Gaz à très basse pression

Généralités
par Guy ROMMEL
Ingénieur de l’École Supérieure d’Électricité
Ingénieur au Commissariat à l’Énergie Atomique,
Grand Accélérateur National à Ions Lourds (GANIL)

1. Grandeurs et unités................................................................................. B 4 020 - 2

1.1 Domaines de pression................................................................................. — 2
1.2 Définitions. Unités ....................................................................................... — 2
2. Théorie cinétique des gaz...................................................................... — 3
2.1 Pression ........................................................................................................ — 3
2.2 Densité moléculaire..................................................................................... — 3
2.3 Vitesses moléculaires.................................................................................. — 3
2.4 Chocs sur les parois, temps de séjour ....................................................... — 4
2.5 Libre parcours moyen ................................................................................. — 4
2.6 Coefficient d’accommodation..................................................................... — 5
3. Phénomènes de surface ......................................................................... — 5
3.1 Changement d’état physique...................................................................... — 5
3.2 Perméation ................................................................................................... — 6
3.3 Sorption........................................................................................................ — 8
3.4 Désorption, dégazage.................................................................................. — 10
4. Transmission de la chaleur.................................................................... — 11
4.1 Conduction par le gaz résiduel ................................................................... — 11
4.2 Rayonnement............................................................................................... — 12
4.3 Conduction par le support .......................................................................... — 12
5. Réactions chimiques ............................................................................... — 12
5.1 Dissociation des oxydes.............................................................................. — 13
5.2 Réduction des oxydes par l’hydrogène ..................................................... — 13
6. Écoulement des gaz ................................................................................ — 14
6.1 Généralités ................................................................................................... — 14
6.2 Limite des régimes ...................................................................................... — 14
6.3 Notion de conductance ............................................................................... — 14
6.4 Régime laminaire......................................................................................... — 15
6.5 Régime moléculaire..................................................................................... — 16
6.6 Débit effectif d’une pompe sur une enceinte ............................................ — 18
Pour en savoir plus........................................................................................... Doc. B 4 020

e vide présente parfois des aspects surprenants et a des applications dans

L
11 - 1984

des secteurs très différents.

Dans cet article, nous traiterons d’abord la théorie cinétique des gaz ce qui
nous permettra de définir les bases du vide. Nous nous intéresserons ensuite
aux phénomènes de surface qui sont d’une très grande importance dans le
domaine du vide moyen. L’écoulement des gaz sera étudié ; il faut, en effet,
pouvoir calculer les installations de pompage. L’utilisation des pompes cryosta-
B 4 020

tiques exige une bonne isolation thermique, aussi des notions de transmission
de chaleur sous vide seront-elles données. Enfin, nous dirons quelques mots
des réactions chimiques sous vide, l’élaboration des métaux utilisant de plus
en plus le vide pour favoriser la désoxydation et la déshydrogénation.

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1. Grandeurs et unités Le débit-masse est le quotient de la masse de gaz, qui traverse

une section S pendant un intervalle de temps donné, par ce temps :
qm = m /t (kg/s) (2)
1.1 Domaines de pression
Le débit-volume est le quotient du volume de gaz, de température
L’usage est de distinguer différents domaines ou degrés de vide et pression définies, qui traverse une section S pendant un intervalle
en fonction de certains intervalles de pression. Leurs limites doivent de temps donné, par ce temps :
être considérées comme approximatives :
qv = V /t (m3 / s) (3)
de 105 Pa à 102 Pa : domaine du vide grossier ;
102 Pa à 10–1 Pa : domaine du vide moyen ; La quantité énergétique d’un gaz est, pour un gaz parfait à
10–1 Pa à 10–5 Pa : domaine du vide poussé ; l’équilibre, le produit du volume qu’il occupe par sa pression (en
inférieur à 10–5 Pa : domaine de l’ultravide. principe à 20 oC) :
Le vide grossier est le domaine des pompes mécaniques, c’est le G = pV (Pa · m3) (4)
vide des frigoristes, des dispositifs de dessèchement, de la métal-
c’est aussi la quantité d’énergie potentielle que recèle une certaine
lurgie sous vide. Il n’y a pas d’influence des parois.
masse de gaz.
Dans le vide moyen, les parois peuvent intervenir. À 10–1 Pa, le
Le flux gazeux est le quotient de la quantité énergétique d’un gaz
libre parcours moyen pour l’air à 20 oC est de 6,7 cm. La viscosité,
qui s’écoule à travers une section, pendant un intervalle de temps
la conductivité thermique varient.
donné, par ce temps :
Le vide poussé correspond au domaine des pompes à diffusion. qG = G /t (Pa · m3 /s) (5)
Les parois interviennent, les phénomènes de désorption deviennent
prépondérants. L’écoulement du gaz est en régime moléculaire. ou, d’après les relations (3) et (4) :
L’ultravide est le début de l’absence de matière. On cherche à
qG = p V /t (Pa · m3 /s)
obtenir moins de 106 particules par centimètre cube. Le temps de
formation d’une monocouche est suffisamment grand pour soit qG = p qv (Pa · m3 /s) (6)
conserver des surfaces propres.
C’est aussi le quotient du débit-masse du gaz par sa masse volu-
mique unitaire :
qG = qm / ρu (Pa · m3 /s) (7)
1.2 Définitions. Unités
ou, d’après la relation (1) :

L’unité légale de pression est le pascal (d’après NF X 10-500). Le qG = qm p / ρ (Pa · m3 /s)

torr est encore couramment utilisé (1 Torr = 133,322 Pa).
Le taux surfacique de désorption ou de dégazage est le quotient
Les conditions normales ambiantes sont : du flux gazeux désorbé (dégazé) à un instant donné par un corps
— température 20 oC ; condensé, par l’aire de la surface du corps condensé :
— humidité relative 65 % ;
— pression atmosphérique 1,013 25 × 105 Pa = 1 013,25 mbar. qG
q GU = --------- ( Pa ⋅ m ⁄ s ) (8)
La masse volumique unitaire est le quotient de la masse volu- S
mique d’un gaz par sa pression :
Le tableau 1 donne les différentes unités utilisées. (0)
ρu = ρ /p (kg / m3 · Pa) (1)

Tableau 1 – Unités
Grandeurs Unités légales Unités pratiques Équivalences (1)
Pression.......................................... Pa Torr 1 Torr = 133 Pa = 1,33 mbar
Flux gazeux (2)............................... Pa · m3 /s Torr · L/s 1 Torr · L/s = 0,133 Pa · m3 /s
Débit-volume ................................. m3 /s L/s 1 L/s = 10–3 m3 /s
Taux de désorption ....................... Pa · m/s Torr · L/s · cm2 1 Torr · L/s · cm2 = 1 330 Pa · m/s
(1) Rappel : 1 bar = 105 Pa ; 1 mbar = 102 Pa = 0,75 Torr.
(2) On exprime quelquefois le flux gazeux en lusec (1 lusec = 10 –3 Torr · L/s = 1,33 × 10 – 4 Pa · m3 /s) ou en cm3 · atm/s (1 cm3 · atm/s = 0,760 Torr · L/s
= 0,101 Pa · m3 /s).

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en molécules / cm3,
2. Théorie cinétique des gaz avec n
p (Pa) pression.
Le tableau 2 donne quelques valeurs de densité moléculaire. On
Nota : se reporter à l’article Mesure du vide [R 2 050] dans le traité Mesures et Contrôle. peut voir qu’il faut atteindre des pressions extrêmement basses
La théorie cinétique des gaz est fondée sur deux hypothèses : pour avoir moins d’un million de molécules par centimètre cube.
— les gaz sont composés de molécules dont les caractéristiques (0)
ne dépendent que de leur nature chimique ;
— ces molécules sont en état d’agitation permanente et celle-ci Tableau 2 – Caractéristiques pour les gaz
ne dépend que de la température. maxwelliens (1) à 20 oC
Temps de
Libre formation
2.1 Pression Densité
Pression parcours d’une
moléculaire
moyen (2) mono-
couche (2)
La force de pression résulte des chocs des molécules contre la (Pa) (Torr) (molécules/cm3) (m) (s)
paroi. Si celle-ci et le gaz sont à la même température, il n’y a pas
d’échange d’énergie. Les chocs sont élastiques. 1,013 × 105 760 2,5 × 1019 6,3 × 10–8 2,4 × 10–9
La force de pression p (en Pa) est égale à la variation de la quantité 1,33 × 102 1 3,3 × 1016 4,8 × 10–5 1,8 × 10–6
de mouvement : 1 7,5 × 10–3 2,47 × 1014 6,41 × 10–3 2,4 × 10–4
1 × 10–4 7,5 × 10–7 2,47 × 1010 6,4 × 101 2,4
p = 2mv ν 1 × 10–7 7,5 × 10–10 2,47 × 107 6,4 × 104 2,4 × 103
avec m (kg) masse de la molécule, 1 × 10–10 7,5 × 10–13 2,47 × 104 6,4 × 107 2,4 × 106
1 × 10–13 7,5 × 10–16 2,47 × 101 6,4 × 1010 2,4 × 109
v (m/s) vitesse de la molécule,
(1) Gaz maxwellien : gaz pur en équilibre thermique, de densité moléculaire
ν (s–1 · m–2) nombre de chocs par seconde et par unité de constante, avec une distribution isotrope des vitesses.
surface. (2) Ces valeurs concernent uniquement l’azote.
Toutes les directions de vitesse sont également probables.
Aussi, sur une des six surfaces du cube de l’unité de volume,
a-t-on :
v
2.3 Vitesses moléculaires
ν = n -----
6
Dans un gaz en équilibre, les molécules n’ont pas toutes la même
d’où p = 1/3 n mv 2 (9)
vitesse. La loi de distribution des vitesses a été établie par Maxwell
L’énergie cinétique totale des molécules dans notre volume unité et Boltzmann suivant deux méthodes différentes. Une formule
1 établie par Maxwell donne la proportion de molécules dont la vitesse
est ----- n mv 2 . Elle ne dépend que de la température. On a les est comprise entre v et v + dv :
2
expressions p = nkT (10) mv 2

4 m 3/2

dn
et p = n RT /NA (11)
--------- = ---------- ------------
n π 2kT  2kT 
v 2 exp – -------------- dv

avec NA = 6,022 × 1023 mol–1

constante d’Avogadro, La courbe donnée sur la figure 1 donne une idée de la répartition
R = 8,314 J/K · mol constante molaire des gaz parfaits, des vitesses. La probabilité pour qu’une vitesse soit nulle ou infinie
est nulle. La fonction passe par un seul maximum qui représente
T (K) température absolue ou thermodynamique,
la vitesse la plus probable vp des molécules. Les molécules dont la
k = 1,381 × 10–23 J/K constante de Boltzmann, vitesse s’écarte beaucoup de cette vitesse sont rares (inférieures à
m (kg) masse de la molécule, 1/1 000 pour v < 0,1 vp et v > 3 vp ).
n (m–3) nombre de molécules par unité de volume, De cette loi, on déduit :
v (m/s) vitesse de la molécule. — la vitesse la plus probable vp = (2 RT / M )1/ 2 (13)
Quelle que soit la nature du gaz, la pression ne dépend que de — la vitesse moyenne vm = (8 RT / πM )1/ 2 (14)
la température et du nombre de molécules. Augmenter, à volume
constant, la pression d’un gaz en lui fournissant de la chaleur revient — la vitesse quadratique moyenne vq = (3 RT / M )1/ 2 (15)
à augmenter l’énergie cinétique des molécules.
avec R (J/K · mol) constante molaire des gaz parfaits,
T (K) température thermodynamique,
M (kg/mol) masse molaire,
2.2 Densité moléculaire
v (m/s) vitesse.
Les vitesses moléculaires sont de l’ordre de grandeur de la vitesse
La densité moléculaire n, ou nombre de molécules par unité de du son c (tableau 3).
volume, est proportionnelle à la pression et à l’inverse de la tempé-
rature T :
p
n = 7,244 × 10 16 ----- (12)
T

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Figure 2 – Indicatrice de réémission

Figure 1 – Loi de répartition des vitesses Exemple : application au cas de l’azote à 20 oC.
On a T = 20 oC = 293 K
(0) n = 7,244 × 1022 (p /T ) molécules / m3 [relation (12)]
Tableau 3 – Vitesses moléculaires vm = 470 m / s (tableau 3)
de quelques gaz à 20 oC
σ = 3,77 × 10–10 m
vm vq 4 2,4 × 10 – 4
Gaz
M c d’où τ = --------------------2- = ----------------------------
(kg/mol) (m /s) (m /s) (m /s) nvm σ p

H2 2,016 × 10–3 1 754 1 904 1 315 à 10– 4 Pa, τ = 2,4 s.

N2 28,02 × 10–3 470 511 394
O2 32 × 10–3 440 478 328 Soit une surface vierge soumise à un flux constant de molécules
et supposons que toutes les particules incidentes restent collées ;
une monocouche sera formée en un temps égal au temps de séjour.
Cette notion de temps de séjour ou temps de formation d’une mono-
2.4 Chocs sur les parois, temps de séjour couche montre bien la nécessité d’obtenir des pressions très basses
si l’on désire conserver des surfaces vierges. À 10– 4 Pa (pression
communément obtenue par des pompes à diffusion), il suffit de 2,4 s
En tenant compte de la loi de répartition des vitesses, le nombre pour faire une monocouche, c’est-à-dire polluer une surface vierge
de molécules, ou taux d’incidence, venant frapper une paroi est (tableau 2).
donné par :
ν = 1/4 (n vm ) (16)
2.5 Libre parcours moyen
L’expérience montre que, dans les gaz raréfiés, les molécules qui
ont heurté une paroi repartent de celle-ci dans des directions qui
n’ont aucune relation avec l’angle d’incidence. L’hypothèse formulée Les molécules sont en état d’agitation permanente, en mouvement
par Knudsen est que la molécule reste collée un court instant, elle désordonné et leurs trajectoires sont des droites entre deux chocs
se condense puis se réévapore. L’indicatrice de réémission suit une successifs. Ce trajet en ligne droite est le libre parcours. Il est lié à
loi analogue à la loi de Lambert. Si x 0 est le nombre de molécules la densité moléculaire et aux dimensions moléculaires. En effet, la
émises suivant la normale, le nombre de molécules émises suivant molécule balaye entre deux chocs un volume proportionnel à sa
l’angle α est donné par x = x 0 cos α (figure 2). vitesse et à sa surface apparente donc au carré de son diamètre.
On admet que le temps de séjour des molécules est tel qu’il La fréquence des chocs est liée à ce volume et à la densité molé-
puisse se former une couche monomoléculaire complète sur la culaire.
surface. Pour obtenir cette couche, il faut donc que les molécules Connaissant la loi de répartition des vitesses, on peut calculer le
restent collées pendant le temps de séjour τ : libre parcours moyen  m (en mètres) qui est défini par la moyenne
arithmétique des distances parcourues pendant un temps donné,
ν
τ = ------s- (17) entre deux chocs consécutifs, par une même molécule :
ν
1
avec νs nombre de molécules nécessaires à la formation d’une m = -------------------------- (18)
π 2 σ 2n
monocouche. En supposant les molécules alignées les
unes à côté des autres, on a νs = 1 / σ 2, σ étant le diamètre ou, d’après la relation (10) :
des molécules.
En fonction de σ et d’après la relation (16) : 1 kT
 m = ---------------------- -------- (19)
π 2 σ2 p
4
τ = --------------------- Le libre parcours moyen est proportionnel à la température ther-
nv m σ 2
modynamique et inversement proportionnel à la pression et au carré
et avec la relation (14) : du diamètre des molécules. Les valeurs pour l’azote sont données
dans le tableau 2.
2π M 1/2

τ = -------------- ---------
n σ 2 RT  À une température donnée :
λ
 m = ----- (20)
p
avec λ (m · Pa) constante dépendant du gaz.

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Le tableau 4 donne les valeurs de λ et σ pour quelques gaz usuels.

3. Phénomènes de surface
Exemple : le libre parcours moyen pour l’azote à 20 oC et à 10 – 4 Pa
est :
Nous avons défini au paragraphe 2.5 le libre parcours moyen et
6,41 × 10 –3 nous pouvons remarquer que, pour tous les gaz dans le domaine
 m = ----------------------------- = 64 m
10 – 4 du vide poussé, celui-ci a une valeur supérieure aux dimensions des
On retrouve bien cette valeur dans le tableau 2. récipients ( m = 64 m pour l’azote à 20 oC et 10– 4 Pa). Les phéno-
mènes de surface deviennent donc prépondérants et les gaz situés
(0) sur la surface vont jouer un certain rôle (§ 3.4).
Tableau 4 – Caractéristiques De plus, certains phénomènes présentent sous vide un compor-
de quelques gaz à 20 oC tement apparemment différent de celui à pression atmosphérique.
Ainsi, supposons de l’eau dans une enceinte sous vide ; l’eau se
vm vq 103   vaporise sous vide en prenant de la chaleur à la masse restante qui
Gaz se transforme alors en glace.
(m / s) (m / s) (m · Pa) (10–10 m)
Air 459 498 6,7 3,75
N2 470 511 6,41 3,77 3.1 Changement d’état physique
O2 440 478 7,1 3,75
CO 467 506 6,5 3,61
3.1.1 Pression de vapeur saturante
CO2 373 367 4,4 4,59
H2 1 754 1 904 12,2 2,74 Les phénomènes de vaporisation et de condensation sont carac-
Ar 391 425 6,9 3,66 térisés par la pression de vapeur saturante. Cette pression p *, ou
He 1 234 1 339 19,2 2,18 tension de vapeur du corps, est liée à la température par la relation :
Hg 176 191 3,5 5,10
In p * = A – (B / T )

Cette notion est très importante. Elle conduit à la définition du vide avec A, B constantes fonction du gaz.
poussé, c’est-à-dire un état dans lequel le libre parcours moyen La figure 3 donne la variation de la tension de vapeur de différents
devient supérieur aux distances entre les parois du récipient. Il n’y corps en fonction de la température.
a plus de chocs entre les molécules, seulement entre les molécules Des valeurs pour différents corps sont données dans l’article
et les parois. Formules et tables [B 4 110] en fin de cette rubrique.
Chaque molécule se comporte comme si elle était seule dans le Tout corps présent dans un volume fermé possède une tension
récipient. Toutes les propriétés du gaz liées au libre parcours moyen de vapeur, que l’on ne peut faire varier qu’en jouant sur la tempé-
(diffusion, viscosité, conductivité thermique) sont profondément rature. Pour obtenir une basse pression, on a donc intérêt à ne placer
modifiées. De plus, les phénomènes d’interaction avec les parois sous vide que des corps non volatils, c’est-à-dire ayant une faible
deviennent prépondérants. tension de vapeur. Ainsi, certains corps placés sous vide peuvent
Ainsi, tant que le libre parcours moyen est très petit vis-à-vis des se sublimer.
dimensions du récipient, la conductivité thermique du gaz est indé-
Exemple : le zinc à 208 oC (481 K) a une tension de vapeur de
pendante de la pression. Quand il devient supérieur aux distances
10–3 Pa. C’est pourquoi il n’est pas recommandé d’utiliser des alliages
entre les parois, la conductivité est proportionnelle à la pression.
contenant du zinc (laiton) sous vide poussé.
De même, la viscosité est indépendante de la pression tant que Certains corps comme le Nylon se fragilisent par perte d’une partie
le libre parcours est nettement inférieur aux dimensions du récipient. de ses constituants.
Quand il devient supérieur, la notion de viscosité disparaît.
Si la pression d’un constituant dans une enceinte est supérieure
à sa tension de vapeur à la température de la paroi la plus froide,
il y a condensation. Ce phénomène est exploité dans les pompes
2.6 Coefficient d’accommodation cryostatiques où, par abaissement de la température d’une paroi,
on vient condenser du gaz.
Dans le domaine du vide poussé et de l’ultravide, c’est-à-dire aux Enfin, rappelons que toute variation d’un paramètre régissant
très basses pressions, les échanges de chaleur se font au moyen l’état d’équilibre d’un système produit un déplacement de l’équilibre
de chocs des molécules contre les parois. On admet que dans le sens de la compensation de la réaction. Cela est appliquée
lorsqu’une molécule, à une température Ti , frappe une surface à à la métallurgie sous vide pour favoriser la désoxydation et l’élimi-
une température Ts , elle y reste collée un certain temps (temps de nation de l’hydrogène (§ 5).
séjour, § 2.4). Il y a alors échange d’énergie et la molécule est réé-
mise à une température Tr intermédiaire. Le coefficient d’accom-
modation est le rapport de l’énergie moyenne réellement échangée 3.1.2 Chaleur de changement d’état
à l’énergie qui serait échangée si les particules réémises attei-
gnaient un équilibre thermique parfait avec la paroi : Tous ces phénomènes évoqués sont soit endothermiques (fusion,
vaporisation, sublimation), soit exothermiques (liquéfaction, solidi-
Tr – T i fication, condensation). Pour vaporiser un corps, il faut lui fournir
a = -----------------
- de l’énergie : c’est la chaleur latente de vaporisation.
T s – Ti
L’existence de cette chaleur latente de vaporisation a des consé-
a dépend de l’état de surface de la paroi et de la nature du gaz. quences importantes. C’est ainsi que si vous avez une petite fuite
Dans les cas usuels, a est compris entre 0,4 et 0,85. d’eau sous vide, une partie de cette eau se vaporise en empruntant
de l’énergie sous forme de chaleur à l’autre partie qui, ainsi, va se
Exemple : pour l’hydrogène, on a :
refroidir jusqu’à la congélation. À ce moment, votre fuite s’arrête et
avec une paroi en platine poli a = 0,358 se rouvrira quelques instants après quand le bouchon de glace aura
platine noirci légèrement a = 0,556 disparu soit par sublimation, soit par fusion.
platine noirci fortement a = 0,712.

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Les gaz peuvent traverser les corps solides suivant deux processus
très différents : la transporisation (§ 3.2.1) et la perméation propre-
ment dite (§ 3.2.2).

La perméance est le quotient du flux gazeux à travers la

paroi par une quantité fonction des pressions qui existent de
chaque côté de la paroi. Le coefficient de perméance est le
produit de la perméance par un terme égal au quotient de
l’épaisseur de la paroi par la surface de celle-ci (NF X 10-500).

Le flux gazeux peut donc être exprimé, quel que soit le proces-
sus, par :
S
q G = P ----- [ f ( p 1 ) – f ( p 2 ) ] (21)
e
avec P coefficient de perméance,
S (m2) surface de la paroi,
Figure 3 – Tension de vapeur pour différents corps
e (m) épaisseur de la paroi,
p 1 et p 2 (Pa) pressions régnant de part et d’autre de la paroi.
3.1.3 Évaporation La fonction f dépend du régime de perméation.

Si un corps à l’état condensé est en équilibre avec sa vapeur, il

n’y a pas d’échange d’énergie. Grossièrement, on peut dire qu’il ne 3.2.1 Transporisation
se passe rien. Pourtant, des molécules s’évaporent et pour que le
bilan soit nul, un même nombre de molécules se condensent. Si on La transporisation ou diffusion capillaire est le passage du gaz à
évacue les molécules condensées tout en maintenant la température, travers un solide poreux ou présentant des défauts d’homogénéité,
nous faisons une évaporation dont le débit-masse a été donné par se matérialisant par des canaux capillaires qui mettent en commu-
Langmuir : nication les deux espaces séparés par le corps solide et soumis à
un gradient de pression.
 
M 1/2
q M = p * ( 1 – r ) ------------------- Le flux gazeux est régi par les lois générales de l’écoulement des
2 πRT
fluides (§ 6).
r est la fraction de molécules frappant la surface froide qui ne se En régime laminaire, on a :
condensent pas, ce qui peut se produire si la surface de la phase
S 2 2
condensée est souillée. Dans le cas d’une surface liquide propre et q G = P ----- ( p 1 – p 2 )
de même nature (r = 0), toutes les molécules se condensent. e
Si le taux d’évaporation peut être diminué dans de fortes propor- P est inversement proportionnel à la viscosité du gaz. Comme celle-ci
tions (taux pouvant diminuer de plus d’un facteur 100) lorsque la croît avec la température, le flux décroît quand la température s’élève
surface est polluée ou oxydée, la tension superficielle peut accélérer suivant sa racine carrée.
au contraire le processus. En régime moléculaire, on a :
Prenons des gouttelettes d’eau ou de mercure. Lors de l’évapo-
S
ration, le diamètre de la gouttelette diminue ; il y a donc fourniture q G = P ----- ( p 1 – p 2 )
d’énergie par les forces de tension superficielle. e
L’énergie nécessaire à l’évaporation sera donc empruntée à Le flux est inversement proportionnel à la racine carrée de la
l’extérieur (la paroi) et à la diminution de l’énergie de tension super- masse moléculaire du gaz et proportionnel à la racine carrée de la
ficielle. La pression de vapeur correspondante peut être 10 fois température. Le régime moléculaire est le cas des canaux très
supérieure dans le cas de l’eau et 1 000 fois dans le cas du mercure. petits.
Il s’ensuit que les gouttelettes de très petit diamètre s’évaporent
Ce phénomène de transporisation, qui est utilisé pour la séparation
spontanément. Ainsi, le réchauffage d’un piège sous vide peut
isotopique de l’uranium, est aussi la source de fuites dans le cas
entraîner une contamination de l’enceinte par vaporisation de petites
d’utilisation de parois présentant des défauts de porosité (cf article
gouttelettes.
Contrôle de l’étanchéité [R 2 055] dans le traité Mesures et Contrôle).
Application : nous pouvons citer les pompes cryostatiques, la distil-
lation moléculaire, la lyophilisation, les dépôts par évaporation sous vide.
3.2.2 Diffusion et perméation

3.2 Perméation Le transport de gaz à travers la paroi se passe suivant les phéno-
mènes suivants : le gaz est d’abord adsorbé à la surface de la paroi
où la pression est la plus élevée et où il peut se dissocier. Il se dissout
La perméation est le passage des gaz à travers une paroi. En effet, à la surface externe du solide puis diffuse à l’intérieur, suivant le
les corps solides ne sont pas des obstacles aux gaz même s’ils ne gradient de la concentration jusqu’à la surface interne où il désorbe
présentent pas d’ouvertures susceptibles d’assurer un flux régulier. sous vide. Il s’agit donc d’un phénomène très complexe faisant inter-
venir la sorption (§ 3.3) et la diffusion.

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___________________________________________________________________________________________________________ GAZ À TRÈS BASSE PRESSION

Généralement, le gaz se dissout dans le solide à une certaine

concentration C telle que :
C = b p1/ j
avec C (en Pa · m3 /m3 ou atm · cm3 /cm3) concentration : quan-
tité de gaz dissous à 293 K dans l’unité de volume ;
b (en m3 /m3 ou cm3 /cm3) solubilité : quantité de gaz dans
les conditions normales ambiantes (293 K et 1 atm) dis-
sous dans l’unité de volume (m3 ou cm3) à la pression
atmosphérique ;
j constante de dissociation telle que :
j = 1 pour tous les gaz et les solides non métalliques,
j = 2 pour les gaz di-atomiques dans un métal.
En régime constant, le flux de diffusion est donné par la première
loi de Fick (cf. article Phénomènes de transport [A 247] dans le traité
Sciences fondamentales) :
∂C
q G = – D 1 -------- par unité de surface
∂x

avec D 1 (cm2 / s) coefficient de diffusion.

Si D 1 est indépendant de la concentration C, on a :
1/j 1/j
p1 – p 2
q G = D 1 b ----------------------------
e
par unité de surface.
On obtient le coefficient de perméance P = D 1 b. La figure 4 donne
quelques valeurs de ce coefficient.
Le coefficient de diffusion peut être mesuré par le temps τ (s)
mis pour atteindre le régime permanent. On a en effet :

D 1 = e 2 /6 τ
avec e (cm) épaisseur.

le coefficient de diffusion varie avec la température tel que :

–H
D 1 = D 0 exp  ------------- 
j RT
avec D 0 (cm2 /s) constante pour un gaz donné,
H (J/mol) énergie d’activation de l’absorption,
R (J/mol · K) constante des gaz parfaits.

Dans la plupart des cas, l’équilibre de la diffusion est atteint après

plusieurs heures ou pas du tout. La concentration varie avec le temps
et la diffusion suit la deuxième loi de Fick :

∂ 2C ∂C
D 1 ------------- = ---------
∂x2 ∂t

3.2.3 Considérations pratiques

Figure 4 – Coefficient de perméance P en fonction de l’inverse
Nous avons vu que le mécanisme peut être soit atomique, soit de la température et de la constante de dissociation j
moléculaire.
La perméation de l’hydrogène à travers un métal croît comme la
racine carrée de la pression car l’hydrogène se dissocie en atomes La perméation de l’hydrogène à travers l’aluminium est très
(j = 2). Par contre, à travers le verre et les élastomères, la perméation faible ; elle peut être considérée comme négligeable sauf lors des
est proportionnelle à la pression car elle se fait sous forme molé- étuvages. À 600 oC, le coefficient est encore 100 fois plus petit que
culaire (j = 1). pour le fer. Le cuivre est un métal peu perméable pour tous les gaz.
Les gaz rares de l’air ne diffusent pas à travers le métal sauf si La perméation de l’hydrogène à travers les aciers croît avec la
ceux-ci pénètrent dans le métal sous l’action d’un champ électrique quantité de carbone. ll est donc préférable d’utiliser des aciers à
ou s’ils ont été formés dans le métal lors d’une désintégration bas carbone pour la constitution des chambres à vide.
nucléaire.

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GAZ À TRÈS BASSE PRESSION ____________________________________________________________________________________________________________

Les matières plastiques et les élastomères sont perméables à acier

tous les gaz, y compris les gaz rares. Dans la pratique courante, Métal Cu W Ti Mo
inoxydable
seuls ces matériaux ont des coefficients de perméance (tableau 5)
suffisamment importants pour être pris en compte. Dans ce cas, le Forme tôle (1) tôle (1) feuille feuille feuille
terme entre crochets de la relation (21) est égal à la différence des SR/SA 14 8 40 15 173
pressions.
(1) tôle de 1 mm d’épaisseur.

3.3 Sorption Tableau 5 – Flux gazeux dû à la perméation

à 25 oC (en 10–5 Pa · m3/s) (1)
Dans la théorie cinétique des gaz et dans les calculs d’écoulement, Gaz
on suppose que les interactions des molécules du gaz avec les parois Matériau H2 N2 O2 He
sont principalement des collisions.
En fait, certaines interactions sont telles que les molécules sont Perbunan .............. 19 6 18 13
retenues par la surface. Il s’agit de ce que l’on appelle la sorption Butyl ...................... 5 0,25 1 6
et l’on distingue l’adsorption et l’absorption. Mylar ..................... 5 × 10–3 2 × 10–2 0,15
Dans l’adsorption, la molécule est attirée et reste attachée à la (1) Flux gazeux passant à travers une surface de 1 cm2 sous une différence
surface du solide, les forces d’attraction pouvant être physiques de pression de 105 Pa et pour 1 cm d’épaisseur.
(physisorption), ou chimiques (chimisorption). L’atome ou la molé-
cule sont nommés aussi adatome ou admolécule. (0)
Dans l’absorption, la molécule pénètre à l’intérieur du solide de
la même façon qu’un gaz se dissout dans un liquide. Tableau 6 – Énergie d’adsorption H pour quelques gaz
en fonction de la nature de la surface
Le solide est le sorbant, le gaz sorbé est le sorbat.
H (1)
Gaz Surface
(kcal/mol)
3.3.1 Adsorption des gaz
Ar W 1,9
Nota : le lecteur pourra se reporter utilement à l’article Adsorption [J 2 730] dans le Physisorption Ar C 1,8
traité Génie des procédés.
Xe Mo 8
Toute surface de solide ou liquide possède des forces d’attraction.
Une molécule frappant la surface est attirée et trouve un site où sa N2 W 85
position d’équilibre est à un minimum de potentiel d’énergie, appelé CO2 W 122
chaleur d’adsorption qui, dans les cas simples, est égal à l’énergie H2 W 46
d’adsorption. CO W 100
Chimisorption
O2 W 194
Dans la physisorption, les forces d’attraction sont les forces de
H2 Fe 32
Van der Waals. Ces forces sont faibles et l’énergie d’adsorption est
petite (inférieure à 8 kcal/mol) (figure 5). N2 Fe 40
H2 Cu 8
Dans la chimisorption, l’admolécule et la molécule du solide
échangent leurs électrons. Les forces sont beaucoup plus grandes, (1) On rappelle que 1 cal = 4,18 J.
jusqu’à atteindre 250 kcal/mol (1 cal = 4,18 J). Le processus n’est
pas toujours immédiat. La molécule peut être physisorbée, puis
avec une faible énergie, elle peut être chimisorbée. Il s’agit là d’une
chimisorption activée.
L’énergie de désorption Ed est alors égale à :
Ed = E c + E a
avec Ea énergie d’activation,
Ec énergie de chimisorption.
Les molécules peuvent être dissociées à la surface et être alors
chimisorbées en tant qu’atomes. Le tableau 6 donne quelques
valeurs d’énergie d’adsorption.
Avec Langmuir, on admet que la molécule migre le long de la sur-
face jusqu’à trouver un site disponible et ceci jusqu’à formation d’une
monocouche, soit de l’ordre de 1014 molécules par centimètre carré.
On définit la probabilité de collage (Ps), c’est-à-dire la probabilité
pour une molécule de rester collée sur la paroi. Certaines mesures
de probabilité ont montré que cette dernière peut être élevée et rester
constante (0,6) jusqu’à la formation complète de la monocouche.
La quantité de gaz adsorbé accroît avec la pression et augmente
énormément à basse température. Figure 5 – Énergie en fonction de la distance à la surface
À partir des tracés des isothermes d’adsorption, on a pu déduire pour une chimisorption activée avec une physisorption moléculaire
que la surface réelle des solides était beaucoup plus importante Dans le cas de deux gaz, plusieurs effets se rencontrent :
que leur surface apparente. Différentes valeurs du rapport surface
réelle à la surface apparente SR/SA sont données dans le tableau — le gaz B n’est pas adsorbé par la couche formée par le gaz A
suivant : (0) (d’où l’utilité de remettre l’enceinte à la pression atmosphérique
pour un gaz tel que l’azote) ;
(0)

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— le gaz B, soit est adsorbé en des sites non occupés par le gaz
A, soit modifie les liaisons de A de façon à créer des sites libres
pour lui ;
— le gaz A précédemment adsorbé est déplacé par le gaz B soit
en tant que gaz pur, soit en tant que produit d’une réaction.

3.3.2 Absorption des gaz

L’absorption des principaux absorbants (charbon actif, zéolithe,

silicagel, etc.) est expliquée par une adsorption suivie d’une péné-
tration du gaz adsorbé à l’intérieur du solide par un processus de
diffusion. L’absorption est semblable à la perméation mais le gaz ne
ressort pas du solide. Les vitesses initiales d’adsorption sont élevées,
elles décroissent au fur et à mesure de la formation des couches
physisorbées.

[Link] Absorption par le charbon actif

C’est un absorbant utilisé en chimie, en médecine. En technique
Figure 6 – Isothermes d’absorption sur le charbon actif à T = 77 K
de vide, il est couramment employé dans la réalisation des pompes
cryostatiques. En moyenne, c’est d’ailleurs le meilleur absorbant.
La surface spécifique du charbon est de l’ordre de 1 000 m2 /g et
peut atteindre 1 700 m2 /g. Ceci est dû à une porosité très fine, les
micropores étant de quelques dizaines d’angströms.
Le charbon actif est produit à partir de matières végétales telles
que les bois de pin ou la coquille de noix de coco. Ces matériaux
sont carbonisés de façon à former des cristaux élémentaires de
graphite ; un agent activant pendant ou après le processus rend
accessible les interstices et les pores. Le charbon se présente sous
deux formes, en poudre ou en granulés. Ces derniers permettent
l’absorption des gaz et des vapeurs. On utilise généralement des
bâtonnets de 3 mm de diamètre et de 4 à 5 mm de longueur. Ceux-ci
sont le plus souvent collés sur une surface portée à basse tempé-
rature. L’absorption est alors une physisorption.
La quantité absorbée dépend de la température et de la pression.
Des isothermes d’absorption, on peut déduire les quantités
absorbées à l’état d’équilibre (figures 6 et 7).
On peut remarquer : Figure 7 – Isothermes d’absorption sur le charbon actif à T = 20 K
— qu’à basse pression, les isothermes suivent la loi de Henry :
Q = Kp ; pour atteindre les basses pressions, il faut donc refroidir
[Link] Absorption par le silicagel
énergiquement le charbon pour avoir suffisamment de capacité
pour l’hydrogène ; Le gel de silice est un gel déshydraté de silice acide. Il est utilisé
— que la capacité d’absorption est différente suivant les gaz. spécialement pour dessécher l’air. Sa surface spécifique est de 700
Ceci explique que, dans une enceinte pompée uniquement par des à 800 m2 /g.
pompes cryostatiques utilisant du charbon actif à une température
de 20 K environ, le gaz résiduel s’enrichit progressivement en [Link] Absorption par la cellulose
hélium. La rapidité de cet enrichissement peut être un signe de
Quand, sous vide, on place des matériaux contenant de la cellulose
présence de fuites dans l’enceinte.
comme le coton, le papier, le bois, etc., on a beaucoup de difficultés
dues au fait que la vapeur d’eau et le dioxyde de carbone sont très
[Link] Absorption par les zéolithes absorbés par la cellulose. On ne peut pas chauffer sous vide la
Ce sont des aluminosilicates doubles rares dans la nature. cellulose au-dessus de 130 oC car elle se décompose. Il est donc
Produites artificiellement, on leur donne aussi le nom de tamis impossible de l’étuver à haute température. Le tableau 7 donne
moléculaires. quelques valeurs d’absorption pour du papier, de la pulpe de bois
et du coton entre 100 et 150 oC.
Les zéolithes sont constituées de réseaux tétraédriques. Les inter-
stices sont occupés par des molécules d’eau que l’on peut extraire, L’isotherme d’absorption du papier peut être représenté par la
d’où la formation de site d’absorption. relation de Freundlich :
1
Les zéolithes ont une surface spécifique de l’ordre de 500 m2 /g ln a = ln A + ----- ln p
n
pour un diamètre de pore de 5 Å environ. Elles sont présentées
sous forme de granulés de 3 mm de diamètre. avec a en milligramme d’eau par gramme de papier,
La quantité absorbée dépend de la nature du gaz. Les zéolithes A et n constantes expérimentales, 1/n varie de 0,99 à 0,76.
absorbent très mal les grosses molécules ; un piège à zéolithe sera Pratiquement, il est difficile de déterminer quand du papier est
donc très vite contaminé par des molécules d’huile. sec. Car si on chauffe, on ne saura pas distinguer entre la désorption
On peut avoir de très grandes différences dans les isothermes voulue et l’eau provenant de la décomposition de la cellulose. (0)
d’absorption suivant la composition de la zéolithe. Un moyen est de contrôler le taux de CO2 et CO. À 130 oC, un
papier peut être déclaré sec si la désorption de 2 ou 3 molécules
de H2O est accompagnée de la désorption de une molécule de CO2
et une de CO.

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— pour les métaux :

Tableau 7 – Sorption de l’eau par divers
arrangements de cellulose (en mg/g) qGU = b/t ou ln qGU = – ln t + Cte

T p Papier La figure 9 donne les plages de variation des taux de désorption

Pulpe de bois Coton des principaux constituants rencontrés sous vide. Les courbes et les
(oC) (Pa) (genre Rag)
valeurs du tableau 8 sont données pour des matériaux propres, en
100 200 0,63 0,22 0,55 général déjà mis sous vide poussé et réexposés à de l’air séché
100 400 1,25 1,60 0,91 pendant une heure. Toute présence de malpropreté (graisses, huiles
120 400 ......................... 0,72 0,40 de coupe, traces de doigt, taches de sueur, etc.) augmente le taux
120 800 ......................... 1,20 de désorption. (0)
140 550 ......................... ...................... 0,21

Tableau 8 – Taux de désorption à 10 h

de différents matériaux propres
3.4 Désorption, dégazage à température ambiante (1)
q GU
Soit une enceinte dans laquelle nous faisons le vide. À la pression Matériau Pente
atmosphérique, la composition du gaz présent dans l’enceinte est (Pa · m/s)
celle de l’air ambiant. Dans le domaine du vide grossier, les Aluminium (dégazé 24 h) ....................... 4 × 10–7 – 0,9
proportions des constituants varient légèrement, puis ces propor- Aluminium oxydé anodiquement
tions varient au fur et à mesure que nous abordons le domaine du (pour 2 µm).............................................. 4,3 × 10–5 – 0,9
vide moyen puis poussé. Alliage d’aluminium 2017 A brut........... 2,7 × 10–5 – 0,7
Supposons que nous ayons un système entièrement métallique 2017 A microbillé 1,3 × 10–5 – 0,7
et correctement nettoyé dont les pompes soient propres sans rétro- Acier inoxydable
diffusion de molécules vers l’enceinte et avec un débit-volume égal Z2CND 18-10 poli mécanique ............ 6 × 10–7 – 0,7
pour tous les gaz. On constate alors avec l’aide d’un analyseur de Z2CND 18-10 brut................................ 1,8 × 10–6 – 1,9
gaz que l’oxygène et l’azote baissent régulièrement alors que la ZN 18-10 microbillé............................. 8 × 10–7 –1
vapeur d’eau et l’hydrogène prennent des valeurs insoupçonnées ; Z2CND 17-12........................................ 2 × 10–7 – 0,7
les proportions changent d’ailleurs avec le temps. La figure 8 donne Acier extra doux XC6 (fraîchement
un exemple de variation au cours du temps de l’hydrogène et de usiné) ....................................................... 5 × 10–6 –1
la vapeur d’eau à l’intérieur d’une enceinte en acier inoxydable Acier doux A37 microbillé...................... 1,3 × 10–6 – 0,9
équipée de joints métalliques et d’une pompe turbomoléculaire. Inconel X750 laminé à froid ................... 4 × 10–7 –1
Que se passe-t-il donc ? À la surface de la paroi et à la pression Quartz dépoli ........................................... 4 × 10–6 – 1,3
atmosphérique, nous avions du gaz en solution, collé, adsorbé, Stumatite ................................................. 1,5 × 10–5 – 0,75
absorbé. À la mise sous vide, un déséquilibre se produit et le gaz Araldite chargée à 50 % de silice........... 1 × 10–4 – 0,5
de la surface désorbe. Cette désorption est la cause de la limitation Élastomères Perbunan ........................... 2 × 10–3 – 0,45
des plus basses pressions obtenues. Dans le domaine du vide Butyl (Bu 60 Impervia) ...... 4 × 10–4 – 0,2
poussé, le débit de pompage nécessaire pour obtenir une pression (après étuvage à 100 oC) .. 7 × 10–5 – 0,4
donnée est imposé par le dégazage. Viton (60 VO10 Impervia) . 3,4 × 10–4 – 0,3
Exemple : soit une enceinte métallique de 5 m2 dont le taux de (après étuvage à 120 oC) .. 3 × 10–5 –1
désorption, après 10 h de mise sous vide, est de 10 –6 Pa · m/s. Si nous (1) Taux de désorption à 10 h : taux de désorption après 10 h de mise sous
voulons atteindre 10–4 Pa. Il nous faut un débit-volume à cette pression, vide.
d’après la relation (6), égal à :
qv = qG /p
Remarques
soit, d’après la relation (8) : — Pour de grandes enceintes, où il est difficile d’atteindre le
même degré de propreté que pour de plus petites, il est courant
q GU S 10 – 6 × 5
q v = ----------------- - = 5 × 10 – 2 m 3/ s = 50 L/s
= ----------------------- d’observer des différences d’un facteur 10 entre la pression esti-
p 10 – 4 mée et celle obtenue. Aussi est-il prudent de prendre dans les
calculs un coefficient de sécurité pouvant aller jusqu’à 5.
On admet que la désorption est pratiquement indépendante de
la pression dès que l’on se trouve dans le domaine du vide poussé. — Pour de longues canalisations, la désorption intervient
Par contre, l’influence de la température est très importante, le taux dans la répartition des pressions (§ 6.5.5).
de désorption varie, en général, de façon exponentielle. L’influence — Certains auteurs avancent que les taux de désorption ten-
de l’état de surface est prépondérante ainsi que les processus de dent vers une asymptote ; ceci est vraisemblable. L’expérience
traitement et d’élaboration du matériau. semble montrer, en effet, que si la pression partielle de la vapeur
De nombreuses études expérimentales ont été entreprises dans d’eau décroît continuellement, la pression partielle de l’hydro-
divers laboratoires. Ce sont des mesures difficiles ; aussi sont-elles gène au bout d’une dizaine d’heures reste établie. Tout se passe-
généralement faites en mesurant la quantité totale dégazée sans se rait comme si la paroi de l’enceinte, généralement de l’acier
préoccuper de la composition du gaz et sans dépasser des durées inoxydable, était une source constante d’hydrogène.
de l’ordre de la centaine d’heures. Les résultats sont donc donnés — Pour aller dans le domaine de l’ultravide, il faut étuver les
en supposant que le gaz désorbé est de l’azote. parois à une température d’au moins 300 oC pendant 24 ou
48 h ; aussi l’hydrogène est-il le seul gaz prépondérant dans ce
Pour des surfaces propres, on constate que les taux de désorption
domaine avec une proportion d’au moins 90 %.
décroissent avec le temps d’après les lois suivantes :
— pour les élastomères et les matières plastiques :

qGU = a / t ou ln q GU = – 1/2 ( lnt ) + Cte

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Dans le cas où il faut évacuer de la chaleur, des dispositifs spéciaux

doivent être mis en œuvre afin d’éviter de fondre ou d’évaporer des
matériaux.
Nous passerons en revue les trois modes principaux rencontrés :
la conduction par le gaz résiduel, l’échange par rayonnement et la
conduction par le support.

4.1 Conduction par le gaz résiduel

Nous nous plaçons dans le cas où le libre parcours moyen (§ 2.5)

est égal ou plus grand que la distance entre les parois. Dans ce cas,
Figure 8 – Exemple de variation de la composition du gaz résiduel contrairement au régime visqueux, la conductivité dépend de la
dans une enceinte en acier inoxydable pression, c’est-à-dire du nombre de molécules qui peuvent transférer
de la chaleur d’une paroi à une autre.
La quantité de chaleur transmise W est donnée par :
γ+1 p
W = 2,426 × 10 – 4 A 1 a ------------ -------------- ( T 2 – T 1 )
γ – 1 MT

avec A 1 (cm2) surface froide,

M (g/mol) masse molaire,
p (en 10–3 Torr) pression,
T 1 , T 2 (K)
températures thermodynamiques des sur-
faces froide et chaude,
W (W) puissance reçue par la surface A 1 ,
a coefficient d’accommodation (§ 2.6),
γ rapport des capacités thermiques massiques
cp / cv .
On donne une formule pratique :
W = K A 1 a p (T 2 – T 1)
avec A1 (m2)surface froide,
W (W) puissance reçue par A 1,
p (Pa) pression.
Quelques valeurs de K, caractéristique du gaz, sont données
dans le tableau suivant : (0)

Gaz T 2 et T 1 K
(K)
N2 < 400 1,2
O2 < 300 1,12

H2 300 et 77 4
77 et 20 3
He indifférent 2,2

Des valeurs du coefficient d’accommodation a sont données dans

le tableau suivant pour des températures de surface froide T 1 : (0)

Figure 9 – Plage de variation des taux de désorption

à température ambiante T1
(K) He H2 Air

300 0,3 0,3 0,8

4. Transmission de la chaleur 77 0,6 0,5 1

20 0,6 1 1
Sous vide, la transmission de la chaleur s’effectue difficilement.
Dans les pompes et pièges cryostatiques, on s’efforce d’accentuer
la difficulté afin d’économiser de la puissance ou le fluide cryogé-
nique.

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Exemple : pour 2 plaques de 10 cm2 portées à 300 et 77 K et sous Cette variation du coefficient explique que, pour un piège pollué,
une pression de 10–4 Pa, nous avons en supposant que le gaz est de la consommation du fluide peut être augmentée d’un facteur non
l’air : négligeable.
K = 1,2 en confondant l’azote et l’air Exemple : reprenons nos deux plaques parallèles de 10 cm2 à 300
et 77 K que nous supposons être en acier inoxydable.
a = 1 pour T 1 = 77 K
1er cas : les surfaces sont vierges :
donc W = 10 × 10–4 · 1,2 · 1 · 10–4 (300 – 77)
e 1 = 0,06, e 2 = 0,15 et E = 0,04
W = 2,6 × 10– 5 W donc W = 1,8 × 10–2 W.
La conduction par le gaz résiduel est donc très faible. 2e cas : la surface froide est recouverte de glace d’azote
e 1 = 0,3, e 2 = 0,15 et E = 0,11

4.2 Rayonnement donc W = 5 × 10–2 W.

La puissance échangée est pratiquement augmentée d’un facteur 3
dans le cas de la surface froide avec une couche de glace.
L’énergie WR émise par rayonnement d’une surface A est donnée Si l’on compare à la puissance échangée par conduction, la puissance
par la loi de Stefan-Boltzmann : échangée par rayonnement est mille fois supérieure.
WR = σ e A T 4
avec A (cm2) surface émissive,
4.3 Conduction par le support
T (K) température thermodynamique de la surface,
WR (W) énergie rayonnée,
À moins de soutenir un corps par lévitation magnétique, ce dernier
e pouvoir émissif de la surface, est relié à la paroi par une pièce solide. La chaleur est donc transmise
σ = 5,67 × 10–12 W/cm2 · K4 constante de Stefan- par cette pièce.
Boltzmann. La puissance transmise par conduction nous est donnée par :
Entre deux surfaces, nous avons :
λ S ( T 2 – T1 )
4 4 W c = ----------------------------------
-
WR = σ E A 1 ( T 2 – T 1 ) L

avec A1 surface froide recevant le flux de chaleur, avec S (cm2) section droite du matériau (ici, supposée
constante),
E facteur tenant compte du pouvoir émissif des
deux surfaces en regard, L (cm) longueur du matériau,
T 1 et T 2 températures des 2 surfaces froide et chaude T 1 , T 2 (K) températures thermodynamiques aux extré-
(T 1 < T 2). mités,
Le coefficient E dépend des pouvoirs émissifs e 1 et e 2 des deux λ (W/cm · K) conductivité thermique du matériau.
surfaces et de la disposition de ces deux surfaces telle que : Des valeurs de λ pour des matériaux usuels sont portées dans le
tableau suivant : (0)
e 1 e2
E = ------------------------------------------
e 2 + (1 – e 2 ) e 1
T2 Cuivre Acier inoxydable Nylon
Pour des longs cylindres coaxiaux et pour des sphères concen- (K)
triques, on a : 300 4 0,14 0,006
e1 e2 20 16 0,02 0,001
E = ------------------------------------------------------ (réflexion diffuse)
A1 4,2 3,5 0,002 0,000 1
e 2 + -------- ( 1 – e 2 ) e 1
A2
Exemple : reprenons toujours notre plaque de 10 cm2 supportée
Les pouvoirs émissifs dépendent de l’état, de la température et par un cylindre plein en acier inoxydable de 1 cm de diamètre et de
surtout de la propreté des surfaces. 5 cm de longueur ; nous avons :
Pour des surfaces propres non recouvertes de glace, quelques
valeurs de e sont données dans le tableau suivant : (0) π ( 300 – 77 )
W c = 0,14 ----- ----------------------------- = 4,9 W
4 5
On voit donc que, pour ne pas perdre trop de fluide cryogénique, il
Température ..............................................(K) 300 77 4 faudra soigner les supports mécaniques, c’est-à-dire utiliser des
Cuivre poli mécaniquement 0,013 0,069 0,008 supports fins et de longueur suffisante.
Cuivre poli électrolytiquement 0,03 0,019 0,015
Acier inoxydable 0,15 0,061
Aluminium recuit poli électrolytiquement 0,03 0,018 0,011 5. Réactions chimiques
Pour une surface recouverte de glace d’azote, on avance le chiffre Les réactions chimiques sous vide suivent les mêmes lois qu’à
de 0,3 pour le pouvoir émissif. la pression atmosphérique. Les différences observées viennent de
Pour une surface recouverte de glace d’eau épaisse, le pouvoir la variation de l’équilibre. Les paramètres les plus importants sont
émissif monterait à une valeur de 0,65. la pression et la température. Nous nous intéresserons principale-
ment aux réactions de désoxydation.

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Une réaction chimique peut être caractérisée par une variation de Au-dessus de 833 K, la wüstite Fe O a une phase stable et l’on
l’enthalpie du système positive pour une réaction endothermique ou peut écrire les réactions suivantes :
négative pour une variation exothermique. D’après les lois de la ther-
modynamique, la réaction ne se produit à température et pression  Fe 3O 4 £ 3 FeO + 1/2 O 2
constantes que si l’énergie libre du système diminue. III 
 Fe 3 O 4 + H 2 £ 3 FeO + H 2 O
En pratique sous vide, on maintient au-dessus du système une
certaine pression pa soit d’un seul gaz (l’oxygène par exemple), soit  FeO £ Fe + 1/2 O 2
IV 
d’un mélange de gaz (vapeur d’eau et hydrogène par exemple).  FeO + H 2 £ Fe + H 2 O
La variation de l’énergie libre ∆F du système s’écrit :
∆F = – RT ln pa La figure 10 donne les proportions à l’équilibre pour ces diffé-
rentes réactions.
Ainsi connaissant ∆F, on peut calculer la ou les pressions d’équi- Au-dessous de 833 K, la réduction de l’oxyde Fe3 O4 en Fe est
libre et donc savoir si la réaction peut se réaliser. empêchée si le rapport des pressions H2O/H2 est supérieur à la
partie a de la courbe.
Au-dessus de 833 K, la réduction produit de l’oxyde FeO si le
5.1 Dissociation des oxydes rapport des pressions H2O/H2 est compris entre les parties b et c.
Pour éviter la réduction de Fe2 O3 en Fe3 O4 , il faut un rapport de
La dissociation des oxydes croît avec la température. Mais certains pression si élevé que la réaction peut être considérée comme
oxydes se volatilisent et leur dissociation se produit en phase vapeur, irréversible.
par exemple l’eau. De nombreux oxydes restent solides sur une large
gamme de températures et à une température donnée, il existe une Application : il existe bien d’autres types de réactions chimiques
pression de dissociation ou pression partielle d’oxygène qui repré- favorisées lorsqu’elles sont effectuées sous vide. Mais la principale
sente un état d’équilibre entre le métal, l’oxyde et le gaz (ici, application est la métallurgie sous vide. On arrive par ce procédé à
l’oxygène). Cette pression de dissociation est un des facteurs qui obtenir des matériaux pratiquement purs comme le fer utilisé pour la
aide à définir comment un oxyde peut être réduit. réalisation d’aimants. On obtient ainsi des matériaux dont la teneur en
oxygène ou hydrogène est abaissée à des valeurs inférieures à 20 ppm
Le cas du cuivre est significatif. En simplifiant, nous avons les
(partie par million). Ces matériaux ont des propriétés mécaniques géné-
deux groupes de réactions suivantes :
ralement améliorées.
 Ceci explique l’intérêt des expériences dans l’espace où l’on associe
Cu O £ Cu + 1/2 O 2
I  2 Cu O + H 2 £ Cu 2 O + H 2 O
l’absence de pesanteur à un vide très poussé.

 Cu 2 O £ 2 Cu + 1/2 O 2
II 
 Cu 2 O + H 2 £ 2 Cu + H 2 O

Les pressions de dissociation sont données pour les deux

réactions :
 à 1 000°C, p ( O 2 ) = 6 Pa
I 
 à 1 300°C, p ( O2 ) = 10 Pa
4

 à 1 000°C, p ( O 2 ) = 3,7 × 10 –6 Pa
II 
 à 1 300°C, p ( O 2 ) = 3 × 10 Pa
–2

On s’aperçoit qu’en opérant sous un vide même moyen (1 Pa), il

est possible de réduire l’oxyde noir Cu O tout en restant au-dessous
de la température de fusion du cuivre (1 084 oC).
Par contre, la réduction de l’oxyde rouge Cu2 O est pratiquement
impossible de cette façon.
C’est pourquoi, dans les applications où la pureté du cuivre est
essentielle, il faut utiliser du cuivre OFHC (Oxygen Free High
Conductivity) obtenu à partir de cuivre électrolytique fondu sous
vide.

5.2 Réduction des oxydes par l’hydrogène

Figure 10 – Rapport des pressions (H2O/H2) à l’équilibre
Prenons le cas du fer. Au-dessous de 833 K, l’hématite Fe2 O3 et en fonction de l’inverse de la température pour l’oxydation du fer
la magnétite Fe3 O4 sont stables. Nous avons les réactions : par la vapeur d’eau et la réduction des oxydes de fer par l’hydrogène

 3 Fe 2 O 3 £ 2 Fe 3O 4 + 1/2 O 2
I 
 3 Fe 2 O 3 + H 2 £ 2 Fe 3 O 4 + H 2 O
 Fe 3 O 4 £ 3 Fe + 2 O 2
II  Fe 3 O 4 + 4 H 2 £ 3 Fe + 4 H 2 O


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6. Écoulement des gaz D’après les relations (6) et (23) :

π ηT
6.1 Généralités 4 M 
q G = ------ Re R --------- d  (24)

ηT
Nous avons vu, dans le paragraphe 2, que les premiers domaines  q G  1,44 × 10 4 --------- d
de pressions se différenciaient essentiellement par le rapport du libre Pour Re > 2 200  M (25)
 le régime est turbulent.
parcours moyen vis-à-vis des dimensions du récipient. Le vide gros-
sier, dans lequel le libre parcours moyen est très petit, peut avoir
ηT
deux régimes d’écoulement. Au début du pompage, on a le régime  q G  7,84 × 10 3 --------- d
turbulent dans lequel des turbulences et des cavitations se pro- Pour Re < 1 200  M (26)
duisent. Cette forme d’écoulement dure très peu de temps en tech-  le régime est laminaire.
nique du vide et, en ce sens, elle est exceptionnelle. Très rapidement,
le gaz s’écoule régulièrement suivant des filets parallèles aux parois, Le rapport d /  m est l’inverse du nombre de Knudsen ; il permet
c’est le régime laminaire. La frontière entre ces deux régions est régie de choisir les formules adaptées soit au régime laminaire, soit au
par le nombre de Reynolds. régime moléculaire, avec une erreur inférieure à 10 % :
Lorsque la pression diminue et que le libre parcours moyen d/ m  80 formules du régime laminaire ;
devient de l’ordre de grandeur des dimensions transversales, on se d/ m  3 formules du régime moléculaire.
trouve dans un état intermédiaire, le régime d’écoulement n’est
plus le régime laminaire, nous sommes en régime transitoire. Puis Pour l’air sec à 20 oC, les limites se classent suivant le tableau 9
la pression s’abaissant, le libre parcours moyen devient plus grand (en unités SI), en prenant η = 1,8 × 10–5 Pa · s et M = 29 × 10–3
que les dimensions du récipient (domaine du vide poussé), le kg/mol.
régime d’écoulement est moléculaire.
La pression baissant encore, nous entrons dans le domaine de
l’ultravide ; il est alors difficile de parler de régime d’écoulement, 6.3 Notion de conductance
les phénomènes de sorption et de désorption deviennent prépon-
dérants. L’écoulement d’un gaz se traduit par le passage d’un flux de molé-
Nous ne traiterons pas du régime turbulent (cf article Mécanique cules d’une extrémité à l’autre d’une canalisation. En régime
des fluides [A 1 870] dans le traité Sciences fondamentales). permanent, le nombre de molécules qui traverse tout plan de la cana-
lisation est constant. On écrit que ce nombre N est proportionnel
à la différence des concentrations moléculaires n1 et n2 de part et
d’autre de la paroi :
6.2 Limite des régimes
N = C (n 1 – n 2 ) (27)
Le nombre de Reynolds Re, pour une canalisation cylindrique,
Supposons l’ensemble isotherme et multiplions par kT. On a,
est donné par :
d’après la relation (10), d’une part :
ud
Re = ---------
ν Np
NkT = -------- = qv p (28)
n
avec d (m) diamètre de la canalisation,
u (m/s) vitesse moyenne d’écoulement (u = qv / S ), avec qv débit-volume à la pression p,
S (m2) section de la canalisation, et d’autre part, les pressions :
ν (m2 /s) viscosité cinématique (ν = η / ρ), p1 = n1 kT et p 2 = n2 kT (29)
η (Pa · s ou PI) viscosité dynamique, D’où l’expression du flux gazeux d’après les relations (6) et (27) :
ρ (kg/m3) masse volumique.
qG = qv1 p1 = qv2 p2 = C (p1 – p 2) (30)
4 qv ρ
D’où : Re = --------------------- (22) Le flux gazeux (Pa · m3/s)
est proportionnel à la différence des
πη d
pressions. C (en m3/s) est la conductance de la canalisation.
Pour Re > 2 200, le régime est turbulent. On peut remarquer qu’il y a une analogie entre cette formule et
Pour Re < 1 200, le régime est laminaire. celle de la loi d’Ohm :
On peut exprimer le flux gazeux qG (Pa · m3/s) en fonction de Re. i = (U1 – U2)/Z
D’après la loi des gaz parfaits pV = RT et la relation ρ = M/V, on a :
l’inverse de la conductance s’appelle d’impédance Z.
Mp
ρ = ------------ Pour la combinaison des canalisations en série ou en parallèle,
RT on a des formules tout à fait analogues à celles des impédances
électriques.
En reportant cette expression de ρ dans la relation (22), on a :
Des canalisations en série sont équivalentes à une canalisation
4 M qv p d’impédance Z telle que :
Re = -------------- -------------------- (23)
πη d RT 1 1 1
Z = Z 1 + Z 2 + ... et ------ = -------- + -------- + ... (31)
C C 1 C2

(0)

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Tableau 9 – Limites des régimes pour l’air sec à 20 oC

Pression Régime d’écoulement
Domaine du vide État du gaz
(Pa) nature conditions
grossier 105 à 102 turbulent qG > 2,6 × 103 d

q G < 1,4 × 10 3 d
laminaire 
visqueux d /  m  80
moyen 102 à 10–1
d/ m < 80
transitoire d/ >3
 m

poussé 10–1 à 10–5 raréfié moléculaire { d/ m  3

phénomènes
ultravide < 10–5 ultra-raréfié de surface
Les limites des domaines du vide ne recouvrent pas exactement les différentes régions d’écoulement ; le régime laminaire se situe à la frontière des domaines du
vide grossier et du vide moyen, de même, le régime transitoire à la limite des domaines du vide moyen et du vide poussé.

Des canalisations en parallèle sont équivalentes à une canalisa- 6.4.2 Canalisation de sections circulaire
tion d’impédance Z telle que : et rectangulaire
1 1 1
------ = -------- + -------- + ... et C = C 1 + C 2 + ... (32) [Link] Section circulaire
Z Z1 Z2
Le flux gazeux (en Pa · m3/s) est régi par la loi de Poiseuille :
Ainsi le débit-volume effectif qvc d’une pompe de débit-volume

 
2 2
qv associée à une canalisation de conductance C est tel que : πd 4 p1 –p2
qG = ---------------------- -------------------- (36)
1 1 1 128 ηL 2
--------- = ------- + ------ (33)
q vc qv C avec L (m) longueur de la canalisation,
η (Pa · s) viscosité dynamique,
d’où d’après, la relation (30), la conductance (en m3/s) :
6.4 Régime laminaire
πd 4 p 1 + p 2
C = ---------------------- -------------------- (37)
6.4.1 Orifice à paroi mince 128 ηL 2
Exemple : pour l’air à 20 oC
L’orifice est de faible dimension par rapport aux dimensions des
deux volumes situés de part et d’autre de la paroi. η = 1,81 × 10–5 Pa · s
L’expression de la conductance (en m3/s) est :

p2 1/ γ
 2 γ RT 1 p ( γ – 1) / γ

1/2
donc
d 4 p1 + p 2

C = 1,36 × 10 3 ------- --------------------
L 2 
   
S
C = ------------------------------- ------- - ---------- 1 – -----2-
 -----------  (34)
1 – ( p 2 /p 1 ) p 1  γ – 1 M p1  Ces formules ne sont valables que si le tube est assez long pour
pouvoir éliminer les corrections dues aux effets d’extrémité.
avec S section de l’orifice, La conductance peut aussi être déterminée, dans ce cas, à l’aide
γ rapport des capacités thermiques, massiques à pression d’abaque. Un exemple en est donné au paragraphe [Link].
et volume constants. Pour tenir compte des effets d’extrémité, l’expérience a montré
Exemple : pour l’air à 20 o C, γ = 1,403 ; l’expression de qu’il suffisait d’ajouter à la longueur du tube de la formule (37) 3 à
l’équation (34) est : 4 fois son diamètre.

1/ 2 [Link] Section rectangulaire

 
p2 0,712 p2 0,287

 
S
C = 766 ----------------------------- ------ 1 – ------ (35)
1 – ( p 2 /p 1 ) p 1 p1 Pratiquement, la conductance s’écrit :

Rappelons que le flux gazeux devient maximal pour un rapport p2/p1

(égal à 0,525 pour l’air à 20 oC) et égal à 200 Sp1 (en Pa · m3/s).
A 2 p1 + p2
ηL 2 
C = 3,54 × 10 –2 Y --------- --------------------
 (en unités SI)

La vitesse de la veine gazeuse est alors égale à la vitesse du son. avec A surface de la section,
Une application des diaphragmes en paroi mince est la mesure Y facteur correctif dépendant du rapport des côtés du
des débits-masses des gaz s’écoulant en régime laminaire (cf norme rectangle a/b.
NF X 10-102). (0)

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a/b 1 0,9 0,8 0,7 0,6

Y 1 0,99 0,98 0,95 0,90
a/b 0,5 0,4 0,3 0,2 0,1
Y 0,82 0,71 0,58 0,42 0,23

Exemple : pour l’air à 20 oC, on a

A 2 p1 + p2

C = 2 × 10 3 Y -------- -------------------
L 2  (en unités SI)

On peut remarquer que, pour une même section, un tube carré

a une moins bonne conductance qu’un tube circulaire dans le rapport
0,9. Plus le tube s’aplatit, plus la conductance diminue.

6.4.3 Exemple

On pompe sur un volume à travers une canalisation cylindrique

de 1 m de longueur et de 2 cm de diamètre. Le fluide est de l’air à
20 oC.

[Link] Calcul numérique

Figure 11 – Abaque pour la détermination de la conductance C
— Premier cas : nous sommes au début du pompage, la pression en régime laminaire pour une canalisation cylindrique
moyenne est de 10 4 Pa et la chute de pression vaut 10 Pa. La contenant de l’air à 20 oC
conductance s’écrit :

2 4 × 10 – 8
C = 1,36 × 10 3 ------------------------- ⋅ 10 4 ≈ 2,2 m 3/s
— Deuxième cas : on procède de la même manière, et l’on
trouve en reliant les différents points : C = 2 × 10–2 m3/s.
1
le flux gazeux est, d’après la relation (30) : Ces valeurs correspondent aussi à celles déterminées par le calcul.

qG = C (p1 – p 2) ≈ 22 Pa · m3/s
Nous sommes en régime laminaire car nous avons (tableau 9) :
6.5 Régime moléculaire
qG = 22 Pa · m3/s Le gaz n’est plus considéré dans son ensemble. Les molécules se
meuvent indépendamment les unes des autres. Il y a donc des
1,4 × 103 d = 28 Pa · m3/s molécules qui, en un point donné d’une canalisation, vont dans un
sens et d’autres dans l’autre sens. Le flux gazeux est donc, en fait,
donc qG < 1,4 × 103 d la différence entre les molécules qui vont de B en A et celles de A
— Deuxième cas : la pression moyenne s’est abaissée à 102 Pa. en B.
Nous avons :

2 4 × 10 –8 6.5.1 Orifice à paroi mince

C = 1,36 × 10 3 ------------------------- ⋅ 10 2 ≈ 2,2 × 10 –2 m 3/s
1
L’expression de la conductance est :
Nous sommes toujours en régime laminaire car nous avons

 
(tableau 9) : 1/ 2
RT
C = S ------------------ (38)
2 π M
6,7 × 10 –3
d = 2× 10 –2 m et  m = ---------------------------- m
10 2 avec S (m2) aire de l’orifice.
d’après la relation (20) et le tableau 4, Exemple : pour l’air à 20 oC, C ≈ 116 S m3/s (39)
d D’après la relation (30), le flux gazeux est : qG = C (p1 – p 2).
d’où -------- = 298,5  80
m D’après la relation (7), le débit-masse est : qm = ρu qG, soit,
d’après les relations (1), (30)) et (38)
Nous pouvons remarquer qu’au tout début du pompage nous
devons être en régime turbulent mais, dès que la pression moyenne 1/2
chute d’un facteur 1/10, nous sommes en régime laminaire. Lors de
la descente en pression, la conductance diminue.
M
q m = --------- S ( p 1 – p 2 )
Vp  ----------------
2 π M
RT
-

or :
[Link] Détermination graphique pV = RT
1/ 2
— Premier cas : on porte sur la figure 11 les différentes valeurs
de L, d et p (pression moyenne en Pa). On joint les points L et d
donc qm = S ( p1 – p 2 )  --------------------
2 π RT 
M

par une droite coupant l’axe repère d 4/L en un point. On joint ce

c’est la loi de Graham.
point au point p ; l’intersection de cette droite avec C donne la
valeur de la conductance : C ≈ 2,5 m3/s. Ces formules ne sont applicables que dans le cas où les parois
sont à l’infini.

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Une correction est à appliquer : pour un diaphragme de surface On s’aperçoit que la conductance est beaucoup plus faible que précé-
S1, centré dans une tubulure de surface S2, la conductance (en demment (§ 6.4.3). Ce résultat impose que pour conserver un débit
m3/s) s’écrit : important, il faut avoir des canalisations courtes et de grand diamètre.
1/ 2
C = S1
2 π M
 -------------------
RT 1
-------------------------------
1 – ( S1 / S2 ) 6.5.3 Cas des canalisations courtes

Si la longueur du tube tend vers zéro, la conductance limite est

6.5.2 Canalisation de section constante celle de la conductance de l’ouverture. On a donc :
1 1 1
La conductance (en m3/s) s’écrit : ------ = -------- + --------
C CL CE
1/2
16
C = ------
3 2 π M
 ------------------
RT S2
-------- K
aL
avec CL conductance du tube,
CE conductance d’entrée.
avec L (m) longueur de la canalisation, On peut écrire :
S (m2) section de la canalisation, C = α CL
a (m) périmètre de la canalisation. α est appelé facteur de Clausing tel que :
K est un facteur de correction dépendant de la forme de la cana-
–1

 1 + -------
C 
lisation ; K = 1 pour une section circulaire. CL
α= -
La conductance est indépendante de la pression. E
Dans le cas d’une section rectangulaire, le facteur K dépend du Exemple : une expression approchée, pour de l’air à 20 oC et une
rapport des côtés a/b : (0) section circulaire, est :
1 d
----- = 1 + 1,33 ----
a /b 1 1,5 2 3 5 8 10 α L
K 1,108 1,126 1,151 1,198 1,297 1,4 1,444 avec :
d3
Dans le cas d’une section annulaire, le facteur K dépend du rapport C 1 = C α = 122 ------- α
des deux rayons r2/r1 : (0) L

r 2 /r1 0 0,259 0,5 0,707 0,866 0,966 6.5.4 Exemple d’association de canalisation
K 1 1,072 1,154 1,254 1,430 1,675
On désire une conductance de 1 m3/s pour de l’air entre une
Quand une canalisation comporte un coude, certaines molécules pompe et une enceinte de très grande dimension. La pompe est
passent directement et d’autres sont obligées d’avoir une collision située à 1 m.
supplémentaire avant de prendre la bonne direction. Le coude se
comporte pour ces dernières comme une impédance supplé-
mentaire.
Pour une canalisation circulaire, la longueur équivalente est :
Q
Le = L + 1,33 ---------- d
180
avec Q (degré) angle du coude,
d (m) diamètre de la canalisation.
Comme dans le cas du régime laminaire (§ 6.4.2), dans ce cas-là,
la conductance peut aussi être déterminée à l’aide d’abaque (voir
ci-après).
Exemple : pour de l’air à 20 oC et une section circulaire, la conduc-
tance (en m3/s) est :
d3
C = 122 ------- (40)
L
Si nous reprenons le même tube qu’au paragraphe 6.4.3, sa conduc-
tance en régime moléculaire vaut :
— par le calcul :

2 3 × 10 – 6
C = 122 × ------------------------- = 9,8 × 10 – 4 m 3 /s
1
— par la détermination graphique :
on trouve (figure 12) à l’intersection de la courbe correspondant à
d = 2 cm et de la droite correspondant à L = 1 m : Figure 12 – Abaque pour la détermination de la conductance
en régime moléculaire pour une canalisation cylindrique
C ≈ 9,8 × 10 –4 m3/s contenant de l’air à 20 oC

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Un premier calcul pourrait conclure qu’un tube de 0,2 m de dia- avec C (m3/s) conductance de B à A : C = K/L,
mètre suffit. K (m4/s) conductance d’une unité de longueur,
En effet, sa conductance est [relation (40)] : qG (Pa · m3/s) flux total de désorption : qG = ϕL,
d3 qv (m3/s) débit de la pompe,
C 1 = 122 ------
- 3
L = 0,98 m /s ϕ (Pa · m2/s) flux de désorption par unité de longueur.
Mais nous avons oublié la conductance d’entrée du tube calculée Il faut remarquer que pB – pA est indépendant du débit de la
dans la relation (39) : pompe installée en A. Même avec une pompe de débit infini,
pA = 0, on aura pB = qG /2 C. Ce phénomène oblige, dans le cas
C 2 = 116 S1 = 3,6 m3/s d’installation avec de grandes tubulures, à répartir des pompes
régulièrement, au lieu de les rassembler en un seul point.
Ces deux conductances en série nous donnent, d’après la
relation (31), la conductance effective par : Exemple : soit une tubulure de 10 m de longueur, de 200 mm de
diamètre, en acier dont le taux de désorption, après 10 h de mise sous
1 1 1 vide, est 10–6 Pa · m3/s, pompée par une pompe de 100 L/s à une
------ = -------- + --------
C C1 C2 extrémité.
Nota : on pompe au départ de l’air, puis les gaz provenant de la désorption.
soit C = 0,77 m3/s On a :
Il faut donc augmenter le diamètre du tube. — flux total de désorption : qG = qGU × (surface de la tubulure) :
Supposons maintenant que l’enceinte soit une cavité résonnante qG = π × 0,2 × 10 × 10–6 = 6,3 10–6 Pa · m3/s
et que, pour ne pas introduire de perturbation dans les lignes de
courant, il soit imposé que le pompage se fasse par 200 trous de — conductance de B à A :
10 mm de diamètre.
0,2 3
On considère chaque trou comme un orifice à paroi mince ; par C = 122 ----------- = 9 × 10 –2 m 3/ s
trou, d’après la relation (39), on a : 10
On obtient, d’après la relation (6) :
10 – 4
C 1 = 116 S = 116 π ------------- = 9 × 10 –3 m 3/ s
4 6,3 ⋅ 10 – 6
p A = ------------------------- = 6,3 × 10 – 5 Pa
Les 200 trous en parallèle donnent : 0,100
et, d’après la relation (41) :
C 1′ = 200 C 1 = 1,8 m 3 /s
6,3 ⋅ 10 – 6
La tubulure est agrandie à un diamètre de 0,25 m ; d’après la p B = 6,3 ⋅ 10 – 5 + -----------------------------
- = 9,8 × 10 –5 Pa
relation (40) : 2 × 9 ⋅ 10 –2
Il est impossible, dans cet exemple, que la pression en B, 10 h après
d3 0,25 3
C 2 = 122 -------- = 122 --------------- = 1,9 m 3 /s le début du pompage, soit inférieure à 3,5 × 10–5 Pa, même en aug-
L 1 mentant le débit de la pompe.
La conductance résultante sera telle que :
1 1 1 1 1
------ = -------- + -------- = ---------- + ---------- 6.6 Débit effectif d’une pompe
C C 1′ C2 1,8 1,9
sur une enceinte
d’où C ≈ 0,9 m3 · s
Dans ce cas, et en association avec une pompe de débit-volume Le pompage d’une enceinte se traduit par le passage d’un flux
de 1 m3 · s, le débit de pompage effectif au niveau de l’enceinte de molécules de l’enceinte jusqu’à la pompe.
sera voisin de 0,5 m3 · s.
Le débit-masse à l’entrée de la pompe est :
q G = q v 1 p1
6.5.5 Canalisation avec dégazage réparti
et le débit-masse à la sortie de l’enceinte est :
Soit une canalisation de longueur L (en m) pompée à une extrémité q G = qv 2 p 2
A, dont les parois désorbent. Supposons que le dégazage soit
uniforme tout le long, ainsi que la conductance. avec p1 pression à l’entrée de la pompe,
Dans ces conditions, on démontre que la répartition de pression p2 pression à la sortie de l’enceinte, telle que p2 > p1.
de A en B est parabolique, le maximum de la parabole étant en B. De plus, nous avons l’influence de la canalisation de liaison au
En un point situé à la distance x de A, on a une pression : travers de laquelle le débit-masse est :

L x2 qG = C (p2 – p1) = qv 1 p1 = qv 2 p2
p x = p A + ϕ -----x – ϕ --------
K 2K d’où l’expression du débit effectif au droit du raccordement à
avec pA = qG /qv . l’enceinte :
1 1 1
Pour x = L : ------------ = ----------- + ------
qv 2 qv 1 C
L2 qG
p B = pA + ϕ --------- = pA + --------
- (41) Ainsi avec une pompe reliée à une enceinte par une conductance
2K 2C
dont la valeur est égale au débit-volume de la pompe, on obtient
une vitesse effective réduite de moitié.

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 P
O
U
Gaz à très basse pression R
Généralités E
par Guy ROMMEL N
Ingénieur de l’École Supérieure d’Électricité
Ingénieur au Commissariat à l’Énergie Atomique,
Grand Accélérateur National à Ions Lourds (GANIL)
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L
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NF X 10-102 6.80 Mesure de débit des fluides au moyen de diaphragmes,
tuyères et tubes de Venturi insérés dans des conduites en
U
charge de section circulaire.
S
11 - 1984
Doc. B 4 020

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