Centre des
Matériaux
P.-M. FOURT
La microscopie électronique
en transmission :
techniques et applications
Mohamed SENNOUR
Master DMS 2015 Méthodes expérimentales et techniques de laboratoire 1
Rappels historiques
1897: J. J. Thomson découvre l’électron en étudiant les rayons cathodiques
1925: Louis de Broglie postule la nature ondulatoire de la matière: λ = h/mv
1926: C. Davisson et L. Germer montrent la nature ondulatoire des électrons
1926: Hans Busch démontre qu’un champ électromagnétique a le même effet
sur un électron qu’une lentille optique sur un rayon lumineux
1927: Wehnelt et Gabor préconisent l’utilisation des champs électrique et
magnétique pour focaliser les rayons cathodiques
1930: Début des travaux de Ernst Ruska et Max Knoll à TH Berlin
1931: Ruska et Knoll obtiennent la première image agrandie 14.4 fois.
1986: Ernest Ruska est lauréat du prix Nobel de physique
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Le microscope électronique à transmission (MET)
Microscope FEI TECNAI F20-ST
Centre des Matériaux – MINES Paris Tech
Canon
Lentilles
Faisceau condenseur
électronique
Echantillon
Lentille
Objectif
Objectif
Lens
Lentilles de Diaphragme objectif
diffraction,
intermédiaire et
projecteurs
Ecran
d’observation
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Les techniques de préparation des échantillons
La qualité des observations et des analyses en MET est conditionnée par la qualité des échantillons
Amincissement ionique (Ar+) Amincissement électrolytique
Polissage Tripode Usinage ionique (FIB)
15 µm
Répliques extractives Ultramicrotomie
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Le MET: un mini-laboratoire
STEM-HAADF Analyse EDX (Energy Dispersive X-ray)
Contraste chimique Composition chimique locale
200
Fe3O4 O Taille de sonde < 0.3 nm
150
Intensité
Fe
100
NiCr2O4 Fe Ni
C Ni
50 Cr
Fe Ni
Cr
Acier 316L 0
0 2 4 6 8
Energie (keV)
Diffraction électronique
Cristallographie Tomographie Electronique
Imagerie 3D
Source: Toyohashi University of Technology
Imagerie haute résolution Imagerie conventionnelle
EELS (Electron Energy Loss Spectroscopy) Structure atomique Microstructure, défauts, …
Composition et liaison chimique
Seuil N-K
AlN Cubique
Matrox-74-2b AlN Hexagonal
400 410 420 430 440 450 0.5 µm
Perte d'énergie (eV)
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Imagerie conventionnelle
Champ clair Champ sombre
hkl
000
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Imagerie haute résolution
Caractérisation des nanomatériaux
J-P. Boudou et al., Nanotechnology 20 (2009)235602
Nanodiamants
2Å
50 nm 2 nm
Analyse quantitative des images
Déformations locales dans un joint Σ3 dans le cuivre nanocristallin
Sennour et al., J. Mat. Sci., 43(2008) 3806
G1 [110] G2
exx 5%
(111)
(112)
b = a/3[111]
+0.5 %
y
-5%
001 x
001
110 110
-0.5 %
Contraste de phase 2 nm
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Imagerie en mode balayage en transmission ( STEM )
STEM-HAADF
Faisceau incident Corrosion sous contrainte de l’alliage 600
Thèse P. Laghoutaris - 2009
convergent
TEM STEM - HAADF
Objet
Lentilles
Post-objet
Zone enrichie Cr2O3
Carbure Cr23C6 en Ni
HAADF 50 nm 50 nm
HAADF
DF BF DF STEM-HAADF à résolution atomique
Alliage Al - 3%Ag
R. Erni et al., Phil. Mag. Let. 83 (2003) 599
HR STEM - HAADF
High-Angle Annular Dark-Field (HAADF) :
I ∝ Z2 ( Z-contrast)
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Spectroscopie X à dispersion d’énergie (EDX)
Analyse chimique locale des matériaux
Pointe de fissure oxydée dans l’alliage 600
e- Sennour et al., Journal of Nuclear Materials 393 (2009) 254–266
N2 Alliage 600
O
Pointe de fissure (CSC)
hυ Détecteur FeK
Si(Li)
Taille de sonde FeL NiK
A < 0.3 nm
NiL
Objet CrK
B FeK Ni
K
Amplificateur 0 2 4 6 8 KeV
50 nm
Fe O
80
60
% poids
40
Analyseur Ni Cr
20
0
0 20 40 60
Position (um)
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Spectroscopie des pertes d’énergie des électrons
(EELS)
Investigation de la cristallo-chimie locale
Faisceau e- Céramiques eutectiques LaB6 /TixZr1−xB2
I. Jouanny et al. J. of the Eur. Cer. Soc., 34 (2014) 2101–2109
Objet
Fente Seuil B-K
d’entrée Résolution en dans LaB6
énergie: 0.7eV B
LaB6
TixZr1-xB2 B
Prisme
magnétique
Zr
B K-edge in TiZr
Seuil B-K
TixZr1-x
dans
B
Ti Zr2 B B
B B
x 1-x 2
B
B
Ti
x = 0.76
x = 0.51
x = 0.32
x = 0.15
x=0
185 195 205 215 225 235 245 255
Energy
Energy Loss (eV)
loss (eV)
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Imagerie filtrée en énergie (EFTEM)
Faisceau e-
Objet N-K Méthode des 3
fenêtres
Fente
d’entrée O-K
Fente de Système de Cr- L32
sélection lentilles Camera CCD
Prisme
magnétique
N
Cartographie chimique à haute résolution Cr+N N+O
Revêtement multicouche Cr/CrN sur un substrat en Si
M-H. Berger, S. Labdi Cr Cr+O O
N O Cr
50 nm
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Spectrum – Imaging (SI)
TEM EFTEM - SI
Imagerie des structures fines
Cartographies AlN Cubique / AlN hexagonal dans un alliage base fer
P. Bayle-Guillemaud et al., Journal of Microscopy, Vol. 210, Pt 1 April 2003, pp. 66–73
AlN hexagonal
AlN cubique
AlN
3000 cubique
Intensité (u.a)
2000
1000
0 AlN
70 80 90 100 110 120 130
hexagonal
Energie (eV)
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Spectrum – Imaging (SI)
STEM - SI
∆y
∆x
∆E
Document Gatan®
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La tomographie électronique
Imagerie 3D des défauts dans les matériaux
+ 80° Précipités de chrome dans un joint de grain d’un acier 316L
Weyland et al., Materials Today, decembre 2004, 32.
a c
- 80°
Projection
Reconstruction Structure 3D des nano-objets
Nanoparticules de palladium
Ersen et al., Solid State Sciences 9 (2007) 1088-1098
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Exemples d’études
MET réalisées au CDM
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Microstructures des dislocations et des précipités
Microstructure de dislocations dans l’alliage Ti-6242 déformé
Thèse H. Jousset - 2008
A
A
B C B C
Précipités θ’ and Q’ dans l’alliage base AlSi7Cu3.5Mg0.1
Thèse P. Osmond - 2010
Image faisceau faible g(3g)
θ’ (Al3Cu)
Q’ (avec Cu)
[001]
[010]
[100]
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Précipités dans les alliages métalliques
Analyse MET de la précipitation dans un joint soudé d’un acier 9Cr-1Mo modifié
Thèse F. Vivian - 2009
Caractérisation MET des précipités M23C6 et M2C dans l’acier martensitique P91
Thèse E. Piozin - 2014
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Couches minces / interfaces
Caractérisation des céramiques eutectiques de type Analyse MET de revêtements CrN sur un substrat en acier
LaB6 / (Zr1-xTix)B2 Post-doc P. Girardon - 2009
Post-doc I. Jouanny - 2011 CrN cfc
LaB6 Couche mince déposée par PVD
TixZr1-xB2
100 nm
substrat Fe cc
(200)
2.07 Å
CrN (020)
2.07 Å
LaB6 Epitaxy Fe cc
100
Absence d’épitaxie à cause de la {110}
présence d’une poche amorphe 2.03 Å
001 à la surface du substrat
(001) increase of N2 partial pressure during film deposition
(0001)
N K-edge
(Zr0.6Ti 0.4)B2
Cr2N Cr2N + CrN Cr2N + CrN CrN CrN1+x
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Les fissures de CSC
Étude par MET de la corrosion sous contrainte de l’alliage 600
Thèse P. Laghoutaris - 2009
Caractérisation MET de la corrosion sous contrainte de l’alliage 304L laminé
Thèse P. Huguenin - 2012
Fissure
2 µm Cartographies chimiques EFTEM
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Etude de la structure et des Propriétés des
nanomatériaux
Etudes des propriétés diélectriques de nanoparticules pour la modélisation de la perception des peintures de véhicules
Thèse M. Benachour - 2015
Acquisition de spectre EELS low-loss Calcul des parties réelle (ε1) et Diagramme Cole-Cole ε2=f(ε1)
sur une particule d’hématite avec une imaginaire (ε2) de a fonction présentant les différents
bonne résolution énergétique (0.7 eV) diélectrique phénomène de polarisation
14
16
14
ε1 12
12 ε2 10
10
ε (q,E)
8
ε1
8
6
6
4 4
2 2
0
0 20 40 60 80 0
0 2 4 6 8 10 12 14 16
Energy (eV)
ε2
Toxicité des nanoparticules : caractérisation MET et par nanotomographie de nanoparticules d’oxydes
Post-doc A. Maguer - 2009
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