La Houille Blanche

ISSN: 0018-6368 (Print) 1958-5551 (Online) Journal homepage: [Link]/journals/tlhb20

Analyse d'écoulements liquides ou gazeux en

micro-conduites : découplage des incertitudes
expérimentales

Stéphane Colin, Marc Anduze, Pierre Lalonde, Robert Caen & Lucien Baldas

To cite this article: Stéphane Colin, Marc Anduze, Pierre Lalonde, Robert Caen & Lucien
Baldas (2003) Analyse d'écoulements liquides ou gazeux en micro-conduites : découplage des
incertitudes expérimentales, La Houille Blanche, 89:5, 104-110, DOI: 10.1051/lhb/2003097

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Published online: 01 Jul 2009.

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 Mécanique des fluides' microfluidique

Analyse d'écoulements liquides ou gazeux en micro-conduites :

découplage des incertitudes expérimentales

Analysis of gas and liquid flows in micro-ducts :

experimental uncertainties decoupling

Stéphane Colin l , Marc Anduze, Pierre Lalonde, Robert Caen, Lucien Baldas

Laboratoire de Génie Mécanique de Toulouse - INSA de Toulouse

The different sources of uncertainty lhal occur during Ihe experimenlal sludy of sleady flows Ihrough micro-duels are
anolyzed. Il is noticed lhat the lack of precision when measuring the geometrical dimensions of the sections plays a
crucial role. A method is proposed to avoid this source of uncertainty. Il is illustraled with two examples. The first one
is relative la gaseous jlows in rectangular micro-ducts. The experiment allows ta show Ihe validity of a second-arder
slip-flow model. for Knudsen numbers up 10 0.20, while a classic first-order model is no longer precise abave 0.05.
The second example is relative to liquid flows in trapezoidal micro-ducts. A deviation from the classic Poiseuille law is
clearly revealed. for Reynolds numbers between J(r l and JO-J. A relation between Reynolds and Poiseuille numbers ;s
proposed.

1 • MESURES EXPÉRIMENTALES • 1.1 Ecoulements gazeux en micro-conduites

DE MICRO-DÉBITS
Ces dernières années, un effort conséquent a été fourni en
modélisation analytique ou numérique d'écoulements gazeux
Depuis quelques années, la recherche en microfluidique
dans des micro-conduites de géométrie simple [1]. En revan-
est entrée dans une phase particulièrement active, et les
che, relativement peu de résultats expérimentaux permettant
publications qui paraissent à un rythme élevé sont riches en
de valider les modèles développés ont été jusqu'alors
nouveautés, que celles-ci concernent des applications parti-
publiés. Les premiers essais expérimentaux de micro-écoule-
culières ou des recherches plus fondamentales. Les idées foi-
ments gazeux [2-7] ont montré un écart significatif entre les
sonnent, mais les outils de modélisation des micro-écoule-
débits observés et les débits théoriques prédits par un
ments sont encore rudimentaires. Pourtant, les besoins sont
modèle classique de type Navier-Stokes, isotherme, avec des
bien réels, notamment pour les applications dans les domai-
conditions d'adhérence aux parois. Ceci dès que les dimen-
nes médical et chimique, pour lesquelles il est primordial de
sions caractéristiques des sections sont de l'ordre du micro-
pouvoir connaître avec beaucoup de précision les quantités
mètre, pour des conditions de pression et de température du
de fluide manipulées. Maîtriser les débits peut sembler élé-
même ordre de grandeur que dans les conditions atmosphéri-
mentaire avec des systèmes macroscopiques, mais c'est loin
ques.
d'être aussi évident à l'échelle du micromètre.
Les micro-écoulements gazeux sont en fait fortement
Aussi, le rôle de l'expérience apparaît prépondérant, et le influencés par la raréfaction du gaz dans la conduite. La
besoin de disposer de données fiables et précises n'est pas raréfaction est caractérisée par le nombre de Knudsen
actuellement satisfait, même pour les configurations de base
qui sont celles des écoulements monophasiques permanents
À.
en micro-conduites, que ces écoulements soient liquides ou Kn=- (1)
L
gazeux.
défini comme le rapport du libre parcours moyen des molé-
cules t.. à une longueur caractéristique L de l'écoulement
(par exemple la profondeur des canalisations). Pour des
1. INSAT, Département de Génie Mécanique, 135 avenue de Rangueil, nombres de Knudsen inférieurs à 10- 3 , les écoulements
31077 Toulouse cedex 4 gazeux sont correctement modélisés à l'aide des équations
[Link] i n@[Link] de Navier-Stokes accompagnées de conditions aux limites

LA HOUILLE BLANCHFJN° 5-2003

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 ANALYSE D'ÉCOULEMENTS LIQUIDES OU GAZEUX EN MICRO-CONDUITES:
DÉCOUPLAGE DES INCERTITUDES EXPÉRIMENTALES

d'adhérence aux parois (régime continu). Entre 10- 3 et 10- 1, vraisemblablement, les incertitudes expérimentales sont sou-
les équations de Navier-Stokes peuvent toujours être utili- vent à l'origine de ces apparentes contradictions.
sées, mais il faut prendre en compte des sauts de vitesse et
de température aux parois (régime de slip-f1ow ou écoule-
• 11.1 Des sources d'incertitudes nombreuses et variées
ment glissant). Ces sauts sont déterminés à partir d'un bilan
local de quantité de mouvement et d'énergie à la paroi. Sous Lors de la confrontation de mesures expérimentales de
leur forme la plus simple, élaborée par Maxwell et Smolu- micro-débits avec divers modèles prédictifs, les sources
chowski dès la fin du XI Xc siècle, ces bilans conduisent aux d'erreurs ou d'incertitudes peuvent globalement être répar-
conditions aux limites de glissement d'ordre 1, faisant appa- ties en trois classes:
raître que la vitesse et la température du gaz à la paroi sont • les incertitudes inhérentes aux propriétés du fluide (masse
proportionnelles à leurs gradients transversaux respectifs. volumique, viscosité, humidité pour les gaz ou quantité d'air
Ces conditions aux limites ont été qualitativement validées dissous pour les liquides,...) et à leur dépendance vis-à-vis
par des mesures de débits d'écoulements gazeux dans des des paramètres d'expérience (pression, température). Il faut
micro-conduites de sections rectangulaires gravées sur sili- aussi noter que certaines propriétés dépendent à la fois du
cium. Les rapports de forme des sections étaient suffisam- fluide et de la paroi: c'est le cas du coefficient d'accommo-
ment grands pour permettre l'utilisation d'un modèle d'écou- dation D qui joue un rôle prépondérant pour les écoulements
lement plan [6,7]. Toutefois, l'adéquation quantitative entre gazeux;
théorie d'écoulement glissant du premier ordre et expérience • les incertitudes relatives aux dimensions géométriques du
n'est pas à ce jour clairement établie, un calage portant sur micro-canal (dimension des sections, état de surface, ...) et à
différents paramètres, tels que le coefficient d'accommoda- leur dispersion;
tion D, étant utilisé. On constate en fait qu'un calage diffé- • les incertitudes liées à la mesure de débit (métrologie, fui-
rent pennet de faire coïncider l'expérience avec d'autres tes, conditions opératoires,...).
modèles, utilisant par exemple des conditions aux limites Un bilan global de ces incertitudes est généralement diffi-
d'ordre supérieur, plus élaborées. cile à mener. Il convient pour le moins d'identifier celles
dont le rôle est prépondérant.
Ainsi, la limite d'application des modèles de glissement
d'ordre 1 reste floue, et la question suivante demeure
ouverte: des modèles d'ordre supérieur proposés dans la lit- • Il.2 Principale source d'incertitude et découplage
térature [8,9] sont-ils plus précis pour des nombres de Knud-
sen élevés? Une avancée significative dans ce domaine passe Nous avons donné une liste assez complète de ces sources
à notre avis par une analyse détaillée des incertitudes expéri- d'incertitude, lors de la mesure de micro-débits par des tech-
mentales, et par une tentative de découplage de celles-ci. niques de suivi d'index dans des pipettes calibrées, dans [10]
pour les écoulements liquides et dans [II] pour les écoule-
ments gazeux. Si nous avons pu maîtriser la plupart de ces
incertitudes avec une précision suffisante, ça n'a pas été le
II • ÉCOULEMENTS LIQUIDES cas pour la détennination des dimensions des sections des
EN MICRO-CONDUITES micro-canaux, que ces sections soient trapézoïdales, rectan-
gulaires ou circulaires. En guise d'illustration, le tableau 1
Dans le cas des écoulements liquides, l'analyse théorique présente les mesures effectuées par deux techniques différen-
est nettement moins avancée et les mesures expérimentales tes sur des micro-canaux de sections triangulaire ou trapé-
proposées dans la littérature conduisent à des conclusions zoïdale, gravés dans le silicium et fermés par du pyrex.
très variables. Aussi, dans le cas d'un écoulement généré par Pour les mesures de largeur, les écarts sont compris entre
un gradient de pression, certains auteurs trouvent que la 4 et 9 %, et pour les mesures de profondeur entre 3 et 13 %.
théorie conventionnelle de Poiseuille surestime le débit, tan- Ces écarts relatifs sont considérables, bien que cohérents
dis que d'autres arrivent à la conclusion inverse. Là aussi, avec ce qui peut se trouver dans la littérature. Ils peuvent

Tableau 1. Mesure des cotes de sections des canaux, et son influence sur la détermination du diamètre hydraulique: au MEB
- en gras -, au profilomètre Tencor (pour la profondeur h) et au microscope optique (pour la largeur l) - entre parenthèses.

Désignation 1(f/m) h (f/m) DI/(f/m) Section

PI V 51,6 (55) 1,74 (1,85) 3,34 (3,55)

P3

P4AV

P4B
V

V
49(51,1)

24,3 (26,8)

15,25 (16,8)
10,7 (9,32)

5 (5,19)

5,3 (5,19)
16,25 (14,83)

7,72 (8,14)

6,77 (7)
er
0= 54,7 0

l'
il

,~""~
P5A \l 19,5 (20,8) - 10,09 (10,79)

P5B \l 9,9 (10,4) - 5,12 (5,38)

LA HOUILLE BLANCHEfN° 5-2003

Mécanique des fluides: microfluidique
être dus à des difficultés de focalisation du MEB, ou à des modèle classique du premier ordre, l'augmentation sensible
problèmes d'étalonnage du profilomètre. En tout état de étant de l'ordre de 13 % pour une conduite de section carrée
cause, de telles mesures apparaissent difficilement exploita- avec un nombre de Knudsen aval de 0,1 [9].
bles, le diamètre hydraulique intervenant à la puissance 4 Ce résultat intéressant mérite d'être confronté à l'expé-
dans le calcul du débit. Une confrontation théorie-expérience rience, d'autant qu'il existe d'autres types de conditions aux
précise nécessite donc de pouvoir s'affranchir de l'incerti- limites d'ordre supérieur, qui conduisent à prédire un débit
tude portant sur les dimensions des sections. non pas supérieur mais inférieur à celui prévu par un modèle
La technique proposée consiste simplement à faire une série du premier ordre.
d'essais sur un même échantillon (de dimensions fixées) en
faisant varier les conditions d'expérience (pression, tempéra-
• 111.2 Banc d'essais
ture, fluide). On peut alors comparer entre elles les différentes
mesures d'une même série: ces données expérimentales diffé- Un banc d'essais [13], spécifiquement conçu pour l'étude
rentielles ne sont que peu ou pas sensibles à l'incertitude sur des micro-écoulements gazeux, permet de mesurer des débits
les dimensions des sections et peuvent alors être confrontées compris entre 10- 7 et 5 10-l3 m 3 sol. Le principe de la mesure
aux prévisions de divers modèles d'écoulements. de débit est celui du suivi d'une goutte liquide dans une
Nous illustrons cette démarche sur deux exemples. pipette calibrée, à l'aide de capteurs optiques. Le débit mas-
sique de gaz traversant le microsystème est déduit d'une
double mesure simultanée des débits volumiques dans des
III. ÉCOULEMENTS GAZEUX DANS DES pipettes situées en amont et en aval de celui-ci (fig. 1). Les
MICRO-CONDUITES RECTANGULAIRES deux mesures sont indépendantes et leur comparaison permet
de valider l'essai. Les deux lignes de mesures sont isolées
du milieu extérieur et peuvent être amenées indépendam-
• I1U Objectif
ment à des pressions comprises entre 20 et 400 kPa. La con-
Le but est ici de discuter de la pertinence d'un modèle frontation des deux mesures permet également de mettre en
d'écoulement gazeux dans des micro-conduites. Le modèle évidence la présence de fuites pouvant exister au niveau des
que nous avons développé [9] fournit une solution semi ana- connexions du microsystème, fuites souvent non détectables
lytique des équations de Navier-Stokes compressibles, asso- par d'autres moyens.
ciées à des conditions aux limites du second ordre, dans une
micro-conduite cylindrique longue, de section rectangulaire • I1L3 Résultats expérimentaux
définie par xE [- b ; + b] et y E [- h ; + hl. Les conditions
aux limites utilisées, établies par Oeissler [12], proposent Les essais ont été réalisés avec des micro-canaux gravés
une expression de la vitesse longitudinale W à la paroi sous par ORlE (Oeep Reactive Ion Etching) dans une plaquette
la forme: de silicium, scellée anodiquement avec une plaque de Pyrex.
Les sections sont rectangulaires, et plusieurs micro-canaux
identiques sont disposés en parallèle afin d'obtenir un débit
suffisant pour être mesuré avec une bonne précision. Les
caractéristiques des échantillons testés sont données dans le
tableau 2. L'étude théorique précédente a montré que
l'emploi d'un modèle d'écoulement rectangulaire plutôt que
plan s'avérait nécessaire dès que les rapports de forme
dépassaient la valeur de 0,01, ce qui est le cas des différents
micro-canaux testés.
Les essais ont été effectués avec de l'air, de l'azote et de
(2) l'hélium. En faisant varier les conditions de pression amont
et aval, on peut couvrir avec un même échantillon une large
plage de Knudsen et changer de régime d'écoulement, les
différents régimes étant ici définis en fonction des incertitu-
Le deuxième terme des seconds membres introduit une cor-
des expérimentales sur la mesure de débit:
rection au glissement prévu par les conditions du premier ordre
de Maxwell. Le débit résultant peut s'exprimer sous la forme • peu raréfié: les différences entre les débits prévus par les
modèles NG (non glissant), GI (glissant avec CL d'ordre 1)
et G2 (glissant avec CL d'ordre 2) sont inférieures à l'incer-
q* -
_ -q- -_ 1+ 2 -a 2 K 11 -- 1 + 2 -a3 K 11 2 -ln
2--
TI (3) titude de mesure des débits;
q NG al
0
TI + 1 a, 0 TI - 1 • légèrement raréfié: la différence entre les débits prévus
par les modèles Giet G2 reste inférieure à l'incertitude
adimensionnée par le débit qNG correspondant à un régime
non glissant. Le nombre de Knudsen aval (en sortie de con- expérimentale, mais l'écart avec le modèle NG est supérieur
à cette incerti tude ;
duite) KilO est défini par rapport à la profondeur 2h du
micro-canal, et le rapport des pressions amont sur aval est • modérément raréfié: NG, Giet G2 prévoient des débits
noté TI. Les coefficients ai' qui dépendent du rapport de différents, avec des écarts supérieurs aux incertitudes expéri-
forme de la section, sont obtenus suite à la résolution numé- mentales.
rique d'équations transcendantes et d'un lissage polynomial; Les limites approximatives de ces régimes en fonction du
ils peuvent ensuite être tabulés. Le débit trouvé à l'aide de nombre de Knudsen de sortie, ainsi que les plages de Knud-
l'équation (3) apparaît supérieur au débit prédit par un sen couvertes par nos mesures sont résumées sur la figure 2.

LA HOUILLE BLANCHEIN° 5-2003

 ANAL YSE D'ÉCOULEMENTS LIQUIDES OU GAZEUX EN MICRO-CONDUITES:
DÉCOUPLAGE DES INCERTITUDES EXPÉRIMENTALES

Gaz haUlC
pression
Manomètre ====='1----+--1 T

Manomètre

Pompe Regulateur de
à vide vide
,
RI'

.,,
-----------------------------------------------------
Enceinte thcnniquc

Figure 1 : Schéma de principe du banc d'essais pour la mesure de micro-débits gazeux.

Tableau 2. Caractéristiques des micro-canaux testés.

Profondeur
N° Nombre 211 (Ilm) Largeur Longueur Rapport de
d'échantillon de canaux retenue pour 1 (Ilm) L (Ilm) =
forme a 211/l
mesurée
la simulation
1 1 4,48 4,48 51,6 5 000 0,087
2 45 1,84 1,88 21,2 5 000 0,087
3 380 1,15 1,16 21,0 5 000 0,055
4 575 0,541 0,545 50,0 5 000 0,011
1ncertitude - 0,1 - 0,3 la

Ainsi, pour l'échantillon l, les débits expérimentaux sont entrant dans le régime légèrement raréfié), et on peut analy-
confrontés aux débits théoriques des trois modèles, équiva- ser le niveau d'adéquation avec l'expérience, en s'étant
lents dans le régime peu raréfié. La valeur de la profondeur affranchi de la principale cause d'incertitude, l'imprécision
2h du micro-canal (paramètre le plus sensible) est alors calée pour la détermination de 217. La même technique est adoptée
pour faire coïncider théorie et expérience, ceci en accord pour les autres échantillons. Les valeurs des profondeurs
avec l'incertitude sur la mesure de cette profondeur. On aug- mesurées et retenues pour la simulation sont montrées sur le
mente ensuite le nombre de Knudsen, en jouant sur les pres- tableau 2.
sions et la nature du gaz; les courbes théoriques des modè- A titre d'illustration, la figure 3 montre les débits théori-
les GIet G2 s'écartent alors de celle du modèle NG (en ques et expérimentaux relatifs à l'échantillon 3, qui mettent
en évidence l'influence des conditions aux limites du
2e ordre, par le passage du régime légèrement raréfié au
régime modérément raréfié. Les points expérimentaux sont
4
Légérement raréfié 1
1
doubles, représentant la mesure à l'amont et à l'aval des
micro-canaux. Les incertitudes expérimentales sont représen-
Peu raréfié 3 tées par des barres verticales. Pour les faibles valeurs du
illustré figure 3
1 1 nombre de Knudsen, l'influence du coefficient d'accommo-
dation 0 apparaît faible. Lorsque le nombre de Knudsen aug-
2
Modérément raréfié mente, la meilleure corrélation théorie-expérience est obte-
1
nue pour 0 = 0,93, pour l'azote aussi bien que pour l'hélium.
1

1 Cette valeur a été retenue pour tous les essais; elle est en
1 1 accord avec ce qui est généralement cité dans la littérature.
0.001 0.01 0.1 On constate qu'avec l'augmentation de la raréfaction, les
Figure 2 : Plages de Knudsen aval couvertes par les points expérimentaux s'écartent du modèle G 1 pour suivre le
mesures expérimentales pour les 4 échantillons. modèle G2.

LA HOUILLE BLANCHEIN° 5-2003

Mécanique des fluides' microfluidique
2E-l',------------------------,

2.6E-12

[Link]·11

2.1E·12

l.2E-'1
~.6E"2
~ 1.1E-12
8E-12

6E-13

4E·12
lE-13 -I---+----t---+----t---+----t---+---<
1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6 1.7 1.8 1.9
n
0
1.1 1.2 1.3 ..•n 1.6 1.7 16 1.' c) gaz: He, 0,05 s Kn o s 0,09

a) gaz: N2, 0,016 s Kn os 0,03

3-5E·12 ~ ----- --- --- -

-, 1.8E-12

1.6E·12

1.4E-12

G2 (0 ~ 0,93)
1.2E·12

~
c,·OE-12

""[Link]·13
6.0E·13

4.0E-13

SOE.-ll ~-__+--__+_--+_-__+--__+_--+__-___< 1.3 1.4 1.5 1.6 1.7 1.8 1.9 2.0

" n
n
d) gaz: He, 0,1 s Kn o s 0,22

Figure 3 : Confrontation entre débits massiques théoriques et expérimentaux, en fonction du rapport de pressions n.
Profondeur mesurée 2h = 1,15 ± O,llJm, valeur retenue pour la simulation 2h = 1,16IJm.

L'ensemble des mesures effectuées avec les unidirectionnel et pleinement développé. L'équation de bilan
échantillons 2, 3 et 4 est résumé sur un graphe adimension- de quantité de mouvement se ramène alors à l'équation de
nel (fig. 4). Il met en évidence qu'à partir de Kn o = 0,05. le Poisson:
modèle classique G 1 devient imprécis, et que le modèle basé
sur des conditions aux limites du second ordre de Deissler
est précis jusque Kn o= 0,22 environ. Ceci confirme l'intérêt (4)
de ce modèle, qui permet de conserver une formulation
semi-analytique dans une plage de Knudsen plus large, en
repoussant au-delà de Kn o =0,25 le régime généralement et le produit du facteur de frottement f par le nombre de
qualifié de régime de transition, qui nécessite une modélisa- Reynolds moyen Re
tion moléculaire statistique lourde à mettre en œuvre.

Po =f Re =[:~2 J(PWIJD fI
J (5)
IV. ÉCOULEMENTS LIQUIDES
DANS DES MICRO-CONDUITES est appelé nombre de Poiseuille. La vitesse débitante est
TRAPÉZOÏDALES notée W et i p représente la moyenne de la contrainte de
cisaillement à la paroi. Le nombre de Poiseuille peut se met-
• IV.I Objectif tre sous la forme:

L'objectif est ici de tester la validité de la loi de Poi- 2

Po =ADflM (6)
seuille, lorsque les dimensions transversales des sections exp 2IJQL'
diminuent fortement. L'écoulement de liquide considéré est
permanent, généré par une différence de pression I1P aux et être obtenu expérimentalement à partir de la mesure des
bornes d'une conduite de grande longueur L selon ~, dimensions de la section A, DfI' L, de la viscosité dynamique
d'aire A et de diamètre hydraulique Dw Selon la théorie de f.l du liquide, de la différence de pression I1P et du débit
Poiseuille, l'écoulement est supposé laminaire, isotherme, volumique Q.

LA HOUILLE BLANCHE/N° 5-2003

 ANAL YSE D'ÉCOULEMENTS LIQUIDES OU GAZEUX EN MICRO-CONDUITES:
DÉCOUPLAGE DES INCERTITUDES EXPÉRIMENTALES

1.0
• IV.3 Résultats expérimentaux
0.9
Les échantillons présentés dans le tableau 1 ont été testés.
0.8
lis sont gravés dans le silicium par attaque chimique (KOH).
0.7
Leurs sections sont alors triangulaires ou trapézoïdales, et
0.6
<:l- ordre 1. a"" 0.93 leurs dimensions ont été au préalable mesurées par un profi-
0.5
"'z
<:l- O., 1. (/:0(('
lomètre (pour la profondeur des canalisations) et un micros-
, 2, hélium cope optique (pour la largeur et la longueur). En faisant
0.3 J. a:O/e
J, hélium
4, (/:011'
varier ÔP, on peut accéder à une série de valeurs de Po*, en
0.2 oron! Z, a = 0,93
4. hëlium
fonction du nombre de Reynolds Re (fig. 6).
0.1
On constate que ces valeurs peuvent être supeneures ou
0.0
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 inférieures à l'unité. La forte dépendance de Po* à la préci-
Knudscn aval sion de la mesure des dimensions des sections est mise en
évidence, lorsqu'on trace les mêmes points, à partir des
Figure 4. Regroupement des résultats relatifs aux
mesures de dimensions effectuées à l'aide d'un microscope à
échantillons 2, 3 et 4.
balayage électronique (MEB) après clivage des micro-
canaux. Les valeurs de Po* peuvent alors augmenter ou
D'autre part, une résolution directe de l'équation de Pois- diminuer (fig. 6). Il apparaît donc clairement que ces mesu-
son (4), associée à des conditions aux limites de non-glisse- res brutes ne sont pas directement exploitables. En revanche,
ment à la paroi, permet d'obtenir le profil de vitesse, dont on voit nettement une tendance qui concerne le gradient de
l'intégration sur la section conduit au nombre de Poiseuille Po* en fonction de Re (fig. 7), dont la valeur absolue aug-
théorique PO/héo ' qui ne dépend que de la forme de la sec- mente lorsque Re diminue.
tion. On s'intéresse alors au nombre de Poiseuille réduit: Aussi, en ne prenant en compte que ce gradient pour cha-
que échantillon pris individuellement, sans s'intéresser à la
exp PO valeur absolue de Po* (qui elle dépend de la mesure de la sec-
Po*=--- (7) tion) on accède à une évaluation de 8Po*/aRe en fonction de
PO/Mo
RemOY' valeur moyenne des nombres de Reynolds des mesures
rapport du nombre de Poiseuille expérimental sur le nombre relatives à chaque échantillon (fig. 8). Le lissage obtenu:
de Poiseuille théorique. Une valeur de Po* différente de
l'unité montre une déviation vis-à-vis de la théorie de Poi- dPo* -3/2
- ....- - = -0,0036Re moy (8)
seuille, révélatrice de la non validité d'une des hypothèses aRe
simplificatrices émises plus haut.
s'intègre en :
• IV.2 Banc d'essais
Po*-
--0,0072
--+ 1 (9)
Ce banc d'essais fonctionne sur le même principe que le J&
précédent, le débit volumique étant mesuré par suivi automa-
tisé de bulles d'air injectées dans des pipettes calibrées Il apparaît ainsi que le modèle classique surestime le débit
(fig. 5). Tous les détails relatifs à ce banc et à sa mise au lorsque le nombre de Reynolds diminue, ce qui est le cas
point sont présentés dans [10]. Le fluide utilisé pour les tests lorsque les dimensions de la section diminuent. Toutefois,
présentés ci-dessous est de l'iso-propanol. ceci est semble-t-il fortement lié à l'état et à la nature de la

IJseringue

Vacuomètre
N Pipette calibrée Filtre
Capteur de
température

Régulateur J
de pression

Bouteille de ~
gaz comprimé :----- - -ze.;---
~X~
1 Vanne
~by·pass"

,F\ A
: : M
.'--
:, N2 1:
,
1 ~systéme

Régulateur
de vide Capteur de
pression

Accumulateur
hydro-pneumatique

Figure 5. Schéma de principe du banc d'essais pour la mesure de micro-débits liquides.

LA HOUILLE BLANCHEIN° 5-2003

Mécanique des fluides' microfluidique
,.. firmer ces premiers résultats et analyser l'influence de nom-

1.3 "
.- - .. P3
breux paramètres, tels que la nature du fluide et de la paroi
(matériau, rugosité, traitement,... ).
Pl"'·-
'2
---..." x-- _x_ _ _ ~

P5A
'.1
"--
P5B-
REMERCIEMENTS
Re
"- ~

~,
~ [Link]-~l Nous remercions Henri Camon, Monique Dilhan et
P4B Josiane Tasselli du LAAS-CNRS, grâce à qui les différents
0.9
---~- ---.. TENCOR. Microscooe échantillons de micro-canaux gravés sur silicium ont pu être
08
....lœ- réalisés.

Figure 6. Nombre de Poiseuille réduit en fonction du

nombre de Reynolds, selon l'outil utilisé pour mesurer les
dimensions des sections. BIBLIOGRAPHIE

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Pour les deux exemples présentés ci-dessus, des campa- de gaz dans les microsystèmes. Mécanique et Industries, 2(4),
gnes de mesures supplémentaires sont nécessaires pour con- 355-362.

LA HOUILLE BLÀNCHEIN° 5·1003