensor electro catalyst Enchanced resistensinya perubahan

136
 bila terkena gelombang yang tepat dari sinar UV dan reaksi perubahan
gas. Berikut merupakan gambaran dari sensor tersebut:

Perubahan dari potensial dapat dipengaruhi oleh intensitas

cahaya, dan perubahan dari jenis-jenis bahan kimia yang disensor.
Hasil outputan dari sensor akan membuat perubahan arus, yang
kemudian akan digunakan untuk diteruskan ke rangkaian control,
maupun ke rangkaian pengukuran.
2. Sensor komplek.
Sensor kompleks melibatkan fenomena kimia yang mengubah
keadaan suatu indikator sebagai fungsi dari beberapa reaksi kimia. Indikator
bisa menjadi perubahan suhu, perubahan opacity, perubahan frekuensi osilasi,
dan sebagainya. Indikator-indikator memerlukan transduser lain untuk
mengkonversi indikator berubah ke output listrik.
a. Thermal Sensors
Sensor ini beroperasi pada dasar prinsip yang membentuk
dasar microcalorimetry. Sebuah prinsip operasi dari sensor termal
sederhana: Probe Atemperature dilapisi dengan lapisan kimia selektif.
Setelah pengenalan sampel, probe mengukur pelepasan panas selama
reaksi antara sampel dan lapisan sensor.

137
 Gambar di atas merupakan gambaran dari thermal sensor,
thermal shield digunakan untuk mereduksi panas yang ditangkap oleh
sensor hasil reaksi dari penyensoran kimia adalah. Termistor terhubung
dengan rangkaian jembatan westone. Peningkatan temperature
merupakan hasil pengukuran reaksi kimia yang proporsional, dengan
adanya jembatan westone, keluaran dari penyensoran akan dapat
diukur, atau diteruskan ke rangkaian lain.
b. Optical Chemical Sensors
Sensor optik didasarkan pada interaksi radiasi elektromagnetik
dengan materi, yang menghasilkan mengubah (modulasi) beberapa
sifat radiasi. Contoh modulasi tersebut variasi dalam intensitas,
polarisasi, dan kecepatan cahaya dalam media. Keberadaan bahan
kimia yang berbeda dalam analit akan mempengaruhi panjang
gelombang cahaya yang dimodulasi. Modulasi optik dipelajari oleh
spektroskopi, yang
menyediakan informasi tentang berbagai struktur mikroskopis dari atom
hingga ke dinamika dalam polimer. Dalam pengaturan umum, radiasi
monokromatik melewati sampel (yang mungkin gas, cair, atau padat),
dan sifat-sifatnya diperiksa pada output.
Optik spektroskopi berguna untuk menyerap panjang gelombang
UV dan IR yang dapat digunakan untuk deteksi target O3. Dalam semua
cara panjang gelombang sumber cahaya secara rutin dicocoka dengan
energi reaktif dari indikator optrode untuk mencapai sinyal elektronik

138
terbaik. Deteksi cahaya asli dan yang dihasilkan diperoleh dengan
fotodioda atau tabung photomultiplier.
Sensor kimia optik dapat dan dirancang dan dibangun dalam
berbagai macam bentuk, salah satu dari bentuknya adalah sensor gas
CO2. Sensor ini terdiri dari dua bagian yang diterangi oleh LED. Masing-
masing bagian memiliki ba metalisasi permukaan untuk reflektifitas
internal yang lebih baik. Ruang kiri memiliki slot ditutup dengan
membran gas-permeable.

Slot memungkinkan CO2 untuk berdifusi ke dalam ruangan.

Bagian bawah chambersare yang terbuat dari kaca. Bagian sensor
memantau larutan yang akan disensor. LED untuk kedua bagian dari
sensor mentransmisikan cahaya melalui sampel ke fotodioda tes (PD1).
Fotodioda kedua (PD2) adalah bertujuan untuk meniadakan variasi
referensi di dalam intensitas cahaya dari LED. Untuk mendapatkan
stabilitas suhu s, sensor harus beroperasi dalam lingkungan termal
stabil. Hasil output berupa tegangan, yang setelah sensor memberikan
outputan akan dibandingkan dengan tegangan referensi, yang akan
digunakan untuk rangkaian pengendali lainnya, atau untuk pengukuran.
Sensor kimia serat optik menggunakan fase reagen kimia untuk
mengubah jumlah atau panjang gelombang cahaya yang dipantulkan
oleh atau diserap yang dikirimkan serat gelombang cahaya referensi.
Sebuah sensor serat optik biasanya berisi tiga bagian: sumbercahaya,
optrode, dan sebuah transduser (detektor), untuk mengkonversi sinyal
foto dan merubahnya menjadi sinyal listrik. Optrode adalah pereaksi

139
 fase membran atau indikator yang sifat optik yang dipengaruhi oleh
analit.

Dapat dilihat dengan adanya reaksi kimia pada lokasi

penyensoran / analyte hasil outputan dari cahaya yang dipantulkan oleh
optrode, yang diterima oleh detector

c. Biochemical Sensors
Biosensor adalah kelas khusus dari sensor kimia. Evolusi
spesies melalui seleksi alam menyebabkan organ yang sangat sensitif,
yang dapat merespon hanya beberapa molekul. Sensor buatan
manusia, secara umum tidak sensitif, tetapi dengan menggunakan
bahan biologis aktif dalam kombinasi dengan beberapa unsur-unsur
dapat digunakan untuk penginderaan fisik (misalnya, amperometri atau
termal). Unsur biorecognition sebenarnya adalah sebuah bioreaktor
yang lebih dari sensor konvensional, sehingga respon dari biosensor
akan ditentukan oleh difusi, reaksi produk analit, coreactants atau bahan
yang mengganggu, dan kinetika dari proses penyensoran. Unsur-unsur
biologis berikut dapat dideteksi secara kualitatif dan kuantitatif oleh
biosensor antara lain: organisme, jaringan, sel, organel, membran,
enzim, reseptor, antibodi, dan asam nukleat.
Dalam pembuatan biosensor, salah satu kunci adalah imobilisasi
analit pada transduser fisik. Imobilisasi harus membatasi bahan biologis
aktif pada elemen sensing dan menjaga kebocoran keluar selama
biosensor digunakan, memungkinkan kontak untuk solusi analit,
memungkinkan produk ke berdifusi keluar dari lapisan imobilisasi, dan

140
tidak mengubah sifat bahan biologis aktif . Sebagian besar bahan
biologis aktif yang digunakan dalam biosensor adalah protein atau
mengandung protein dalam struktur kimia mereka. Oleh karena itu,
untuk melumpuhkan protein pada permukaan sensor, ada dua teknik
dasar yang digunakan: retensi mengikat atau fisik. Adsorpsi dan
mengikat kovalen adalah dua jenis teknik mengikat. Retensi ini
melibatkan memisahkan bahan biologis aktif dari solusi analit dengan
lapisan pada permukaan sensor, yang permeabel terhadap analit dan
produk dari reaksi pengakuan, tetapi tidak untuk bahan biologis aktif.

141
 DAFTAR PUSTAKA

Abu Ahmad Abdul Alim Ricky, dkk. Prinsip Dasar Thermokopel. Diakses 25
September 2011 dari [Link]
content/uploads/2009/07/prinsip_dasar_thermokopel.pdf

Fraden, Jacob. 2003. Handbook of Modern Sensors. Diakses 22 September 2011 dari
[Link]
[Link]?tsid=20111118-163006-3104dc96

Lilik Gunarta. 2011. Mengenal Sensor dan Actuator. Diakses pada 18 September
2011 dari [Link]
dan_lilikgunarta_12437.pdf

Saud Maruli Tua, dkk. 2006. Penambahan Pengaman Motor Listrik dengan Sensor
Suhu IC LM 135. Diakses 18 September 2011 dari
[Link]
[Link]

Tim Fakultas Teknik. 2003. Sensor dan Tranduser. Diakses pada 18 September 2011
dari [Link]

Waslaluddin, dkk. 3 : Elemen dan Karakteristik Sensor. Diakses 25 September 2001

dari [Link]
WASLALUDDIN/3_Karakteristik_Sensor_%5BCompatibility_Mode%[Link]

[Link]
Kgc1/BAB%20II%20Dasar%[Link]?key=huflepuff:journal:24&nmid=436218
430 diakses 20 September 2011

[Link] diakses 25
September 2011

142
[Link]
31604&lt=1321635214&uahk=KWqatwSIHP9vQoUfc7iw88WcfLk diakses 18
September 2011

[Link] diakses pada 18

September 2011

[Link] diakses pada 18

September 2011

[Link] diakses pada 18 September 2011

143