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Atelier Micro-Nano Électronique à Toulouse

Ce document présente un atelier de 14 heures sur la simulation bidimensionnelle avec le logiciel SILVACO. L'atelier vise à initier les étudiants à la conception de dispositifs actifs en portant un regard critique sur les résultats de simulation par rapport aux résultats expérimentaux.

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INSTITUT NATIONAL POLYTECHNIQUE DE TOULOUSE – INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE TOULOUSE – LABORATOIRE D'ANALYSE ET D'ARCHITECTURE DES SYSTEMES

D'ARCHITECTURE DES SYSTEMES – UNIVERSITE PAUL SABATIER

ATELIER INTERUNIVERSITAIRE
DE MICRO -NANO-ÉLECTRONIQUE
Pôle CNFM de TOULOUSE

SILVACO :
Initiation à la simulation bidimensionnelle
Objectif :
Ces TP ont vocation à initier les étudiants à la conception de dispositifs actifs à condition
qu’ils aient suivi, d’une part, un enseignement bien adapté de physique et de technologie
du composant incluant des travaux dirigés et, d’autre part, un stage de réalisation en salle
blanche. Cette application CAO est intéressante dans la mesure où l’environnement
SILVACO est largement exploité, tant dans l’industrie que dans les laboratoires de
recherche et qu’il est disponible dans les pôles de formations en microélectronique.
L’objectif fondamental de ce travail est surtout d’inciter les étudiants à porter un regard
critique sur les résultats électriques issus d’une simulation par rapport aux résultats
expérimentaux qui restent indispensables.

Répartition du dopage dans un transistor


nMos issu d’une simulation d’étapes
technologiques.

Mise en évidence de la conduction dans


un transistor nMos issu d’une simulation
électrique.

Durée : 14h

Logiciels et Bibliothèques : SILVACO

Formations utilisatrices : M2R ESET option MNT

Ouvert à la formation continue : oui

Contact : [Link]@aime-toulouse
Enseignants : Nicolas Nolhier Nolhier@[Link]

AIME – Campus INSA – 135 Avenue de Rangueil – 31077 TOULOUSE Cedex 4 – France
Tél.: +33 (0) [Link].72 – Fax.: +33 (0) [Link].70 – [Link]

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