Etude et conception d’un interrupteur de puissance

monolithique à auto-commutation:le thyristor dual

disjoncteur.
Florence Capy

To cite this version:

Florence Capy. Etude et conception d’un interrupteur de puissance monolithique à auto-
commutation:le thyristor dual disjoncteur.. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université
Paul Sabatier - Toulouse III, 2009. Français. �NNT : �. �tel-00446781�

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abroad, or from public or private research centers. publics ou privés.
 THESE
En vue de l’obtention du

DOCTORAT DE L’UNIVERSITE DE TOULOUSE

Délivré par l'Université Toulouse III - Paul Sabatier
Discipline ou spécialité : Conception de Circuit Microélectronique et Microsystèmes

Présentée et soutenue par

Florence CAPY
Le 4 décembre 2009
Titre :
Etude et conception d'un interrupteur de puissance monolithique à auto-commutation:
le thyristor dual disjoncteur.

Jury :
J-C. CREBIER (Rapporteur)
J. MILLAN (Rapporteur)
[Link] (Examinateur)
S. LEFEBVRE (Examinateur)
J-B. QUOIRIN (Examinateur)
J-L. SANCHEZ (Examinateur)

Ecole doctorale : GEET

Unité de recherche : LAAS-CNRS
Directeur(s) de thèse : M. BREIL (Directrice), F. RICHARDEAU (Co-directeur)
Rapporteurs : J-C. CREBIER, J. MILLAN
 REMERCIEMENTS

Le travail effectué dans ce mémoire a été effectué au sein du groupe Intégration des
Systèmes de Gestion de l’Energie (ISGE) du Laboratoire d’Analyse et d’Architecture des
Systèmes (LAAS) du CNRS à Toulouse.

Je remercie Messieurs GHALLAB et CHATILA, Directeurs successifs du LAAS, ainsi

que Madame BAFLEUR, Responsable du groupe ISGE, pour m’avoir accueillie et permis
d’entreprendre cette étude.

Je tiens à remercier Messieurs Jean-Christophe CREBIER et José MILLAN, qui ont

accepté la tâche d’être rapporteur de mes travaux de thèse. Je remercie également les
membres du jury, Messieurs LEFEBVRE, QUOIRIN et SANCHEZ, ainsi que Monsieur
BIDAN qui m’a fait l’honneur de le présider avec toute sa gentillesse.

Je souhaite exprimer mes remerciements à ma directrice de thèse, Marie BREIL pour sa

gentillesse, son soutien, son aide permanente (même à 3h du matin) et la confiance qu’elle
m’a accordée durant ces années. Tu as parfaitement joué ton rôle de directrice de thèse, voire
même plus, et je pense que tes autres doctorants ne me contrediront pas. Je tiens également à
exprimer ma reconnaissance envers mon codirecteur Frédéric RICHARDEAU, pour la
confiance qu’il m’a accordé et les nombreuses discussions scientifiques qu’on a eu. Je tiens
aussi à te remercier pour tes qualités humaines et te dire que tu as été une source de
motivation permanente. Vous avez formé un duo formidable d’encadrant et ce fut un vrai
plaisir de travailler avec vous. Mes remerciements vont également à Jean Louis SANCHEZ,
qui a réalisé l’interim pendant un an. Je tiens à souligner que malgré tes nouvelles
responsabilités tu as toujours suivi mon travail et c’est grâce à tes conseils et ta clairvoyance
scientifique qu’il a pu autant avancer.
Je tiens aussi à remercier tout particulièrement Jean Pierre LAUR. Je remercie tout
d’abord le professeur : apprendre avec toi est un vrai plaisir car tout devient simple et
intéressant (Je me suis rarement autant éclatée à faire du circuit)… Je remercie aussi
l’encadrant car je te considère comme mon troisième directeur de thèse avec tout ce que cela
peut représenter : Tu m’as redonné goût à mon sujet quand je baissais les bras, tu m’as
soutenu dans les moments difficiles, car en plus de tes qualités pédagogiques tu as aussi de
grandes qualités humaines. J’ai été très fière de pouvoir travailler et apprendre avec toi.

Je tiens à exprimer ma reconnaissance envers les permanents du groupe ISGE, en

particulier Magali BRUNET qui a pris part avec toute sa gentillesse et sa bonne humeur à ce
travail. Je remercie aussi Abdelhakim BOURENNANE, qui a participé à ce travail tout au
long de ces années de thèse. Merci pour tous les échanges qu’on a eus et pour toute l’aide que
tu as apportée sans jamais rechigner.

Un grand merci aussi au personnel de la centrale de technologie du LAAS pour leur

patience et leur bonne humeur, en particulier Boubou, Laurent, Fabien ( merci pour la
formation microscope et plaques chauffantes) que j’ai de nombreuses fois embêtés… Mais
aussi Jean Christophe, Djaffar, Bernard, Christina, Samuel, David, Sébastien, Monique,
Véronique, David…Et surtout Eric IMBERNON qui a assuré avec beaucoup de patience et de
brio la formation (et ce n’était pas de tout repos) et le bon déroulement du process.

Je voudrais remercier les collègues de bureau pour avoir rendue ce « séjour » si agréable,
Stéphane dont les blagues commencent à être aussi drôle que les miennes, Gabs qui a apporté
sa touche de folie dans le bureau et Julie pour ses blagues de haut vol, ses initiations aux jeux
et surtout son soutien dans les moments difficiles de la fin de thèse. Je voudrais remercier
aussi toute l’équipe photovoltaïque pour leur bonne humeur: Cédric (le maître power point),
Jeff (bon c’est quand qu’on se fait une soirée ?), ainsi que les petits nouveaux Alona (la reine
du déguise), Youssef (on fait une pause ?) et Marcos. Je tiens à adresser un remerciement
particulier à Mathieu qui a été un soutien durant les périodes difficiles de la thèse et surtout
qui apporté une aide énorme en salle blanche, sans jamais compter son temps. C’est grâce à
toi que j’ai pu arriver au bout, merci d’avoir été là pour moi. Je remercie également Gaétan et
Loïc, mes deux experts en simulation 2D. Enfin un gros merci à Thibaut pour sa grande
générosité qui n’a pas hésité à se lever très tôt pour ma soutenance et qui a toujours répondu
présent dès que j’avais besoin d’aide.

Enfin dans le désordre, je remercie Philippe MENINI (un tuteur pédagogique en or),
Alain CAZARRE, Pierre ALOISI (c’était un plaisir de partir en conférence avec toi), Claude
LAFFORE, Neermalsing SEWRAJ. Je m’excuse d’avance auprès de ceux que j’ai oubliés.

Je ne peux finir sans remercier mes parents et Greg qui m’ont soutenu patiemment durant
ces années de thèse avec tout leur amour.
 TABLE DES MATIERES

INTRODUCTION GENERALE 9

CHAPITRE 1 INTEGRATION FONCTIONNELLE D’UN INTERRUPTEUR AUTO-

COMMUTE : LE THYRISTOR DUAL DISJONCTEUR 13

Introduction 15

1. DU THYRISTOR DUAL AU THYRISTOR DUAL DISJONCTEUR 15

1.1. Les interrupteurs de puissance 15

1.2. Exemple de synthèse d’un interrupteur trois segments :

Le thyristor dual 18
1.3. Le thyristor dual disjoncteur 22

1.4. Objectifs 27

2. INTEGRATION DE LA FONCTION 28
2.1. L’intégration en électronique de puissance 28

2.2. Quelle intégration choisir ? 31

2.3. L’intégration fonctionnelle :

Stratégie actuelle d’intégration et évolution 38
3. CONCEPTION ET REALISATION DE LA FONCTION 40
3.1. La filière technologique flexible 40

3.2. Méthodologie 46

Conclusion 48

CHAPITRE 2 INTERRUPTEUR AUTO-COMMUTE A THYRISTOR 49

Introduction 51

1. DEFINITION DE L’ARCHITECTURE 51
1.1. Présentation de l’architecture et de son fonctionnement 51

1.2. Conditions de fonctionnement 54

1.3. Discussion préliminaire à l’étude 2D 58

 Table des matières

2. SIMULATION PHYSIQUE 2D 59
2.1. Dimensionnement des composants 60

2.2. Validation du fonctionnement de l’architecture 80

2.3. Etude des interactions électriques 85

3. SIMULATION DU PROCEDE TECHNOLOGIQUE 89

Conclusion 90

CHAPITRE 3 INTERRUPTEUR AUTO-COMMUTE A IGBT 93

Introduction 95

1. DEFINITION DE L’ARCHITECTURE 95
1.1. Présentation de l’architecture et de son fonctionnement 95

1.2. Conditions de fonctionnement 97

1.3. Discussion préliminaire à l’étude 2D 103

2. SIMULATION PHYSIQUE 2D 104

2.1. Dimensionnement des composants 104

2.2. Validation du fonctionnement de l’architecture 122

3. INTEGRATION DE L’AUTO-ALIMENTATION 127

3.1. Le procédé technologique 127

3.2. Etude des interactions électriques 140

Conclusion 142

CHAPITRE 4 INTERRUPTEUR AUTO-COMMUTE A IGBT 145

Introduction 147

1. CONCEPTION DES MASQUES 147

1.1. L’interrupteur auto-commuté à thyristor 148

1.2. L’IGBT-sense 157

2. REALISATION TECHNOLOGIQUE ET TESTS ELECTRIQUES 158

2.1. Implantation des canaux préformés 159

2.2. Réalisation de l’interrupteur auto-commuté à thyristor 162

2.3. Tests électriques de l’interrupteur auto-commuté à thyristor 170

Tables des matières

2.4. Réalisation et tests électriques de l’IGBT-sense 172

Conclusion 174

CONCLUSION GENERALE 175

BIBLIOGRAPHIE 177

LISTE DES PUBLICATIONS 183

ANNEXE 185
 INTRODUCTION GENERALE

L’électronique de puissance étudie les dispositifs réalisant la conversion et le contrôle de

l’énergie. Ces dispositifs, appelés convertisseurs statiques, permettent le transfert de l’énergie
électrique entre un générateur et un récepteur souvent de nature différente. Leur rôle consiste
à adapter la source d’énergie aux exigences de la charge. Pour cela, ils sont amenés à modifier
les caractéristiques des grandeurs transmises (tension, fréquence…) voire même à changer la
forme de l’énergie (continu, alternatif…). La figure 1 présente une synthèse des différents
types de conversion possible et le nom usuel des convertisseurs [1].

Figure 1 : Les différents types de conversion possible et le nom usuel des convertisseurs suivant leur
fonction.

Les convertisseurs statiques sont constitués essentiellement de deux types d’éléments :

- les composants passifs (condensateur et inductance) qui assurent le stockage de
l’énergie ainsi que le filtrage des ondes de tension et de courant.
- Les composants à semi-conducteur jouant le rôle d’interrupteur et dont la commande
permet le contrôle du transfert de puissance entre le générateur et le récepteur.

L’amélioration des performances des interrupteurs de puissance ainsi que l’augmentation

de leur fonctionnalité ont contribué à la diminution de la taille, du poids et du coût des
convertisseurs. Par conséquent, l’électronique de puissance s’est étendue à de nouveaux
domaines d’applications : en plus des applications traditionnelles comme la traction électrique

9
Introduction générale

et les entraînements industriels, les convertisseurs statiques sont maintenant présents dans la
gestion du réseau de distribution, l’électroménager, les appareils portables et l’automobile.
Certaines applications comme les systèmes de récupération de l’énergie (variateur de
vitesse, monte charge, systèmes à énergie renouvelable), nécessitent des convertisseurs
capables d’acheminer l’énergie d’un générateur vers un récepteur et inversement, du récepteur
vers le générateur : on dit qu’ils sont réversibles. Aujourd’hui, ces convertisseurs utilisent des
interrupteurs entièrement commandés en MLI (modulation de largeur d’impulsion) associés à
des capteurs et des alimentations auxiliaires, source de complexité et de coût élevé. Une
alternative intéressante et économique a été proposée par le laboratoire LAPLACE [2] sous la
forme d’un convertisseur statique auto-protégé, intégrant la fonction de protection au cœur du
mécanisme de commutation. Cette idée a permis de montrer la faisabilité de convertisseurs de
type redresseur et onduleur réversibles, dits à commutation automatique, mettant en œuvre
des interrupteurs auto-commutés dans lesquels la mise en conduction spontanée est obtenue
au passage par zéro de la tension et l’ouverture lorsque le courant dans l’interrupteur atteint
une valeur fixée. Les interrupteurs à commutation automatique doivent être autonomes du
point de vue de leur fonctionnement, c'est-à-dire qu’ils ne nécessitent ni alimentation
auxiliaire, ni circuit de commande et capteur externes. Ils permettent ainsi de proposer des
topologies simplifiées de convertisseurs [3] et possèdent tous les attributs pour viser une
intégration complète sur silicium avec tous les gains attendus sur le coût et la fiabilité.

Notre travail de thèse porte sur ces nouvelles fonctions interrupteur à auto-commutation,
et sur la recherche de solutions adaptées à leur intégration complète sur silicium. Plus
précisément, nous proposons de réaliser, par le biais de l’intégration fonctionnelle, un
interrupteur monolithique réversible en courant à auto-commutation, c'est-à-dire un thyristor
dual auto-blocable tel un disjoncteur. Deux voies sont explorées :
- une topologie basée sur un thyristor auto-amorçable doté d’un limiteur –disjoncteur.
Cette structure vient en continuité des travaux effectués sur l’intégration des
fonctions thyristor dual et micro-disjoncteur.
- et une nouvelle topologie basée sur un cœur IGBT.

Le premier chapitre expose les motivations et les objectifs du travail de thèse. Une fois le
cahier des charges de l’interrupteur défini, les différents modes d’intégration en électronique
de puissance sont abordés pour confirmer le choix de l’intégration fonctionnelle. Les

10
Introduction générale

spécificités de ce type d’intégration imposent un procédé technologique de fabrication dit

flexible qui est présenté à la fin du chapitre. Il sert de base à l’ensemble du travail de
conception qui suit.

Le second chapitre présente la conception de la première solution basée sur un thyristor-

MOS. Après la description de l’architecture et l’analyse de son fonctionnement dans le
contexte d’une cellule de commutation test, nous nous consacrons à l’étape de simulation 2D
qui permet de dimensionner physiquement et géométriquement le dispositif. En complément
de ce travail, des simulations du procédé technologique sont effectuées pour préparer la
réalisation technologique du dispositif.

La conception de la deuxième solution basée sur un IGBT est traitée dans le troisième
chapitre. Comme pour la première solution, l’architecture et le fonctionnement du circuit sont
présentés, ainsi que le dimensionnement des différents composants. La fin de ce chapitre se
consacre à l’intégration d’une fonction d’auto-alimentation, en particulier à l’étude d’un
nouveau procédé technologique permettant la réalisation conjointe de composants actifs et de
condensateurs 3D.

Le travail de conception des deux dispositifs s’achève dans le quatrième chapitre, avec le
design des masques. Enfin, la réalisation technologique des nouvelles structures intégrées et
les résultats de la caractérisation des puces sont présentés.

Pour conclure, un bilan comparatif des deux solutions sera effectué, à partir des résultats
obtenus tout au long de ce travail.

11
12
C HAPITRE I
INTEGRATION FONCTIONNELLE D’UN INTERRUPTEUR
AUTO-COMMUTE : LE THYRISTOR DUAL DISJONCTEUR

Sommaire

Introduction 7

1. DU THYRISTOR DUAL AU THYRISTOR DUAL DISJONCTEUR 7

1.1. Les interrupteurs de puissance 7

1.2. Exemple de synthèse d’un interrupteur trois segments :

Le thyristor dual 10
1.3. Le thyristor dual disjoncteur 14

1.4. Objectifs 19

2. INTEGRATION DE LA FONCTION 20
2.1. L’intégration en électronique de puissance 20

2.2. Quelle intégration choisir ? 23

2.3. L’intégration fonctionnelle :

Stratégie actuelle d’intégration et évolution 30
3. CONCEPTION ET REALISATION DE LA FONCTION 32
3.1. La filière technologique flexible 32

3.2. Méthodologie 38

Conclusion 40

13
14
 CHAPITRE 1

Intégration fonctionnelle d’un interrupteur auto-

commuté : le thyristor dual disjoncteur.

Introduction

Des travaux menés au LAAS sur la fonction thyristor dual ont permis de réaliser, par le
biais de l’intégration fonctionnelle, un interrupteur blocable et dont la commande à
l’amorçage a été supprimée [4]. L’apparition ces dernières années d’un nouveau mécanisme
de commutation, appelé auto-commutation, nous motive à compléter cette fonction pour
obtenir un interrupteur ne nécessitant aucune commande à l’amorçage et au blocage, c'est-à-
dire un thyristor dual disjoncteur.
Après une présentation de la fonction thyristor dual disjoncteur, le cahier des charges du
dispositif à concevoir sera introduit. Puis le chapitre se focalisera sur la réalisation de
l’interrupteur auto-commuté. Nous nous intéresserons en particulier à l’intégration
fonctionnelle et ses spécificités ainsi qu’au procédé technologique associé. Enfin, une
méthodologie de conception sera définie.

1. Du thyristor dual au thyristor dual disjoncteur

1.1. Les interrupteurs de puissance

Le rôle d’un interrupteur est d’autoriser ou de stopper le passage du courant. Il présente
deux états stables, dits états statiques :
- L’état passant (ou état ON) où le courant est autorisé à circuler. La chute de tension
aux bornes de l'interrupteur est négligeable par rapport à la tension imposée par les
sources.
- L’état bloqué (ou état OFF) où le courant est stoppé. Le courant de fuite à travers
l'interrupteur est négligeable par rapport au courant circulant par les sources.

15
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

Un interrupteur est toujours référencé en convention récepteur car la puissance moyenne

dont il est le siège, même faible par rapport à la puissance transférée par les sources, est
toujours positive.
La caractéristique statique d’un interrupteur idéal peut être représentée dans le plan I(V)
par deux « branches » confondues avec les axes : l'une pour l'état ON et l'autre pour l'état
OFF. Chaque branche comprend deux segments : l'un décrit la caractéristique en direct et
l'autre la caractéristique en inverse de l'interrupteur, pour les états ON et OFF (figure 1). La
nature dissipative de l'interrupteur implique que les quadrants II et IV, correspondant à un
produit VI<0, sont interdits.
En électronique de puissance, les fonctions interrupteur sont réalisées par des composants
à semi-conducteur. Le principe de fonctionnement de ce type d’interrupteur est basé sur la
propriété de conduction unidirectionnelle des jonctions PN, des contacts Schottky et des
propriétés permettant le contrôle du passage du courant (effet transistor, effet de champ) [5].
Le comportement électrique des interrupteurs à semi-conducteur en régime statique est celui
d’une résistance non linéaire de valeur très faible à l’état passant (chute de tension) et très
élevée à l’état bloqué (courant de fuite). A la différence d’un interrupteur idéal, leur
caractéristique statique est donc constituée d’au moins deux segments (deux demi
« branches ») très proches des axes du plan I(V), situées dans les quadrants où le produit VI>0
(les interrupteurs à semi-conducteur sont des dipôles passifs). Leur régime statique est alors
caractérisé par la tension blocable, le courant de fuite à l’état bloqué, la capacité en courant à
l’état passant et la chute de tension à l’état passant (figure 1).

a) b)

Figure 1. 1 : Caractéristiques statiques a) d’un interrupteur idéal et b) d’un interrupteur à semi-

conducteur

16
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

Le changement d’état d’un interrupteur, appelé commutation, correspond au passage du

point de fonctionnement entre deux segments orthogonaux consécutifs. L'amorçage (ou mise
en conduction) est le passage de l’état bloqué à l’état passant. Le changement d’état inverse
est appelé blocage. La trajectoire suivie par le point de fonctionnement constitue la
caractéristique dynamique de commutation de l’interrupteur. La transition est complexe et
dépend, d’une part, des conditions imposées par le circuit extérieur et, d’autre part, de la
manière dont on peut éventuellement agir sur le semi-conducteur pour forcer sa commutation.
Ainsi la commutation peut être spontanée ou commandée à l’amorçage ou au blocage.

Figure 1. 2 : Commutations spontanée et commandée d’un interrupteur bidirectionnel en courant et

en tension.

Dans le cas d’une commutation commandée, l’interrupteur possède une troisième

électrode (électrode de commande) qui permet de modifier brusquement la valeur de la
résistance interne et ainsi provoquer le changement d’état. Le point de fonctionnement
statique situé sur un demi-axe passe alors sur un demi-axe perpendiculaire de même signe, i.e.
au sein d'un même quadrant, I ou IV, en suivant une trajectoire éloignée de ces derniers
(figure 2), ce qui implique des pertes dissipées significatives. Le temps de commutation de
l'interrupteur ramené à sa période de découpage doit être le plus faible possible pour limiter
les pertes dissipées et son échauffement.
Dans le cas d’une commutation spontanée, parfaitement illustrée par le comportement de
la diode, le point de fonctionnement passe d’un demi-axe à un autre demi-axe de signe
opposé, i.e. par un changement de quadrant entre I et III. Le trajet s’effectue donc
obligatoirement le long des axes, en passant par l’origine du plan I(V) (figure 2). Le blocage
spontané s’effectue au passage par zéro du courant (mode ZCS) et l’amorçage spontané au
passage par zéro de la tension (mode ZVS). Les changements d’état de l’interrupteur sont

17
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

donc imposés par le circuit extérieur et les pertes dissipées sont beaucoup plus faibles que
dans le cas d’une commutation commandée car le point de fonctionnement longe les axes.
La classification des interrupteurs peut être établie à partir de différents critères. Le plus
couramment utilisé est fonction du nombre de segments de la caractéristique statique. La
signification de ces segments indique la bidirectionnalité ou non d’un interrupteur. C’est une
propriété importante car la réversibilité d’un convertisseur est obtenue grâce à la
bidirectionnalité (en courant et/ou en tension) des interrupteurs qui le composent. Avec ce
type de classement, il est possible d’envisager quatre types d’interrupteurs :
- Les interrupteurs unidirectionnels en tension et en courant. Leur caractéristique
possède deux segments, c’est le cas de la diode et des transistors.
- Les interrupteurs bidirectionnels en tension, comme le thyristor. Ils présentent une
caractéristique à trois segments (deux en tension et un en courant).
- Les interrupteurs bidirectionnels en courant qui présentent aussi une caractéristique à
trois segments (deux en courant et un en tension).
- Les interrupteurs bidirectionnels en courant et en tension, dont la caractéristique est
constituée de quatre segments. Seul le triac est capable d’assumer cette fonction seul.

Mis à part le thyristor et le triac, la synthèse des interrupteurs à trois et quatre segments
nécessite l’association de plusieurs composants. Par exemple, un interrupteur bidirectionnel
en tension peut être obtenu à l’aide d’un IGBT et d’une diode câblée en série. Mais des
solutions discrètes pour réaliser ces fonctions interrupteur présentent peu d’intérêt car elles
engendrent de nombreux inconvénients : augmentation des inductances de câblage, chute de
tension en direct, multiplication des commandes et utilisation de logique complexe,
alimentations auxiliaires volumineuses (coûteuses et sources de perturbations CEM) associées
à ces circuits de commande…Toutes ces raisons ont motivé la recherche de solutions
monolithiques pour réaliser de nouvelles fonctions interrupteur. Le thyristor dual est un
exemple d’interrupteur obtenu par le biais de l’intégration monolithique qui illustre
parfaitement l’intérêt de cette démarche.

1.2. Exemple de synthèse d’un interrupteur trois segments : Le

thyristor dual
De nombreuses applications raccordées au réseau électrique nécessitent l’utilisation de
convertisseurs statiques réversibles en courant, comme par exemple les dispositifs à

18
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

récupération d’énergie. Trois interrupteurs (figure 3) peuvent réaliser ce type de conversion,

en fonction des modes de commande au blocage et à l’amorçage:
- Le thyristor-diode : amorçage commandé et blocage spontané,
- Le thyristor dual : blocage commandé et amorçage spontané,
- L’interrupteur bicommandé : blocage et amorçage commandés.

Figure 1. 3 : Interrupteurs bidirectionnels en courant

La fonction thyristor dual s’est naturellement imposée car elle ne nécessite qu’une
commande au blocage : elle est moins complexe qu’un interrupteur bicommandé et elle
commute avec beaucoup moins de contraintes qu’un thyristor-diode. En effet, le blocage du
thyristor dual correspond à la mise en conduction d’une diode alors que l’amorçage du
thyristor-diode correspond au blocage d’une diode avec les problèmes liés à son
recouvrement. Mais à la différence du thyristor qui est une structure monolithique, la fonction
thyristor dual était quant-à elle obtenue en associant des composants de puissance de base
(transistor bipolaire, MOST, IGBT, diode) avec une logique de commande et une alimentation
auxiliaire (figure 4) [6].

Figure 1. 4 : Solution discrète synthétisant la fonction thyristor dual.

19
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

Pour surpasser ces contraintes, le LAAS a développé une structure intégrée basée sur une
nouvelle démarche de conception. Son principe consiste à associer des briques
« fonctionnelles » intégrées, ou cellules élémentaires semi-conductrices, pour obtenir la
fonctionnalité complète.
Pour définir les différentes fonctions qui composent le thyristor dual, étudions ses
propriétés. Elles s’obtiennent en appliquant les règles de dualité à celle du thyristor : le
thyristor dual est un interrupteur bistable (à verrouillage de son état), réversible en courant, il
s’amorce spontanément au passage par zéro de la tension et il se bloque par une commande
pour des courants positifs. Or, le thyristor est le seul semi-conducteur de puissance disponible
à présenter un comportement bistable (à maintien de ses états) sous une polarisation directe (il
reste passant après la suppression de l’ordre de commande). Le dispositif permettant de
réaliser l’intégralité de la fonction thyristor dual est donc constitué d’une structure thyristor
complétée par une fonction d’auto-amorçage, une fonction de blocage, une fonction de
maintien de l’ordre de blocage après suppression de l’impulsion de commande et une diode en
antiparallèle assurant la conduction inverse [4] (figure 5).

Figure 1. 5 : Structure bidirectionnelle en courant et blocable par impulsion.

Expliquons brièvement le fonctionnement du dispositif. Le principe d’auto-amorçage

repose sur la mise en conduction, au passage par zéro de la tension, d’un transistor MOS à
canal préformé M1 dont le courant de drain sert de courant de déclenchement du thyristor. Le
blocage du thyristor est assuré par une commande impulsionnelle appliquée sur un transistor

20
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

MOS M3 qui initie le blocage du dispositif (par court-circuit cathode base du thyristor). Il
provoque ainsi l’augmentation de la tension anode cathode, ce qui permet de charger la grille
d’un second transistor M2 à travers un transistor MOS à canal préformé M4. Ce dernier
assure, par contre-réaction, l’alimentation de la grille du transistor M2 et donc la confirmation
du blocage et le maintien du court-circuit cathode-base, même lorsque la commande
impulsionnelle est supprimée. La coupe de principe de la structure est donnée sur la figure 6.

Figure 1. 6 : Coupe de principe d’une solution d’intégration du thyristor dual

La structure intégrée de la fonction thyristor dual est relativement complexe mais elle a
permis de s’affranchir des contraintes de l’association discrète : le dispositif obtenu réalise la
fonctionnalité et ne nécessite aucune logique de commande, capteur et alimentation auxiliaire.
Ces problèmes récurrents en électronique de puissance sont ici traités par la réalisation de
briques spécifiques, en particulier :
- L’auto-alimentation à partir de la borne haute tension, grâce à des structures MOS
haute tension à canal préformé,
- Le blocage de thyristor par des structures MOS intégrables,
- Les fonctions de type auto-amorçage et/ou auto-blocage.

Le développement de ces cellules élémentaires confère un caractère relativement

générique à ce mode d’intégration, appelé intégration fonctionnelle, et qui sera plus
amplement développé dans la suite de ce manuscrit. Le même type de démarche peut être
utilisé pour réaliser des fonctions complémentaires à l’interrupteur, par exemple des fonctions
de commande, de protection [7], d’alimentation [8]….La réalisation de ces nouvelles cellules

21
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

permet d’envisager le développement de fonctions interrupteur optimisées et de plus en plus

complexes et complètes.

1.3. Le thyristor dual disjoncteur

L’intégration fonctionnelle du thyristor dual a constitué une première étape vers la
simplification des topologies des convertisseurs. En effet, cet interrupteur réversible en
courant est capable de s’amorcer sans aucun contrôle. Pour pousser au maximum l’effort de
simplification, il faudrait supprimer sa commande impulsionnelle au blocage. Si on raisonne
en termes de cellules, cela signifie qu’il faut développer une fonction d’auto-blocage pour que
la structure thyristor auto-amorçable et blocable devienne un thyristor auto-amorçable et auto-
blocable.
Depuis quelques années, un nouveau type de commutation est venu s’ajouter à la
commutation commandée et à la commutation spontanée: la commutation automatique. Ce
nouveau mécanisme est basé sur le fonctionnement des protections rapprochées des
interrupteurs. Il se traduit par une auto-commutation de l’interrupteur sur un seuil de courant
pour le blocage et/ou sur un seuil de tension pour l’amorçage. La détection du seuil peut être
réalisée par un capteur ou en exploitant une non-linéarité intrinsèque à l’interrupteur de
puissance telle qu’une saturation en courant pour l’auto-blocage ou un latch-up pour l’auto-
amorçage. Par exemple, dans le cas de l’auto-blocage qui nous intéresse, il est possible
d’utiliser une disjonction pour réaliser la commutation. En effet, ce type de protection
convient parfaitement à une auto-commutation car elle doit limiter le courant dès qu’il atteint
une valeur seuil et ouvrir le dispositif. Antérieurement, une version intégrée d’un disjoncteur,
appelée micro-disjoncteur, a été développée au LAAS [9]. Cette fonction de protection,
construite autour d’un dispositif de puissance, associe une fonction de limitation en courant,
une fonction de détection de l’ordre de blocage et une fonction de blocage (figure 7).

22
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

Figure 1. 7 : Schéma électrique équivalent de la fonction micro-disjoncteur.

Expliquons son fonctionnement : l’augmentation du courant dans la structure provoque la

saturation de l’IGBT1 ou du transistor MOSFET MP. Le courant est limité et la tension
d’anode augmente. Par l’intermédiaire du canal préformé de l’IGBT2, le potentiel sur la grille
de MP suit celui de l’anode, provoquant le blocage du transistor MP et l’augmentation de la
tension entre la grille et l’émetteur de l’IGBT1 qui se bloque à son tour. Quand la tension sur
la grille de MP est suffisamment élevée, l’IGBT2 se bloque et plus aucun courant ne circule
dans la structure.
Le dispositif obtenu réalise la fonction disjonction et ne nécessite ni capteur externe ni
commande de blocage. Il paraît donc intéressant d’adapter cette fonction et de l’associer au
thyristor dual pour supprimer sa commande au blocage. On obtiendrait ainsi un thyristor dual
auto-amorçable à disjonction, que nous appellerons un thyristor dual disjoncteur.
Cependant, pour que le mécanisme d’auto-commutation ait lieu, le thyristor dual
disjoncteur ne peut être utilisé dans n’importe quel circuit de conversion. Pour être mis en
situation, il doit absolument être associé à une charge ou à une source permettant l’auto-
commutation du dispositif ; on parle alors de convertisseur auto-commuté ou auto-oscillant.
Comme tout interrupteur utilisé dans le contexte de la conversion d'énergie, les
« disjoncteurs électroniques » sont associés par paire pour former des cellules de
commutation. Dans le cadre de ce travail consacré au thyristor-dual disjoncteur, deux
applications importantes peuvent être présentées :
- Le redresseur synchrone auto-commuté [10] (figure 8 a). Il s'agit du convertisseur
AC/DC réversible en courant. La source AC est typiquement un transformateur
raccordé au réseau, dont le secondaire possède un point milieu. La source DC est

23
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

typiquement une charge ou un élément de stockage susceptible de renvoyer de

l'énergie sur le réseau. Lors du changement de signe de la tension réseau, la diode
opposée à l’interrupteur conducteur s’amorce et crée alors une maille de court-circuit,
identique au processus d'empiètement d'un redresseur à la différence ici qu'il crée un
courant additif dans l'interrupteur initialement amorcé : le courant traversant
l’interrupteur augmente jusqu’à atteindre le niveau de disjonction. L’interrupteur
initialement passant se bloque et le courant de charge est aiguillé spontanément vers
l’interrupteur opposé.
- l’onduleur auto-oscillant (figure 8 b). Il s'agit du convertisseur DC/AC réversible en
puissance. La source DC est typiquement une source de tension filtrée et découplée.
La source AC est un transformateur dont le primaire est raccordé à l'onduleur et le
secondaire raccordé à une charge. C’est typiquement le courant magnétisant du
transformateur associé au courant de charge qui déclenche la disjonction et le blocage
de l’interrupteur. Dès que ce courant total atteint le niveau de disjonction, la tension
aux bornes du transformateur s’inverse ainsi que le sens d’évolution du courant.
L’interrupteur initialement passant se bloque et la diode associée au deuxième
interrupteur assure la conduction du courant. Quand le courant change de signe, la
diode se bloque et l’interrupteur qui lui est associé s’amorce. La condition de
commutation automatique repose ici sur la forme d'onde du courant de charge et elle
est donc dépendante de la nature de la charge.

Citons pour information une troisième application qui peut être réalisée en associant les
deux cellules précédentes : le transformateur à courant continu réversible (figure 9). Son
principe de fonctionnement est le suivant : la cellule onduleur fonctionne grâce à l’inductance
magnétisante du transformateur et crée une source de tension alternative permettant la
commutation de la cellule redresseur. Ce montage réalise ainsi une liaison isolée entre deux
sources continues. L’utilisation de convertisseurs autonomes permet d’obtenir un dispositif
potentiellement hautement intégré à quatre bornes, similaire au transformateur classique
fonctionnant en alternatif.

24
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

a) b)

Figure 1. 8 : Séquence de fonctionnement : a) redresseur à disjonction b) onduleur à disjonction [11].

25
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

Figure 1. 9 : Transformateur continu tension-courant.

D’un point de vue applicatif, le redresseur auto-commuté est particulièrement intéressant

car son mécanisme reste valable quel que soit le signe du courant dans la source continue.
C’est donc un redresseur réversible, généralement à basse fréquence de découpage, qui peut
réaliser les deux types de conversion (AC –> DC et DC –> AC), propriété requise pour les
systèmes à récupération d’énergie connectés sur le réseau (les éoliennes, les panneaux
solaires, pont roulant, monte charge, ascenseur…). Un premier démonstrateur de redresseur
réversible pour un cahier des charges de convertisseur réseau d’une chaîne éolienne a été
réalisé à partir d’intégration hybride de composants discrets [11]. Pour évaluer les
performances du dispositif, des tests comparatifs avec des montages présentant des
fonctionnalités similaires (onduleurs MLI et onduleurs de courant à thyristor) ont été
effectués : dans l’application envisagée, le redresseur réversible, qui présente la topologie la
plus simple, offre le meilleur rendement énergétique pour un coût plus faible. Ces résultats
confirment toutes les attentes associées à la fonction thyristor dual disjoncteur et justifient sa
réalisation monolithique afin de bénéficier pleinement des avantages qu’elle peut apporter
(fort potentiel de miniaturisation, gains au niveau de la fiabilité et des coûts).
Il est à noter qu’un prototype industriel de redresseur réversible triphasé a été réalisé, à
partir d’intégration hybride de composants discrets, par la société Cirtem en collaboration
avec le laboratoire LAPLACE. Une photo du prototype, qui est actuellement en cours
d’évaluation par les clients, est donnée sur la figure 10.

26
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

Figure 1. 10 : schéma de principe breveté du pont redresseur réversible et prototype industriel 400 V
triphasé / 25 kW réalisé par Cirtem.

1.4. Objectifs
Le travail de recherche présenté dans ce manuscrit propose de réaliser un interrupteur
monolithique bidirectionnel en courant à auto-commutation, c'est-à-dire un thyristor dual
disjoncteur (figure 11).

Figure 1. 11 : Caractéristiques du thyristor dual disjoncteur.

L’originalité de cet interrupteur concerne son mécanisme de commutation. Il repose sur

le concept d’interrupteurs auto-commutés dans lesquels la mise en conduction spontanée est
obtenue au passage par zéro de la tension et l’ouverture lorsque le courant dans l’interrupteur
atteint une valeur fixée. L’avantage de cette commutation est qu’elle ne nécessite ni
alimentation auxiliaire, ni circuit de commande et ni capteur externes. L’interrupteur devient
ainsi complètement autonome d’un point de vue fonctionnel. Toutes ces raisons en font un

27
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

excellent candidat pour une intégration fonctionnelle sur silicium. En effet, cette intégration
monolithique a déjà montré, à travers les études menées notamment sur le thyristor dual et le
micro-disjoncteur, qu’elle offrait une solution intéressante pour la simplification des
structures au prix d’une plus grande complexité du dispositif silicium.
Pour concevoir l’intégration de l’interrupteur, nous avons défini un cahier des charges
qui fixe l’ensemble de ses caractéristiques électriques. Il impose, à l’état bloqué, une tenue en
tension VMAX de 600V pour être compatible avec des applications réseau monophasé dans le
contexte d’un prototypage de laboratoire. De plus, à l’état passant, la chute de tension V ON
aux bornes de l’interrupteur ne doit pas dépasser 2V pour un courant maximum IMAX de 2A.
La valeur du courant de disjonction a été choisie pour des raisons pratiques : cette valeur peu
élevée permet une surface totale de puce relativement petite. Nous pourrons obtenir un
nombre raisonnable de dispositifs par plaquette de silicium et ainsi anticiper les problèmes
d’inhomogénéités propres à la réalisation technologique. Enfin la tension VTH, qui correspond
à la tension effective de blocage, sera fixée à 4V.
Pour répondre à ce cahier des charges, nous proposons de développer deux architectures:
- Une topologie basée sur un thyristor auto-amorçable doté d’un limiteur-disjoncteur.
Cette structure vient en continuité des travaux antérieurs effectués sur l’intégration
des fonctions thyristor dual et micro-disjoncteur.
- Une topologie nouvelle basée sur un cœur IGBT.

Les deux solutions envisagées seront comparées en se basant sur l’obtention de la

fonctionnalité, le respect des caractéristiques statiques requises, le comportement dynamique,
la surface silicium et la faisabilité technologique.
Dans un premier temps, nous allons définir, à partir du cahier des charges, les deux
architectures citées plus haut. Elles devront assurer la fonctionnalité et être compatibles avec
le concept d’intégration fonctionnelle.

2. L’intégration de la fonction

2.1. L’intégration en électronique de puissance

L’intégration est pour les circuits de puissance une voie d’évolution tout à fait naturelle
vers l’amélioration des performances, une meilleure fiabilité et une plus grande simplicité de
conception (étapes de fabrication moins complexes et moins nombreuses) et d’emploi. Les
raisons en sont évidentes : réduction et mutualisation du nombre de connexions, des substrats,

28
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

ainsi que du packaging et des interfaces entre la partie puissance et la commande. Mais
surtout l’intégration permet de réaliser des fonctions au cœur des composants et des substrats
pour gagner en performance ou pour créer des caractéristiques nouvelles sans complexifier et
sans « défiabiliser » la fonction première comme cela est généralement le cas en discret.
L’effort d’intégration en électronique de puissance, au niveau puce et assemblage, s’est
développé depuis une vingtaine d’années, tiré par des marchés de plus en plus nombreux
comme l’automobile, les transports, les appareils portatifs, la domotique, la gestion du réseau
de distribution, l’éclairage ou l’électroménager. D’énormes progrès ont été réalisés, d’une part
grâce à l’évolution des techniques d’isolation et d’autre part grâce aux avancées
technologiques de la microélectronique. Bien que les performances à optimiser pour les
composants de puissance soient différentes de celles des circuits intégrés (augmentation du
rapport V.A/mm2 pour les composants de puissance et augmentation du nombre de
transistors/mm2 pour les circuits intégrés), l’électronique de puissance a toujours bénéficié,
avec un certain décalage, du transfert des progrès technologiques réalisés dans le domaine des
circuits intégrés. Le décalage correspond à l’adaptation des caractéristiques électriques des
dispositifs aux exigences des applications de puissance, c’est-à-dire la prise en compte des
aspects d’isolation et de tenue en tension. L’un des exemples les plus importants est
l’introduction des technologies MOS (Métal Oxyde Semi-conducteur) dans le domaine des
dispositifs de puissance. Elle constitue l’étape décisive qui a marqué une rupture dans
l’évolution des composants de puissance tant sur le plan des performances que sur celui des
structures.
Jusqu’aux années 70, les composants de puissance étaient obtenus de façon discrète à
partir de technologies bipolaires. Mais 15 ans après les premières structures MOS en
microélectronique, l’électronique de puissance a pu bénéficier des avantages de ces nouveaux
transistors. Les structures MOS ont permis de s’affranchir des commandes en courant à faible
gain des dispositifs de puissance purement bipolaires. Les topologies des dispositifs ont
commencé ainsi à se simplifier et de nouvelles possibilités d’intégration sont apparues. Deux
évolutions majeures ont vu le jour :
- Les premiers travaux consistaient à adapter les structures MOS au domaine de
l’électronique de puissance et à améliorer leurs performances, notamment le compromis
résistance à l’état passant/tenue en tension. Ils ont abouti au développement des premiers
composants MOS de puissance, les structures verticales VDMOS [12] dont la résistance à
l’état passant a pu être fortement réduite grâce à la réduction des dimensions des canaux. Pour
la première fois la réduction des dimensions d’un composant de puissance a conduit à une

29
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

amélioration de ses performances, rejoignant ainsi le mode d’évolution des circuits intégrés.
Mais cette réduction des dimensions a été possible grâce à l’amélioration des procédés
technologiques de fabrication issus de la microélectronique (telle que la double diffusion
basée sur la réalisation de grilles en silicium polycristallin). L’introduction des technologies
MOS dans le domaine de la puissance a donc permis de créer une synergie entre les domaines
de la microélectronique et de la puissance et ainsi de faire bénéficier les dispositifs de
puissance des progrès réalisés en microélectronique. Cette évolution a conduit naturellement
au développement des circuits intégrés de puissance.
Ces travaux sur les composants MOS de puissance ont permis d’améliorer leurs
performances mais le compromis résistance à l’état passant/tenue en tension limite leur
utilisation dans la gamme des basses et moyennes tensions.
- Afin de profiter de la facilité de commande des structures MOS pour des dispositifs
adaptés aux applications hautes tensions, de nombreux travaux ont alors été développés au
début des années 80, pour étudier la possibilité de combiner des structures MOS et bipolaires.
Ces recherches ont donné naissance à une nouvelle famille de composants MOS-bipolaire
dont est issu l’IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) [13], composant de puissance le plus
utilisé actuellement. Par la suite, des associations plus marginales comme le thyristor-MOS
ont fait leur apparition avec notamment le MCT (MOS Controlled Thyristor) [14-15], le BRT
(Base Resistance Thyristor) [16], l’EST (Emitter Switched Thyristor) [17]…Avec ces
nouveaux dispositifs, l’interrupteur se voit doter de nouvelles fonctionnalités de commutation.
L’intégration en électronique de puissance commence alors à s’orienter vers un nouveau
concept qui consiste à rajouter les fonctionnalités à l’interrupteur et non à ajouter aux circuits
intégrés un étage de puissance. C’est les débuts de l’intégration fonctionnelle où le composant
de puissance devient le cœur d’une fonction évoluée [18-19].
L’intégration dans le domaine de la puissance est une avancée considérable. Elle a
permis d’améliorer les performances des composants, et surtout de proposer de nouvelles
structures silicium. Les dispositifs réalisent ainsi des fonctionnalités de plus en plus complètes
et complexes. Mais la notion même d’intégration a évolué et actuellement différents modes
d’intégration sont envisageables suivant l’application visée. Toutes ces évolutions découlent
des avancées technologiques de la microélectronique. Cependant, les problèmes de
l’intégration ne se posent évidemment pas dans les mêmes termes qu’en électronique de
traitement du signal et de l’information. Les dispositifs de puissance intégrés doivent être
capables de supporter des densités de puissance importantes, de fortes contraintes thermiques,
des dI/dt et dV/dt élevés...Il paraît alors évident que l’intégration en électronique de puissance

30
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

ne peut être considérée comme une simple miniaturisation. Elle doit toujours se justifier par
un apport de solutions innovantes pour assurer des fonctionnalités bien identifiées.

2.2. Quelle intégration choisir?

Lorsque le dispositif répond aux critères d’intégration, se pose alors le choix du type
d’intégration car l’approche est différente suivant les niveaux de puissance et les contraintes à
supporter. On distingue l’intégration hybride et l’intégration monolithique.

L’intégration hybride

a)

b)

Figure 1. 12 : Exemple de module IGBT utilisé dans la traction ferroviaire [20] – a) module
convertisseur intégré à IGBT ouvert (200 A-600 V) et b) schéma d’assemblage du module électronique
de puissance.
L’intégration hybride se situe à mi-chemin entre l’intégration monolithique et le discret.
Elle permet d’associer sur un même substrat les divers composants mis en jeu dans la
réalisation d’une fonction de puissance « intelligente » grâce à l’utilisation simultanée de
matériaux conducteurs et isolants réalisant plusieurs fonctionnalités dont la fabrication
simplifiée permet une réduction des coûts (figure 12). Ce mode d’intégration est adapté aux
applications fonctionnant dans des gammes en puissance importante, typiquement pour des
densités de courant supérieures à 100 A/cm2 et des tensions se situant dans la fourchette 600

31
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

V/1700 V (traction ferroviaire, alimentation industrielle). Dans ces gammes de puissance, il

est avant tout nécessaire de recourir à un mode d’intégration conduisant à une bonne
évacuation de la chaleur et à une isolation galvanique parfaite entre les différents éléments.
Les principaux travaux se focalisent sur le « packaging » : report de la puce, interconnexions,
assemblage sur substrat et encapsulation sous boîtier, évacuation de la chaleur…

L’intégration monolithique

L’intégration monolithique consiste à réaliser au sein d’une même puce un ou plusieurs

interrupteurs associés à des fonctions auxiliaires de commande, de protection ou de contrôle.
Deux stratégies sont possibles pour l’intégration monolithique d’un dispositif de puissance:
soit la fonctionnalité est privilégiée au dépend des éléments de puissance, soit l’optimisation
de la partie puissance est favorisée [21-22]. Les dispositifs « Smart Power » et HVIC (High
Voltage Integrated Circuit) correspondent davantage à la première approche et sont réalisés à
partir de filières technologiques de type circuit intégré (CMOS ou BiCMOS). C’est une
intégration essentiellement en surface favorable aux fonctionnalités MOS. Les dispositifs
basés sur le mode d’intégration fonctionnelle procèdent de la deuxième approche, et sont
basés sur des technologies de composants de puissance.

a. Les circuits intégrés de puissance

Les circuits intégrés de puissance (« Smart Power » et HVIC) constituent un
prolongement de l’intégration du traitement du signal en rajoutant un étage de puissance à un
circuit intégré classique. Ces dispositifs sont réalisés à partir de technologies CMOS et
BiCMOS leur permettant d’intégrer sur la même puce des composants de puissance, des
circuits logiques et analogiques qui assurent des fonctions de commande, de diagnostic et de
protection (figure 13). L’utilisation de technologies VLSI leur permet aussi d’inclure des
circuits digitaux complexes (DSP), des microcontrôleurs et des mémoires, augmentant
considérablement la fonctionnalité. Mais le composant de puissance dispose de moins de
libertés de conception étant donné que sa réalisation doit rester compatible avec les
technologies VLSI. Dans ce mode d’intégration, la fonction est clairement privilégiée par
rapport au composant de puissance, et on obtient des puces dont la surface est occupée
majoritairement par les circuits intégrés et non par la partie puissance.

32
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

Figure 1. 13 : Vue de dessus d’un circuit HVIC.

Bien que la technologie Smart Power apporte au composant de puissance une

« autonomie intelligente », elle trouve ses limites dans les méthodes d’isolation électrique
utilisées entre les éléments de puissance et l’électronique de commande. Les principales
solutions utilisées aujourd’hui sont (figure 14) [23] :
- l’auto-isolation. Cette technique d’isolation est basée sur l’hébergement des différents
composants dans des caissons N- de silicium séparés par des jonctions en inverse.
- l’isolation par jonction. Tout comme l’auto-isolation, l’isolation entre les différents
blocs du dispositif est assurée par des jonctions PN polarisées en inverse, mais dans
ce cas une diode supplémentaire est insérée entre la partie puissance et la partie
commande.
- l’isolation par diélectrique ou SOI (Silicon On Insulator) [24-25-26]. Les substrats
SOI sont constitués de trois couches : un substrat (couche épaisse pour la rigidité
mécanique), un oxyde enterré appelé BOX (buried oxide) et une couche de silicium
fine (quelques microns) appelée SOI. Pour les applications basse tension, le
composant de puissance latéral est hébergé dans un caisson SOI de la même façon
que la circuiterie de contrôle. Les « boîtes » d’isolation sont réalisées à partir de la
réalisation de tranchées par gravure jusqu’à la BOX qui sont ensuite remplies
d’oxyde. L’isolation latérale peut être obtenue à partir d’un procédé moins coûteux
qui consiste à utiliser des jonctions en inverse. Pour les applications haute tension, les
composants de puissance verticaux sont hébergés dans le substrat laissé libre de SOI.
Dans ce cas, on parle d’isolation SOI partielle.

33
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

Jonction polarisée en inverse

Auto-isolation Isolation par jonction

Isolation par diélectrique

Figure 1. 14 : Techniques d’isolation de composants de puissance verticaux et latéraux.

Pour des raisons évidentes de coût, l’isolation par jonction est préférée pour des
applications standard alors que l’isolation par diélectrique, très efficace (pas de courant de
fuite), reste réservée aux applications nécessitant une très bonne isolation. Ces différentes
techniques ne permettent pas d’assurer des isolations supérieures à quelques centaines de
volts. Ce mode d’association s’adresse donc à des applications de faibles puissance et sans
contraintes fortes d’isolement galvanique, c'est-à-dire l’électronique automobile, la téléphonie
mobile…

b. L’intégration fonctionnelle
Malgré les progrès réalisés par l’intégration Smart Power, un grand nombre
d’applications échappait à l’intégration monolithique. Ces applications qui constituent une
partie importante de la conversion d’énergie, concernent les fonctions alimentées à partir du
réseau de distribution électrique (230-400 V) et d’une façon générale les fonctions haute
tension (400-600 V), les fonctions de protection (qui travaillent sur des forts pics de courant),
les fonctions bidirectionnelles en tension et en courant…La particularité de ces applications
est de présenter de fortes contraintes d’isolement galvanique beaucoup trop élevées pour être
assurées par des procédés d’isolation utilisés en microélectronique. Une intégration

34
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

monolithique de type Smart Power n’est donc pas envisageable et une séparation matérielle
doit être réalisée entre l’élément de puissance et la partie traitement du signal.
Il est toutefois possible de proposer l’intégration de fonctions de commande et de
protection au plus près de l’interrupteur de puissance, c'est-à-dire d’intégrer la fonction
interrupteur galvaniquement isolée de la partie traitement du signal. Cette répartition permet
d’utiliser au mieux la surface délimitée par les terminaisons de jonction (réalisées pour
améliorer les tenues en tension du composant) et autorise l’utilisation des technologies CMOS
et BiCMOS les plus performantes pour la partie traitement du signal, qui sera réalisée sur une
autre puce. Mais pour tirer tous les bénéfices de cette intégration, la démarche doit être
différente de celle utilisée pour les circuits intégrés de puissance. Dans ces derniers, la partie
traitement du signal constitue le cœur du dispositif et impose sa technologie, laissant peu de
libertés de conception pour le composant de puissance. Au contraire, dans ce mode
d’intégration, la partie traitement du signal n’apparaît pas. Il paraît évident de privilégier la
partie puissance et de construire le dispositif autour de l’interrupteur qui devient alors le cœur
de la fonction. Cette démarche d’intégration fonctionnelle est l’inverse de celle adoptée pour
les circuits intégrés de puissance : La technologie de base devient celle du composant de
puissance et les fonctions supplémentaires sont intégrées en utilisant l’architecture de base de
l’interrupteur [27].

Etant données les gammes de tension et de courant visées pour ce type d’intégration, une
disposition verticale du composant de puissance s’impose. Elle autorise un meilleur étalement
des zones de charge d’espace à l’état bloqué et une meilleure répartition des lignes de courant
à l’état passant. La structure de base est donc constituée soit d’un agencement vertical N+/P/N-
/P+, pour les familles thyristor et IGBT, soit d’un agencement N+/P/N-/N+ pour les transistors
VDMOS et bipolaire. L’intégration des éléments annexes, qui doit utiliser au mieux cet
agencement de base, peut se faire soit en utilisant une région existante du composant de
puissance, soit à l’intérieur d’une région isolée de la haute tension pour les composants basse
tension [28]. A la différence des autres types d’intégration, la fonction de puissance ne résulte
donc pas de l’interconnexion de composants individualisés et isolés les uns des autres, mais
des multiples interactions électriques qui se créent entre les régions semi-conductrices
judicieusement disposées et dimensionnées. Au lieu de subir ou d’isoler ces interactions
naturelles souvent perçues comme parasites, elles sont ici exploitées pleinement comme
fondement même de la conception des dispositifs et permettent ainsi d’obtenir de nouvelles
fonctionnalités, inaccessibles en discret. Les premiers dispositifs de puissance, tels que les

35
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

thyristors et les triacs, ont émergé de ce principe. Par exemple, dans le cas du thyristor, la
mise en commun des deux régions de base des sections bipolaires permet d’obtenir un effet de
latch-up, phénomène inexistant si les deux transistors bipolaires sont associés de façon
discrète. L’introduction des technologies MOS dans le domaine de la puissance a constitué un
véritable tournant pour l’intégration fonctionnelle. Elles enrichissent le concept en lui offrant
une nouvelle dimension et permettent ainsi de superposer des fonctionnalités en surface aux
interactions bipolaires en volume. De nouvelles familles de composants ont ainsi pu être
développées associant la facilité de commande des transistors MOS et les hautes capacités en
courant des dispositifs bipolaires : les associations MOS-thyristor [15] et les associations
MOS-bipolaire dont l’IGBT est un des exemples les plus représentatifs. Ce dernier a connu,
depuis son introduction au cours des années 1980, un développement industriel important et
son champ d’application ne cesse de croître.

Figure 1. 15 : Vue de dessus de la réalisation technologique et caractéristique électrique de la

fonction microdisjoncteur réalisée au LAAS/CNRS.

Le concept d’intégration fonctionnelle a apporté une solution d’intégration à de

nombreuses applications de moyenne puissance. Bien entendu, avec ce type d’intégration, les

36
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

fonctionnalités sont moins complexes que celle obtenues par Smart power. Mais l’intégration
fonctionnelle permet d’envisager une nouvelle approche de l’intégration monolithique qui
favorise le développement de nouvelles fonctions de puissance répondant aux besoins de la
conversion d’énergie (figure 15).

Synthèse

Chaque mode d’intégration est adapté à des gammes de puissance et des applications
spécifiques, résumées dans le tableau 1.
Mode Gamme de courant Exemples Commentaires
d’intégration et de tension d’application
Fonction de
commutation de
Traction ferroviaire
puissance élémentaire
Intégration hybride I>50A et V<6,5 kV Alimentation
(interrupteur) optimisée
industrielle
en densité de courant et
W/cm2
Enrichissement de la
fonction de puissance :
fonction de
Applications réseau
Intégration commutation de
I<50 A et V<3,3 kV ou fonctions
fonctionnelle puissance avec ses
spécifiques
fonctions « vitales »
(protection, commande
et alimentation)
Fonction de traitement
de l’information dotée
Smart power et Automobile
I<10 A et V<400 V d’une fonction de
HVIC Téléphonie mobile
commutation de
puissance

Tableau 1. 1 : Synthèse des différents types d’intégration et de leurs spécificités

Cette présentation des différents modes d’intégration en électronique de puissance

confirme le choix de l’intégration fonctionnelle pour la réalisation de notre interrupteur qui
s’adresse à des applications de faible et de moyenne puissance connectées sur le réseau de

37
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

distribution électrique. La suite de ce manuscrit se concentrera donc sur ce mode d’intégration

en précisant les stratégies actuelles, les évolutions envisagées et ses spécificités de conception
et de réalisation.

2.3. L’intégration fonctionnelle : stratégie actuelle d’intégration

et évolution
La démarche en intégration fonctionnelle consiste à développer des briques élémentaires
pour réaliser différentes fonctions. Ces briques peuvent être constituées d’un seul composant
ou d’une association de composants. Par exemple, un NMOSFET à canal préformé réalise une
brique limiteur de courant et un thyristor-MOS [29] correspond à un interrupteur auto-
amorçable. L’ensemble des briques fonctionnelles obtenues permet de constituer une
bibliothèque de cellules, que le concepteur utilise pour toute nouvelle réalisation de dispositif
[30]. Cette démarche de conception a permis de réaliser de nombreuses fonctions spécifiques
qui se divisent en deux catégories :
- Les fonctions de puissance intégrées, qui sont des interrupteurs présentant des
caractéristiques statiques ou modes de commutation originaux. Ces fonctions peuvent
être de simples associations interrupteur-diode ou des fonctions plus complexes de
type bistables ou auto-amorçables et autoblocables. Les fonctions qui entrent dans
cette catégorie sont par exemple le thyristor dual [4], le micro-disjoncteur [7-9],
l’IGTH [31-32], l’IGBT bidirectionnel en tension ou en courant [33]…
- Les fonctions auxiliaires intégrées qui contribuent à améliorer la fiabilité des
interrupteurs et leur sécurité. Par exemple les fonctions de protection contre les
courts-circuits [34], les fonctions de protection contre les surtensions [35-36], les
surcourants [19-37-38-39], les fonctions de contrôle, les alimentations des
commandes rapprochées [40-41]…
L’évolution logique de ces travaux consiste à réunir ces deux types de fonctions
(protection-commande d’une part et interrupteur d’autre part) pour concevoir de nouvelles
fonctionnalités de commutation de puissance dans le contexte de la conversion d’énergie.
Cette démarche permettra de développer des puces de silicium intégrant des fonctionnalités de
plus en plus nombreuses et réalisant des dispositifs autonomes fiables et compacts (intégration
des commandes, des alimentations, des protections, du refroidissement…).
Mais cette augmentation de la complexité des fonctions de puissance nécessite le
développement d’étapes technologiques spécifiques compatibles avec la technologie de base
du composant de puissance. Ce développement conjoint entre les fonctions intégrables et les

38
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

étapes technologiques spécifiques, illustré sur la figure 16, est le résultat de l’évolution d’une
filière technologique flexible, décrite dans le prochain paragraphe. L’évolution de cette filière
découle des progrès réalisés ces dernières années dans les techniques utilisées dans le
domaine des microtechnologies : la gravure profonde du silicium par RIE (gravure ionique
réactive), les dépôts chimiques en phase vapeur haute pression (CVD) ou basse pression
(LPCVD), les dépôts de résine épaisses, les dépôts électrochimiques, la thermomigration
d’aluminium... Une partie des travaux actuels s’oriente vers le développement d’étapes pour
la réalisation de nouvelles fonctionnalités de stockage de l’énergie, d’isolation, de
transmission de commandes isolées qui font intervenir des matériaux diélectriques,
magnétiques, ferro-électriques ou piezo-électriques, externes aux filières silicium classiques.
Ces étapes spécifiques devront être intégrées dans le procédé de fabrication des composants
de puissance et permettront à terme de concevoir des structures de puissance intégrant en leur
cœur des éléments actifs et passifs et ainsi de développer de nouvelles fonctionnalités qui
tendent à se rapprocher des micro-systèmes. Dans le futur, les interrupteurs intégrés qui
comprendront leur commande, leur protection et peut être même leur refroidissement seront
donc des objets hétérogènes 3D à l’image de certains microsystèmes développés aujourd’hui.

Figure 1. 16 : Evolution des fonctions intégrables liée au développement d’étapes technologiques

spécifiques.

39
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

3. Conception et réalisation de la fonction

3.1. La filière technologique flexible

La fonctionnalité et les caractéristiques électriques des dispositifs basés sur le concept
d’intégration fonctionnelle résultent des interactions électriques maîtrisées entre les
différentes régions semi-conductrices du cristal. Cela signifie qu’elles dépendent non
seulement de la topologie et des différentes connexions réalisées en surface, mais également
des caractéristiques internes de la structure telles que le type et les paramètres physiques des
couches. Dans ce contexte, deux dispositifs présentant des fonctionnalités distinctes se
différencient tant au niveau du procédé technologique (températures de recuit, doses et
énergies d’implantation…) que de la géométrie des masques. Cette approche est
fondamentalement différente de la conception d’un circuit intégré :
- En microélectronique, une fonction est conçue à partir d’une technologie figée, c'est-
à-dire que les caractéristiques électriques sont connues et imposées. C’est la fonction
qui s’adapte à la technologie.
- En microélectronique de puissance, pour concevoir une fonction, il faut agir sur
l’empilement et les caractéristiques des couches N et P des composants, ce qui
conduit à adapter la technologie à la fonction désirée.
La réalisation de dispositifs basés sur le concept d’intégration fonctionnelle doit donc
s’appuyer sur une filière technologique « flexible ». Le procédé technologique associé à ce
type de filière doit d’une part être composé de briques technologiques toutes compatibles
entre elles, et dont les paramètres (par exemple la dose et l’énergie pour une implantation
ionique) peuvent être modifiés pour obtenir des niveaux de tensions et de courants
spécifiques. D’autre part, il doit pouvoir être complété par des briques technologiques
« optionnelles », compatibles avec les briques de base, afin de réaliser des fonctions plus
complexes.
D’après ce constat, une filière flexible technologique a été développée au LAAS-CNRS
pour réaliser des fonctions de puissance complexes à partir d’un seul et même processus
technologique [42]. Ce procédé technologique, résumé sur la figure 17, est basé sur le
principe d’auto-alignement qui consiste à utiliser le polysilicium de grille comme masque
pour les régions de source et de drain des transistors MOS. Ce principe permet d’obtenir un
bon contrôle de la longueur de canal (région décisive pour de nombreuses fonctionnalités) et
de diminuer les contraintes d’alignement (la réalisation de dispositifs verticaux implique des

40
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

photolithographies double face …). Le processus est composé d’un enchaînement d’étapes de
base correspondant à la réalisation d’une structure de type IGBT, qui constitue le cœur de la
filière. A ces étapes de base peuvent être ajoutées des étapes spécifiques permettant de réaliser
de nouvelles fonctionnalités plus complexes sans modifier les caractéristiques électriques des
composants de base.

Figure 1. 17 : Enchaînement des étapes technologiques de la filière complète.

Le substrat de départ est de type N dopé à 1014 cm-3 et l’épaisseur des plaquettes est de
300 µm. Comme pour tous les composants de puissance, la réalisation des terminaisons de
jonction et la matérialisation de la région d’anode face arrière sont considérées comme des
étapes de base placées en début du procédé de fabrication. De plus, le principe d’auto-
alignement impose la réalisation de la grille en début du processus technologique, avant toutes
les étapes d’implantation ionique et de redistribution thermique. Les briques technologiques
de base s’enchaînent donc de la façon suivante :
- Terminaisons de jonction
- Anode face arrière
- Grille en polysilicium dopé N
- Caisson P
- Caisson P+
- Cathode N+
- Ouverture contacts et métallisation

41
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

Oxydation de masquage

Les plaquettes sont enfournées à 700 °C, et subissent une montée lente en température
jusqu’à 1070 °C sous atmosphère d’oxygène sec. Toutes les étapes d’oxydation sont suivies
sur le palier de température de 15 minutes sous azote, ce qui permet d’arrêter la réaction
d’oxydation à haute température et de purger le four. La descente en température se fait sous
ambiance neutre (azote).

N2 O2 O2 + H2 O2 N2
1070°C
20’ 30’ 60’ 60’ 15’
N2 40’ 90’ N2
700°C 700°C

Oxydation de masquage

Terminaison de jonction

Nous avons choisi pour cette filière des terminaisons de jonctions de type JTE optimisées
précédemment au LAAS [43] pour des tenues en tension situées dans la gamme 600-1200 V.
Ces terminaisons de jonction sont réalisées en périphérie des dispositifs par implantation
ionique de bore avec une faible dose. Le caisson P-, ainsi réalisé, est ensuite redistribué sous
ambiance oxydante. L’implantation de bore se fait avec une énergie de 50 keV et une dose de
2,5.1012 cm-2. L’oxyde de champ alors créé présente une épaisseur d’environ 6400 Å. Les
doses et énergies d’implantation sont choisies pour obtenir en fin de processus de fabrication
une dose active dans le silicium de 1,3.1012 cm-2 correspondant à la tenue en tension
maximale [44]

N2 O2 sec Torche O2 sec N2

1150°C
60’ 10’ 35’ 120’ 15’
O2 sec 55’ 95’ N2
700°C 700°C

Etape de redistribution du P-

42
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

Anode P+ face arrière

Les anodes P+ sont réalisées par implantation ionique de bore sur la face arrière sans
auto-alignement par rapport à la grille. L’énergie d’implantation est de 50 keV, et la dose est
de 1.1016 cm-2. La redistribution de ces régions se fait d’une part, lors de la réalisation de
l’oxyde de grille effectuée à 1000°C, et d’autre part lors des redistributions des caissons P et
des cathodes N+ de la face avant à 1150°C. A la fin du processus de fabrication et après toutes
les étapes thermiques, la concentration en surface obtenue est de 3.1019 cm-3 pour une
profondeur de jonction de 7,2 µm.

Oxyde de grille

L’oxyde de grille des dispositifs MOS est réalisé par oxydation thermique du silicium. Le
profil thermique de cette étape a été optimisé à la centrale technologique du LAAS pour
obtenir une épaisseur d’oxyde de 550 Å. Les dix minutes à 700°C sous azote après
l’enfournement permettent d’uniformiser la température du four ainsi que la répartition des
gaz, en vue d’obtenir une épaisseur d’oxyde la plus homogène possible sur chaque plaquette
et également sur l’ensemble des plaquettes introduites dans le four.

O2 sec N2
1000°C
60’ 30’
O2 sec 60’
75’ N2
N2
700°C 700°C
10’

Croissance de l’oxyde de grille

Dépôt et dopage du polysilicium de grille

Le polysilicium de grille est déposé par LPCVD à partir de la décomposition de silane

(SiH4), à la température de 605°C pendant 30 minutes, pour obtenir une épaisseur de 3000 Å.
Le dopage du polysilicium de type N peut se faire soit par une implantation ionique
d’atomes d’arsenic ou de phosphore, soit par diffusion de phosphore. Nous travaillons avec la
deuxième solution car la grille doit subir toutes les étapes de redistribution, et il aurait été
nécessaire, dans le cas d’une implantation ionique, de déposer une couche de nitrure afin
d’éviter l’exodiffusion du dopant de la grille. En revanche, lors de la diffusion de phosphore,
qui se déroule sous ambiance oxydante, la couche d’oxyde créée naturellement permet

43
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

d’éviter cette exodiffusion des atomes de phosphore. Le dopage du polysicium est donc
réalisé à partir d’un prédépot d’une source liquide POCL3. La résistivité obtenue varie de
1.10-3 Ω.cm à 7.10-4 Ω.cm dans les cas extrêmes. La couche d’oxyde créée lors de cette étape
thermique a une épaisseur d’environ 500 Å.

N2 + O2
N2 + O2 + source N2 + O2
950°C
5’ 15’ 5’

Dopage du polysicilium

Réalisation des régions P

Les régions P matérialisent les sources et drains des transistors PMOS, les bases des
thyristors et des IGBTs et les substrats des transistors NMOS. Elles sont réalisées par
implantation ionique de bore et sont auto-alignées par rapport à la région de polysilicium de
grille. La dose implantée est de 1.1014 cm-2 et l’énergie de 50 keV. A l’issue du bilan
thermique complet, on obtient une concentration en surface de 6.1017 cm-3 et une profondeur
de jonction de 4,8 µm. Dans ces conditions, la concentration en surface maximale sous la
grille est de 1.1017 cm-3.
Il est à noter que l’utilisation de la grille pour effectuer un auto-alignement conduit à
l’obtention d’une région de canal présentant un dopage variable entre source et drain des
transistors NMOS (zone de diffusion latérale des régions P). Afin d’obtenir un recouvrement
de ces caissons P sous la grille, en fonction de leur profondeur (4,8 µm), la longueur de grille
est fixée à 4 µm.

Réalisation des régions P+

Les régions P+ sont utilisées pour matérialiser les courts-circuits des dispositifs IGBT et
MOS-thyristor mais également les cathodes des diodes antiparallèle et les prises de contacts
substrat des transistors NMOS. Ces caissons sont réalisés par implantation ionique de bore
avec une dose de 1.1016 cm-2 et une énergie de 50 keV. La redistribution du P+ est commune
avec la redistribution des caissons P. A l’issu du bilan thermique complet, la région P +
présente une concentration en surface de 3.1019 cm-3 et une profondeur de jonction de 7,1 µm.

44
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

N2
1150°C
200’
N2 60’ 110’ N2
700°C 700°C

Redistribution P et P+

Réalisation des régions N+

Les régions N+ matérialisent les cathodes des dispositifs thyristor et IGTB ainsi que les
zones de source et de drain des transistors NMOS. Elles sont réalisées par implantation
ionique d’arsenic et utilisent la protection de la région de grille pour assurer l’auto-
alignement. Avec une dose d’implantation de 1016 cm-2 et une énergie de 100 keV on obtient,
à la fin du processus technologique, une concentration en surface de 1020 cm-3 et une
profondeur de jonction de 1 µm.

N2
1150°C
15’
N2 60’ 110’ N2
700°C 700°C

Redistribution N+

Contacts et métallisation

Le dépôt de la couche de nitrure (Si3N4) d’isolation se fait dans un four LPCVD à une
température de 750°C pendant 44 minutes. L’épaisseur obtenue est de 1000 Å. Cette couche
de nitrure ainsi que l’oxyde de grille sont ensuite gravés pour ouvrir les contacts. Ces étapes
sont suivies d’une métallisation d’aluminium de 1 µm par sputtering. Le même procédé est
effectué sur la face arrière. En fin de processus, un recuit de l’aluminium est effectué à 450°C
pendant 20 minutes.

45
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

Les étapes spécifiques

Le processus de base, qui vient d’être décrit, est composé d’étapes simples, sans
difficulté technologique particulière. Il est conçu pour réaliser des IGBTs ou des thyristors,
mais on peut aussi obtenir des transistors MOSFET à enrichissement basse tension (PMOS et
NMOS) et des diodes. D’autres types de composants (transistor MOSFET à canal préformé,
thyristor-MOS, diode antiparallèle, condensateur…) sont obtenus en ajoutant au processus de
base des étapes spécifiques, compatibles avec les étapes de base, dont quelques unes sont
mentionnées sur la figure 17. Par exemple certaines fonctions de commande et de protection
sont basées sur la réalisation de transistors MOS à canaux préformés nécessitant une étape
spécifique d’implantation ionique à travers le silicium polycristallin de grille. La réalisation
de cellules MOS sur les deux faces de la plaque impose le développement de
photolithographie double face ou une étape spécifique de collage de plaque (wafer bonding).
Pour obtenir des dispositifs symétriques en tension, une étape spécifique de réalisation de
murs verticaux P+ traversant la plaquette peut être réalisée en début de processus [ref olivier
causse]…

3.2. Méthodologie
Le travail du concepteur consiste à réaliser, à partir d’un cahier des charges définissant la
fonctionnalité de l’interrupteur de puissance et les performances souhaitées, une structure
monolithique correspondante. Ce travail fait appel à différentes approches :
- Une approche système et électrique. Dans un premier temps, il faut définir d’un point
de vue électrique la fonction, c'est-à-dire proposer un schéma électrique adapté à
l’application visée et qui assure la fonctionnalité requise par le cahier des charges.
- Une approche physique. La fonction et les caractéristiques électriques d’un dispositif
basé sur le concept d’intégration fonctionnelle sont définies par la topologie,
l’agencement et les paramètres physiques (profils de dopage) des régions semi-
conductrices de chaque cellule de l’architecture choisie. La seconde étape consiste
donc à traduire le schéma électrique par un agencement tridimensionnel dans le
cristal des plus judicieux. Pour cela, le concepteur doit dimensionner physiquement et
géométriquement les régions de chacune des cellules de l’architecture en prenant en
compte leurs propriétés électriques individuelles, mais aussi leurs interactions
électriques. Cette étape nécessite l’utilisation des outils de simulation 2D car ils

46
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

permettent une description physique de la structure et la compréhension d’un certain

nombre d’interactions électriques au sein du cristal.
- Une approche technologique. La filière technologique est la base du travail de
conception car c’est elle qui fixe l’agencement de base du dispositif ainsi que les
contraintes technologiques, les limites et les possibilités de réalisation du dispositif.

Il apparaît évident que pour appréhender au mieux l’ensemble des contraintes de

l’intégration, ces différentes approches doivent être envisagées de façon couplées et non
séparées [45]. C’est là toute la difficulté et l’intérêt de ce travail de conception, qui demande
des connaissances à la fois en technologie, en physique du semi-conducteur, en fonction
électrique et en fonctionnalité système [46]. Suite à ces quelques remarques, l’organisation de
notre travail de conception s’enchaînera comme suit (figure 18) :
- Proposer une architecture qui définisse électriquement la fonction et qui soit
compatible avec le concept d’intégration fonctionnelle.
- Simuler les composants séparément afin de définir les paramètres physiques de
chaque couche (profils de dopage) qui conduisent aux niveaux de courant et de
tension visés.
- Simuler le processus technologique pour remonter aux paramètres technologiques
(énergie d’implantation, dose…) correspondant aux profils de dopage retenus.
- Simuler les composants au sein du même substrat de silicium pour étudier les
différentes interactions au sein du cristal.
- Réaliser les topologies de masque, à partir des résultats de simulation et en prenant en
compte les contraintes technologiques (règles de dessin).

47
Chapitre 1 Intégration du thyristor dual disjoncteur

Figure 1. 18 : Méthodologie de conception.

Conclusion

Les dispositifs à récupération d’énergie nécessitent des convertisseurs réversibles en

courant, dont la commande est pour l’instant réalisée autour des composants de puissance.
L’utilisation d’interrupteurs auto-commutés apparaît comme une solution pour simplifier les
topologies de ces convertisseurs. En effet, les commutations de ces interrupteurs sont
entièrement automatisées par l’évolution du courant et de la tension, c'est-à-dire par
l’évolution du point de fonctionnement du circuit. Elles ne nécessitent ni alimentation
auxiliaire, ni circuit de commande et capteur externes. Par conséquent, les interrupteurs auto-
commutés possèdent tous les attributs pour viser une intégration complète sur silicium.
Le travail de thèse consiste à développer par le biais de l’intégration fonctionnelle un
interrupteur monolithique réversible en courant à auto-commutation, c’est-à-dire un thyristor
dual disjoncteur. Pour réaliser cette fonction, deux architectures sont proposées : une
topologie basée sur un thyristor auto-amorçable et une topologie basée sur un IGBT.
Ce travail à fort potentiel applicatif s’inscrit dans la stratégie actuelle d’intégration : sur
la même puce de silicium seront associées des fonctions de puissance, de protection, de
commande et d’alimentation. Cette démarche permet de pouvoir disposer de véritables
interrupteurs monolithiques autonomes, permettant à leur tour, par association, de réaliser des
cellules de commutation puis des convertisseurs hautement intégrés dépourvus de tout organe
externe ou auxiliaire.

48
CHAPITRE II
INTERRUPTEUR AUTO-COMMUTE A THYRISTOR

Sommaire

Introduction 43

1. DEFINITION DE L’ARCHITECTURE 43
1.1. Présentation de l’architecture et de son fonctionnement 43

1.2. Conditions de fonctionnement 46

1.3. Discussion préliminaire à l’étude 2D 50

2. SIMULATION PHYSIQUE 2D 51
2.1. Dimensionnement des composants 52

2.2. Validation du fonctionnement de l’architecture 72

2.3. Etude des interactions électriques 77

3. SIMULATION DU PROCEDE TECHNOLOGIQUE 81

Conclusion 82

49
50
 CHAPITRE 2

Interrupteur auto-commuté à thyristor

Introduction

La solution développée dans ce chapitre consiste à synthétiser une fonction thyristor dual
disjoncteur à partir d’un thyristor classique. Il faudra doter ce dernier de fonctions annexes
permettant la gestion de l’amorçage et de l’auto-blocage.
Des travaux menés au LAAS sur une structure thyristor-MOS auto-amorçable ont montré
que cette structure présentait un intérêt pour l’intégration de la fonction thyristor-dual [47].
C’est sur la base de cette étude que nous proposons une première topologie pour la réalisation
d’un interrupteur auto-commuté.
Après avoir présenté l’architecture et étudié son fonctionnement, ce chapitre se focalisera
sur le dimensionnement physique et géométrique du dispositif à l’aide des outils de simulation
2D. Ce dimensionnement permet de préparer la conception des masques et la réalisation
technologique qui seront présentées dans le chapitre 4.

1. Définition de l’architecture

1.1. Présentation de l’architecture et de son fonctionnement

Architecture

L’élément de puissance est un thyristor auto-amorçable (figure 1). C’est un thyristor

auquel a été ajoutée une section NMOS à canal préformé lui conférant la capacité de
s’amorcer spontanément au passage par zéro de la tension. Pour obtenir un phénomène de
saturation, qui n’existe pas chez le thyristor, un limiteur de courant lui est ajouté en série, il
s’agit d’un NMOSFET à canal préformé (M2). Le courant total peut donc circuler à travers le
limiteur et le MOS-thyristor dès que ce dernier entre en conduction.

51
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Le blocage du dispositif s’obtient en court-circuitant la jonction gâchette-cathode du

thyristor. Pour cela, un interrupteur est placé entre la gâchette et la cathode du dispositif et sa
fermeture doit être commandée par l’entrée en saturation du limiteur M2. Deux solutions sont
possibles :
- Soit la limitation du courant est directement utilisée. Une contre-réaction en courant
commandera l’interrupteur de blocage qui sera donc de type bipolaire.
- Soit on utilise l’augmentation de tension provoquée par l’entrée en saturation du
NMOSFET M2, et c’est une contre-réaction en tension qui commandera un
interrupteur de type MOSFET.

L’étape de blocage a pour effet d’augmenter la tension et de diminuer le courant. Il est

donc préférable d’utiliser la deuxième solution pour ne pas arrêter le blocage du dispositif
(pour être utilisable, la première solution impose d’ajouter une brique de maintien de l’ordre
de blocage). Ainsi, quand le limiteur M2 entre en saturation, la tension du dispositif augmente
et entraîne la fermeture d’un NMOSFET à enrichissement (M3). Mais la grille de
l’interrupteur de blocage ne peut être reliée directement à l’anode du dispositif (électrode de
puissance). Il faut ajouter, entre la grille de M3 et l’anode du dispositif, une résistance
linéaire, c’est-à-dire un NMOSFET vertical à déplétion (M4).
Une diode Zéner ZD protège la grille de M3. Enfin, la bidirectionnalité en courant de
l’interrupteur est assurée par une diode placée en antiparallèle AD.

Figure 2. 1 : Schéma de principe et architecture du circuit.

52
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Fonctionnement

Dès qu’une tension positive est appliquée sur l’anode du dispositif, le canal préformé du
thyristor-MOS (figure 2) conduit et vient alimenter la base de la section PNP (courant
d’électrons Ie), qui entre alors en conduction. En parallèle, des trous sont injectés de l’anode
vers la région de base N-. Suite à la fermeture de la section PNP, ces porteurs peuvent franchir
la jonction N-/P fortement polarisée en inverse. Un courant de trous (IBNPN) circule alors
latéralement dans la région de base P et provoque une chute de tension à travers sa résistance
RGK. Comme cette région n’est pas court-circuitée à la cathode N+, la chute de tension devient
spontanément suffisante pour entraîner la mise en direct de la jonction P/N+ (jonction
émetteur/base de la section NPN), et ce pour un niveau de courant de trous nettement plus
faible que dans le cas d’un thyristor classique où la cathode est court-circuitée à la base P. La
section NPN devient conductrice, entraînant la circulation d’un courant d’électrons de la
cathode N+ à la région de collecteur N-. La section NPN vient donc à son tour alimenter la
base de la section PNP. Cette action régénératrice des deux transistors bipolaires couplés de la
structure, appelée effet thyristor, provoque le verrouillage du thyristor et ainsi la fermeture du
dispositif. Un courant peut alors circuler à travers le thyristor-MOS et le canal préformé du
NMOSFET M2 placé en série (figure 1).

Figure 2. 2 : Coupe d’une structure thyristor-MOS et son schéma électrique équivalent.

Le courant qui traverse la structure augmente. Lorsque la valeur de blocage (IMAX) est
atteinte, le transistor M2 entre en saturation, ce qui limite le courant et entraîne
l’augmentation de la tension aux bornes du dispositif. Le générateur de courant M4 réagit à
cette augmentation de potentiel à ses bornes en générant un courant qui va charger la capacité
grille source du transistor M3 de blocage. Ce dernier entre alors en conduction et joue le rôle
de court-circuit de la jonction base émetteur de la section NPN du thyristor. La résistance à

53
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

l’état passant de M3 se retrouve en parallèle avec la résistance RGK et permet de proposer un

chemin de conduction moins résistif au courant circulant dans le thyristor. Le transistor M3 va
donc extraire le courant de base de la section NPN. Il arrête ainsi l’effet thyristor et permet
l’ouverture de l’interrupteur.

1.2. Conditions de fonctionnement

Le principe de fonctionnement décrit dans la partie précédente est validé à condition de
vérifier certaines règles et inégalités entre les différentes grandeurs électriques des
composants constituant l’architecture (tensions de seuil, courants de saturation…). Une étude
analytique du circuit permet de définir ces conditions et ainsi de déterminer les couches semi-
conductrices qu’il faudra ajuster lors de l’étape de dimensionnement physique qui va suivre.
Nous présentons ici les équations qui définissent les conditions de fonctionnement du circuit.
Le détail précis des calculs qui nous ont permis d’obtenir ces conditions est donné dans
l’annexe 1. Sur la figure 3 sont définies les grandeurs électriques utilisées et le tableau 1
résume les différentes conditions de fonctionnement du dispositif ainsi que les paramètres
qu’il faudra ajuster lors de la simulation physique 2D afin d’obtenir la fonction désirée.

Figure 2. 3 : Définition des grandeurs électriques utilisées pour l’analyse du circuit.

54
 Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Paramètres
Etapes Relations
ajustables
Dopage et
[2.1] dimensions du canal
de M1
Auto
Dimensions et
amorçage
[2.2] dopage de la région
P de gâchette du
thyristor
[2.3]
Maintien Dimensions et
de dopage du canal de
l’amorçage M2

[2.4]

Auto Dimensions du canal

blocage de M3
[2.5]

[2.6] Dimensions du canal

Maintien de M3
du blocage Dopage de la région
de substrat P

Tableau 2. 1 : Conditions de fonctionnement du circuit 1.

Amorçage

D’après l’inégalité (2.2), pour amorcer le dispositif à de faibles niveaux de courant, le

gain en courant du transistor PNP et le courant de saturation IDSATM1 de la section MOS du
thyristor-MOS doivent être les plus faibles possibles. Cependant, d’après la relation (2.1), la
valeur de IDSATM1, qui intervient à travers le terme RDSONM1, doit être suffisamment élevée
pour permettre l’amorçage du thyristor. Sa valeur est liée au canal du MOS d’amorçage M1 à
travers son dopage et ses dimensions. La saturation correspond au pincement du canal lorsque
la tension drain substrat est élevée. Plus cette tension augmente, plus la zone de charge

55
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

d’espace s’étend car la jonction drain substrat est en inverse. Les porteurs sont repoussés et le
canal est pincé. Si l’on augmente le dopage du canal, il faut un champ électrique plus
important pour repousser les charges, entraînant une tension de saturation, et donc un courant
de saturation, plus élevés. Il en est de même lorsque le rapport de la largeur sur la longueur du
canal (Z/L) est augmenté.
Le gain en courant du transistor PNP est un paramètre difficile à maîtriser car il dépend
du dopage, des dimensions des différentes régions et du niveau de polarisation. Cependant, la
base de la section PNP est très large et peu dopée pour obtenir une bonne tenue en tension,
son gain en courant est donc naturellement très faible.
Si l’on se réfère à la relation (2.1), deux autres paramètres peuvent être ajustés : RDSONM2
et RGK. La résistance à l’état passant du limiteur M2 dépend de sa tension de seuil et des
dimensions de son canal qui définissent aussi le courant de saturation. Or, ce niveau de
courant correspond au courant maximum (IMAX) défini par le cahier des charges. Le seul
paramètre qui pourra être modifié est la résistance RGK qui traduit la résistivité de la région P
de gâchette du thyristor. Rappelons que la résistivité d’une région dépend de ses dimensions
et de son dopage.
Les deux paramètres principaux d’ajustement sont donc IDSATM1 et RGK.

Maintien de l’amorçage

D’après l’équation (2.3), les seuls paramètres ajustables sont le facteur de forme et la
tension de seuil du limiteur de courant M2, car le courant d’anode maximum IAMAX et la
tension de seuil du transistor MOS de blocage VTM3 sont imposés par le cahier des charges
(IMAX et VMAX respectivement). Ces deux paramètres dépendent du dopage et des dimensions
du canal préformé, à travers le facteur Z/L et la mobilité des électrons.

Auto-blocage

Pour réaliser l’auto-blocage, le transistor MOS de blocage M3 doit extraire suffisamment

de courant de la base de la section NPN du thyristor. En d’autre terme, le courant de
saturation de M3 IDSATM3 doit être plus important que le niveau de courant à extraire pour
bloquer le thyristor.
Pour vérifier les relations (2.4) et (2.5), deux possibilités existent :
- La première consiste à diminuer la valeur minimum du courant de drain de M3.
Autorisant le blocage. D’après l’inégalité (2.4), le courant de drain minimum IMINDM3

56
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

dépend du courant de saturation du limiteur M2, du gain en courant de la section PNP

du thyristor et de sa résistance RGK. Nous avons vu précédemment que le gain en
courant est lié à la tenue en tension du dispositif, que la résistance RGK est le
paramètre fondamental de l’auto-amorçage et que le courant de saturation du limiteur
M2 correspond au courant maximum (IMAX) du dispositif imposé par le cahier des
charges. Cette première solution est donc écartée pour garantir l’auto-amorçage du
dispositif et respecter le cahier des charges.
- L’autre possibilité consiste à augmenter le courant de drain du NMOS de blocage
M3. Pour cela, on peut ajuster le dopage de la région de substrat P. Par exemple, si le
dopage de cette région P diminue, il faudra un champ électrique moins important
pour former le canal, ce qui entraînera la diminution de la tension de seuil. On
rappelle que pour le transistor NMOS à enrichissement, le courant IDS est défini par
les équations du régime ohmique et du régime saturé :

[2.7]

[2.8]
Avec N la mobilité des électrons dans le canal, COX la capacité d’oxyde de grille, Z et L les
largeur et longueur du canal, et VT la tension de seuil.
Or la tension de seuil du transistor MOS de blocage correspond à la tension maximum à l’état
passant du dispositif (VMAX), imposée par le cahier des charges. Il semble donc à ce niveau
que la seule condition à respecter soit l’inégalité (2.5), c'est-à-dire obtenir un KPM3
suffisamment élevé en jouant sur les dimensions.

Maintien du blocage

D’après la relation (2.6), il faut diminuer la résistance à l’état passant de M3, RDSONM3,
soit adapter les dimensions du canal (longueur et largeur) et le dopage de la région de substrat
P (IDSATM1 étant un paramètre de l’auto-amorçage).

Remarques

Nous avons envisagé seulement des modifications des couches semi-conductrices. Les
caractéristiques électriques des MOSFETs et du thyristor-MOS dépendent également des

57
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

couches d’oxyde et de polysilicium de grille. Mais la modification de ces deux couches

entraînerait soit une complexification du processus technologique soit des variations
importantes des caractéristiques électriques pour l’ensemble des composants à grille du
dispositif.
Les résultats de l’analyse montrent que les dopages et les dimensions des canaux des
transistors MOS conditionnent le fonctionnement du dispositif. Ces canaux sont réalisés ou se
forment dans les zones de diffusion latérale des régions P de substrat (région P de gâchette
dans le cas du thyristor-MOS), ce qui signifie que leurs dimensions et leurs dopages
dépendent de ces régions P, qu’il faudra donc aussi ajuster.

1.3. Discussion préliminaire à l’étude 2D

L’atout principal de cette topologie concerne son auto-amorçage. Il repose sur la mise en
conduction, au passage par zéro de la tension anode-cathode, du transistor NMOS M1 à canal
préformé dont le courant de drain alimente la base de la section PNP et sert ainsi de courant
de déclenchement du thyristor. Ainsi, grâce à un dispositif très simple qui consiste à ajouter
une section NMOS à un thyristor, on obtient un amorçage ne nécessitant aucune alimentation
auxiliaire.
De façon générale, l’utilisation de transistors NMOS à canaux préformés a permis de
réaliser simplement les fonctions annexes de gestion de l’amorçage et de l’auto-blocage. On
obtient ainsi, pour cette première solution basée sur un MOS-thyristor, une architecture très
simple, compacte et ne présentant aucune difficulté technologique particulière. Elle est donc
particulièrement bien adaptée à l’intégration fonctionnelle.
Mais la fonctionnalité est fortement dépendante de ces canaux préformés. Ce sont eux
qui déterminent les caractéristiques électriques définies par le cahier des charges (le courant
de disjonction par exemple). Il est à noter que les canaux préformés présentent deux
inconvénients :
- Il est difficile de déterminer avec précision leurs paramètres technologiques (doses,
énergies d’implantation des couches semi-conductrices) à partir de la simulation
physique 2D, car les modèles de diffusion dans le polysilicium ne sont pas adaptés.
Les caractéristiques électriques (tension de seuil, courant de saturation) peuvent être
très différentes de celles obtenues par simulation. Pour déterminer leurs paramètres
géométriques, il convient donc de réaliser des composants tests avant de commencer
la réalisation technologique du dispositif complet.

58
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

- Ils sont très sensibles aux paramètres technologiques. Leurs caractéristiques

électriques peuvent donc être différentes de celles attendues. En d’autres termes, la
fonctionnalité présentera des écarts par rapport au cahier des charges. Les
conséquences seront plus ou moins préjudiciables pour la fonction : par exemple
modification du niveau de disjonction ou, dans le pire des cas, fonctionnalité non
réalisée.

En conclusion, cette première solution est particulièrement intéressante d’un point de vue
technologique, mais son comportement électrique sera très sensible aux paramètres
technologiques.

2. Simulation physique 2D
La conception d’un dispositif basé sur le concept d’intégration fonctionnelle consiste à
dimensionner physiquement et géométriquement les régions semi-conductrices de chacun des
composants de l’architecture en prenant en compte leurs propriétés électriques individuelles,
mais aussi leurs interactions électriques. Ce travail nécessite l’utilisation des outils de
simulation physique 2D car ils permettent une description physique et géométrique de la
structure (la structure est décrite à partir des profils de dopage des régions semi-conductrices)
et de traduire un certain nombre d’interactions électriques au sein du cristal.
Dans un premier temps, les composants de l’architecture sont dimensionnés séparément.
Pour cette étape nous utilisons les outils MDRAW (description de la structure et de son
maillage) et SDEVICE (spécification des modèles physiques pris en compte et des modèles de
résolution numérique) de SENTAURUS TCAD. En chaque point du maillage, le simulateur
résout numériquement les équations fondamentales des semi-conducteurs (équations de
continuité et de Poisson). Il fournit ainsi le comportement électrique du composant ainsi que
des informations sur la distribution interne de variables telles que les concentrations de
porteur, les lignes de courant, le champ électrique ou le potentiel [48].
Lorsque les caractéristiques électriques des composants concordent avec le cahier des
charges, les structures 2D obtenues sont associées et insérées dans une cellule de
commutation. Cette étape est réalisée à l’aide de l’outil MIXED-MODE de SENTAURUS
TCAD qui permet de coupler des composants issus de la simulation physique à des éléments
de type SPICE. L’intérêt de cette démarche est de pouvoir vérifier le bon dimensionnement
des cellules et de tester le comportement du circuit complet.

59
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Dans un deuxième temps, le fonctionnement du dispositif étant vérifié, les composants

sont redéfinis, à l’aide des outils MDRAW et SDEVICE, dans le même substrat : de nouveaux
agencements des couches semi-conductrices sont proposés, sans modifier les paramètres
physiques définis dans l’étape précédente. Les interactions électriques entre les différents
composants sont identifiées et minimisées, voire supprimées, afin que la structure
monolithique du circuit complet vérifie toujours la fonctionnalité.

2.1. Dimensionnement des composants

Le dimensionnement des composants doit permettre d’assurer de bonnes conditions de
fonctionnement du dispositif (cf. analyse présentée précédemment) et respecter les niveaux de
courant et de tension fixés par le cahier des charges. D’après l’analyse effectuée
précédemment, le fonctionnement du dispositif dépend essentiellement des paramètres
physiques (concentration en surface CS et profondeur de jonction XJ) des canaux des
transistors MOSFETs et des régions P. D’autre part, le cahier des charges présenté dans le
premier chapitre est défini par cinq grandeurs électriques :
- La chute de tension à l’état passant VON (< à 2V), qui correspond à la chute de
tension aux bornes du thyristor et du limiteur (VONTHYRISTOR +VDSATM2),
- Le courant de disjonction IMAX (fixé à 2A), qui correspond au courant de saturation
de M2,
- La tension de blocage VTH, qui correspond à la tension de seuil de M3,
- Le courant à l’état bloqué (ne doit pas dépasser 1% IMAX), qui correspond au courant
de fuite circulant dans les canaux préformés de M4 et de la section MOS du thyristor-
MOS (IDSATM4 + IDSATTHYRISTOR-MOS),
- La tension maximum VOFF de 600 V qu’il peut supporter à l’état bloqué.

Mise à part la tenue en tension VOFF du dispositif (qui doit être supportée par les deux
éléments de puissance du dispositif, le thyristor et le générateur M4) et la tension
VONTHYRISTOR (qui dépend de l’injection de l’anode et de la région de base N-), ces grandeurs
correspondent à des tensions de seuil, des tensions de pincement et des courants de saturation
de NMOSFETs. Elles sont fixées par les paramètres physiques des couches semi-conductrices
se situant sous la grille, c’est à dire les régions P et les canaux préformés.
Les structures des composants haute tension du dispositif sont basées sur un
enchaînement vertical de type P+/N-/P/N+ pour le thyristor-MOS, et N+/N-/P/N+ pour le
générateur M4. La tenue en tension directe de ces composants est assurée par la jonction

60
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

polarisée en inverse N-/P. La tension de claquage dépend en particulier du dopage et de la

profondeur de la région N-. Dans le cas de la filière technologique du LAAS, cette région
correspond au substrat silicium utilisé pour la réalisation des composants, soit des plaquettes
de 300 µm de profondeur avec un dopage constant en phosphore de 1014 cm-3. La tension de
claquage d’une jonction plane dopée à 1014 cm-3 évaluée par une approche analytique est
comprise entre 1360 et 1800 V [43]. Cette estimation permet d’écarter le problème de la tenue
en tension. En conclusion, le dimensionnement physique des composants consistera donc à
ajuster l’injection de l’anode du thyristor-MOS et les profils de dopage des régions P et des
canaux préformés de l’ensemble des composants.
Afin d’organiser au mieux les simulations, une méthodologie est mise en œuvre. Elle est
appliquée séparément pour chaque composant (fig.4).

Figure 2. 4 : Méthodologie utilisée pour la simulation de chaque composant du circuit.

Pour la première simulation, la structure du composant est définie avec les profils de
dopage (une combinaison (CS, XJ)) de la filière technologique. Si les caractéristiques
électriques obtenues à l’aide de la simulation ne concordent pas avec le cahier des charges,
une nouvelle combinaison (CS, XJ) du caisson P est testée. Dans le cas contraire, les valeurs
de CS et XJ sont stockées, et une nouvelle combinaison est testée. On obtient ainsi pour
chaque composant une « bibliothèque » de valeurs (CS, XJ). Pour les composants à canaux
préformés, la même démarche est appliquée pour les profils des canaux. Mais il faut être
conscient qu’il sera impossible de remonter aux paramètres technologiques correspondant
réellement au profil de dopage de ces régions, car la simulation process ne permet pas de
modéliser convenablement l’étape d’implantation à travers le polysilicium. Pour ces régions,

61
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

les résultats obtenus seront purement qualitatifs. Mais ils permettront de tester le
fonctionnement complet du dispositif avec les niveaux de courant et de tension souhaités.
Pour rappel, les caractéristiques physiques des différentes couches semi-conductrices
obtenues à partir du procédé technologique de la filière flexible sont résumées dans le tableau
2.

Concentration en surface Profondeur jonction

Caisson Profil
(cm-3) (µm)

N+ Gaussien 1020 1

N- Constant 1014 -

P Gaussien 6.1017 5

P+ Gaussien 3.1019 7

Tableau 2. 2 : Paramètres physiques des couches semi-conductrices obtenus à partir du procédé

technologique de la filière flexible.

Tous les composants réalisés sont de type multicellulaire : des cellules élémentaires
identiques sont associées en parallèle pour que le calibre en courant soit respecté (chaque
cellule fait transiter un faible pourcentage du courant total). Ce type de réalisation implique
qu’une seule cellule de 1 µm de longueur suffit pour définir la structure à partir de la
simulation physique 2D. Le niveau de courant désiré est obtenu par l’ajout d’un facteur
multiplicatif affectant la longueur de la cellule lors de la simulation électrique. La profondeur
des cellules simulée est de 300 µm. Cette dimension correspond à l’épaisseur des plaquettes
utilisées lors de la réalisation technologique.

Le thyristor-MOS

Le thyristor-MOS est l’interrupteur de puissance du dispositif. Il doit assurer une tenue

en tension de 600 V, transiter un courant de 2 A et présenter une chute de tension à l’état
passant très faible (de l’ordre de 1 V, ce qui autorise une tension VDSATM2 de 1V pour
satisfaire la condition VON<2V). Sa structure se compose d’un enchaînement vertical de
quatre couches P+/N-/P/N+ et d’une grille MOS en surface (figure 5).

62
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Figure 2. 5 : Structure d’une cellule thyristor-MOS

a. Dimensions
La surface du dispositif est définie à partir de la densité de courant admissible. Dans le
cas d’un composant de puissance, comme le thyristor-MOS, la densité classique est de 100
A/cm2. La valeur nominale du courant circulant à travers le composant est de 2 A. Le thyristor
doit être capable de transiter un courant légèrement supérieur au courant nominal. Nous
choisissons une valeur de courant de 2,3 A, soit 15 % de plus que la valeur nominale. La
surface occupée par le composant est donc : 2,3 / 100 = 0,023 cm2.
Les simulations sont effectuées à partir d’une structure de 35 µm de large. Pour obtenir la
même surface, la longueur de la cellule (appelée area factor ou facteur multiplicatif) est donc
de 66667 µm. Il faut remarquer que la longueur de la cellule correspond à la longueur totale
de la grille de la section MOS.

b. Profils de dopage
La caractéristique statique visée pour l’état passant du thyristor-MOS est un courant de 2
A pour une chute de tension inférieure à 2 V (1 V dans le meilleur des cas). Elle dépend de la
résistivité de la région de base N- et du niveau d’injection de l’anode, c'est-à-dire de son profil
de dopage. Les paramètres de la région N- ne sont pas modifiables car ils correspondent aux
caractéristiques du substrat de silicium et ils fixent la tenue en tension du dispositif. Seul le
profil de dopage de la région P+ d’anode peut être ajusté. Une première simulation avec les
profils de dopage de la filière flexible est effectuée. La caractéristique statique du thyristor-

63
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

MOS présente un courant de 2 A pour une tension de 1 V. Ce résultat correspond à nos

attentes, et le profil de dopage de la région P+ de la filière flexible est conservé.

L’amorçage du thyristor-MOS dépend des caractéristiques électriques de sa section

MOS, qui doit présenter :
- Un courant de saturation élevé (pour une tension grille-source nulle) pour amorçer le
thyristor à un niveau de tension proche de zéro. Cependant, sa valeur ne doit pas
dépasser l’ordre du mA pour minimiser le courant de fuite du dispositif auquel il
contribue.
- Sa tension de saturation doit être très faible pour alimenter rapidement la base de la
section PNP avec un niveau de courant maximum.

Pour obtenir les caractéristiques électriques de la section MOS M1, l’anode de type P+ en
face arrière est remplacée par une région N+ correspondant à l’électrode de drain. La source
de M1 correspond à la région N+ en face avant et le substrat à la région P. Les simulations
effectuées donnent les caractéristiques ID(VDS) pour une tension VGS nulle. Les valeurs
correspondant à celles visées sont reportées dans le tableau 3 ainsi que les profils de dopage
de la région P et du canal. Examinons les résultats obtenus.

Profil région
P (CS [cm-3]) 2e+17 3e+17 4e+17 5e+17 6e+17
XJ = 4,8 µm

Profil canal
(CS [cm-3])
1,5e+17 2e+17 2,5e+17 3e+17 3e+17 3,5e+17 3,5e+17 4e+17 4,5e+17 5e+17
XJMAX=0,15
µm

VDSAT [V] 0,1 0,3 0,1 1 0,1 0,3 0,1 0,2 0,2 0,6

IDSAT [A] 2e-6 1,5e-5 4e-5 1e-2 6e-6 8e-4 2e-6 2e-4 7e-5 5e-3

Tableau 2. 3 : Caractéristiques électriques du NMOSFET M1 en fonction du profil de dopage de sa

région P de substrat et de son canal à VGS=0 V.

Le canal de M1 est réalisé par implantation ionique à travers le polysilicium de grille. Il

se crée en surface, dans la zone de diffusion latérale de la région P. Pour que le canal puisse se

64
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

former, sa concentration en surface doit être plus importante que celle de la région P au
niveau de la grille. Les résultats de simulation montrent effectivement que plus le CS de la
région P est élevé, et plus le CS du canal est important (tableau 3).
Le choix du profil de dopage de la région P dépend des limitations technologiques. En
effet, l’implantation du canal à travers le polysilicium nécessite une dose et une énergie
d’implantation plus élevées que pour une implantation classique dans le silicium. Par
exemple, pour obtenir un canal avec un CS de 1e+18 cm-3 et un XJ de 0,1 µm pour une
épaisseur de polysilicium de 240 nm, il faut une énergie d’implantation de170 keV et une
dose de 3e+14 cm-2 [42]. La quantité de dopant sous la grille, c'est-à-dire la concentration en
surface du canal, est donc limitée. La concentration en surface de la région P ne doit pas
excéder 6e+17 cm-3 car cela nécessiterait des concentrations en surface du canal trop
importantes pour être réellement obtenues.
En outre, une concentration en surface de la région P inférieure à 2e+17 cm-3 n’est pas
souhaitable car le Cs du canal serait très faible. L’implantation à travers le polysilicium est
une étape délicate, et l’épaisseur de polysilicium peut être légèrement différente de celle
prévue. Dans le cas de faibles doses implantées (c'est-à-dire de faibles concentrations en
surface pour le canal), il existe un risque de masquage qui, dans le pire des cas, peut empêcher
la formation du canal. Par exemple, une épaisseur plus importante de polysilicium peut
réduire la dose réellement présente dans le silicium et le canal ne sera pas formé.
Enfin, il est à noter que la profondeur de jonction de la région P est restée fixée à 4,8 µm.
Cette valeur n’a pas été modifiée à cause du bilan thermique complet du procédé
technologique. Les profondeurs de jonction sont définies principalement par les étapes
thermiques. La modification de l’une de ces étapes entraînerait des changements sur
l’ensemble des profils de dopage des régions implantées.
Vérifions le fonctionnement du thyristor-MOS avec les dimensions et les profils du tableau 3
(figure 6).

65
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Figure 2. 6 : Dimensions du thyristor-MOS

Sur la figure 7 est reportée la caractéristique électrique IA(VAK) du composant avec une région
P de concentration en surface 4e+17 cm-3 et 3,5e+17 cm-3 pour le canal préformé. Le thyristor-
MOS présente une chute de tension de 1 V pour un courant de 2 A. La caractéristique ne
présente pas de retournement à l’amorçage comme pour un thyristor classique. Il s’agit d’un
amorçage spontané de type diode obtenu grâce à la section MOS, dès que la tension VAK
atteint 0,8 V (tension nécessaire pour polariser en direct la jonction anode P+/ base N-), et
grâce au fait que la cathode et la région P ne sont pas court-circuitées (RGK très grande).

Figure 2. 7 : Caractéristique IA(VAK) du thyristor-MOS.

Les lignes de courant dans la structure montrent la conduction de la section MOS avant
l’amorçage du thyristor, et la conduction en mode thyristor après l’amorçage (figure 8).

66
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Figure 2. 8 : Lignes de courant dans la structure avant l’amorçage(a) et après l’amorçage(b)

Le limiteur de courant M2

Le limiteur M2 est un NMOSFET à canal préformé qui doit fournir un courant de

saturation de 2 A pour une tension de saturation de 1 V à VGS = 0V. C’est un composant basse
tension avec une structure latérale classique (figure 9).

Figure 2. 9 : Structure d’une cellule NMOSFET M2

a. Profils de dopage
Les simulations, effectuées sur une cellule de 1 µm de longueur, conduisent à la
caractéristique ID(VDS) à VGS nulle. Dans le tableau 4 sont reportés les profils de dopage qui
correspondent à des tensions VDSAT inférieures à 1 V.

67
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Cs ([cm-3])
région P 2e+17 3e+17 4e+17 6e+17
XJ=4,8 µm

Profil
canal
3,5e+17 ;0,1 1,5e+17 ;0,3 3e+17 ;0,15 5e+17 ;0,1 5e+17 ;0,15 6,5e+17 ;0,1
Cs[cm-3]

;XJ[µm]

VDSAT [V] 1 1 0,7 1 1 1

IDSAT [µA] 13 14 14 12 14 13

Tableau 2. 4 : Caractéristiques électriques du NMOSFET M2 en fonction du profil de dopage de sa

région P de substrat et de son canal à VGS=0 V.

Les profils de dopage de M2 sont soumis aux mêmes limites technologiques que le
thyristor-MOS à cause de la réalisation de son canal dans une zone de double diffusion
latérale de la région P. La concentration en surface du substrat P est donc comprise entre 2 e+17
cm-3 et 6e+17 cm-3.
Les dopages du canal présentés dans le tableau répondent à trois critères :
- Le canal est complètement formé,
- La tension de saturation VDSAT est inférieure à 1 V,
- Le phénomène d’avalanche n’apparaît que pour des tensions VDS supérieures à 5V.

Le dernier point limite la valeur du courant de saturation que peut fournir M2 car sa
structure latérale n’est pas adaptée pour des tensions importantes.

b. Dimensions
Dans le tableau 5 sont reportées, pour les profils de dopage du tableau 4, les longueurs de
cellule, c'est-à-dire la longueur de grille de M2, nécessaires pour obtenir un courant de
saturation de 2 A à VGS nulle.

68
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Région P

(CS [cm-3]) 2e+17 3e+17 4e+17 6e+17

XJ=4,8 µm

Profil
canal
3,5e+17 ;0,1 1,5e+17 ;0,3 3e+17 ;0,15 5e+17 ;0,1 5e+17 ;0,15 6,5e+17 ;0,1
Cs[cm-3]

;XJ[µm]

Longueur
de grille 153846 142857 142857 166667 142857 153846
[µm]

Tableau 2. 5 : Longueur de grille de M2 pour différents profils de dopage du substrat P et du canal.

Figure 2. 10 : Dimensions du limiteur M2

Le NMOSFET de blocage M3

Le NMOSFET de blocage M3 est un composant basse tension de structure latérale

(figure 11). Ses caractéristiques électriques doivent être : une tension de seuil de 3 V et un
courant de saturation suffisamment élevé pour permettre d’ouvrir le thyristor pour une tension
VGS comprise entre 3 et 5 V.

69
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Figure 2. 11 : Structure d’une cellule NMOSFET M3

a. Profil de dopage
Le canal de M3 se crée dans la zone de double diffusion latérale des régions P de
substrat. La valeur de la tension de seuil dépend du profil de dopage de cette région. Pour
déterminer la combinaison (CS, XJ) de la région P qui permet d’obtenir une tension de seuil de
3 V, une cellule de 1 µm de longueur est simulée. Les résultats reportés dans le tableau 4 sont
issus des caractéristiques ID(VGS) pour VDS= 1 V.
Profil région P
-3
(2e+17 ,4,8) (3e+17 ,4,8) (4e+17 ,4,8) (5e+17 ,4,8) (6e+17 ,4,8)
(CS [cm ], XJ [µm])
VSEUIL [V] 1,7 2,3 2,7 3,2 3,6

Tableau 2. 6 : Tension de seuil en fonction du dopage de la région P de substrat.

Deux profils donnent des valeurs de tension de seuil se rapprochant de la valeur fixée,
(4e+17 cm-3 ; 4,8 µm) et (5e+17 cm-3 ; 4,8 µm).

b. Dimensions
La valeur du courant de saturation est définie par le nombre total de cellules, c'est-à-dire
par la longueur de grille.
Pour déterminer la valeur du courant de saturation de M3 nécessaire pour bloquer le
dispositif, des simulations sont effectuées sur les structures thyristor-MOS dimensionnées
précédemment. Elles sont insérées dans un circuit qui reproduit le principe de blocage du
NMOS M3, en injectant un courant négatif sur la gâchette du thyristor. Le circuit de test est

70
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

constitué d’un générateur de tension en série avec une résistance, connectés à l’anode du
thyristor (figure 12). Un générateur de courant négatif est relié à la gâchette (région P).

Figure 2. 12 : Circuit de test du blocage du thyristor-MOS

La figure 13 montre les résultats obtenus pour un thyristor de concentration en surface

4e+17 cm-3 pour la région P et 3,5e+17 cm-3 pour le canal.

Figure 2. 13 : Tension et courants obtenus pour la simulation du blocage du thyristor

De 0 à t1, la tension VAK augmente et le thyristor s’amorce immédiatement autorisant le

passage du courant. A t1, le générateur de tension maintient une tension constante de 30 V
(valeur arbitraire). Le thyristor présente une tension de 1 V à ses bornes et un courant de 2 A.
A t1, le générateur de courant fournit une rampe de courant négative correspondant au courant
extrait de la gâchette du thyristor. A t2, le courant de gâchette atteint 0,65 A. A cet instant, le
courant d’anode s’annule et la tension aux bornes du thyristor augmente. Il faut donc un
courant de 0, 65 A, soit 31 % du courant d’anode pour bloquer le thyristor-MOS.

71
 Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

La valeur du courant de blocage dépend de la résistivité de la gâchette P et de la valeur

du courant d’électrons injecté par la section MOS du thyristor. En effet, plus ces deux
paramètres sont élevés et plus l’amorçage est sensible. Par conséquent, il faut dévier un
courant plus important pour bloquer le dispositif. Les valeurs des courants nécessaires au
blocage du dispositif en fonction des profils de dopage de la région P (résistivité gâchette) et
du canal (niveau du courant d’électron injecté par la section MOS) du thyristor sont données
dans le tableau 7. Les longueurs de grille correspondantes à ces niveaux de courant sont aussi
répertoriées dans ce même tableau. Seul le NMOSFET de blocage de concentration en surface
de la région P de 4e+17 cm-3 est conservé. Pour une concentration en surface de la région P de
5e+17 cm-3, la longueur de grille nécessaire serait trop importante (son courant de saturation
pour une cellule de 1 µm est de 1,5e-6 A alors que pour la concentration de CS=4e+17 cm-3 IDSAT
vaut 4e-6 A pour des tensions VGS=4 V).

Profil région
P thyristor
2e+17 3e+17 4e+17 5e+17 6e+17
(CS [cm-3])

Xj = 4,8 µm

Profil canal
M1

(CS [cm-3]) 1,5e+17 2e+17 2,5e+17 3e+17 3e+17 3,5e+17 3,5e+17 4e+17 4,5e+17 5e+17

XJMAX=0,15
µm

IDSAT M3
660 663 653 658 646 650 640 643 630 638
[mA]

Longueur de
grille [mm] 165 165,7 163,2 164,5 161,5 162,5 160 160,7 157,5 159,5
= IDSAT / 4e-6

Tableau 2. 7 : Valeurs du courant de saturation nécessaire de M3 pour bloquer le dispositif en

fonction des profils de dopage du thyristor-MOS.

72
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Figure 2. 14 : Dimensions du NMOSFET de blocage M3

La diode Zéner ZD

La diode Zéner protège la grille du transistor M3 lorsque le dispositif est à l’état bloqué,
en maintenant une tension de l’ordre de 10-15 V à ses bornes. Sa structure est constituée
d’une région N+ implantée dans une région P (figure 16).

Figure 2. 15 : Structure d’une cellule diode Zéner

Le principe de fonctionnement de ce type de structure est basé sur l’effet d’avalanche. Sous
polarisation inverse, une zone de charge d’espace se développe au niveau de la jonction P/N +.
Dès que le champ électrique dans cette zone atteint une certaine intensité (environ 105 V/cm),
les porteurs libres accélérés par le champ acquièrent suffisamment d’énergie pour créer par

73
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

collision avec le réseau cristallin de nouvelles paires électrons-trous [49-50]. Les porteurs
ainsi générés provoquent à leur tour la création d’autres paires. Ce phénomène est possible si
la largeur de la zone de charge d’espace est plus grande qu’un libre parcours moyen d’un
porteur. La tension Zéner VZ présente aux bornes du composant lors de l’effet d’avalanche,
dépend de la largeur de la zone de charge d’espace et du dopage des deux régions. Dans notre
cas, la jonction est fortement dissymétrique, VZ dépend donc essentiellement de la région la
plus faiblement dopée soit la région P.

Figure 2. 16 : Dimensions de la diode Zéner

Une diode avec une largueur de cathode de 200 µm (figure 17) est testée pour différents
dopages de la région P. La structure utilisée pour la simulation est très proche de celle réalisée
technologiquement. Nous réaliserons aussi des diodes Zéner de 100 µm et 300 µm de
longueur de cathode. Les valeurs de VZ obtenues à partir des caractéristiques IK(VKA) sont
reportées dans le tableau 8.
Profil région P
-3
(2e+17 ,4,8) (3e+17 ,4,8) (4e+17 ,4,8) (5e+17 ,4,8) (6e+17 ,4,8)
(CS [cm ], XJ [µm])
VZ[V] 12,5 11,5 11 10,5 10

Tableau 2. 8 : Tension Zéner pour différents dopages de la région P

Les résultats sont cohérents : plus le dopage diminue, plus la valeur de la tension Zéner
augmente car la zone de charge d’espace s’étend plus facilement. Cependant, la longueur de
la cathode peut aussi modifier la tension Zéner. Le courant inverse de la Zéner est issu de
l’électrode de cathode. Il traverse la jonction P/N+, puis circule dans la région P le long de la

74
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

cathode pour rejoindre le contact d’anode. Si la longueur de cathode est augmentée, la

résistance que voit le courant inverse est plus importante. Le courant va traverser la jonction
P/N+ sur les cotés de la région N+ de cathode. Le courant dans cette zone va augmenter, et
l’effet d’avalanche apparaitra plus vite, diminuant ainsi la valeur de la tension V Z. Par
exemple, pour une longueur de cathode de 300 µm, la tension VZ est de 10 V au lieu de 11 V
pour une cathode de 200 µm de long, pour les mêmes dopages.

Le générateur de courant M4

Lorsque le limiteur M2 entre en saturation, la tension VAK augmente et le générateur de

courant charge la grille du transistor M3 de blocage pour le mettre en conduction. Pour une
tension VGS de M4 nulle, son courant de saturation doit être suffisamment élevé pour charger
la capacité d’entrée de M3 mais aussi pour polariser la diode Zéner dans sa zone de
régulation. Il doit rapidement saturer pour assurer son rôle de générateur de courant.
M4 est un NMOSFET vertical qui supporte la pleine tension lors de l’état bloqué du
dispositif. Sa structure, proche de celle du thyristor-MOS, est constituée d’un enchainement
N+/N-/P/N+ et d’un canal préformé vertical (figure 18).

Figure 2. 17 : Structure d’une cellule générateur de courant M4

75
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

a. Profils de dopage
Pour cette étape, les simulations, effectuées sur une cellule de 1 µm de profondeur,
conduisent à la caractéristique ID(VDS) à VGS nulle. Rappelons que la source de M4
correspond à la région N+ en surface, le substrat à la région P et le drain à la région N+ en face
arrière.
Les profils de dopage de M4 sont soumis aux mêmes limites technologiques que le
thyristor-MOS car la réalisation de leur canal est identique: implantation du canal à travers le
polysilicium de grille dans la zone de diffusion latérale de la région P. La concentration en
surface du substrat P est donc comprise entre 2e+17 cm-3 et 6e+17 cm-3.
De même pour les concentrations en surface du canal préformé : la limite inférieure
correspond à la valeur minimum pour laquelle le canal est formé, la limite supérieure
correspond à la valeur maximum pour laquelle la tension VDSAT est inférieure à 1 V.
Dans le tableau 9 sont reportés les profils de dopage qui correspondent à des tensions
VDSAT inférieures à 1 V.

Profil région
P
(2e+17 ,4,8) (3e+17 ,4,8) (4e+17 ,4,8) (5e+17 ,4,8) (6e+17 ,4,8)
-3
(CS [cm ];
Xj [µm])

CS canal
[cm-3]
1,5e+17 2e+17 2,5e+17 3e+17 3e+17 3,5e+17 3,5e+17 4e+17 4,5e+17 5e+17
XJMAX=0,15
µm

VDSAT [V] 0,1 0,3 0,1 1 0,1 0,3 0,1 0,2 0,2 0,6

IDSAT [A] 3e-11 2,3e-8 6e-10 1,6e-7 9e-11 1,3e-8 3e-11 3e-9 1e-9 7e-8

Tableau 2. 9 : Caractéristiques électriques du NMOSFET M4 en fonction du profil de dopage de sa

région P de substrat et de son canal à VGS=0 V.

Dans ce tableau figurent aussi les valeurs du courant de saturation. Elles sont utilisées
dans le paragraphe qui suit pour déterminer la longueur de grille de M4.

76
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

b. Dimensions
La valeur du courant de saturation est définie par le nombre total de cellules, c'est-à-dire
par la longueur de grille. Rappelons que M4 doit charger rapidement la grille de M3 et
polariser ZD dans sa zone de régulation. La condition relative à la diode Zéner signifie que le
courant de saturation de M4 doit être supérieur au courant de saturation inverse de ZD pour la
polariser dans sa région de « coude », soit :

[2.9]
Le dimensionnement de la diode Zéner réalisé précédemment donne un courant inverse
IZMIN de l’ordre de 1e-9 A.
Pour compléter le dimensionnement de M4, il faut vérifier par simulation que son
courant de saturation est suffisant pour charger rapidement la capacité de grille de M3. Pour
faciliter cette étape, des simulations de type « gate charge » sont effectuées sur le transistor
M3 afin d’évaluer sa capacité d’entrée. C’est une méthode simple permettant de définir la
charge nécessaire à fournir en entrée du composant pour le rendre conducteur [51]. Le
principe consiste à injecter un courant constant sur la grille du composant pour que celle-ci se
charge jusqu’à atteindre une tension de référence. Pour cette simulation, un générateur de
tension de 2V en série avec une résistance de 10 Ω sont connectés sur le drain du NMOSFET.
Le générateur de courant connecté à la grille impose un courant constant de 1e-5 A (figure 19).

Figure 2. 18 : Circuit de simulation « gate charge ».

Sur la figure 20 sont reportées les courbes de VDS(t), VGS(t)et ID(t) obtenues pour un
NMOSFET M3 de concentration en surface 4e+17 cm-3 pour la région P.

77
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Figure 2. 19 : Courbes de tension et de courant issues de la simulation « gate charge ».

Elles se divisent en trois phases. Seule la première, de t0 à t1, est nécessaire car elle
correspond au temps de charge de la capacité d’entrée pour que la tension grille source
dépasse le seuil de conduction. Le choix d’un courant de grille constant permet de remonter
facilement à la valeur de la capacité vue de l’entrée par l’expression suivante :

[2.10]
ΔVGS correspond à la tension de seuil de M3, soit 2,5 V, Δt correspond à (t1-t0) et I le
courant de grille soit 1e-5 A. La capacité d’entrée de M3 a donc pour valeur 0,36 nF.
Pour charger rapidement cette capacité, il faut fournir un courant de grille élevé. Un
temps de charge de l’ordre de la centaine de nanosecondes est une durée raisonnable pour la
mise en conduction de M3. Par exemple, le courant nécessaire pour fermer M3 en 220
nanosecondes est de 3,5 mA. Dans le tableau 10 sont reportées les longueurs de cellule
nécessaires pour obtenir un courant de saturation de 3,5 mA.

78
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Profil région P
(2e+17 ,4,8) (3e+17 ,4,8) (4e+17 ,4,8) (6e+17 ,4,8)
-3
(CS [cm ; Xj [µm])

CS canal [cm-3]
2e+17 3e+17 3,5e+17 5e+17
XJMAX=0,15 µm

Longueur de grille [µm]

152200 21900 270000 50000
= nombre de cellules

Tableau 2. 10 : Longueur de grille de M4 pour différents profils de dopage du substrat P et du canal.

Certains profils de dopage ont été écartés car le nombre de cellules était trop important.
Si un courant de saturation plus élevé est choisi, le temps de charge diminuera. Mais pour
minimiser le courant de fuite du dispositif auquel M4 contribue, il convient de choisir une
valeur de courant de l’ordre du mA. De plus, le courant admissible par la diode Zéner impose
une limite supérieure au courant de saturation de M4. Pour une densité de courant classique
de 40 A/cm2, le courant maximum admissible par la diode Zéner de 100 µm de largeur de
cathode est de 4 mA. La valeur de 3,5 mA pour le courant de saturation de M4 est un bon
compromis entre le temps nécessaire pour la mise en conduction du dispositif, et le courant
total admissible par les diodes Zéner proposées.

Figure 2. 20 : Dimensions du générateur de courant M4.

79
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Synthèse

Tous les composants dimensionnés présentent une ou plusieurs combinaisons (CS, XJ)
possibles pour leur région P. Pour minimiser le nombre d’étapes technologiques, il convient
de retenir une combinaison (CS, XJ) commune à l’ensemble des composants. D’après les
résultats précédents, les caractéristiques retenues pour la région P de tous les composants du
circuit sont : une concentration en surface de 4e+17 cm-3 et une profondeur de jonction de 4,8
µm. Dans le tableau 11 sont répertoriées les longueurs de cellule des composants au terme de
ce dimensionnement.
Générateur
Thyristor- Limiteur MOS de Diode
Composant de courant
MOS M2 blocage M3 Zéner
M4
Longueur de cellule
66667 166667 162500 270000 400
[µm]

Tableau 2. 11 : Longueur de cellule des composants de l’architecture du circuit étudiée.

Il est à noter que les composants annexes au thyristor-MOS ont des dimensions
importantes. Pour le limiteur M2, il est difficile d’obtenir une surface plus faible, car c’est un
composant basse tension qui doit faire circuler un courant important. Du fait de sa structure
latérale, il faut un nombre de cellules important pour obtenir le niveau de courant désiré. De
même pour M3, qui doit dévier un courant important pour bloquer le thyristor. Seules les
dimensions de M4 auraient pu être plus faibles, mais nous préférons diminuer le nombre
d’étapes technologiques plutôt que de réduire la surface silicium.

2.2. Validation du fonctionnement de l’architecture

Test du fonctionnement du circuit

Les composants sont maintenant associés de façon discrète et insérés dans une cellule de
commutation (figure 22). Le circuit de simulation proposé est volontairement simplifié afin de
focaliser l’étude sur les caractéristiques essentielles des composants conçus tout en étant
parfaitement représentatif des cycles de commutation rencontrés dans une application réelle
(amorçage, état passant, blocage, état bloqué, conduction inverse). Ainsi, le circuit est
constitué d’une source de tension continue, d’un générateur de courant triangulaire et d’une
diode de roue libre qui sont des éléments circuit de type SPICE fournis par le logiciel de
simulation. Le générateur de courant doit être impérativement alternatif pour assurer la mise

80
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

en conduction de la diode antiparallèle. Pour faciliter l’interprétation des résultats, nous avons
choisi une forme de courant triangulaire.

Figure 2. 21 : Circuit test pour la simulation du circuit complet.

A conditions initiales nulles, l’ensemble du circuit est au repos. Dès que le courant IG
fourni par le générateur devient positif, il est dérivé dans la section MOS du thyristor
permettant l’amorçage de l’interrupteur. Ce courant circule alors à travers la branche
thyristor-limiteur et constitue le courant principal IA de l’interrupteur (figure 23). Quand le
courant principal IA atteint la valeur du courant de limitation fixé à 2 A, VAK a pour valeur 2
V. Le limiteur M2 entre alors en saturation, et la valeur de son courant de drain est limitée à 2
A. La saturation du NMOSFET M2 conduit à une augmentation rapide de la tension à ses
bornes, entraînant l’augmentation de la tension VAK aux bornes du dispositif. Cette tension est
appliquée à la grille du transistor MOS M3 qui devient conducteur. Le courant principal IA se
répartit alors de la façon suivante :
- Une partie circule à travers la cathode du thyristor et le limiteur. La valeur de ce
courant est imposée par le courant de saturation du limiteur.
- La deuxième partie est déviée au niveau de l’électrode de la région P du thyristor-
MOS et circule à travers le transistor NMOS M3 : c’est le courant de drain de M3. Sa
valeur correspond à la différence entre la valeur imposée IA et la valeur du courant de
drain du limiteur, soit IA-2 A.

Le transistor MOS M3 extrait donc une partie du courant principal du thyristor-MOS et

réduit ainsi le courant qui alimente la base de la section NPN du thyristor. Lorsque le courant
de drain de M3 atteint 1A, la section NPN du thyristor n’est plus suffisamment alimentée pour
maintenir une différence de potentiel supérieure à 0,7 V aux bornes de sa jonction base-
émetteur, et le dispositif s’ouvre. La tension VAK aux bornes du dispositif augmente et

81
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

provoque la mise en conduction de la diode de roue libre, puis le courant principal IA de

l’interrupteur diminue jusqu’à une valeur de 16,5 mA (soit 8/1000 de 2 A) mais ne s’annule
pas. En effet, il existera toujours un courant de fuite à l’état bloqué dû à trois composantes :
- Le courant qui circule à travers la section MOS M1 du thyristor et le limiteur, c’est à
dire le courant de saturation de M1 (6 mA soit 3/1000 de 2 A)
- Le courant qui circule à travers le NMOSFET à déplétion M4 et la Zéner, c'est-à-dire
le courant de saturation de M4 (3,5 mA soit 1,75/1000 de 2 A).
- Le courant qui circule à travers le collecteur de la section PNP et le NMOSFET de
blocage M3 (7 mA soit 3,5/1000 de 2 A).

Quand IG s’annule, la diode de roue libre s’ouvre. Le courant IG du générateur devient

négatif, la diode en antiparallèle AD se met à conduire et la tension VAK aux bornes du
dispositif s’effondre à -0,7 V. Cette chute de potentiel, ramenée par le transistor M4 sur la
grille du NMOSFET M3, a pour effet de décharger la grille du transistor M3 et ainsi de libérer
le blocage du thyristor. Lorsque le courant IG s’annule la diode en antiparallèle s’ouvre. Puis
IG devient à nouveau positif et, comme l’ordre de blocage a été supprimé, l’interrupteur peut
se réamorcer.

Figure 2. 22 : Cycle de fonctionnement de la topologie 1.

Etude du blocage

Les résultats de simulation valident le fonctionnement de l’architecture du circuit

proposée et montrent que les caractéristiques statiques fixées par le cahier des charges sont

82
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

respectées : quand VAK atteint 2 V le limiteur de courant sature à 2 A. M3 entre en conduction

quand VAK=3V et la tension de blocage du dispositif est de 4,5 V.
Seule la phase dynamique de blocage n’est pas complètement satisfaisante. Quand le
limiteur sature, la tension VAK augmente rapidement et entraîne la mise en conduction de M3.
Le courant de drain de M3 augmente et lorsque sa valeur atteint 1 A, le dispositif se bloque.
Entre la mise en conduction de M3 et le blocage effectif du dispositif, le courant total a lui
aussi augmenté car il est lié au courant de drain de M3 par la relation suivante :

[2.11]
Le courant IA n’est pas limité et il a pour valeur au moment du blocage 3 A et non 2 A.
Le fonctionnement de ce circuit implique que la valeur du courant au moment du blocage est
toujours supérieure à la valeur IMAX de limitation. Pour réduire la valeur de IA au moment du
blocage, il faut diminuer la valeur du courant minimum de drain de M3 nécessaire pour
bloquer le dispositif. Rappelons son expression :

[2.12]
avec RGK la résistance de la région de base de la section NPN du thyristor, αPNP le gain en
courant de la section PNP du thyristor, IDSATM2 le courant de saturation de M2 et IMINDM3 le
courant minimum de drain de M3 capable de bloquer le dispositif.
Dans l’analyse présentée au début de ce chapitre, nous avions conclu qu’il n’était pas
souhaitable de modifier cette caractéristique électrique car les trois paramètres intervenant
dans l’équation sont soit imposés par le cahier des charges (IDSATM2), soit des paramètres
importants pour une autre phase de fonctionnement (RGK pour l’amorçage, et αPNP pour la
tenue en tension à l’état OFF). Cependant, la modification du gain de la section PNP du
thyristor est moins critique que celle de RGK car le dopage et les dimensions de la région N-
offrent une tenue en tension de 1200 V, soit deux fois plus que le VOFF demandé. Une marge
de manœuvre est donc permise sur ce paramètre.
Pour évaluer l’influence du gain sur l’expression de IMINDM3, dérivons l’expression
donnée par l’équation 12 par rapport à αPNP :

[2.13]

83
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

La dérivée de IMINDM3 est toujours positive quelle que soit la valeur de αPNP, ce qui
signifie que la valeur de IMINDM3 évolue dans le même sens que αPNP. Pour diminuer la valeur
du courant de blocage il faut donc diminuer le gain de la section PNP du thyristor.
Le gain αPNP dépend de l’injection de l’anode, soit du dopage de la région P+ en face
arrière, et de la résistivité de la région de base N-. Des simulations sont effectuées avec un
dopage moins important de l’anode (CS= 6e+17 cm-3) et en augmentant l’épaisseur de la base
(400 µm) de la section PNP. Les résultats obtenus (figure 24) montrent une légère diminution
de la valeur du courant IA au moment du blocage. Mais ces modifications s’accompagnent
aussi d’une détérioration de l’état passant du dispositif. Comme la réduction n’est pas
significative, il est préférable de ne pas modifier le gain αPNP et de conserver un courant de
blocage IA de 3 A.

Figure 2. 23 : Influence du gain αPNP sur le blocage du dispositif.

Variante

L’originalité de l’interrupteur proposé repose sur sa complète autonomie d’un point de

vue fonctionnel. Il est constitué uniquement de deux électrodes, l’anode et la cathode, et ne
présente aucune électrode de commande. Cependant, il est possible d’utiliser une troisième
électrode pour modifier le niveau de disjonction.
L’ordre de disjonction du dispositif est initié par l’entrée en saturation du limiteur. Pour
décaler l’ordre de disjonction, il faut donc modifier le courant de saturation de M2, c'est-à-
dire modifier sa tension VGS. La grille de M2 doit être déconnectée de la cathode du dispositif,
pour avoir accès à une troisième électrode permettant de contrôler le niveau de disjonction du
dispositif.

84
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

Le circuit est testé en appliquant différents potentiels sur la grille de M2. Le courant
principal IA du dispositif est reporté sur la figure 25 pour une tension VGS de -1 V et 1 V.

Figure 2. 24 : Courant du thyristor-MOS pour différentes tensions VGS du limiteur.

Pour des tensions VGS négatives, c'est-à-dire pour des niveaux de saturation inférieurs à 2
A, la fonctionnalité est obtenue. Dans le cas de VGS= -1 V, le dispositif s’ouvre quand IA= 1,3
A au lieu de 3 A pour VGS nulle. Cependant, pour des niveaux de saturation supérieurs, il est
impossible de bloquer le dispositif. En effet, l’ensemble du circuit a été dimensionné pour un
niveau de limitation de 2 A. Pour des niveaux inférieurs, le NMOSFET M3 bloque le
dispositif car il est surdimensionné. Au contraire pour des niveaux supérieurs, comme c’est le
cas lorsque VGS=1 V, le MOS de blocage est sous dimensionné et il ne peut dévier
suffisamment de courant pour ouvrir le dispositif.

2.3. Etude des interactions électriques

Cette étape a pour but de définir le meilleur agencement des différentes régions semi-
conductrices de l’architecture, au sein du même substrat de silicium. Dans un premier temps,
seules les contraintes d’isolation entre les éléments haute tension et basse tension sont prises
en considération pour proposer une structure complètement intégrée.
Tous les composants basse tension du circuit (M2,M3 et ZD) présentent une région P
reliée à la cathode du dispositif. Ils sont naturellement isolés de la haute tension grâce à leur
jonction P/N- polarisée en inverse (principe de l’auto-isolation présenté au chapitre 1).
Les jonctions sphériques qui se forment dans les coins de diffusion provoquent des
claquages prématurés des composants, liés à la courbure des équipotentielles dans ces zones
[43-52]. Pour éviter leur formation, il faut étaler ces équipotentielles. Les périphéries assurent

85
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

l’étalement en bordure de zone active, mais, entre les différentes régions P des composants, le
principe d’auto-blindage est utilisé : des zones de charge d’espace (ZCE) se créent autour des
jonctions P/N-. Les équipotentielles se répartissent dans la ZCE en suivant la courbure de la
jonction. Si la distance entre deux régions P, de même potentiel ou de potentiel proche, est
inférieure à environ 40 µm, alors les zones de charges d’espace se rejoignent, et les
équipotentielles se lissent.
L’ensemble des régions P du dispositif est à un potentiel nul ou faible (12 V pour la
région P de substrat de M4 et 0 V pour le reste des composants). Il suffit de laisser une
distance de séparation inférieure à 40 µm entre les différentes cellules pour que les zones de
charge d’espace se rejoignent. L’isolation est ainsi assurée sans avoir recours à des techniques
d’isolation complexes.
Enfin, pour simplifier la structure et diminuer la surface du dispositif, certains
composants partagent la même région P : M3, M2 et AD (figure 26). Cette mise en commun
est électriquement possible car la région P de substrat de M2 et de M3 et la région P d’anode
de AD sont reliées à la cathode du dispositif. ZD aurait pu aussi être réalisée dans la même
région P, mais sa région N+ de cathode atteint un potentiel de 12 V pendant l’état OFF du
dispositif. Par sécurité, il est préférable de réaliser ZD indépendamment de l’association M2-
M3-AD. La coupe 2D de principe de la structure intégrée du dispositif que nous proposons est
représentée sur la figure 26.

Figure 2. 25 : Proposition de coupe 2D du dispositif intégré.

Testons cette structure dans la cellule de commutation utilisée précédemment pour la

validation de la fonction. Les résultats de simulation montrent que la fonctionnalité n’est pas

86
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

obtenue car la fermeture du dispositif n’a pas lieu. Pour déterminer l’origine de ce
dysfonctionnement, examinons la répartition des lignes de courant dans la structure. A
l’instant où la fermeture aurait dû avoir lieu, le courant circule de l’anode vers la cathode
(figure 27). Les lignes de courant sont issues de la région N+ en face arrière, elles traversent la
région N- de drift et accèdent à la cathode N+ par le canal préformé de la section NMOSFET
du thyristor. Ce n’est plus le thyristor qui transite le courant principal du dispositif, mais un
VDMOSFET parasite créée par l’anode N+ en face arrière et la section MOS du thyristor.

Figure 2. 26: Mise en évidence de l’interaction électrique au sein de la structure intégrée.

Les régions réalisées en face arrière sont toutes reliées à la même électrode : la région P+,
qui matérialise l’anode du thyristor, est connectée à la région N+ qui représente le drain de M4
et la cathode de AD. Quand une tension positive est appliquée entre l’anode et la cathode du
dispositif, le courant d’anode traverse la jonction N+/N- plutôt que la jonction P+/N- du
thyristor car sa résistivité est plus faible. Par conséquent, l’anode P+ du thyristor ne peut pas
injecter de porteurs dans la région N- et la jonction P+/N- reste bloquée, interdisant la
fermeture du thyristor.
Le courant latéral qui traverse la région de drift N- crée une chute de tension au dessus de
la région P+ en face arrière. Si cette chute de tension atteint 0,7 V, la jonction P+/N- se polarise
en direct. Des trous peuvent alors être injectés dans la région N- et le thyristor-MOS se ferme.

87
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

La chute de tension qui se développe ne dépend que de la résistance vue par le courant à cet
endroit de la structure. Pour polariser en direct la jonction P+/N-, il faut donc augmenter la
distance séparant la région N+ et la région P+ en face arrière ou augmenter la longueur de la
région P+. La deuxième solution entraîne une augmentation de l’injection de l’anode, soit une
augmentation du gain αPNP. Suite à l’étude de l’influence de αPNP sur le blocage du dispositif,
cette solution ne sera pas retenue.
Des simulations du dispositif complet sont réalisées pour établir la distance nécessaire au
déclenchement du thyristor entre les régions P+ et N+ face arrière. Rappelons que le thyristor-
MOS utilisé est très sensible au déclenchement à cause de sa région P flottante (la région N+
de cathode n’est pas connectée à la région de gâchette P). Cela signifie qu’à la différence des
structures thyristors classiques, la caractéristique I(V) ne présente pas de retournement.

Figure 2. 27 : Déclenchement du thyristor en fonction de la distance entre les régions N+ et P+ en face

arrière.

Les résultats de simulation donnés sur la figure 28 montrent qu’un fonctionnement

correct du dispositif nécessite une distance supérieure à 300 µm entre les deux régions. Pour
des distances inférieures, la fermeture du thyristor est obtenue pour des tensions plus élevées
(provoquant un retournement dans la caractéristique I(V)). En dessous de 100µm, l’effet
thyristor n’a pas lieu et la fonctionnalité n’est plus réalisable.

88
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

3. Simulation du procédé technologique

La structure proposée est définie à partir des profils de dopage des différentes régions. Il
est nécessaire de convertir ces paramètres physiques (CS, XJ) en paramètres technologiques
(dose, énergie d’implantation…) pour préparer le procédé de fabrication. Cette étape est
réalisée à l’aide de l’outil ATHENA du logiciel SILVACO [53]. L’outil ATHENA est un
simulateur de procédé de fabrication, et permet en particulier de simuler les étapes
d’implantation, de dépôt, de gravure, de recuit et d’oxydation. Il permet de connaître la
distribution des dopants dans une structure ainsi que sa géométrie.
D’après le dimensionnement des composants, seules les étapes d’implantation de la
région P et du canal préformé doivent être modifiées. Les canaux étant implantés à travers du
polysilicium et les modèles de ces matériaux ne permettant pas de modéliser convenablement
le phénomène, des tests expérimentaux seront effectués lors de la réalisation. Seule l’étape
d’implantation de la région P sera étudiée dans cette partie.
L’implantation de la région P est définie par la dose de bore à implanter, l’énergie
d’implantation et le temps de recuit. A l’issue du procédé technologique, la région P doit
présenter une combinaison (CS ; XJ) de (4e+17 cm-3 ; 4,8µm) au lieu des valeurs de référence
(6e+17 cm-3 ; 4,8µm) de la filière. Le XJ étant identique, l’énergie d’implantation et le temps de
recuit ne seront pas modifiée (pour maintenir le bilan thermique du procédé).
Il est à noter que seule l’étape d’implantation de bore ainsi que l’ensemble des
redistributions qui suivent (redistribution P, redistribution N et redistribution canaux - cf
chapitre 1) sont simulées. Les simulations sont réalisées sur un substrat silicium de type N
avec un dopage en phosphore constant de 1e+14 cm-3. Dans le tableau 11 figurent les doses
testées ainsi que les profils de dopage obtenus. La marge entre les différentes doses testées
tient compte des limites de l’implanteur disponible au LAAS.

Dose implantée [cm-2] 6,5e+13 7,5e+13 8e+13

Profils région P
(4e+17 ; 4,8) (4,5e+17 ; 4,8) (5e+17 ; 4,8)
-3
(CS [cm ]; Xj [µm])

Tableau 2. 12 : Profil de dopage de la région P en fonction de la dose de bore implantée.

Pour compléter ces simulations, des plaquettes tests ont été réalisées sur des substrats N
de dopage constant 1e+14 cm-3. Les différentes doses de bore utilisées pour les simulations ont

89
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

été implantées avec une énergie de 50 keV. Ces plaquettes ont été ensuite analysées par SIMS
(Secondary Ion Mass spectrometry), qui est une méthode de caractérisation chimique
destructive [54]. Elle est basée sur la détection des ions secondaires produits sous l’effet d’un
bombardement d’ions primaires incidents. L’impact d’un ion ou d’une molécule possédant
une énergie de quelques keV produit l’émission de rayonnement et de particules de natures
différentes : des photons, des électrons secondaires, des particules neutres, des ions
secondaires positifs et négatifs caractéristiques de l’échantillon. Ces derniers sont extraits,
analysés et quantifiés. Cette étape est répétée à différentes profondeurs de l’échantillon afin
de reproduire le profil de dopage dans le silicium.
Les résultats de l’analyse SIMS sont comparés aux résultats de simulation pour vérifier la
validité des modèles utilisés et confirmer le choix de la dose à implanter. Sur la figure 29 sont
reportés les profils de dopage de la région P obtenus par simulation et par analyse SIMS pour
une dose implantée de 6,5e+13 cm-2. Les deux profils se caractérisent par une concentration en
surface de 4e+17 cm-3 et une profondeur de jonction de 4,8 µm (profondeur où la concentration
est égale à 1e+14 cm-3, soit la concentration du substrat).

Figure 2. 28 : Concentration de bore des régions P en fonction de la profondeur - comparaison

simulation et analyse SIMS.

Conclusion

L’utilisation du thyristor permet de proposer une structure simple, compacte, adaptée à

une intégration fonctionnelle. Le comportement électrique de cette architecture bénéficie des

90
Chapitre 2 Interrupteur auto-commuté à thyristor

avantages apportés par le thyristor : amorçage rapide grâce à la section MOS du thyristor et
faible chute de tension à l’état passant malgré la présence du limiteur en série. Cependant, les
simulations électriques ont montré que le blocage d’un tel dispositif est difficile à réaliser car
pour stopper l’effet thyristor, il faut extraire un courant important de la gâchette du thyristor.
Le NMOSFET de blocage présente de ce fait une surface importante. Il est à noter que son
sous dimensionnement peut conduire à l’échec de la fonction. Le limiteur M2 présente lui
aussi une surface importante car cet élément basse tension en série avec l’interrupteur de
puissance, doit transiter le courant IMAX du dispositif.
Ces dernières remarques motivent l’étude d’une deuxième solution bâtie cette fois-ci
autour d’un IGBT, composant facilement blocable et qui sature naturellement, contrairement
au thyristor.

91
92
CHAPITRE III
INTERRUPTEUR AUTO-COMMUTE A IGBT

Sommaire

Introduction 87

1. DEFINITION DE L’ARCHITECTURE 87
1.1. Présentation de l’architecture et de son fonctionnement 87

1.2. Conditions de fonctionnement 89

1.3. Discussion préliminaire à l’étude 2D 95

2. SIMULATION PHYSIQUE 2D 96
2.1. Dimensionnement des composants 96

2.2. Validation du fonctionnement de l’architecture 114

3. INTEGRATION DE L’AUTO-ALIMENTATION 119

3.1. Le procédé technologique 119

3.2. Etude des interactions électriques 132

Conclusion 134

93
94
 CHAPITRE 3

Interrupteur auto-commuté à IGBT

Introduction

La seconde topologie est construite autour d’un IGBT, composant aujourd’hui très
répandu et relativement facile à commander à l’ouverture et à la fermeture. Comme dans le
cas de la solution précédente, il faudra doter ce composant de fonctions annexes pour obtenir
les conditions de commutation souhaitées. Toutefois, à la différence de la structure thyristor,
la phase de mise en conduction de l’IGBT nécessite l’application et le maintien d’une tension
de commande. Cette condition implique la réalisation d’une source auxiliaire d’alimentation
capable de fournir l’énergie nécessaire à la mise en conduction de l’IGBT au passage par zéro
de la tension.
Après avoir présenté l’architecture et étudié son fonctionnement, ce chapitre se focalise
sur le dimensionnement physique et géométrique du dispositif à l’aide des outils de simulation
2D. La dernière partie du chapitre concerne l’étude menée en vue de l’intégration d’une
fonction d’auto-alimentation.

1. Définition de l’architecture

1.1. Présentation de l’architecture et de son fonctionnement

L’utilisation d’un IGBT de type sense permet de s’affranchir de la mise en série d’un
limiteur. En effet, l’électrode de sense donne une image du courant principal qui est utilisée
pour l’ouverture de l’IGBT.
Cette phase d’ouverture est constituée des séquences suivantes :
– Détection du courant maximum,
– Mise en court-circuit des électrodes de grille et de cathode de l’IGBT,
– Application et maintien de l’ordre de blocage.

95
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Grille

Cathode

Sense

Figure 3. 1 : Coupe schématique de l’IGBT-sense et vue de dessus des dispositifs réalisés.

La détection du courant est réalisée par l’IGBT-sense (figure 1). Lorsque le courant
principal atteint la valeur IMAX, le courant de sense provoque la fermeture d’un interrupteur
qui assure le court-circuit grille-cathode de l’IGBT, initiant ainsi le blocage. Deux solutions
sont envisageables :
– L’interrupteur de blocage est un thyristor et le courant de sense est directement utilisé
pour contrôler sa fermeture (figure 2).
– L’interrupteur de blocage est un NMOSFET et il est nécessaire de passer par une
conversion courant-tension à l’aide d’une résistance (figure 2).
Dans le cas d’un blocage par thyristor, lorsque celui-ci a totalement déchargé la grille de
l’IGBT, le courant traversant ce thyristor s’annule et ce dernier s’ouvre. Pour éviter que la
grille de l’IGBT ne se trouve à l’état de haute impédance, on doit maintenir le court-circuit
grille-cathode par une cellule de maintien du blocage. Cette cellule, déjà présente dans la
première topologie, est constituée par l’ensemble M4, ZD et M3.
Dans le cas d’un blocage par un transistor MOS, dès que la tension de grille de l’IGBT
commence à décroître, le courant principal diminue ainsi que le courant de sense. La tension
de commande appliquée au transistor NMOS décroît à son tour et le court-circuit grille-
cathode de l’IGBT n’est plus assuré. L’ensemble IGBT-NMOS entre alors dans un mode de
fonctionnement de type linéaire, et il faut prévoir une cellule permettant d’obtenir le blocage
complet de l’IGBT. Là encore, c’est la cellule M4-ZD-M3 qui assure cette fonction.
Pour rendre conducteur un IGBT, il faut appliquer et maintenir une tension de l’ordre de
la dizaine de volts sur sa grille. Ceci ne pose aucune difficulté si l’on dispose d’une source
d’alimentation externe. Par contre, si l’on envisage un fonctionnement autonome de l’IGBT et
des circuits associés, ceci ne peut être réalisé qu’à partir d’une source d’énergie propre

96
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

capable d’alimenter la grille, même lorsque l’IGBT est à l’état passant. Une auto-alimentation
[40] est donc nécessaire (figure 2). Celle-ci est constituée d’un condensateur mis en série avec
une diode D et un transistor NMOS à déplétion M1. Lorsque l’IGBT est à l’état bloqué, le
condensateur se charge à travers M1 et D pour atteindre une valeur de tension voisine de la
tension de Zéner de ZD. La diode D évite la décharge du condensateur à travers la diode de
corps de M1 lors de la conduction de la diode AD.
Le transistor PMOS MP permet d’aiguiller la charge du condensateur vers la grille de
l’IGBT. Lorsque l’IGBT est bloqué, le potentiel de grille de MP est tel que celui-ci est à l’état
bloqué et isole ainsi le condensateur. Lorsque la tension aux bornes de l’IGBT décroît (mise
en conduction de la diode AD), le potentiel de grille de MP diminue. Ce dernier entre en
conduction et transmet la charge stockée par le condensateur à la grille de l’IGBT qui est alors
prêt à conduire.

Figure 3. 2 : Schéma de principe et architectures proposées du circuit

1.2. Conditions de fonctionnement

Une étude analytique du circuit s’avère complexe car celui-ci comporte des mailles
capacitives soumises à des potentiels variables. Seules des simulations peuvent nous donner
les informations nécessaires au dimensionnement des différents composants. De ce fait, nous

97
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

n’énoncerons dans cette partie que les conditions évidentes permettant un fonctionnement
correct du circuit en régime statique.

Figure 3. 3 : Définition des courants et tensions utilisés pour l’analyse du circuit, version blocage par
thyristor.

Figure 3. 4 : Définition des courants et tensions utilisés pour l’analyse du circuit, version blocage par
NMOSFET.

Etat passant

Lors de l’état passant, aucun dispositif de blocage ne doit entrer en conduction tant que le
niveau de courant de disjonction n’est pas atteint.
Donc, tant que :

98
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

[3.1]
- La tension aux bornes de l’IGBT doit être inférieure à la tension de seuil du
NMOSFET M3 de maintien du blocage, jusqu’à ce que le courant de disjonction IMAX soit
atteint (figures 3 et 4) :

[3.2]
- La tension de la jonction gâchette-cathode du thyristor de blocage doit rester inférieure
à 0,7 V (figure 3) :

[3.3]
avec ISENSE courant de gâchette du thyristor et RGK résistance de la région P.
- La tension aux bornes de la résistance RS doit être inférieure à la tension de seuil du
NMOSFET de blocage (figure 4) :

[3.4]
L’équation (3.2) permet de dimensionner l’IGBT et le NMOSFET M3. La tension
VCESAT, qui correspond à la chute de tension maximale à l’état passant, est fixée par le cahier
des charges. Elle dépend de la résistivité de la région P/P+ court-circuitée à la cathode N+. La
tension de seuil de M3 est ajustée à travers la région de substrat P, en particulier sa
concentration en surface. Les équations (3.3) et (3.4) relatives aux interrupteurs de court-
circuit de grille donnent une première indication pour le dimensionnement de ces composants
ainsi que de la région émetteur sense de l’IGBT, qui sera déterminée plus précisément lors de
l’étude de la phase de blocage.
La deuxième condition pour maintenir l’IGBT passant concerne le PMOSFET MP qui
assure la connexion entre la grille de l’IGBT et le condensateur de l’auto-alimentation. Il faut
que la tension VGS de MP reste inférieure à sa tension de seuil :

[3.5]
donc

[3.6]

99
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

La tension aux bornes du NMOSFET M4 est négligée car le courant qui le traverse
correspond au courant inverse de la diode Zéner. Ce courant est très faible et la tension aux
bornes de M4 est proche de zéro.
Comme précédemment, VCESAT est fixée par le cahier des charges et, pour obtenir une
bonne caractéristique de l’IGBT à l’état passant, nous choisissons une valeur de 10 V pour
VCAPA (la tension de seuil de l’IGBT est de l’ordre de 5 V). La tension de seuil de MP est
ajustée à partir du dopage de sa région de substrat N.

Phase de commutation à l’ouverture

Lorsque le courant principal ICE atteint la valeur de disjonction IMAX, l’interrupteur de

blocage entre en conduction.
- Pour amorcer le thyristor, le blocage doit être suffisant pour polariser sa jonction
gâchette-cathode à 0,7V, par l’intermédiaire de la résistance RGK (figure 3):
Lorsque

[3.7]

[3.8]
où ISENSE MAX est le courant de gâchette produisant le déclenchement du thyristor.
De même, pour fermer le NMOSFET de blocage, la tension aux bornes de la résistance
RS doit atteindre sa tension de seuil (figure 4) :

[3.9]
Il est à noter que les équations (3.8) et (3.9) permettent de dimensionner les interrupteurs
de court-circuit (thyristor ou NMOSFET) et la partie sense de l’IGBT.
Le courant de déclenchement du thyristor est réglé à partir de la résistivité de sa région P
de gâchette (profil de dopage et dimensions). Il faut ensuite déterminer le nombre de cellules
de l’IGBT qui seront dédiées à la partie sense.
La tension de seuil du NMOSFET de blocage est ajustée à partir du dopage de sa région
de substrat. Il faut choisir une valeur de résistance et une valeur de courant de sense (un
nombre de cellules à émetteur de sense) qui permettent d’obtenir cette tension de seuil.

100
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Etat bloqué

Les interrupteurs de blocage (thyristor ou NMOSFET) provoquent l’ouverture de l’IGBT

et assurent le court-circuit grille-cathode. La tension VCE augmente et le courant ICE s’annule.
Pour maintenir le blocage de l’IGBT, le transistor M3 doit entrer en conduction. Sa grille est
connectée à la cathode de la diode Zéner, et tant que cette dernière n’atteint pas la tension de
Zéner VZ, la tension qui lui est appliquée suit VCE (figures 3 et 4) :

[3.10]
Dès que la diode Zéner entre en régime de limitation de tension, le potentiel de grille de
M3 cesse d’augmenter et a pour valeur VZ. M3 doit donc être conducteur avant que la tension
de Zéner ne soit atteinte car sinon il sera impossible de le fermer :

[3.11]
Les équations (3.2) et (3.11) permettent de fixer la valeur de la tension de seuil de M3 qui
dépend en particulier de la concentration en surface des régions P de substrat situées sous la
grille. La tension Zéner dépend quant-à elle du dopage de sa région P d’anode.
La diode Zéner ne limitera la tension appliquée sur les grilles de M1, MP et M3 que si le
courant de saturation du NMOSFET M4 est suffisant pour polariser correctement la diode
Zéner au delà de la tension de coude :

[3.12]
Le courant de saturation de M4 sera ajusté à partir du dopage de la région P de substrat,
du dopage de son canal et de sa largeur. Pour compléter son dimensionnement, il faudra
vérifier par simulation que son courant de saturation est suffisant pour charger la capacité
équivalente vue de sa source (capacités de grille de MP et de M3) lors des phases transitoires.
Une fois la grille de l’IGBT chargée, la tension VGS du PMOSFET MP doit devenir
supérieure à la tension de seuil de MP pour entraîner son ouverture et ainsi déconnecter la
grille de l’IGBT de l’auto-alimentation :

[3.13]
avec

[3.14]

101
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

soit

[3.15]
donc

[3.16]

Les équations (3.16) et (3.6) imposent une plage de valeurs possibles pour la tension de
seuil de MP.

Phase de mise en conduction de l’IGBT

Lors de la mise en conduction de la diode AD, la tension aux bornes de l’IGBT

s’effondre. Le NMOSFET M3 se bloque puis, le PMOSFET entre en conduction et réalise la
liaison entre le condensateur et la grille de l’IGBT, et le transfert de charge s’effectue alors
entre la capacité de l’auto-alimentation et la capacité d’entrée de l’IGBT.
Lors de cette phase de fonctionnement, le condensateur de l’auto-alimentation peut être
représenté par une source VCAPA, qui est la tension à ses bornes avant la mise en conduction
de MP, en série avec un condensateur CALIM (figure 5). Le transistor MP est équivalent à sa
résistance RDSON à l’état passant, et le condensateur CIGBT correspond à la capacité d’entrée de
l’IGBT qui est complètement déchargée au début du transfert.

Figure 3. 5 : Circuit électrique équivalent du transfert de charge.

A la fin du transfert de charge, CIGBT est complètement chargée et le courant traversant

RDSON est nul. Le circuit équivalent se réduit à la source de tension VCAPA en série avec les
deux capacités. En régime établi, le potentiel appliqué à la grille de l’IGBT est donc :

[3.17]

102
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Ce transfert de charge s’accompagne d’une diminution de la tension de l’auto-alimentation.

Pour que l’IGBT puisse se fermer, cette tension ne doit pas devenir inférieure à sa tension de
seuil. Mais, pour obtenir de bonnes performances à l’état passant, une diminution de la
tension de 5% au maximum sera tolérée, ce qui correspond à une tension finale de 9,5V
appliquée à la grille de l’IGBT, VCAPA étant fixée à 10V.

[3.18]
La capacité d’entrée de l’IGBT doit être évaluée à l’aide de la simulation. La valeur de la
capacité de l’auto-alimentation pourra alors être déduite à partir de l’équation (3.17).
Pour que l’IGBT puisse se fermer dès le passage par zéro de la tension à ses bornes, la durée
de charge de la capacité d’entrée de l’IGBT ne doit pas excéder la phase de conduction
inverse du dispositif, soit 10 µs pour l’application envisagée. La constante de temps du circuit
de transfert de charge est :

[3.19]
La charge de la capacité est donnée par une équation du premier ordre. La constante de temps
doit donc vérifier :

[3.20]
Cette dernière relation permet de déterminer la valeur maximale de RDSON du transistor MP.
Cette résistance dépend de la concentration en surface du substrat N sous la grille et de la
largeur du canal.

1.3. Discussion préliminaire à la simulation 2D

Une première remarque concerne les topologies. Malgré un effort de simplification pour
répondre au critère d’intégration fonctionnelle, les topologies proposées sont bien moins
compactes que celle basée sur un thyristor-MOS. Elles nécessitent un nombre plus important
de composants pour maintenir les états ON et OFF de l’IGBT. De plus, dans un contexte
d’intégration fonctionnelle, il est préférable d’éviter la présence d’éléments passifs,
consommateurs de silicium et dont les procédés technologiques sont très différents d’une
filière classique IGBT. Or l’amorçage de l’IGBT requiert l’utilisation d’un condensateur pour
réaliser une fonction d’auto-alimentation. Suite à ces remarques, il apparaît plus judicieux
dans un premier temps d’étudier les possibilités d’intégration de briques fonctionnelles plutôt

103
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

que le circuit complet, en particulier l’auto-alimentation qui représente la principale difficulté.

Son intégration constituera une première étape importante et permettra d’envisager une
intégration complète du dispositif.
L’avantage de cette solution par rapport à celle traitée dans le second chapitre concerne
l’utilisation des transistors MOS à canal préformé. Dans la première solution, le déroulement
de certaines phases de fonctionnement, comme l’amorçage ou la limitation du courant ne
dépendent que de ce type de composants. L’obtention de la fonctionnalité est par conséquent
très sensible aux paramètres technologiques. Dans le cas de la deuxième solution, les
transistors MOS à canal préformé sont utilisés comme résistance linéaire. Une dispersion sur
les paramètres technologiques devrait être moins critique pour l’obtention de la fonctionnalité.
Cette deuxième solution est donc plus difficilement réalisable, mais d’un point de vue
fonctionnement elle s’avère beaucoup moins délicate à optimiser.

2. Simulation physique 2D
De la même manière que le circuit basé sur un thyristor-MOS, la solution présentée dans
ce chapitre est étudiée à l’aide des outils de simulation 2D. Dans un premier temps, tous les
composants sont dimensionnés séparément avec les outils MDRAW et SDEVICE de
SENTAURUS-TCAD [48]. Les structures 2D obtenues sont alors connectées entre elles pour
tester le fonctionnement des deux circuits proposés dans ce chapitre.

2.1. Dimensionnement des composants

Le dimensionnement des composants doit permettre au circuit de répondre au cahier des
charges et aux conditions de fonctionnement énoncées précédemment. Le bilan de l’analyse
montre que la fonctionnalité dépend essentiellement des valeurs des tensions de seuil des
différents MOSFETs. Il faudra ajuster les régions de substrat P des NMOSFETs et la région
de substrat N du PMOSFET pour assurer un bon fonctionnement du circuit. Quant-au cahier
des charges, les cinq grandeurs caractéristiques sont:
- La chute de tension à l’état passant VON (< à 2V), qui correspond à la chute de
tension aux bornes de l’IGBT.
- Le courant de disjonction IMAX (fixé à 2A). Quand le courant dans l’IGBT atteint
IMAX, le courant de sense doit correspondre au courant de déclenchement du thyristor.
Pour la solution blocage par MOSFET, le produit de Isense par RS doit correspondre
à la tension de seuil du NMOSFET de blocage.

104
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

- La tension de blocage VTH, qui correspond à la tension de seuil de M3.

- Le courant à l’état bloqué, qui correspond au courant de fuite circulant dans les
canaux préformés de M4 et de M1 (IDSATM4 + IDSATM1).
- La tension maximum VOFF de 600 V que doivent supporter l’IGBT, M1 et M4.

Mises à part VOFF et VON (qui dépend en particulier de l’injection de l’anode de l’IGBT),
ces grandeurs correspondent à des tensions de seuil et des courants de saturation de
NMOSFETs. Le dimensionnement physique des composants consistera donc à ajuster
l’injection de l’anode de l’IGBT et les profils de dopage des régions P et des canaux
préformés de l’ensemble des composants.

IGBT

La structure de l’IGBT, qui est l’interrupteur de puissance du dispositif, se compose d’un

enchaînement vertical de quatre couches P+/N-/P/N+ et d’une grille MOS en surface (figure 6).

Figure 3. 6 : Structure d’une cellule IGBT

Cette structure assure une tenue en tension de 600 V. La caractéristique statique de

l’IGBT doit présenter une chute de tension à l’état passant de 2 V quand le courant qui le
traverse atteint 2 A, pour une tension de grille de 9,5 V. Le blocage de l’IGBT est obtenu si sa
tension de seuil est supérieure aux chutes de tension à l’état passant des interrupteurs de

105
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

blocage (thyristor/NMOS blocage et M3). Nous choisissons une valeur V TH = 5 V pour

vérifier cette condition.

a. Dimensions
La surface du dispositif est définie à partir de la densité de courant admissible. Pour une
densité de courant de 100 A/cm2, la surface occupée par l’IGBT est donc : 2 / 100 = 0,02 cm2.
Les simulations sont effectuées à partir de structure de 40 µm de large. Pour obtenir la
même surface, la longueur de la cellule (appelée area factor ou facteur multiplicatif) est donc
de 50000 µm. Il faut remarquer que la longueur de la cellule correspond à la longueur totale
de grille de l’IGBT.

b. Profils de dopage
Le canal de l’IGBT se forme dans une région de diffusion latérale de la région P. La
valeur de la tension de seuil dépend du profil de dopage de cette région. Pour déterminer la
combinaison (CS, XJ) de la région P qui permet d’obtenir une tension de seuil de 5 V, une
cellule de 1 µm de longueur est simulée. Les résultats reportés dans le tableau 1 sont issus des
caractéristiques IA(VAK) pour VAK= 1 V.
Profil région P
-3
(1e+18 ;4,8) (1,1e+18 ;4,8) (1,2e+18 ;4,8) (1,3e+18 ;4,8) (1,4e+18 ;4,8)
(CS [cm ], XJ [µm])
VTH [V] 4,4 4,7 5 5,3 5,6

Tableau 3. 1 : Tension de seuil de l’IGBT pour différents profils de dopage de la région P

La combinaison (1,2e+18 cm-3; 4,8 µm) donne la tension de seuil recherchée.

La caractéristique statique visée pour l’état passant de l’IGBT est un courant de 2 A pour
une chute de tension VAK de 2 V et une tension de grille de 9,5 V. Le courant IMAX de 2 A est
pris dans la zone ohmique de la caractéristique IA(VAK) et non dans la zone de saturation. En
effet, si l’IGBT entre en saturation, la tension à ses bornes va augmenter rapidement et
entraîner la mise en conduction du NMOSFET de maintien de blocage M3. L’interrupteur de
blocage devient inutile et l’ordre de blocage n’est plus réalisé à partir de la détection en
courant mais à partir d’une détection en tension. Ce mode de fonctionnement n’est pas adapté
car la valeur du courant de saturation dépend de la tension de grille, c’est à dire de la tension
aux bornes du condensateur. Si cette tension présente une valeur différente de celle attendue,
la valeur IMAX de 2 A ne sera pas respectée.
La chute de tension à l’état passant de l’IGBT est donnée par l’équation suivante :

106
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

[3.21]
Avec VjEB la tension émetteur base du PNP, VN- la chute de tension dans la région de
substrat N- et Vcanal la chute de tension dans le canal de la section MOS [52]. Vcanal n’est pas
modifiable car elle dépend du profil de dopage de la région P qui fixe aussi la tension de seuil
de l’IGBT. La chute de tension VN- dépend de la résistivité de la région de base N- et du
niveau d’injection de l’anode, c'est-à-dire de son profil de dopage. Les paramètres de la région
N- ne sont pas modifiables car ils correspondent aux caractéristiques du substrat de silicium,
qui fixent la tenue en tension du dispositif. Seul le profil de dopage de la région P + d’anode
peut être ajusté.
Différents dopages de la région P+ d’anode sont testés par simulation sur une cellule de
50000 µm de longueur (figure 7), avec une région P de concentration en surface 1,2e+18 cm-3.
Dans le tableau 2 sont reportés les profils de dopage et les tensions V AK obtenues pour IA =2
A à VG=9,5 V.
Profil région P+
-3
(5e+18 ,7) (1e+19 ,7) (3e+19 ,7) (4e+19 ,7)
(CS [cm ], XJ [µm])
VAK [V] 2,7 2,6 2,5 2,5

Tableau 3. 2 : Chute de tension de l’IGBT à l’état passant pour différents profils de dopage de la
région d’anode.

Le profil de dopage de l’anode utilisé dans la filière flexible est (3e+19 cm-3 ; 7 µm). Avec
cette concentration en surface et cette profondeur de jonction, la tension VON est de 2,5 V.
Pour obtenir les 2 V, il faut donc augmenter le dopage de l’anode. Mais les résultats de
simulation montrent qu’au-delà d’une concentration en surface de 3e+19 cm-3, l’augmentation
du dopage n’a plus aucun effet sur la chute de tension à l’état passant. En effet, les porteurs
injectés n’arrivent plus à moduler la résistivité de la base N- car la mobilité des trous diminue.
Il est donc inutile de modifier le profil de dopage de la région P+ d’anode donné par la filière
flexible.

107
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Figure 3. 7 : Dimensions IGBT

Sur la figure 8 est reportée la caractéristique électrique IA(VAK) du composant avec une
région P de concentration en surface 1,2e+18 cm-3 et 3e+19 cm-3 pour l’anode. Pour une
tension de grille de 9,5 V, l’IGBT présente une chute de tension de 2,5 V et un courant de 2
A. Pour cette même tension de grille, son courant de saturation est de 3,3 A.

Figure 3. 8 : Caractéristique IA(VAK) de l’IGBT pour VG=9,5V.

IGBT-sense et NMOSFET de blocage

Le NMOSFET de blocage est un composant basse tension de structure latérale (figure 9).
Lorsque la tension aux bornes du dispositif atteint 2,5 V, il doit décharger la capacité d’entrée
de l’IGBT pour ouvrir le dispositif.

108
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Figure 3. 9 : Structure d’une cellule NMOSFET de blocage

a. Profil de dopage du NMOSFET

Un modèle de l’IGBT sense est donné sur la figure 10 [55-56]. RB représente la
résistance du substrat, Rs la résistance de sense externe, Ra la résistance du canal de la partie
principale, et RDM la résistance du canal de la partie sense. La tension aux bornes de Rs
correspond à la tension appliquée sur la grille du NMOSFET de blocage. Ceci implique, que
la tension de seuil du NMOSFET doit nécessairement être inférieure à 2,5 V.

Figure 3. 10 : Modèle de l’IGBT à l’état passant

Des simulations ont déjà été effectuées sur un composant du même type dans le chapitre
2 (le NMOSFET M3). Les résultats ont donné les tensions de seuil en fonction du dopage de
la région P de substrat à partir des caractéristiques ID(VGS) pour VDS = 1 V. D’après ces

109
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

résultats, pour obtenir une tension de seuil de 1,7 V, la région P doit présenter une
concentration en surface de 2e+17 cm-3.

b. Dimensions du NMOSFET
Le courant de saturation du NMOSFET doit être suffisant pour décharger rapidement la
capacité d’entrée de l’IGBT. Pour déterminer la longueur de grille du NMOSFET, des
simulations de type gate charge sont effectuées sur l’IGBT pour évaluer sa capacité d’entrée :
un générateur de tension de 600V en série avec une résistance de 300 Ω sont connectés sur
l’anode de l’IGBT. Le générateur de courant connecté à la grille impose un courant constant
IG de 0,1 A (figure 11).

Figure 3. 11: Circuit de simulation « gate charge ».

Sur la figure 12 sont reportées les courbes de VG(t)et IA(t) obtenues.

Figure 3. 12 : Tension de grille et courant d’anode en fonction du temps.

110
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Elles se divisent en trois phases. Seule la dernière phase de t2 à t3 est utile pour
déterminer la valeur maximum de la capacité d’entrée de l’IGBT donnée par l’expression :

[2.10]
ΔVG est égal à (40-9,5) V, Δt correspond à (t3-t2) et I le courant de grille est de 0,1 A. La
capacité d’entrée maximum de l’IGBT a donc pour valeur 0,66 nF.
La tension de grille de l’IGBT étant de 9,5 V lors de la mise en conduction du
NMOSFET de blocage, le courant nécessaire pour décharger complètement la capacité en 10
µs est donc de 0,63 mA.
Pour déterminer la longueur de grille du NMOSFET de blocage, une simulation de type
ID(VDS) est effectuée sur une cellule de 1 µm. Le résultat indique que le NMOSFET de
blocage présente un IDSAT=3e-7 A pour VGS= 2 V. Pour que IDSAT= 0,63 mA, la longueur de
grille du NMOSFET doit donc être de 2100 µm (0,63e-3/3e-7).

c. Dimensions de la partie sense de l’IGBT

Le principe de l’IGBT-sense consiste à dévier une partie du courant total d’anode à
travers une électrode auxiliaire, appelée électrode de sense. La réalisation d’un tel dispositif
est très facile à effectuer car les IGBTs sont de type multicellulaire [57-58] : il suffit donc de
dédier une partie des cellules pour le courant de sense. Ainsi, le courant de sense correspond à
un pourcentage du courant total d’anode de l’IGBT. Cette condition est vérifiée si la
résistance de sense externe est négligeable par rapport à la résistance RDM [57-59].
Pour atteindre une tension Vsense de l’ordre de 1,7 V, soit la résistance est élevée et la
proportionnalité n’est pas vérifiée, soit la résistance Rs est faible et le courant de sense est
important (par exemple pour une résistance de 10 Ω, Isense vaut 0,17 A soit environ 10 % du
courant total). Dans ce deuxième cas, le courant principal est donc fortement diminué, et
l’utilisation d’une cellule sense perd tout son intérêt. En effet, le sense est un détecteur de
courant qui doit peu modifier les caractéristiques électriques du composant en régime normal
de fonctionnement. Il paraît donc plus judicieux de prendre une résistance qui ne permet pas
de vérifier la proportionnalité mais qui ne dévie qu’une faible partie du courant principal.
Nous choisissons une résistance de sense RS de 1 kΩ, qui permet d’obtenir une valeur
raisonnable de Isense de 1,7 mA pour mettre en conduction le NMOSFET de blocage. Des
simulations sont effectuées sur une cellule IGBT-sense de 50000 µm de longueur avec une
résistance de 1 kΩ connectée en série entre l’électrode de sense et la masse. Différents
rapports entre la longueur de cellule de sense et la longueur de cellule de l’IGBT sont testés.

111
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Les résultats indiquent qu’il faut une longueur de grille (longueur de cellule) pour la partie
sense de 2200 µm (soit une longueur de grille pour la partie IGBT de 47800 µm) pour obtenir
un courant de 1,7 mA pour VG= 9,5 V et VAK=2,5 V (tension pour laquelle le courant
principal vaut 2 A).

IGBT-sense et thyristor de blocage

Dans le circuit proposé, le thyristor est un élément basse tension de structure latérale
(figure 13). Il doit entrer en latch-up quand le courant total traversant l’IGBT atteint IMAX.
Cela signifie que pour un courant total IMAX, le courant de sense doit correspondre au courant
de déclenchement du thyristor.

Figure 3. 13 : Structure d’une cellule thyristor

a. Dimensionnement du thyristor
Le courant de déclenchement du thyristor dépend de la résistance de gâchette R GK, c'est-
à-dire du profil de dopage de la région P, de sa largeur, de sa longueur et de sa profondeur.
Etant donné le nombre important de paramètres affectant la valeur du courant de
déclenchement, les profils de dopage de la filière flexible seront conservés pour simplifier
l’étude.
Dans un premier temps, des simulations sont réalisées sur une cellule de 1 µm de
longueur avec les dimensions données sur la figure 14.

112
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Figure 3. 14 : Dimensions du thyristor latéral

Ces simulations permettent de déterminer le courant de déclenchement du thyristor ainsi

que son courant de maintien. Le principe consiste à appliquer une impulsion de courant sur la
gâchette du thyristor. L’anode est connectée à un générateur de tension sinusoïdale en série
avec une résistance. Les courbes IA(t), VAK(t) et IG(t) sont reportées sur la figure 15.

Figure 3. 15 : Tension VAK, courant IA et courant IG en fonction du temps

De t=0 à t1, le thyristor est à l’état OFF. Le courant d’anode est nul et la tension à ses
bornes correspond à la tension du générateur. A t1, une impulsion de courant est appliquée sur
la gâchette du thyristor. A t2, le courant de gâchette atteint 0,02 mA et le thyristor entre en
conduction. La tension à ses bornes s’effondre et le courant d’anode augmente. A t3,
l’impulsion sur la gâchette s’arrête, mais le thyristor reste conducteur. A t4, le courant
d’anode atteint 0,06 mA, et le thyristor s’ouvre. On obtient donc, pour une structure de 1 µm
de long, un courant de déclenchement de 0,02 mA et un courant de maintien de 0,06 mA.

113
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Finalement, nous choisissons une longueur de cellule de 1000 µm qui implique un

courant de déclenchement ou courant de sense de 0,02 A (soit 1% du courant principal de
l’IGBT). La résistance RGK équivalente est égale à 0,6 V/ 0,02 A, soit 30 Ω. Il faut remarquer
que RGK peut être vu comme une résistance externe de sense RS.

b. Dimensions de la région de sense

Lorsque le courant principal atteint 2 A, le courant de sense doit être de 0,02 A. Des
simulations sont effectuées sur une cellule IGBT-sense de 50000 µm de longueur avec une
résistance de 30 Ω connectée en série entre l’électrode de sense et la masse. Différents
rapports entre la longueur de cellule de sense et la longueur de cellule de l’IGBT sont testés.
Les résultats indiquent qu’il faut une longueur de grille (longueur de cellule) pour la partie
sense de 1250 µm (soit une longueur de grille pour la partie IGBT de 48750 µm) pour obtenir
un courant de 0,02 A pour VG= 9,5 V et VAK=2,5 V (tension pour laquelle le courant principal
vaut 2 A).

NMOSFET de maintien de blocage M3

Le NMOSFET M3 est un composant basse tension de structure latérale identique à celle

du NMOSFET de blocage traité précédemment. Sa tension de seuil doit être supérieure à 4 V
(en dessous de cette valeur, il risque d’entrer en conduction avant que le NMOSFET de
blocage n’ait court-circuité la grille de l’IGBT). La valeur de son courant de saturation doit
être suffisante pour décharger rapidement la grille de l’IGBT.

a. Profil de dopage
Le canal de M3 se crée dans la région des diffusions latérales des régions P de substrat.
La valeur de la tension de seuil dépend du profil de dopage de cette région. Pour déterminer la
combinaison (CS, XJ) de la région P qui permet d’obtenir une tension de seuil de 4 V, une
cellule de 1 µm de longueur est simulée. Les résultats reportés dans le tableau 3 sont issus des
caractéristiques ID(VGS) pour VDS= 1 V.

Profil région P
-3
(5e+17 ,4,8) (6e+17 ,4,8) (1e+18 ; 4,8)
(CS [cm ], XJ [µm])
VTH [V] 3,2 3,6 4

Tableau 3. 3 : Tension de seuil de M3 en fonction du dopage de la région P de substrat.

Une région P de concentration en surface 1e+18 cm-3 donne la tension de seuil recherchée.

114
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

b. Dimensions
La valeur du courant de saturation est définie par le nombre total de cellules, c'est-à-dire
par la longueur de grille.
La capacité d’entrée de l’IGBT a été évaluée précédemment. Pour décharger cette
capacité de 0,66 nF en 10 µs (temps raisonnable pour l’application visée), le MOSFET M3
doit fournir un courant de saturation de 0,63 mA, pour une tension VGS d’environ 5 V. Pour
déterminer le nombre de cellules nécessaire, une simulation de type ID(VDS) est réalisée sur
une cellule de 1 µm avec le profil de dopage retenu précédemment. Pour une tension V GS = 5
V, le courant de saturation est égal à 1,2e-8 A. Pour obtenir un courant de 0,63 mA, il faut
donc une longueur de grille de 52500 µm, soit une dimension supérieure à celle de l’IGBT.
Pour diminuer cette surface silicium importante, nous préférons augmenter le temps de
décharge de 10 µs à 50 µs. Pour ce nouveau délai, la longueur de grille nécessaire est alors de
10500 µm.
Il faut remarquer qu’au moment où M3 entre en conduction, la grille de l’IGBT a été en
partie déchargée par l’interrupteur de blocage. M3 est donc dimensionné dans le cas critique
où l’interrupteur de blocage n’a pas exercé sa fonction et la grille de l’IGBT est complètement
déchargée.

Diode Zéner

La diode Zéner doit présenter une tension de coude VZ d’environ 11 V pour que le
condensateur une fois chargé fournisse une tension de 9,5 V sur la grille de l’IGBT. D’après
les résultats obtenus dans le second chapitre, la diode Zéner doit avoir une concentration en
surface inférieure à 4e+17 cm-3 pour la région P et une longueur de cathode inférieure à 200
µm.

Générateur de courant M1

M1 est un NMOSFET vertical qui doit supporter la pleine tension lors de l’état bloqué du
dispositif. Son rôle est de charger le condensateur lorsque le dispositif est à l’état OFF. Sa
structure est constituée d’un enchaînement N+/N-/P/N+ et d’un canal préformé vertical (figure
16).

115
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Figure 3. 16 : Structure du générateur de courant M1.

a. Profil de dopage
M1 doit présenter une tension de saturation faible (une valeur inférieure à 5 V est
raisonnable) et un courant important pour charger rapidement le condensateur de l’auto-
alimentation. La saturation de M1 dépend des profils de dopage de la région P de substrat et
de canal (ce dernier se situe dans la zone de diffusion latérale de la région P.
Des simulations de type ID(VDS) à VGS=0,4 V sont effectuées sur une cellule de 1 µm de
long avec différents dopages de la région P de substrat et du canal. La valeur de la tension
VGS est définie par (VZ-0,6 V- VCAPA), soit 0,4 V si VZ=11 V et VCAPA = 10 V. Seuls les
profils de dopage fournissant une tension VDSAT <5 V et des niveaux de courant importants
sont reportés dans le tableau 4.

Profil région P
(3e+17 ,4,8) (4e+17 ,4,8) (5e+17 ,4,8) (6e+17 ,4,8)
(CS [cm-3]; Xj [µm])

CS canal [cm-3]
2,5e+17 3,5e+17 4e+17 4e+17
XJMAX=0,15 µm
VDSAT [V] 1 3 1,5 1
IDSAT [A] 2e-7 6e-7 2,2e-7 8e-8

Tableau 3. 4 : Caractéristiques électriques du générateur de courant M1 en fonction des profils de

dopage de sa région P de substrat et de son canal à VGS=0,4 V.

116
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

b. Dimensions
La valeur de la capacité de l’auto-alimentation se déduit des équations (3.17) et (3.18).
Pour une capacité d’entrée de l’IGBT de 0,66 nF (déterminée précédemment), une tension
VGIGBT de 9,5 V et une tension VCAPA de 10 V, Calim doit avoir pour valeur 12,5 nF.
Le condensateur se charge à courant constant (IDSATM1) lors de l’état bloqué du dispositif.
Pour l’application visée, un temps de charge de 10 µs est une valeur raisonnable. Le courant
IDSATM1 doit donc vérifier l’égalité suivante :

avec Δt = 10 µs et ΔVcapa = 10 V. Il faut donc un courant IDSATM1 de 12,5 mA.

Pour une région de substrat P de concentration en surface 4 e+17 cm-3 et un canal de
concentration en surface 3,5e+17 cm-3, la longueur de grille nécessaire pour obtenir un courant
de saturation de 12,5 mA à VGS= 0,4 V est de 20833 µm (12,5e-3/6e-7). Tous les autres profils
de dopage ont été volontairement écartés pour des raisons de surface silicium trop
importantes. Pour diminuer cette longueur, nous préférons choisir un temps de charge plus
important égal à 50 µs. Pour cette durée, M1 doit fournir un courant de saturation de 2,4 mA,
correspondant à une longueur de canal de 4000 µm.

PMOSFET MP

Figure 3. 17 : Structure du PMOSFET

117
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Le PMOSFET MP est un composant basse tension de structure latérale (figure 17). Son
rôle consiste à autoriser la charge de la grille de l’IGBT lors de la conduction inverse et de
l’état ON du dispositif. Au contraire, il isole l’IGBT du condensateur pendant l’état OFF.

a. Profils de dopage
La tension de seuil de MP est définie à partir des équations (3.6) et (3.16). D’après le
dimensionnement de l’IGBT, VCE = 2,5 V. L’équation (3.6) devient donc :

[3.23]
De même, le dimensionnement de M1 donne une tension de seuil VTM1 de -3 V.
L’équation (3.16) devient donc :

[3.24]
Nous choisissons une tension de seuil de -5 V pour MP.
Le réglage de la tension de seuil du PMOSFET est complexe car sa structure est
constituée d’un empilement de trois couches : les régions P de drain et de source, la région N
de substrat, et la région P d’isolation. Ce type de structure est difficile à obtenir car il faut
respecter une relation d’ordre ente les trois profils de dopage qui sont extrêmement liés. On
comprend donc que la tension de seuil du PMOSFET va dépendre des caractéristiques
physiques des trois régions et non pas que du substrat comme c’est le cas pour le NMOSFET.
Afin de faciliter le dimensionnement, nous proposons d’imposer un profil de dopage pour la
région P d’isolation : sa concentration en surface est de 1e+18 cm-3 et sa profondeur de jonction
de 7 µm. C’est un profil de dopage réaliste, proche de celui de la région P de la filière
flexible. Pour les régions N de substrat, la profondeur de jonction est fixée à 3,5 µm. La
concentration en surface doit nécessairement être supérieure à 1e+18 cm-3 pour que les régions
N puissent se former. Lorsque ces deux régions sont obtenues, il ne reste que peu de
possibilités pour la réalisation des régions P de source et de drain : la profondeur de jonction
est de 1 µm et la concentration en surface doit être légèrement supérieure à celle de la région
N (figure 18).

118
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Figure 3. 18 : Dimensions PMOSFET

Des simulations de type ID(VGS) sont effectuées avec différentes concentration en surface
de la région N (et donc des régions P de source et de drain). Finalement, pour obtenir une
tension de seuil de -5 V, la région N de substrat et les régions P de drain et de source doivent
présenter une concentration en surface de 4,5e+18 cm-3.

b. Dimensions
La longueur de grille de MP est fixée par l’équation (3.19). D’après les valeurs obtenues
précédemment (Calim= 12,5 nF et CIGBT= 0,66 nF), la résistance à l’état passant RDSON de MP
doit être inférieure à 3,2 kΩ pour que le temps de charge 5τ de la grille de l’IGBT soit
inférieur à 10 µs. Dans un premier temps, des simulations sont effectuées sur des cellules de 1
µm de longueur pour déterminer la résistance « élémentaire » RDSON de MP pour VSG= 10 – (-
0,7) V, qui correspond à la tension VSG lorsque le dispositif est dans son régime de conduction
inverse (soit -0,7 V aux bornes du dispositif ramené sur la grille de MP). La caractéristique
IS(VDS) pour VSG= 11 V (figure 19) indique que la résistance à l’état passant RDSON d’une
cellule de 1 µm est égale à 250 kΩ (1 V/ 4 µA).

119
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Figure 3. 19 : Caractéristique IS(VDS) du PMOSFET pour VGS=-10 V

Pour vérifier l’équation (3.19), nous choisissons une longueur de grille de 1000 µm
correspondant à une RDSON de 250 Ω.

Générateur de courant M4

Lorsque le dispositif s’ouvre, le générateur de courant M4 charge la grille du transistor

M3 pour le mettre en conduction, ainsi que la grille de M1. Pour une tension VGS nulle, son
courant de saturation doit être suffisamment élevé pour charger la capacité d’entrée de M3 et
de M1 mais aussi pour polariser la diode Zéner dans sa zone de régulation. Il doit rapidement
saturer pour assurer son rôle de générateur de courant. La structure de M4 est identique à celle
de M1.

a. Profil de dopage
Cette étape est identique à celle réalisée dans le chapitre 2 pour le générateur M4. Les
dopages de la région P et du canal correspondant à une tension de saturation inférieure à 1 V
ont déjà été mentionnés dans le tableau 2.9.

b. Dimensions
La valeur du courant de saturation est définie par le nombre total de cellules, c'est-à-dire
par la longueur de grille. Comme dans le cas de la solution basée sur un thyristor-MOS, le
courant de saturation de M4 doit être supérieur au courant de saturation inverse de ZD pour la
polariser dans sa région de coude, soit :

[3.24]
avec IZMIN de l’ordre de 1e-9 A.

120
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Pour compléter le dimensionnement de M4, il faut vérifier par simulation que son
courant de saturation est suffisant pour charger rapidement la capacité de grille de M3 et de
MP (la charge de M1 n’est pas étudiée car c’est un MOSFET à canal préformé qui reste à
l’état passant durant la phase complète de fonctionnement). Des simulations de type « gate
charge » sont effectuées sur les transistors M3 et MP. Les circuits de test et les résultats
obtenus sont représentés sur la figure 20.

a) b)

Figure 3. 20 : Simulation de type « gate charge » du PMOSFET (a) et du NMOSFET (b)

Les deux capacités sont calculées de la même manière que dans le chapitre 2 :
- Pour le NMOSFET M3, Ig= 1e-6 A, Δt=1e-4 s, ΔVG=4V et CM3=25 pF. Pour la charger
en 200 ns, il faut donc un courant de 0,5 mA.
- Pour le PMOSFET MP, Ig= 1e-6 A, Δt=1,1e-5 s, ΔVG=5V et CMP=2,2 pF. Pour la
charger en 200 ns, il faut donc un courant de 55 µA.

Pour une région de substrat P de concentration en surface 3e+17 cm-3 et un canal de

concentration en surface 3e+17 cm-3, la longueur de grille nécessaire pour obtenir un courant de

121
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

saturation de 0,555 mA à VGS= 0 V est de 3470 µm (0,555e-3/1,6e-7). Les autres profils de

dopage de la région P ne sont pas conservés car les dimensions du canal seraient beaucoup
plus importantes.

Synthèse

Dans le tableau 5 sont répertoriées les longueurs de cellule des composants au terme de
ce dimensionnement.
NMOSFET Thyristor Diode
Composant IGBT M3 MP M1 M4
blocage blocage Zéner
Longueur
50000 2000 1000 10000 1000 4000 3470 400
cellule [µm]

Tableau 3. 5: Longueur de cellule des composants de l’architecture

Les dimensions obtenues sont raisonnables. Elles sont nettement inférieures à celles de la
solution étudiée dans le chapitre 2. Il est à noter que l’IGBT, qui est l’interrupteur de
puissance, occupe la surface la plus importante. D’une façon générale, le dimensionnement de
ce circuit est beaucoup moins critique. Le risque d’un sous-dimensionnement peut conduire à
des temps de commutation plus longs, mais pas systématiquement à l’échec de la fonction. La
seule inconnue reste la taille du condensateur. Elle sera déterminée plus tard quand nous
aborderons les possibilités de son intégration. Enfin il faut noter que le dimensionnement
proposé est valable pour des composants discrets. Certaines structures, comme le thyristor, ne
peuvent être intégrées en cet état, car les différents potentiels vus par la structure complète
demandent des tenues en tension plus importantes que celles requises pour des associations
discrètes de composants.

2.2. Validation du fonctionnement de l’architecture

Les composants sont maintenant associés de façon discrète et insérés dans une cellule de
commutation identique à celle proposée dans le chapitre 2. Cette étape est réalisée à l’aide de
l’outil MIXED-MODE de SENTAURUS TCAD qui permet de coupler des composants 2D
issus de la simulation physique à des éléments de type SPICE.

122
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Comparaison des modes de blocage par NMOSFET et par thyristor

Dans un premier temps, afin d’effecter un choix sur la nature de l’interrupteur de blocage
à utiliser (thyristor ou NMOSFET), nous limiterons les simulations à la seule phase de
fonctionnement allant de la détection du courant maximum jusqu’à l’ouverture de
l’interrupteur principal.
Pour simplifier l’étude, l’auto-alimentation sera remplacée par la mise en série d’une
source de tension de 10 V et d’une résistance RG de 50 Ω connectée à la grille de l’IGBT
(figure 21). Seuls l’IGBT sense et l’interrupteur de blocage sont des composants issus de la
simulation physique 2D.

Figure 3. 21 : Circuit de simulation de la mise en court-circuit de la grille de l’IGBT

Dès que le courant IG du générateur est positif, l’IGBT devient passant et le courant
principal IA = IG (figure 21). La croissance linéaire de IA entraîne l’augmentation du courant
délivré par l’électrode de sense (Isense).
Dans la solution utilisant un NMOSFET de blocage (figure 22 a), le courant Isense
circule à travers une résistance de sense (Rs). C’est l’évolution de la tension VS aux bornes de
cette résistance qui va permettre d’atteindre la tension de seuil du NMOSFET de blocage (t=
1,3e-2 s - IA = 2,8 A) et conduire à l’ouverture de l’IGBT par la mise en court-circuit des
électrodes de grille et de cathode. Il est important de noter que, dès que le courant dans
l’IGBT commence à décroître, l’effet de blocage du NMOSFET a tendance à diminuer, et
comme le montrent les chronogrammes de simulation de la figure 22.a, l’ensemble
NMOSFET-IGBT entre dans un mode de fonctionnement linéaire (limiteur de courant). Dans
la structure complète, c’est par le biais de la cellule de maintien de blocage (M4 – ZD – M3)
que l’on parviendra à obtenir le blocage définitif de l’IGBT.
L’analyse des résultats de simulation montre que le courant de disjonction est supérieur à
2 A. Cela est dû à la valeur excessive de VS qu’il faut atteindre pour entraîner la mise en
conduction de l’interrupteur de blocage. En effet, l’augmentation de VS entraîne une

123
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

diminution de VGS et le canal sous la grille de l’IGBT devient de plus en plus résistif. La
valeur du courant total correspondant à une tension VS de 4 V (tension de seuil du MOS de
blocage) est plus élevée que prévue. Cette solution ne permettra donc pas de régler avec
précision la valeur du courant de disjonction.
Cependant, ce problème ne se pose pas si l’on utilise un blocage par thyristor puisque ce
dernier est commandé en courant. Ainsi, pour t= 8 ms, le courant IA atteint 2 A, la tension de
sense est voisine de 0,7 V (figure 22 b) et le thyristor se déclenche entraînant l’ouverture de
l’IGBT par la mise en court-circuit des électrodes de grille et de cathode. Nous voyons donc
que dans le cas d’un blocage par thyristor on obtient d’une part une meilleure précision sur la
valeur du courant de disjonction et d’autre part un gain en terme de chute de tension aux
bornes du dispositif (car VS est moins importante).

3 12 2 12
Vgrille IGBT Ia Ia Vsense
Vsense Vgrille IGBT
2,5 10 10
1,5
2 8 8
Tensions (V)

Tensions (V)
Courant (A)

Courant (A)

1,5 6 1 6

1 4 4
0,5
0,5 2
2

0 0
0 0
0 0,005 0,01 0,015 0,02
0 0,005 0,01 0,015 0,02
Temps (s) Temps (s)

a b

Figure 3. 22 : Étape de court-circuit grille-cathode de l’IGBT à l’aide des solutions blocage par
NMOSFET (a) et blocage par thyristor (b)

Ces dernières remarques nous conduisent à écarter la solution de blocage par NMOSFET
et de ce fait la suite de l’étude ne portera donc que sur la solution blocage par thyristor.

124
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Cycle complet de fonctionnement

Figure 3. 23 : Circuit de simulation de la solution avec blocage par thyristor

L’architecture complète est simulée dans les mêmes conditions que la première solution
basée sur un thyristor-MOS auto-amorçable (figure 23). Tous les composants de l’architecture
sont des structures 2D, mis à part le condensateur qui est un composant de type SPICE.
Lors de la première alternance positive du courant IG, le condensateur de l’auto-
alimentation n’est pas chargé et ne permet donc pas la mise en conduction de l’IGBT (figure
24). La diode de roue libre se met à conduire et entraîne l’augmentation de la tension VAK aux
bornes de l’interrupteur. Cette tension est transmise par l’intermédiaire du NMOSFET M4 à
la grille du PMOSFET MP, à celle du NMOSFET M3 et à celle du NMOSFET M1. La grille
de M3 se charge, entraînant sa mise en conduction et le court-circuit de la grille de l’IGBT.
En même temps, la grille de M1 se charge et le courant qui traverse ce transistor vient charger
le condensateur de l’auto-alimentation à une tension (Vzéner – VTHM1 - VD). L’augmentation
de la tension aux bornes du condensateur entraîne l’ouverture du transistor MP. Ainsi, d’une
part on isole la grille de l’IGBT de l’auto-alimentation, et d’autre part on évite la décharge du
condensateur à travers M3.

125
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Figure 3. 24 : Cycle complet de fonctionnement avec blocage par thyristor.

Quand IG s’annule, la diode de roue libre s’ouvre. Le courant IG du générateur devient

négatif, la diode antiparallèle AD se met à conduire et la tension VAK aux bornes du dispositif
s’effondre à -0,7 V. Cette tension est appliquée par l’intermédiaire de M4 à :
– la grille du NMOSFET M3 qui se décharge et libère le blocage de l’IGBT.
– la grille de MP qui se met à conduire et permet ainsi au condensateur de l’auto-
alimentation de charger la capacité d’entrée de l’IGBT.
Lorsque le courant IG s’annule, la diode antiparallèle AD s’ouvre. Puis IG devient positif à
nouveau et comme l’ordre de blocage a été supprimé et que le condensateur est relié par MP à
la grille de l’IGBT, celui-ci se met à conduire. Le courant IG fournit par le générateur circule
alors à travers l’IGBT et constitue le courant principal IA de l’interrupteur.
Lorsque IA atteint le niveau de limitation fixé à 2 A, le thyristor de blocage se déclenche
comme vu précédemment et arrête la conduction de l’IGBT. Le courant IA s’annule, la diode
de roue libre entre en conduction et la tension VAK aux bornes du dispositif augmente. Cette
tension est alors appliquée sur la grille du transistor M3 qui se met en conduction et vient
maintenir le court-circuit de la grille de l’IGBT.

126
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

3. Intégration de l’auto-alimentation
La brique d’auto-alimentation réalise une fonction de stockage autonome. Sa réalisation
monolithique, qui n’a jamais été proposée, est complexe car elle doit associer sur une même
puce de silicium des composants actifs (dans notre cas un NMOSFET vertical à canal
préformé et une diode basse tension) et un condensateur de forte capacité (dans notre cas 12,5
nF) pour stocker une énergie suffisante. La réalisation d’une capacité planaire, qui aurait
simplifié l’intégration, ne peut être envisagée car les faibles densités qu’elle présente (de
l’ordre de 0,63 nF/mm2 pour une épaisseur de SiO2 de 55 nm) entraineraient une surface de
silicium trop importante pour le condensateur. Nous avons donc choisi de réaliser un
condensateur tridimensionnel [60] qui permet d’atteindre une densité de capacité plus élevée
de l’ordre de 45 nF/mm2. Son principe consiste à graver des pores dans le substrat de silicium,
et ainsi d’augmenter la surface des électrodes tout en gardant une surface sur la puce
minimale.

Pour intégrer monolithiquement l’auto-alimentation, nous allons modifier le procédé

technologique de la filière flexible pour permettre la réalisation d’un condensateur 3D. Puis
nous étudierons les interactions électriques qui peuvent se créer dans le volume de silicium
entre les composants actifs et le condensateur.

3.1. Le procédé technologique

Pour réaliser la brique d’auto-alimentation, il faut modifier la filière flexible pour intégrer
les étapes spécifiques à la réalisation des condensateurs 3D. Ce travail est loin d’être aisé car,
bien que certaines étapes technologiques puissent être mises en commun, des modifications
importantes sont nécessaires et peuvent affecter les caractéristiques électriques des
composants actifs.

Procédé technologique des condensateurs 3D

La réalisation des condensateurs 3D s’appuie sur un procédé technologique spécifique

qui consiste à graver par DRIE (Deep Reactive Ion Etching) des pores à fort facteur de forme
dans un substrat de silicium (figure 25). Cette technique permet d’obtenir des surfaces
d’électrode importantes, sur lesquelles est déposé un diélectrique fin ayant une permittivité
élevée : une bicouche SiO2 / Si3N4 (εr = 7). Ainsi des densités élevées de capacité (de l’ordre
de 45nF/mm2) sont obtenues [61].

127
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Le substrat de départ, qui tient lieu d’électrode inférieure, est du silicium de type N dopé
à 1018 cm-3. Les étapes technologiques sont les suivantes (figure 26) :

- Des pores sont gravés par DRIE dans le substrat de silicium pour augmenter la
surface développée des électrodes.
- Une diffusion de phosphore à 1050 °C réalise un dopage constant N+ en surface et le
long des cavités, permettant ainsi d’assurer un contact ohmique de l’électrode
inférieure et de minimiser sa résistance série.

O2+N2 O2+N2+POCl3 O2+N2 N2

1050°C
5’ 25’ 10’ 10’

Diffusion N+

- Le diélectrique est ensuite formé avec une bicouche d’oxyde de silicium (6 nm), dont
la croissance s’effectue par oxydation thermique, et de nitrure de silicium (20 nm),
déposé par LPCVD (Low Pressure Chemical Vapour Deposition).

N2 O2+N2 N2
800°C
20’ 5’ 30’
N2 40’ 50’ N2

600°C 20’ 600°C

Croissance de l’oxyde

NH3 + SiH2/Cl2
750°C
8’30

Dépôt de nitrure stoechiométrique

- L’électrode supérieure de polysilicium dopé bore (2.1020 cm-3) de 1,5 µm d’épaisseur

est ensuite déposée par LPCVD à 490 °C dans un four spécifique [62].
- Finalement une couche d’or (précédée d’une fine couche d’accroche en titane) est
déposée par évaporation pour assurer les contacts ohmiques. Il y a donc une reprise
en face avant pour l’électrode inférieure.

128
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Figure 3. 25 : Vue de dessus d’un condensateur 3D.

129
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Figure 3. 26 : Etapes de fabrication des condensateurs 3D

130
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Optimisation de la filière flexible

La filière flexible, que nous utilisons et que nous avons déjà présentée dans le premier
chapitre, s’appuie sur un enchaînement d’étapes de base correspondant à la réalisation d’une
structure de type IGBT. A ces étapes de base peuvent être ajoutées des étapes spécifiques
permettant de réaliser de nouvelles fonctionnalités plus complexes sans modifier les
caractéristiques électriques des composants de base.

Pour réaliser la brique d’auto-alimentation, il faut compléter cette filière flexible par de
nouvelles étapes spécifiques propres à la réalisation des condensateurs 3D. Le processus final
devra respecter le principe d’auto-alignement qui est la base du procédé technologique associé
à la filière flexible, présenter des étapes toutes compatibles entre elles, vérifier l’isolation des
éléments basse tension vis-à-vis des composants haute tension, et surtout être constitué d’un
minimum d’étapes.

En plus des conditions fixées par la filière flexible, il faut aussi prendre en compte les
contraintes imposées par la réalisation des condensateurs 3D, en particulier celles de l’étape
de dépôt du polysilicium qui s’avère la plus critique. Le polysilicium, qui représente
l’électrode supérieure du condensateur, doit remplir les cavités et présenter un dopage
uniforme sur toute leur longueur. Un procédé spécifique pour un dépôt LPCVD de
polysilicium dopé bore dans un four vertical a été développé au LAAS [62-63] répondant à
ces critères : conformité, dopage uniforme, faibles contraintes. Avec ce procédé, le
polysilicium est dopé in situ (assurant ainsi un dopage constant jusqu’au fond des cavités) à la
différence du dépôt de polysilicium dopé N+ utilisé dans le procédé IGBT classique où le
polysilicium est dopé à posteriori.
Pour répondre à toutes ces exigences, trois modifications du processus IGBT sont
proposées :

- Afin de minimiser le nombre d’étapes, l’oxydation et l’étape de dépôt du polysilicium

seront communes à la réalisation du condensateur et des composants actifs. Suite aux
précédentes remarques, l’étape de dépôt de polysilicium utilisée dans le procédé
IGBT est remplacé par le dépôt de polysilicium dopé bore du procédé condensateur
3D. De plus, pour conserver le principe d’auto-alignement du procédé IGBT, l’étape
d’oxydation et l’étape de dépôt du polysilicium doivent être réalisées en début de
processus.
- La réalisation de la grille en début de processus implique que le polysilicium va subir
de nombreuses étapes thermiques. Pour éviter le phénomène d’exodiffusion du bore

131
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

depuis le polysilicium, l’oxyde de grille de 50 nm est remplacé par une couche de

SiO2 de 10 nm surmontée d’une couche de Si3N4 de 80 nm. Les épaisseurs des
couches de SiO2 et de Si3N4 ont été calculées pour fournir la même capacité d’oxyde
et ainsi éviter les modifications des caractéristiques électriques du NMOSFET.
- Le condensateur doit être isolé de la haute tension. Il sera donc réalisé dans une
région P+ reliée à la masse. Cette région, qui remplace la région N+ diffusée,
représente l’électrode inférieure du condensateur. La profondeur de jonction de la
région P+ (7 µm) impose une profondeur maximum des pores de 6 µm. L’étape
d’implantation de la région P+, qui va accueillir les cavités, est déplacée avant la
réalisation de la grille. L’auto-alignement du procédé est toujours conservé car, dans
le procédé classique IGBT, la région P+ n’est pas alignée par rapport à la grille.

Les étapes technologiques nécessaires à la réalisation de la brique auto-alimentation

s’enchaînent donc de la façon suivante (figure 27):

Figure 3. 27 Procédé technologique IGBT modifié.

L’oxydation thermique est réalisée à 900 °C pendant 22 minutes pour obtenir une couche
de SiO2 de 10 nm, et le dépôt de nitrure de 80 nm dure 33 minutes à 750 °C.

132
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

N2 O2 N2
900°C
5’ 22’ 15’
N2 30’ 30’ N2
600°C 600°C

Oxydation thermique

NH3 + SiH2/Cl2
750°C
33’

Dépôt nitrure

Validation du procédé

Pour valider le fonctionnement du nouveau procédé technologique, il faut vérifier la

faisabilité des étapes propres aux composants actifs, des étapes spécifiques à la réalisation des
condensateurs 3D et les effets des étapes thermiques.

a. Profils de dopage des régions semi-conductrices

Les étapes propres aux composants actifs sont les étapes d’implantation des régions
semi-conductrices. La comparaison des profils de dopage des régions semi-conductrices
obtenus à partir du nouveau procédé (nouvel enchaînement des étapes, oxyde de grille de type
bicouche SiO2-nitrure, et polysilicium dopé P+) avec ceux obtenus à partir du procédé IGBT
classique permet de vérifier la faisabilité des étapes d’implantation et de valider le nouveau
bilan thermique. Pour cela, nous effectuons des simulations de la réalisation technologique
d’un transistor NMOS à l’aide de l’outil de simulation physique 2D ATHENA du logiciel
SILVACO [53].
Les régions semi-conductrices P matérialisent les substrats des NMOSFETs et sont
réalisées par implantation ionique de bore. Dans le procédé classique IGBT, leur
concentration en surface est de 6e+17 cm-3 et leur profondeur de jonction de 4,8 µm pour une
dose d’implantation de 1e+14 cm-2 et une énergie de 50 keV. Avec le nouveau procédé
technologique, les régions P présentent, à l’issu du bilan thermique complet, un profil de
dopage légèrement différent de celui obtenu avec le procédé classique (figure 28-a), soit une
concentration en surface de 5e+17 cm-3 et une profondeur de jonction de 4,7 µm (figure 28-b).

133
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

18
1018 10
Bore Phosphore
Phosphore Bore
1017 1017
Concentration (cm-3)

Concentration (cm-3)
1016 1016

10
15
1015

14
1014 10

1013 1013
0 1 2 3 4 5 6 0 1 2 3 4 5 6
Profondeur (µm) Profondeur (µm)

(a) (b)

Figure 3. 28 : Profil de la concentration finale en bore de la région P pour une dose

implantée de 1e+14 cm-2 à 50 keV avec le procédé classique(a) et le nouveau procédé (b).
Les régions N+, qui matérialisent les zones de source et de drain des NMOSFETs, sont
réalisées par implantation ionique d’arsenic dans les régions P. Avec une dose de 1e+16 cm-2 et
une énergie de 100 keV, on obtient, pour le procédé classique, une concentration en surface
de 1e+20 cm-3 et une profondeur de jonction de 1 µm. Les résultats de simulation montrent que
pour le nouveau procédé la concentration en surface est de 2 e+18 cm-3 et la profondeur de
jonction de 0,3 µm (figure 29).
20 19
10 10
Phosphore Arsenic
Arsenic Bore
1019 10
18 Phosphore
Bore
Concentration (cm-3)
Concentration (cm-3)

1018
1017
17
10
1016
16
10
1015
15
10

14
1014
10

1013
1013 0 1 2 3 4 5 6
0 1 2 3 4 5 6
Profondeur (µm) Profondeur (µm)

a) b)
Figure 3. 29: Profils de dopage des régions N+ et P avec procédé classique IGBT (a) et
nouveau procédé technologique (b)
Avec le nouveau procédé technologique, la dose des dopants présents dans le silicium
diminue légèrement pour le bore et de façon importante pour l’arsenic. Le remplacement de la

134
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

couche d’oxyde de silicium de 50 nm par une bicouche d’oxyde-nitrure de 10nm et 80 nm

respectivement est responsable de cette diminution. Le nitrure présente une plus forte capacité
de masquage vis-à-vis de l’implantation que le SiO2 : il freine les atomes implantés, et
diminue ainsi la dose de dopants présents dans le silicium. Ce phénomène s’accentue si
l’impureté implantée est lourde, comme l’arsenic. A titre d’exemple, pour une énergie
d’implantation de 100 keV, on considère que l’implantation de bore est complètement
masquée si la couche de nitrure est de 4,5 µm alors que pour une implantation d’arsenic une
couche de 0,1 µm suffit [64].
Pour retrouver le profil de dopage obtenu avec le procédé classique, il faut donc atténuer
les effets du freinage en augmentant la vitesse des ions c'est-à-dire l’énergie d’implantation.
L’implanteur disponible au LAAS peut fournir une énergie d’implantation maximum de 185
keV. Les résultats de simulation montrent que l’énergie d’implantation de la région P doit être
augmentée à 70 keV pour obtenir le profil de dopage désiré (figure 30).

1018
Phosphore
Bore
1017
Concentration (cm-3)

16
10

15
10

14
10

1013
0 1 2 3 4 5 6
Profondeur (µm)

Figure 3. 30 : Profil de dopage de la région P avec une énergie d’implantation de 70 keV.

L’implantation à haute énergie d’une dose importante d’espèce lourde, telle que l’arsenic,
peut entraîner une détérioration de la résine de masquage déposée sur la plaquette lors de la
photolithographie. Pour cette raison, nous limiterons l’énergie maximale d’implantation à 160
keV. Les résultats de simulation montrent qu’à cette énergie, la concentration en surface reste
très inférieure à 1e+20 cm-3 (figure 31).

135
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

1020
Phosphore
19 Bore
10 Arsenic

Concentration (cm-3)
18
10

17
10

16
10

1015

14
10

1013
0 1 2 3 4 5 6

Profondeur (µm)
Figure 3. 31 :Profils de dopage avec une énergie d’implantation de 160 keV pour l’arsenic.

Il faut donc remplacer l’arsenic par une espèce plus légère, comme par exemple le phosphore.
Mais quelle que soit la température, cette espèce a un coefficient de diffusion dans le silicium
plus important que celui de l’arsenic. Il faut donc aussi modifier l’étape de redistribution qui
suit l’étape d’implantation. Les résultats de simulation montrent que pour obtenir le profil de
dopage recherché, il faut implanter une dose de phosphore de 1e+16 cm-2 à une énergie de 110
keV, puis réaliser une étape de redistribution à 1050 °C durant 50 minutes (figure 32). La
diminution de la température et du temps de recuit influent peu sur le profil de dopage de la
région P. En effet, le premier recuit à 1150 °C durant 210 minutes que subit cette région
redistribue largement les dopants dans le silicium. Le deuxième recuit, qui s’effectuait
auparavant à 1150 °C, ne modifiait que très peu le profil de dopage de la région P car le
premier recuit avait déjà suffisamment diminué les gradients de concentration et donc le
phénomène de diffusion.

20
10
Phosphore
Bore
19
10
Concentration (cm-3)

1018

1017

1016

1015

1014
0 1 2 3 4 5 6
Profondeur (µm)

Figure 3. 32 : Profil de dopage de phosphore.

136
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

L’implantation de la région P+ s’effectue désormais avant la réalisation de la grille. Le

caisson P+ subit toujours les recuits d’activation du bore et de l’arsenic mais il voit en plus
l’oxydation thermique à 900 °C, le dépôt de nitrure à 750 °C et le dépôt de polysilicium à 490
°C. A ces températures, le coefficient de diffusion du bore dans le silicium est très faible (<
10e-14cm2/sec) [65]. La diffusion est donc négligeable, voire inexistante et le profil de dopage
du caisson P+ reste inchangé par rapport au procédé classique IGBT (concentration en surface
3e+19 cm-3 et profondeur de jonction 7 µm).
Nous avons vu précédemment que la bicouche d’oxyde-nitrure masquait l’implantation.
Ce phénomène peut s’avérer critique lors de l’étape d’implantation du canal préformé, car le
phosphore doit traverser une couche de polysilicium de 300 nm (épaisseur maximum de
polysilicium que le phosphore peut traverser) et la bicouche oxyde-nitrure. La simulation ne
peut pas être utilisée pour vérifier l’implantation de phosphore à travers la grille car les
modèles du polysilicium ne sont pas adaptés. Il faut donc réaliser des analyses SIMS sur des
plaquettes tests. Pour le procédé IGBT classique, l’énergie d’implantation des canaux
préformés est de 180 keV. Sur des pleines plaques de silicium dopées N de concentration 1e+14
cm-3, nous avons fait croître 10 nm de Si02, puis déposé 80 nm de nitrure et 300 nm de
polysilicium dopé bore. Nous avons ensuite implanté une dose de 1e+14 cm-2 de phosphore à
185 keV. Les résultats de l’analyse de ces plaques tests montrent la présence d’une
concentration élevée de phosphore sous la grille (figure 33) et ainsi vérifient qu’il est possible
d’implanter une faible dose de phosphore.
SiO2
19
10
Polysilicium Si3N4 Silicium
Concentration phosphore (cm-3)

18
10

17
10

16
10

15
10
0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5
Profondeur (µm)

Figure 3. 33 : Concentration de phosphore en fonction de la profondeur de jonction (analyse

SIMS).

137
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

b. Etapes spécifiques à la réalisation du condensateur

A l’aide de la simulation process, nous vérifions la réalisation d’un condensateur avec le
nouveau procédé technologique. La première étape est l’implantation de la région P +, puis la
gravure de pores de 2,5 µm de large sur 6 µm de profondeur, l’oxydation thermique, le dépôt
de nitrure, et le remplissage de polysilicium. Enfin, la structure subit toutes les étapes de
redistribution du procédé complet. La coupe 2D obtenue (figure 34) montre que la diffusion
du bore au bout des cavités ne permet pas de créer une « poche » unique de type P englobant
le condensateur.

Figure 3. 34 : Coupe 2D du condensateur à la fin du procédé

La création d’une unique région P dépend de la profondeur de la diffusion latérale

(diffusion parallèle à la surface). Elle est de l’ordre de 75 - 85 % de la profondeur de la
diffusion verticale. Dans notre cas, la profondeur de jonction Xj de la région P+ à la fin du
procédé est de 7 µm, et la profondeur des cavités de 6 µm, donc la diffusion latérale ne peut
excéder (85% (7-6))µm, soit 0,85 µm. Pour réaliser une seule région P+, la diffusion latérale
doit atteindre au minimum 1,25 µm (la moitié de la largeur de la cavité).
Pour réaliser le caisson d’isolation P+ autour du condensateur, il faut :
- soit diminuer la largeur des pores. Actuellement, une photolithographie classique
ayant une résolution de 2 µm est utilisée, suivie d’une gravure DRIE dont la gravure
latérale n’est pas négligeable. Par conséquence les pores obtenus sont de 2,5 µm de
large. Le LAAS vient de s’équiper d’une machine d’insolation par projection
(stepper) dont la résolution est de l’ordre de 350 nm. Avec ce stepper, il est donc
possible de réaliser des pores de largeur d’une centaine de nanomètre. Actuellement,
nous effectuons des tests de gravure de pores de 1µm, 600 nm et 300 nm de large.
- soit diminuer la profondeur des cavités. Actuellement, avec 6 µm de profondeur et
l’empilement diélectrique envisagé, la densité de capacité est de 2,9 nF/mm², ce qui

138
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

correspond à une surface d’environ 4,2 mm² pour obtenir une capacité de 6 nF.
Diminuer encore la profondeur des pores implique une augmentation de la surface
totale de silicium, car la surface enterrée des électrodes du condensateur diminue.

Pour l’instant, nous retenons cette deuxième solution pour la réalisation de l’auto-
alimentation. La profondeur des pores sera de 5 µm au lieu de 6 µm, ce qui impliquera une
augmentation de la surface du condensateur à 4.8 mm². Nous envisagerons une deuxième
réalisation avec la première méthode lorsque les tests sur la nouvelle machine d’insolation
seront terminés.

c. Remarques sur l’influence du nouveau procédé sur les

caractéristiques électriques des composants
Certaines étapes du nouveau procédé technologique ont été corrigées afin que les
caractéristiques physiques des composants soient identiques à celles obtenues à partir du
procédé classique IGBT. Les changements apportés au procédé vont aussi modifier certaines
caractéristiques électriques des composants. Pour information, nous citons les deux
modifications à prévoir:
- Dans le cas du condensateur, le remplacement de la zone diffusée N+ par une région
P de profil gaussien va entraîner une augmentation de sa résistance série R S, c'est-à-
dire une augmentation du temps de charge et de décharge. Pour l’application visée,
une augmentation de la constante de temps permet de ralentir une éventuelle
décharge du condensateur.
- Le remplacement du polysilicium de grille dopé N+ par du polysilicium dopé P
entraîne un décalage de 1,1 V sur les valeurs des tensions de seuil des MOSFETs à
enrichissement. Cet écart s’explique par les différences des travaux de sortie métal-
semiconducteur Φms du polysilicium en fonction du type de dopage. Par exemple,
pour un substrat de type P de concentration en surface 6e+17 cm-3, Φms du
polysilicium dopé N+ est égale à -1 V alors que Φms du polysilicium dopé P est égale
à 0,1 V [65].

Synthèse

L’intégration de l’auto-alimentation a nécessité l’adaptation du procédé IGBT classique

pour permettre la réalisation d’un condensateur 3D : certaines étapes de base ont été
modifiées, et une étape spécifique de gravure a été ajoutée. Finalement, le procédé
technologique obtenu présente des étapes toutes compatibles entre elles et autorise, avec

139
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

l’ajout d’une seule étape, la réalisation de composants actifs et d’un condensateur 3D. Des
améliorations peuvent être apportées, en particulier sur la surface occupée par le
condensateur. Pour cette première étude, la compatibilité et la réduction du nombre d’étape
sont été privilégiées par rapport à la surface silicium consommée. Pour bénéficier des
avantages apportés par les condensateurs 3D en terme de densité de capacité, nous proposons
deux voies à explorer :
- Diminuer la largeur des pores.
- Augmenter la profondeur de jonction de la région P+ qui matérialise une électrode du
condensateur.

3.2. Etude des interactions électriques

Une proposition de structure monolithique pour l’auto-alimentation est représentée sur la
figure 35. Pour déterminer les éventuelles interactions électriques qui peuvent survenir dans
cette structure, une nouvelle simulation du circuit complet est effectuée. Cependant, la
structure doit être modifiée en raison du condensateur 3D. Une description 2D de ce
composant ne serait pas réaliste car elle ne pourrait traduire correctement son comportement
électrique. Suite à cette remarque, nous décidons de conserver un condensateur de type SPICE
pour tester le fonctionnement du circuit complet. La structure monolithique de l’auto-
alimentation sera quant à elle constituée du NMOSFET M1, de la diode et de la région P + qui
matérialise une électrode du condensateur.

Figure 3. 35 : Coupe 2D de l’auto-alimentation intégrée

Les résultats de simulation montrent que la fonctionnalité est obtenue, mais la valeur du
courant de blocage est de 1,3 A au lieu de 2 A (figure 36). Cette diminution provient de la
décharge non désirée du condensateur lors de l’état inverse du dispositif. La tension appliquée

140
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

sur la grille de l’IGBT est donc inférieure à 9,5 V et le niveau de courant à l’état passant est
plus faible que celui attendu.

Figure 3. 36 : Tensions VAK aux bornes du dispositif, Vcapa aux bornes du condenstauer et courant IA
total en fonction du temps.

Il faut noter que la tension VON du dispositif est toujours égale à 2,5 V au moment du
blocage, ce qui signifie que la valeur du courant de sense n’a pas changé malgré la décharge
de la capacité. La valeur de ce courant dépend de la résistance Rs externe, soit la résistance
RGK du thyristor, et de la résistance RDM du canal de la partie sense (cf figure 10). Seule la
valeur de la résistance RDM dépend de la tension VGS. Or, RDM est nettement inférieure à RGK,
la diminution de la tension VGS n’a donc que peu d’influence sur le courant de sense.
Pour déterminer l’origine de la décharge du condensateur, il faut regarder la répartition
des lignes de courant dans l’auto-alimentation. Lors de la conduction inverse, la diode de
l’auto-alimentation est polarisée en inverse et doit empêcher la décharge du condensateur à
travers le canal préformé de M1. L’observation des lignes de courant confirme le bon
fonctionnement de cette diode. Mais le courant utilise un autre chemin de conduction à travers
la diode parasite créée par la région P du condensateur et la région N+ de drain de M1 (figure
37).

141
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Figure 3. 37 : Lignes de courant dans l’auto-alimentation lors de la conduction inverse.

Deux solutions sont envisageables pour minimiser cet effet:

- Soit la distance entre le drain et la région P est augmentée. Cela revient à augmenter
la résistance vue par le courant de décharge. Dans ce cas la décharge du condensateur
n’est pas stoppée mais ralentie.
- Soit la région de drain N+ en face arrière est remplacée par une région P+. Cela
revient à remplacer le NMOSFET M1 par un IGBT à canal préformé. Dans ce cas, la
diode parasite est supprimée, mais un transistor PNP se crée à partir de la région P du
condensateur, la région N- de drift et la région P+ d’anode de l’IGBT. Sa présence ne
perturbera pas le fonctionnement du dispositif lors de l’état inverse, car la
polarisation du dispositif (-0,7 V) ne permet pas sa mise en conduction. Il conviendra
cependant de vérifier que ce transistor ne modifie pas les autres phases de
fonctionnement.

Conclusion

Une deuxième solution construite autour d’un IGBT a été étudiée. Initialement choisi
pour sa facilité de commande, l’IGBT s’avère moins adapté que le thyristor pour l’intégration
de la fonction thyristor dual disjoncteur. Il nécessite l’utilisation d’une auto-alimentation à
l’amorçage et des fonctions supplémentaires pour maintenir ses états. Ces raisons expliquent
la complexité de la topologie proposée et la difficulté d’intégrer le dispositif complet.

142
Chapitre 3 Interrupteur auto-commuté à IGBT

Cependant, le comportement électrique de cette architecture est plus intéressant que celui de
la solution à thyristor : la fonction est vérifiée, les niveaux de courant et de tension sont
respectés, les changements d’état sont instantanés et le dimensionnement des composants est
beaucoup moins critique. Ces résultats motivent la poursuite des travaux sur cette solution, en
particulier l’intégration de l’auto-alimentation. Les premiers travaux de conception de la
brique auto-alimentation ont conduit à proposer un nouveau procédé technologique, autorisant
pour la première fois une intégration monolithique actif-passif. Il est à noter que cette brique
peut être utilisée dans d’autres applications, comme par exemple les convertisseurs DC-DC
(applications portables).

143
144
C HAPITRE IV
REALISATION TECHNOLOGIQUE

Sommaire

Introduction 139

1. CONCEPTION DES MASQUES 139

1.1. L’interrupteur auto-commuté à thyristor 140

1.2. L’IGBT-sense 149

2. REALISATION TECHNOLOGIQUE ET TESTS ELECTRIQUES 150

2.1. Implantation des canaux préformés 151

2.2. Réalisation de l’interrupteur auto-commuté à thyristor 154

2.3. Tests électriques de l’interrupteur auto-commuté à thyristor 162

2.4. Réalisation et tests électriques de l’IGBT-sense 164

Conclusion 166

145
146
 CHAPITRE 4

Réalisation technologique

Introduction

Les résultats obtenus par simulation 2D ont permis de dimensionner physiquement et

géométriquement les composants des deux solutions. Dans le cas de la première solution,
basée sur un thyristor-MOS, une structure monolithique a été proposée. L’étude des
interactions électriques au sein de cette structure a permis de compléter le dimensionnement
géométrique du dispositif. Tous ces résultats sont utilisés pour le dessin des masques qui
correspond à la dernière étape de conception avant la réalisation technologique. Dans le cas de
la deuxième solution, basée sur un IGBT-sense, une structure monolithique de l’ensemble du
dispositif n’est pas pour l’instant envisagée. Seule la fonction IGBT-sense sera réalisée car
son procédé technologique correspond aux étapes de base de la filière flexible.
Après avoir présenté la conception des masques, nous exposerons la réalisation
technologique des composants ainsi que les résultats des tests électriques.

1. Conception des masques

Les jeux de masques ont été dessinés à l’aide du logiciel CADENCE. Le principe
consiste à dessiner une cellule puis, suivant le motif, soit à la multiplier soit à l’étirer pour
obtenir le niveau de courant désiré. Il est à noter que l’ensemble des masques réalisés vérifie
les règles de dessin imposées par la filière et par les équipements disponibles dans la centrale
technologique du LAAS : espacements entre les niveaux de masquage, largeurs
minimales…Ils imposent aussi un seul niveau de masque pour la métallisation, en face avant
et en face arrière.

147
Chapitre 4 Réalisation technologique

1.1. L’interrupteur auto-commuté à thyristor

Le thyristor-MOS

Deux motifs de cellules sont proposés pour le dessin du thyristor-MOS : des cellules
carrées et des cellules à bandes. Il est intéressant de réaliser les deux types de cellules car le
motif peut influer sur les caractéristiques électriques du composant, en particulier sur les
chutes de tension et les tenues en tension.

a. Le thyristor-MOS à partir de cellules carrées

Dans le tableau 1 sont présentés les différents masques nécessaires pour le dessin d’une
cellule carrée thyristor-MOS.

Etape Masque et vue en coupe de la cellule selon la ligne AA’

Implantation P+
face arrière

Gravure
polysilicium

Implantation
région P

148
Chapitre 4 Réalisation technologique

Implantation
région P+

Implantation
région N+

Implantation N
canal préformé

Ouverture
contacts face
avant

Métallisation
face avant

Tableau 4. 1 : Masques d’une cellule carrée thyristor-MOS

149
Chapitre 4 Réalisation technologique

La longueur de grille d’une cellule carrée est déterminée à partir du masque de gravure
du polysilicium. Elle correspond au périmètre intérieur du motif, soit dans notre cas 200 µm
(50 µm *4). Pour obtenir une longueur totale de grille de 66667 µm (cf chapitre 2), il faut
donc 334 cellules carrées. Le composant occupe une surface de 2,18 mm2.

b. Le thyristor-MOS à partir de cellules à bandes

Dans le tableau 2 sont présentés les différents masques nécessaires pour le dessin d’une
cellule à bandes thyristor-MOS.

Etape Masque et vue en coupe de la cellule selon la ligne AA’

Implantation
P+ face arrière

Gravure
polysilicium

Implantation
région P

Implantation
région P+

150
Chapitre 4 Réalisation technologique

Implantation
région N+

Implantation
N canal
préformé

Ouverture
contacts face
avant

Métallisation
face avant

Tableau 4. 2 : Masques d’une cellule à bandes thyristor-MOS

La longueur de grille d’une cellule à bandes est déterminée à partir du masque de gravure
du polysilicium. Chaque bande de polysilicium correspond à deux grilles différentes. La
longueur totale de grille est donc égale (longueur d’une bande de polysilicium * nombre de
bande de polysilicium*2). Pour obtenir une longueur totale de grille de 66667 µm, nous avons
choisi 42 bandes de polysilicium de 813 µm de long. La surface totale du composant est de
3,4 mm2.
A longueur de grille égale, le motif carré permet d’obtenir une surface mois importante
que le motif à bandes.

151
Chapitre 4 Réalisation technologique

Le limiteur M2, le NMOSFET de blocage M3 et la diode antiparallèle AD

Un motif de type bande est retenu pour le dessin des masques de ces composants. Pour
faciliter la conception, la longueur de grille du NMOSFET de blocage M3 est prise égale à la
longueur de grille du limiteur M2, soit 166667 µm au lieu de 162000 µm. Le détail des
masques est donné dans le tableau 3.

Etape Masque

Implantation N+
face arrière

Gravure
polysilicium

Implantation
région P

Implantation
région P+

152
Chapitre 4 Réalisation technologique

Implantation
région N+

Implantation N
canal préformé

Ouverture
contacts face
avant

Métallisation
face avant

Tableau 4. 3 : Masques d’une cellule à bandes limiteur-NMOSFET de blocage-diode antiparallèle.

Il est à noter qu’avec ce type de motif, deux cellules MOSFET partagent une même
région de drain.
La longueur de grille totale correspond au produit (nombre de bandes de polysilicium*
longueur d’une bande). Pour obtenir une longueur de 166667 µm, nous avons choisi 95
bandes de polysilicium de 1754 µm (en réalité la longueur de grille est de 166630 µm). La
surface occupée par l’ensemble limiteur-NMOSFET de blocage-diode antiparallèle est de 12
mm2.

153
Chapitre 4 Réalisation technologique

Le générateur de courant

Le générateur de courant M4 est réalisé à partir de cellules carrées. Le détail des masques
est donné dans le tableau 4.

Etape Masque et vue en coupe de la cellule selon la ligne AA’

Implantation N+
face arrière

Gravure
polysilicium

Implantation
région P

Implantation
région P+

154
Chapitre 4 Réalisation technologique

Implantation
région N+

Implantation N
canal préformé

Ouverture
contacts face
avant

Métallisation
face avant

Tableau 4. 4 : Masques d’une cellule carrée générateur de courant M4.

La longueur de grille d’une cellule carrée est de 200 µm (50 µm *4). Pour obtenir une
longueur totale de grille de 270000 µm, il faut 1350 cellules carrées. Le composant occupe
une surface de 5,8 mm2.

La diode zéner

Trois tailles différentes sont proposées pour la diode Zéner. Le détail des masques de la
diode Zéner de 400 µm de longueur de cathode est donné dans le tableau 5.

155
Chapitre 4 Réalisation technologique

Etape Masque et vue en coupe de la cellule selon la ligne AA’

Implantation
région P

Implantation
région N+

Ouverture
contacts face
avant

Métallisation
face avant

Tableau 4. 5 : Masques de la diode Zéner.

La surface occupée par la diode Zéner est respectivement de 0,04 mm 2, 0,16mm2 et 0,25
mm2 pour une longueur de cathode de 200 µm, 400 µm et 500 µm.

156
Chapitre 4 Réalisation technologique

1.2. L’IGBT-sense
L’IGBT-sense est réalisé à partir de cellules carrées. Le détail des masques est donné
dans le tableau 6.

Etape Masque et vue en coupe de la cellule selon la ligne AA’

Implantation P+
face arrière

Gravure
polysilicium

Implantation
région P

Implantation
région P+

157
Chapitre 4 Réalisation technologique

Implantation
région N+

Ouverture
contacts face
avant

Métallisation
face avant

Tableau 4. 6 : Masques d’une cellule carrée IGBT.

La longueur de grille d’une cellule carrée est de 160 µm (40 µm*4). Pour obtenir une
longueur totale de grille de 50000 µm il faut 312 cellules carrées. La partie sense doit avoir
une longueur de grille de 1250 µm. Il faut donc dédier 8 cellules à la partie sense. Le
composant occupe une surface de 4,3 mm2, périphérie comprise.

2. Réalisation technologique et tests électriques

Les dispositifs ont été réalisés à la centrale technologique du LAAS. Le procédé
technologique utilisé a déjà été présenté dans le chapitre 1 ainsi que les modifications
apportées dans le chapitre 2 et le chapitre 3. Trois lots de plaquettes ont été réalisés : le
premier est constitué uniquement de NMOSFETs afin de déterminer la dose et l’énergie
d’implantation des canaux préformés, le deuxième correspond à l’interrupteur auto-commuté
à thyristor et le troisième est constitué d’IGBTs-sense et de NMOSFETs à enrichissement.

158
Chapitre 4 Réalisation technologique

2.1. Implantation des canaux préformés

Trois composants sont testés sur le premier lot de plaquettes :

- un NMOSFET vertical à déplétion avec une longueur de grille de 55200 µm.

- un NMOSFET latéral à enrichissement avec une longueur de grille de 20000 µm.

- un NMOSFET latéral à déplétion avec une longueur de grille de 20000 µm.

Les étapes technologiques réalisées sont données sur la figure 1. Les paramètres
d’implantation des canaux préformés sont choisis en fonction des résultats obtenus sur des
composants similaires réalisés antérieurement [42].

Figure 4. 1 : Enchaînement des étapes technologiques pour la réalisation des NMOSFETs de test.

Les composants obtenus sont testés sous pointes. Analysons dans un premier temps les
caractéristiques électriques du NMOSFET à enrichissement (figure 2). Sur la figure 3 est
représentée la caractéristique ID(VGS) à VDS= 1 V. La tension de seuil est égale à 0,5 V, soit
très inférieure à la valeur de 2,5 V obtenue par simulation. Cette diminution importante traduit
une contamination de l’oxyde de grille. La caractéristique ID(VDS) à VGS=4 V donne une
tension de saturation VDSAT= 0,5 V et un courant de saturation IDSAT= 0,12 A. Les valeurs
obtenues correspondent à celles désirées car, pour une longueur de grille de 166630 µm, le
courant IDSAT sera de 1 A (0,12 *166630/20000).

159
Chapitre 4 Réalisation technologique

Figure 4. 2 : Vue de dessus d’un NMOSFET latéral.

a) b)

Figure 4. 3 : Caractéristiques ID(VGS) à VDS=0,5 V et ID(VDS) pour différents VGS du NMOSFET à

enrichissement.

Deux implantations de canal différentes ont été testées pour les NMOSFETs à déplétion :
- Dose = 8.1013 cm-2 et énergie= 180 keV. La tension de seuil est de -0,5V (figure 4 a).
A VGS=0V, la tension de saturation VDSAT est de 0,2 V et le courant de saturation
IDSAT est de 0,04 A (figure 4 b).

160
Chapitre 4 Réalisation technologique

a) b)

Figure 4. 4 : Caractéristiques ID(VGS) à VDS=0,5 V et ID(VDS) pour différents VGS du NMOSFET à

déplétion qui présente une énergie d’implantation du canal de 180 keV.

- Dose= 8.1013 cm-2 et énergie= 185 keV. La tension de seuil est de -0,7V (figure 5 a).
A VGS=0V, la tension de saturation VDSAT est de 0,3 V et le courant de saturation
IDSAT est de 0,06 A (figure 5 b).

a) b)

Figure 4. 5 : Caractéristiques ID(VGS) à VDS=0,5 V et ID(VDS) pour différents VGS du NMOSFET à

déplétion qui présente une énergie d’implantation du canal de 185 keV.

Les résultats obtenus sont cohérents : si l’énergie diminue, la quantité de dopants

présents dans le silicium est plus faible. La tension de seuil est donc plus faible ainsi que le
courant de saturation. Par rapport au cahier des charges imposé, les tensions de seuil et de
saturation sont respectées. Mais les courants de saturation sont trop faibles. Rappelons que la
longueur de grille des composants testés est de 20000 µm. Le courant équivalent pour une

161
Chapitre 4 Réalisation technologique

longueur de grille de 166630 µm est donc de 0,5 A pour une énergie d’implantation de 185
keV (166630*0,06/20000), et de 0,3 A pour une énergie de 180 keV (166630*0,04/20000).
Pour obtenir un courant de saturation de 2 A, pour une longueur de grille de 166630 µm, il
faudra augmenter la dose implantée.
Une vue du NMOSFET vertical est donné sur la figure 6. Le canal a été réalisé par
implantation de phosphore avec une dose de 8.1013 cm-2 et une énergie de 180 keV. Les tests
du NMOSFET vertical ont montré qu’il n’y avait pas d’effet de champ. La dose de dopant
dans le silicium est trop importante, l’effet de champ ne peut exister, et le canal est
comparable à une résistance. Il faudra donc diminuer la dose implantée.

Figure 4. 6 : Vue de dessus d’un NMOSFET vertical.

Les résultats obtenus n’ont pas permis de déterminer précisément la dose et l’énergie
d’implantation des canaux préformés. Pour fixer ces paramètres, il faudrait réaliser d’autres
lots de NMOSFETs tests. Cependant, compte tenu de la durée du procédé technologique
(c’est le procédé complet sans l’étape d’implantation des périphéries et de l’anode P+ en face
arrière), nous préférons lancer la réalisation du dispositif complet en tenant compte des
indications apportées par ces premiers résultats.

2.2. Réalisation de l’interrupteur auto-commuté à thyristor

L’enchaînement des étapes technologiques est rappelé sur la figure 7.

162
 Chapitre 4 Réalisation technologique

Figure 4. 7 : Enchaînement des étapes technologiques pour la réalisation de l’interrupteur auto-

commuté à thyristor.

Décrivons précisément ces étapes.

Oxyde de masquage

Etape Descriptif

Nettoyage H2O2-H2SO4
1
Attaque HF 10% (t=30 s)
2 Oxydation thermique -Epaisseur oxyde=6000 Å

Terminaison P-

Etape Descriptif

3 Photolithographie P- face avant - Masque n°1 (polarité verre)

4 Gravure humide de l’oxyde de masquage face avant au buffer HF - t=10 minutes

163
 Chapitre 4 Réalisation technologique

Implantation P- face avant

6 Dissolution résine (Plasma O2)

7 Photolithographie peigne d’alignement face arrière - Masque n°2 (polarité verre)

Gravure humide du SiO2 au buffer HF - t=10 minutes

9 Dissolution résine (Plasma O2)

10 Redistribution Bore sous O2

Anode P+ face arrière

Etape Descriptif

11 Protection résine face avant

12 Gravure humide de l’oxyde de masquage face arrière au buffer HF - t=15 minutes

13 Dissolution résine (Plasma O2)

14 Photolithographie P+ face arrière - Masque n°3 (polarité verre)

164
 Chapitre 4 Réalisation technologique

Implantation P+ face arrière

15

16 Dissolution résine (Plasma O2)

Cathode N+ face arrière

Etape Descriptif

17 Photolithographie N+ face arrière - Masque n°4 (polarité verre)

Implantation N+ face arrière

18

19 Dissolution résine (Plasma O2)

Grille

Etape Descriptif

20 Photolithographie zone active - Masque n°5 (polarité verre)

Gravure humide du Si02 au buffer HF - t=15 minutes

21

22 Dissolution résine (Plasma O2)

165
 Chapitre 4 Réalisation technologique

23 Nettoyage RCA

24 Oxydation thermique - Epaisseur oxyde = 550 Å

25 Dépôt LPCVD du polysilicium – Epaisseur = 3000 Å

26 Dopage du polysilicium (diffusion POCl3)

27 Photolithographie polysilicium - Masque n°6 (polarité chrome)

Gravure du SiO2 (500Å) et du polysilicium (3000 Å) – t=2’30

28

29 Dissolution résine (Plasma O2)

Caisson P

Etape Descriptif

30 Photolithographie P face avant - Masque n°7 (polarité verre)

Implantation P face avant

31

32 Dissolution résine (Plasma O2)

Caisson P+

166
 Chapitre 4 Réalisation technologique

Etape Descriptif

33 Photolithographie P+ face avant - Masque n°8 (polarité verre)

Implantation P+ face avant

34

35 Dissolution résine (Plasma O2)

36 Redistribution caissons P et P+

Cathode N+ face avant

Etape Descriptif

37 Photolithographie N+ face avant - Masque n°9 (polarité verre)

Implantation N+ face avant

38

39 Dissolution résine (Plasma O2)

40 Redistribution arsenic

Canal préformé N 1

Cette étape correspond à l’implantation des canaux des NMOSFETs verticaux (M4 et
M1)

167
 Chapitre 4 Réalisation technologique

Etape Descriptif

41 Photolithographie N face avant - Masque n°10 (polarité verre)

Implantation N face avant

42

43 Dissolution résine (Plasma O2)

Canal préformé 2

Cette étape correspond à l’implantation du canal du limiteur M2.

Etape Descriptif

44 Photolithographie N face avant - Masque n°11 (polarité verre)

Implantation N face avant

45

46 Dissolution résine (Plasma O2)

47 Redistribution phosphore

Gravure face arrière

Etape Descriptif

48 Gravure du SiO2 (500Å) et du polysilicium (3000 Å) face arrière – t=2’30

168
 Chapitre 4 Réalisation technologique

Contacts face avant

Etape Descriptif

49 Dépôt LPCVD de Si3N4 – Epaisseur = 1000 Å

50 Photolithographie contact face avant - Masque n°12 (polarité verre)

Gravure du Si3N4 (1000Å) et du Si02 (550 Å) face avant – t=1’10

Fin de gravure buffer HF – t=30 secondes

51

52 Dissolution résine (Plasma O2)

Métallisation face avant

Etape Descriptif

53 Photolithographie métal face avant - Masque n°13 (polarité chrome)

Dépôt aluminium face avant – Epaisseur =1 µm

54

55 Lift-off

Contact face arrière

Etape Descriptif

56 Photolithographie contact face arrière - Masque n°14 (polarité verre)

169
 Chapitre 4 Réalisation technologique

Gravure du Si3N4 (1000Å) et du Si02 (550 Å) face arrière – t=1’10

Fin de gravure buffer HF – t=30 secondes

57

59 Dissolution résine (Plasma O2)

Métallisation face arrière

Etape Descriptif

Dépôt aluminium face arrière – Epaisseur =1 µm

60
61 Recuit aluminium

La coupe schématique du dispositif complet est représentée sur la figure 8.

Figure 4. 8 : Vue en coupe schématique du thyristor dual disjoncteur.

La surface totale occupée par le dispositif est de 0,26 cm2, périphérie comprise.

2.3. Tests électriques

Les composants discrets sont caractérisés sous pointe avant de tester le dispositif
complètement intégré.

170
Chapitre 4 Réalisation technologique

La caractéristique IA(VAK) d’un thyristor-MOS, réalisé à partir de cellule à bandes, est

donnée sur la figure 9. Les paramètres d’implantation de son canal préformé sont : une dose
de 2e+13 cm-2 et une énergie de 180 keV.

Figure 4. 9 : Caractéristique IA(VAK) du thyristor-MOS.

L’amorçage est immédiat dès que la tension VAK atteint 0,6 V. De plus, la caractéristique
ne présente pas de retournement. La dose de phosphore présente dans le silicium, sous la
grille est donc suffisante pour former le canal. Cependant, les niveaux de courant et de tension
ne correspondent pas à ceux obtenus en simulation : on obtient un courant de 0,1 A à VAK=
1,7 V au lieu de 2 A à VAK= 1 V. Il est très probable que l’état de surface de la face arrière,
apparemment dégradé, ait affecté l’injection de l’anode, et ainsi la chute de tension à l’état
passant. Les thyristors à cellules carrées (figure 10) présentent la même caractéristique
IA(VAK).

Figure 4. 10 : Vue de dessus du thyristor-MOS à cellule carrée.

171
Chapitre 4 Réalisation technologique

Pour tester le blocage du thyristor-MOS, les composants ont été montés sur boîtier. Un
générateur de tension continue en série avec une résistance sont connectés sur l’anode du
thyristor et la grille est reliée à la masse. Le thyristor s’amorce et un courant circule à travers
le composant. Puis pour vérifier le blocage du dispositif, nous court-circuitons la gâchette du
thyristor à sa cathode. Or le courant ne s’annule pas, il semble donc impossible de bloquer le
thyristor. Une dose trop importante du canal de la section NMOSFET explique l’échec du
blocage.

2.4. Réalisation de l’IGBT-sense et test électrique

Les étapes technologiques réalisées sont données sur la figure 11.

Figure 4. 11 : Enchaînement des étapes technologiques pour la réalisation de l’IGBT-sense.

Mise à part l’étape d’implantation P, tous les paramètres des étapes technologiques
correspondent à ceux fixés par la filière flexible. Pour rappel, la région P doit présenter une
concentration en surface de 1,2e+18 cm-3 et une profondeur de jonction XJ de 4,8 µm. D’après
les résultats obtenus sur des composants similaires réalisés antérieurement [42], il faut une
énergie d’implantation de 50 keV et une dose de 1,7e+14 cm-3 pour obtenir ce profil de dopage.
Les composants obtenus (figure 12) sont testés sous pointes.

172
Chapitre 4 Réalisation technologique

Figure 4. 12 : Vue de dessus de l’IGBT-sense.

Sur la figure 13.a est représentée la caractéristique IA(VGK) à VAK= 1 V. La tension de

seuil de l’IGBT est égale à 3,5 V. Comme pour les NMOSFETs tests, cette valeur est
inférieure à celle obtenue par simulation ( 5 V – cf chapitre 3). Une contamination de l’oxyde
peut expliquer cette diminution. Les caractéristiques IA(VAK), pour différentes valeurs de VGK,
sont données sur la figure 13.b. On retrouve les mêmes tendances que pour la caractéristique
IA(VAK) du thyristor, à savoir une dégradation des caractéristiques à l’état passant. Par
exemple, pour une tension VGK de 9 V, le courant IA a pour valeur 1 A à VAK = 4 V. Les
résultats de simulation donnaient un courant de 2 A à VAK = 2,5 V pour une tension VGK de
9,5 V. Comme pour le thyristor, l’état de surface de la face arrière peut expliquer les résultats
obtenus.

a) b)

Figure 4. 13 : Caractéristiques IA(VGK) à VAK=1 V et IA(VAK) pour différents VGK de l’IGBT.

173
Chapitre 4 Réalisation technologique

La vérification du rapport de courant entre Isense et le courant IA n’a pu être effectué en

raison des limitations en courant du testeur sous pointe.

Conclusion

La réalisation de l’interrupteur auto-commuté à thyristor a été effectuée. Le procédé

technologique, constitué de 14 niveaux de masque, permet de disposer de deux types de
région en face arrière et de deux profils de dopage pour les canaux préformés. Les tests
électriques ont confirmé la forte sensibilité de cette solution aux paramètres technologiques
des NMOSFETs à déplétion. Pour connaître réellement les potentialités de ce dispositif basé
sur un thyristor, il conviendrait de réaliser d’autres lots de NMOSFETs à déplétion afin
d’établir une bibliothèque de composants qui associerait à chaque profil de dopage les
caractéristiques électriques correspondantes.
Concernant la deuxième solution, des premiers composants test d’IGBT-sense ont été
réalisés. En parallèle, les travaux sur l’auto-alimentation se poursuivent : un lot de
NMOSFETs est actuellement en cours de réalisation afin de valider le nouveau procédé
technologique compatible avec la réalisation de condensateur 3D (présenté dans le chapitre 3).

174
 CONCLUSION GENERALE

Le travail de recherche mené consistait à développer, par le biais de l’intégration

fonctionnelle, un interrupteur monolithique réversible en courant à auto-commutation, c'est-à-
dire un thyristor dual disjoncteur. Deux solutions ont été proposées :
- Une architecture basée sur un thyristor-MOS auto-amorçable doté d’un limiteur –
disjoncteur.
- Une architecture basée sur un cœur IGBT.

La première solution offre une topologie simple, compacte, bien adaptée au concept
d’intégration fonctionnelle. Le comportement électrique de l’architecture bénéficie des
avantages apportés par le thyristor : amorçage rapide grâce à la section MOS du thyristor et
faible chute de tension. Au contraire, le blocage est plus difficile à obtenir car il faut extraire
un courant important de la gâchette du thyristor. Ceci se traduit par un blocage lent et par une
valeur de courant de disjonction plus élevée que celle désirée. Mais le principal inconvénient
de cette solution concerne les NMOSFETs à déplétion. De façon générale, l’utilisation de
transistors NMOS à canaux préformés a permis de réaliser simplement les fonctions annexes
de gestion de l’amorçage et de l’auto-blocage. Mais en contre partie, la fonctionnalité devient
fortement dépendante des paramètres technologiques : les conséquences peuvent aller d’une
simple modification du niveau de disjonction à l’échec de la fonction. En terme de surface
silicium consommée, il est à noter que certains composants annexes comme le MOSFET de
blocage et le limiteur présentent des surfaces importantes par rapport au thyristor, mais la
dimension finale (0,26 cm2) du circuit reste honorable pour un dispositif qui réalise à la fois
des fonctions de puissance, de commande et de protection. En conclusion, cette première
solution est particulièrement intéressante d’un point de vue intégration monolithique, mais
son comportement électrique est très sensible aux paramètres technologiques.

La seconde solution, basée sur un IGBT, s’avère moins adaptée pour l’intégration d’un
interrupteur auto-commuté :

175
Conclusion générale

- Elle présente une topologie plus complexe car l’IGBT nécessite l’utilisation d’une
auto-alimentation à l’amorçage et des fonctions supplémentaires pour maintenir ses
états.
- Elle nécessite la réalisation d’un condensateur sur silicium.

Cependant, le comportement électrique de cette architecture est plus intéressant que celui
de la solution à thyristor : la fonction est vérifiée, les niveaux de courant et de tension sont
respectés, les changements d’état sont instantanés et le dimensionnement des composants est
beaucoup moins critique. Concernant la surface du dispositif, les premiers éléments de
conception donnent une surface de 4,3 mm2 pour l’IGBT et 4,8 mm2 pour le condensateur, qui
sont les composants les plus consommateurs de silicium de cette solution. Ces résultats
laissent préfigurer une surface totale du dispositif plutôt raisonnable. En conclusion, cette
deuxième solution est plus difficilement réalisable, mais d’un point de vue fonctionnement
elle s’avère beaucoup moins délicate.

La solution basée sur un thyristor a fait l’objet d’une première réalisation technologique.
Mais les résultats obtenus n’ont pas permis d’exploiter les potentialités de cette solution en
raison des profils de dopage des canaux préformés mal maîtrisés. Il conviendrait donc de
réaliser de nouveaux lots de NMOSFETs à déplétion pour évaluer et maîtriser les
caractéristiques de ces transistors, qui ont un impact considérable sur l’obtention de la
fonctionnalité. Concernant la deuxième solution, des premiers composants test d’IGBT-sense
ont été réalisés. En parallèle, les travaux sur l’auto-alimentation se poursuivent : un lot de
NMOSFETs est actuellement en cours de réalisation afin de valider le nouveau procédé
technologique que nous avons proposé et qui autorise une réalisation monolithique actif-
passif.

A plus long terme, nous envisageons d’associer deux interrupteurs monolithiques auto-
commutés pour obtenir une cellule complète de commutation et ainsi proposer des
convertisseurs hautement intégrés dont les retombées applicatives sont nombreuses.

176
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Design and optimization of MOS-thyristor structures with a di/dt active control
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Thèse de doctorat de l’Institut National des Sciences Appliquées de Toulouse
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Etude et optimisation d’une filière technologique flexible adaptée au mode
d’intégration fonctionnelle
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septembre 2002.
[43] D. DRAGOMIRESCU
Conception des terminaisons de jonctions pour des dispositifs très haute tension.
Aspects statiques et dynamiques
Thèse de doctorat de l’Institut National des Sciences Appliquées, Toulouse, 2001.
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J.L. SANCHEZ, K. ISOIRD
Performance of 3D capacitors integrated on silicon for DC-DC converter
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[62] E. SCHEID, L. FURGAL, H. VERGNES

Boron doped polysilicon deposition in a sector reactor: Specific phenomena and
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[63] J.L. SANCHEZ, E. SCHEID, P. AUSTIN, M. BREIL, H. CARRIERE, P.

DUBREUIL, E. IMBERNON, F. ROSSEL, B. ROUSSET
Realization of vertical P+ wall through-wafer
SPIE International Symposium on Micromachining and Microfabrication Process
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[64] G. REY
« Technologie des dispositifs à semiconducteurs et des circuits intégrés», fascicule
de cours.
[65] A.S. GROVE
« Physique et technologie des dispositifs à semiconducteur», Dunod, 1971, 380 p.

182
 LISTE DES PUBLICATIONS

REVUES INTERNATIONALES

[1] F. RICHARDEAU, N. ROUX, H. FOCH, J.P. LAUR, M. BREIL-DUPUY, J.L.

SANCHEZ, F. CAPY
New self-switching converters
IEEE TRANSACTIONS ON POWER ELECTRONICS, vol.23, NO.2, mars 2008,
pp.802-812.
[2] F. CAPY, M. BREIL, F. RICHARDEAU, J.L. SANCHEZ, E. IMBERNON
New monolithically integrated power device for self-switching converters
EUROPEAN JOURNAL OF ELECTRICAL ENGINEERING, vol.12, NO.2/2009,
pp.137-148.
[3] F. CAPY, J.P. LAUR, M. BREIL, F. RICHARDEAU, J.L. SANCHEZ
Self-switching circuit based on IGBT suited for monolithic integration
IET Electronics Letters, vol.45, Issue 23, novembre 2009, pp 1191-1193.
[4] F. CAPY, M. BREIL, F. RICHARDEAU, J.P. LAUR, J.L. SANCHEZ
Conception d’un interrupteur de puissance monolithique sur silicium à propriété
d'auto-commutation: comparaison de deux architectures
REVUE INTERNATIONALE DE GENIE ELECTRIQUE (à paraître).

CONGRES INTERNATIONAUX AVEC COMITE DE LECTURE

[5] F. CAPY, A. BOURENNANE, M. BREIL, F. RICHARDEAU, E. IMBERNON, J.L.

SANCHEZ, J.P. LAUR, P. AUSTIN
Design of an integrated self-switching mode device for power converters
14th International Conference Mixed Design of Integrated Circuits and Systems
(MIXDES’07), Ciechocinek, Pologne, 21-23 juin 2007, pp. 574-579.
[6] F. CAPY, M. BREIL, F. RICHARDEAU, J.L. SANCHEZ, E. IMBERNON, J.P.
LAUR
New self-controlled and self protected integrated power switch
9th International Seminar on Power Semiconductors (ISPS’08), Prague, République
Tchèque, 27-29 août 2008, pp.291-296.
[7] F. CAPY, J. LE GAL, M. BREIL, F. RICHARDEAU, J.P. LAUR, P. AUSTIN, J.L.
SANCHEZ
Development of a self-protected and self-controlled integrated power switch :
comparison of two circuit architectures
BiCMOS Circuits and Technology Meeting (BCTM 2008), Monterey, Etats-Unis,
13-16 octobre2008, pp.49-52.
[8] [Link], [Link], [Link], [Link], [Link], [Link],
[Link], [Link]
New self-controlled and self protected IGBT based integrated switch

183
Liste des publications

21st International Symposium on Power Semiconductor devices and ICs (ISPSD’09),

Barcelone, Espagne 14-18 juin 2009, pp 243-246.
[9] [Link], [Link], [Link], [Link], A. BOURENNANE,
[Link]
Exploring potentials and performance of two circuit architectures to develop a new
integrated switch dedicated to self-switching power converters
13th European conference on Power Electronics and applications (EPE’09),
Barcelone, Espagne, 08-10 septembre 2009.

CONGRES NATIONAUX AVEC COMITE DE LECTURE

[10] F. CAPY
Intégration de la fonction thyristor dual disjoncteur
9eme Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique (JNRDM’06),
Rennes, 10-12 mai 2006.
[11] F. CAPY, M. BREIL, F. RICHARDEAU
Intégration monolithique de la fonction thyristor dual disjoncteur
11eme Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique (JNRDM’08),
Bordeaux, 14-16 mai 2008.
[12] F. CAPY, M. BREIL, F. RICHARDEAU, J.L. SANCHEZ, E. IMBERNON
Thyristor dual disjoncteur intégré pour convertisseur à commutation automatique
12eme Conférence Electronique de Puissance du Futur (EPF’08), Tours, 2-3 juillet
2008, pp. 59-62.
[13] F. CAPY
Conception d’un interrupteur de puissance monolithique sur silicium à propriété
d’auto-commutation : comparaison de deux architectures
Conférence des Jeunes Chercheurs en Génie Electrique (JCGE’08), Lyon, 16-17
décembre 2008, pp.49-53.

RAPPORTS

[14] F. CAPY
Intégration de la fonction thyristor dual disjoncteur
Rapport de Master Recherche, Université Paul Sabatier, Toulouse, juillet 2005.
[15] F. CAPY, N. ROUGER, M. BREIL-DUPUY, F. RICHARDEAU, J.L. SANCHEZ,
J.C. CREBIER, [Link]
Nouvelles fonctions de commutation de puissance intégrées sur silicium
Rapport GDR Intégration des Systèmes de Puissance à 3 Dimensions (ISP3D), Lyon,
20-21 octobre 2005, 9p.
[16] F. CAPY, M. BREIL, F. RICHARDEAU, J.L. SANCHEZ
Etat d’avancement de l’intégration de la fonction thyristor dual disjoncteur
Rapport GDR Intégration des Systèmes de Puissance à 3 Dimensions (ISP3D),
Montpellier, 18-19, octobre 2006, 5p.
[17] F. CAPY
Intégration monolithique du thyristor dual disjoncteur
Rapport Journée de l’école doctorale GEET, Toulouse, 20 mars 2008, 4p.

184
 ANNEXE

Figure 1 : Définition des grandeurs électriques utilisées pour l’analyse du circuit.

1. Auto-amorçage du dispositif
Nous allons définir les conditions de déclenchement du dispositif. Pour cela nous nous
plaçons au moment où la section NPN devient conductrice. Le transistor est donc à l’état
ouvert. De plus, en statique, l’IGBT ne dévie que très peu de courant car sa cathode est reliée
à une diode Zener et à la grille du transistor MOS de blocage. Ce dernier, par hypothèse, ne
doit pas être enclenché. Les courants circulant dans le thyristor sont donc le courant IA et le
courant de drain du transistor MOS d’autoamorçage. La section PNP étant enclenchée, le
courant circulant dans RGK et la tension à ses bornes sont donc :

[1]

[2]

185
Annexe

Nous avons vu que le dispositif s’amorçait dès que la tension aux bornes de la jonction
base émetteur de la section NPN devenait directe c’est à dire dès que :
La condition de déclenchement est donc :

[3]
Soit si on remplace IG par son expression en fonction de IDM1 :

(condition intrinsèque) [4]

Essayons d’exprimer cette inégalité en fonction de IA afin d’obtenir le niveau de courant
nécessaire au déclenchement du dispositif (le courant d’accrochage). Deux situations sont à
envisager :
- Le transistor MOS d’auto amorçage est saturé. Dans ce cas le courant de drain vaut
IDSATM1.
- Le transistor MOS d’auto amorçage est en régime ohmique. Dans ce cas le courant de
drain vaut :

[5]
avec :

[6]
soit :

[7]
Ce qui est équivalent à :

[8]
La condition la plus contraignante pour que l’inégalité (3) soit respectée correspond à la
valeur minimum du courant de drain car si la relation (3) est vraie pour IDM1 minimum elle
sera automatiquement vraie pour toutes les autres valeurs de IDM1.

186
Annexe

De plus pour que l’amorçage soit possible, le transistor MOS de blocage ne doit pas être
enclenché. Cela correspond au cas où la tension aux bornes du dispositif est inférieure à la
tension de seuil du MOS de blocage, soit :

(condition extrinsèque) [9]

On se place dans la situation la plus critique, c'est-à-dire :
La première condition d’amorçage du dispositif est donc :

[10]
Lorsque cette relation est vérifiée, le courant IA a atteint le niveau du courant
d’accrochage pour lequel le thyristor devient passant. On obtient donc une deuxième
condition sur la valeur minimum du courant IA qui correspond à la valeur de ce courant
d’accrochage.
Avant que le dispositif ne se déclenche le courant de drain du transistor MOS
d’amorçage correspond au courant de base de la section PNP, soit :

[11]
Dès que le dispositif est amorcé, le courant de base devient supérieur au courant de drain.
Pour que la fermeture du dispositif soit possible, le courant de base de la section PNP doit
donc être supérieur ou au moins égal au courant de drain du transistor MOS d’amorçage, qu’il
soit saturé ou en régime ohmique. La deuxième condition d’amorçage du dispositif est donc :

[12]
On remarquera que si cette dernière inégalité est vraie quand le transistor MOS
d’amorçage est saturé, elle le sera aussi quand il est dans son régime ohmique (situation de
pire cas). De plus, si l’une des équations (10) et (12) est vérifiée, l’autre l’est
automatiquement.

2. Maintien de l’amorçage du dispositif

Le dispositif est à présent dans son état conducteur. Nous avons vu dans le chapitre deux
que le thyristor permettait naturellement le maintien de l’amorçage. La seule condition à
satisfaire pour que le dispositif reste dans son état fermé est donc :

187
Annexe

(condition extrinsèque) [13]

car le processus de blocage s’enclenche dès que la tension de grille du transistor MOS
atteint sa tension de seuil. Cette relation est équivalente à :

[14]

soit :

[15]
Si l’on se place dans la situation la plus critique pour maintenir l’amorçage, c’est à dire
juste avant le blocage quand le dispositif est en saturation, on peut remplacer le courant par sa
valeur maximum définie par le cahier des charges. On obtient donc :

[16]

3. Blocage du dispositif
Le dispositif est passant et le transistor MOS de blocage vient de s’enclencher.
Pour bloquer le dispositif il faut interrompre l’autoentretien du thyristor c’est à dire
polariser en inverse la jonction collecteur base des deux sections bipolaires. Cette condition se
traduit par :

[17]
avec :

[18]
De plus la diode Zener ne doit pas rentrer en conduction sinon le dispositif ne pourra
jamais se bloquer. Cette condition correspond à l’inégalité suivante :

[19]
Introduisons dans l’inégalité (17), l’expression (18). On obtient :

188
Annexe

[20]
avec :

[21]
soit :

[22]

[23]
L’ouverture du dispositif ne se réalise pas dès que le transistor MOS de blocage
s’enclenche. En effet, il doit extraire suffisamment de courant de la base de la section NPN
pour bloquer le thyristor. Il existe donc un courant minimum pour lequel le blocage du
dispositif est possible.
Nous pouvons déduire ce courant minimum de la relation (23). Ainsi nous obtenons :

[24]
Nous pouvons nous attendre à une pointe de courant entre le moment où le transistor
MOS de blocage s’enclenche et le blocage effectif du dispositif. En effet, au courant circulant
dans le limiteur il faut ajouter le courant de drain du transistor MOS de blocage. L’inégalité
(24), d’où l’on extrait le courant minimum de drain (et donc le courant minimum IA) pour
lequel le blocage est réalisé, va nous permettre d’évaluer ce pic de courant.
Nous venons de définir le courant minimum IA nécessaire pour bloquer le dispositif.
Nous pouvons aussi déterminer la tension aux bornes de l’interrupteur. Pour cela nous allons
remplacer dans l’inégalité (20) le courant IDM3 par son expression en fonction des tensions de
grille et de seuil du transistor MOS de blocage.
Exprimons tout d’abord IDM3:
- quand le transistor NMOS est en régime saturé

[25]
- quand le transistor NMOS est en régime ohmique

189
Annexe

[26]

avec :

[27]
Afin de déterminer dans quel régime se trouve le transistor MOS de blocage, exprimons
VDSM3 :

[28]
avec :

[29]
et :

[30]
soit :

[31]
La condition de saturation d’un transistor MOS à enrichissement est :

[32]
Dans notre cas nous avons :

[33]
Le transistor MOS de blocage est donc dans son régime saturé.
Finalement, si nous remplaçons IDM3 par son expression dans l’inégalité (20) nous
obtenons :

[34]

190
Annexe

La dernière condition concerne le courant de saturation du transistor MOS de blocage. Ce

dernier doit être supérieur au niveau de courant IDM3 nécessaire pour bloquer le dispositif,
soit:

[35]

4. Maintien du blocage du dispositif

On considère que la diode Zener entre en zone de claquage et donc qu’elle impose la
tension de grille du transistor MOS de blocage, soit :

[36]
Pour maintenir le blocage, la jonction Emetteur-Base de la section NPN du thyristor doit
rester en inverse, c’est-à-dire :

[37]
Ce qui est équivalent à :

[38]
Si l’on exprime cette inégalité en fonction des courants, on obtient :

[39]
On peut donc en déduire la valeur maximum de la résistance du canal du transistor MOS
de blocage :

[40]

191