PHYSIQUE DES SEMICONDUCTEURS:

RAPPELS ET FONDAMENTAUX

A: Éléments d’histoire des D: Quelques éléments de réponse

semiconducteurs - métal, isolant, semiconducteur
- des questions des pionniers… - semiconducteurs IV-IV, III-V et II-VI
- …aux chefs d’œuvre des bâtisseurs
B: Symétries et périodicité
- Réseau réciproque
- États de Bloch
- Zone de Brillouin
C: Structure de Bandes
- Modèle de l’électron quasi-libre
- Modèle chimique LCOA
- Gaps (directs et indirects)
- Densité d’états

1/45
 Découverte de l’effet photovoltaïque et photoconducteur

Edmond Becquerel
X1836 W. Smith
1839 (CRAS) 1873 (Nature)

 - Se

2/45
 Découverte du point contact rectifier (poste à galène)

Ferdinand Braun Premier radar

Prix Nobel 1909

CuO2 Rad lab MIT

1939 - 1945
Cu

3/45
 Quelques problèmes insolubles vers 1900…

Ag2 S

Résistivité
Michael Faraday
Paul Drude 1883
1896 Cu, Au, Fe, …

Gaz Gaz SC BT
Temperature
Densité (cm )
-3
10 16
1019
1022

Temps entre choc (s) 10-11 10-14 > 10-9

Negative temperature coefficient

« Les électrons semblent ne pas être diffusés par les atomes du cristal »
4/45
 Diffraction des rayons X vers 1910

Ecran

X rays
Sir W. H. Bragg, Sir
W. L. Bragg (1915)

SiC

Max von Laue (1914)

5/45
 Louis de Broglie découvre que
les électrons se comportent comme des ondes

Énergie des électrons



1925

h2 1
E= Relation entre la longueur d’onde et l’énergie
2 m λ2 d’un électron
6/45
Aux Bell Labs, Davisson confirme
la nature ondulatoire des électrons….

7/45
Wigner, Seitz, Bloch décrivent la structure de bandes des solides

1930

énergie

6 eV Bande
0.5 nm d’énergies interdites

4 eV
0.6 nm
0.5 nm
h 1 . 2 nm
λ= λ=
2 m E  EeV  8/45
 TROU (Wilson, Seitz)
STATISTIQUE DANS LES SEMICONDUCTEURS (Fermi)
ZONE DE CHARGES D’ESPACE (Mott, Schottky, Pohl)

¿ 1 µm

A cet instant, la micro-électronique devient un miracle annoncé…

1930-1938 9/45
LE COMMUTATEUR TELEPHONIQUE EN 1937

L’ORDINATEUR AVANT LE TRANSISTOR:

ENIAC

10/45
 Il faut dire que les composants sont imposants…

LE CROSSBAR

LA TRIODE DE
LEE De FOREST

11/45
 UNE PROPOSITION ASTUCIEUSE…

MAIS IL MANQUE LA PHYSIQUE QUANTIQUE

12/45
Melvin Kelly, directeur des Bell Labs, a foi dans la nouvelle physique quantique

Il embauche les premiers spécialistes américains de physique quantique dont:

13/45
William Shockley John Bardeen
 The famous lab book entree

Décembre 1947
Bardeen, Shockley, Brattain

14/45
 Décembre 1947
Le premier transistor

1958
Le premier circuit intégré
(Jack Kilby)

2005
Circuit à 1 000 000 000 de transistors
(Intel)

15/45
L’EXPLOSION DE LA MICROELECTRONIQUE

16/45
 PHYSIQUE DES SEMICONDUCTEURS:
RAPPELS ET FONDAMENTAUX

A: Éléments d’histoire des D: Quelques éléments de réponse

semiconducteurs - métal, isolant, semiconducteur
- des questions des pionniers… - semiconducteurs IV-IV, III-V et II-VI
- …aux chefs d’œuvre des bâtisseurs
B: Symétries et périodicité
- Réseau réciproque
- États de Bloch
- Zone de Brillouin
C: Structure de Bandes
- Modèle de l’électron quasi-libre
- Modèle chimique LCOA
- Gaps (directs et indirects)
- Densité d’états

17/45
 Cristal et périodicité

GaAs
Cellule élémentaire
Réseau direct  = n a  n a n a
Ri 1 1 2 2 3 3

L’interaction cristal-électron V  r  = ∑ U  r − Ri  est périodique

i
18/45
 Réseau réciproque

Analyse en série de Fourier

V  r  = ∑ V  G  ei G r
avec ai aj∗= 2 π δ ij
G ∈RR a2×a3
a1∗= 2 π
 = n a
G 1 1
∗  n2 a
2∗  n 3 a3∗¿ a1 . a2 ×a3
Réseau réciproque i
¿

x
2π 0 a∗=
2π kx
a −a∗¿ − a
a

Réseau direct Réseau réciproque

19/45
 Onde électronique libre

Hamiltonien décrivant l’électron libre dans le vide 

E
H Ψ  r  = E Ψ  r 
ℏ2 2
− ∇ Ψ  r  = E Ψ  r  ℏ2 k 2
2m E=
2m


États et énergies propres

i k r
Ψ k  r  = e
kx
ℏ2 k 2
E k =
2m

20/45
 Conditions de Bragg
i k R
e  
ei k ' R Terme de retard de phase entre les ondes diffractées

R
i  k −k ' . R
e

ei k ' r Contribution de toutes les ondes diffractées
i k r par un milieu périodique
e i  k −k ' . R
Réflexion totale ∑ ff  R , k , k '  e
  
R∈RD
k '=−k k
Contribution non nulles pour: k ' = k  G
k =

G G ∈ RR
2
Les points G/2 vont être interdits Bragg+ von Laüe RR

Miroirs de Bragg
21/45
 Zone de Brillouin
ky

X Γ
kx

Léon Brillouin

22/45
 Théorème de BLOCH-FLOQUET

ℏ2
H = −
2
Les états propres d’un Hamiltonien ∇  U r 
2m
où le potentiel U (r) est périodique U  r  R  = U  r  pour tout R du réseau direct

peut se mettre sous la forme du produit d’une onde électronique libre et d’une fonction

présentant la périodicité du cristal:


Ψ k  r  = u k  r  e i k r

avec

u k  r  R  = u k  r  Felix Bloch
1925

23/45
 Démonstration (courte!) (1)

On considère l’opérateur translation: T R f  r  = f r  R 

Quelques propriétés de l’opérateur:

T R T R' f  r  = f r  R  R ' 

T R T R ' = T R ' T R = T R  R '

∣T R Ψ∣=∣Ψ∣= 1 T R∗ T R = T −R T R = 1

Théorème de Floquet: si R ∈ RD l’opérateur TR commute avec l’Hamiltonien du cristal

T R H Ψ = H  r  R  Ψ r  R  = H  r  Ψ r  R  = H T R Ψ

T R H = H T R
24/45
 Démonstration (courte!) (2)

H ψ= E ψ
Il existe donc une base d’états propres communs à H et TR
T R ψ = c  R  ψ

T R T R ' = T R ' T R = T R  R ' c  R  R '  = c  R  c  R '  i k R

c  R = e

∣T R Ψ∣=∣Ψ∣= 1 ∣c  R ∣ = 1
i k R
Ψ  r  R  = Ψ  r  e
 ∀ R ∈ RD

Ψ  r  = [ Ψ  r  R  e
 −i k  r  R 
] e ∀ R ∈ RD
i k r

u k  r  = u k  r  R' 
25/45
 PHYSIQUE DES SEMICONDUCTEURS:
RAPPELS ET FONDAMENTAUX

A: Éléments d’histoire des D: Quelques éléments de réponse

semiconducteurs - métal, isolant, semiconducteur
- des questions des pionniers… - semiconducteurs IV-IV, III-V et II-VI
- …aux chefs d’œuvre des bâtisseurs
B: Symétries et périodicité
- Réseau réciproque
- États de Bloch
- Zone de Brillouin
C: Structure de Bandes
- Modèle de l’électron quasi-libre
- Modèle chimique LCOA
- Gaps (directs et indirects)
- Densité d’états

26/45
 Théorie des bandes d’énergies
Pseudo-
Momentum

Bandes d’énergie

Liaisons
chimiques
Diffraction
d’ondes
électroniques

Fonction de Green
du propagateur 27/45
 Electrons quasi-libres
Le potentiel cristallin périodique se développe en série de Fourier
 a

V x  = ∑ V G ei G x
G∈RR
V x 
Les états propres des électrons sont solutions de l’équation de Schrödinger

d2
 
ℏ2
−
2 m dx 2
Ψ k  x  ∑ G
V e iG x
Ψ k  x  = Ek Ψ  x 
G Simplification
PC
d2
ℏ2
− Ψ k  x   U cos  g x  Ψ k  x  = E k Ψ  x 
2 m dx 2

Les parties périodiques des fonctions de Bloch se développent aussi en série de Fourier:
i  G '−k  x
Ψ k  r  = uk  r  e i k r
Ψ k x  = ∑ C G'  k  e
G ' ∈RR 28/45
 kx
2π
4 G=− 0 G=
2π
a a

Réseau réciproque

U = .1 Pourquoi une bande d’énergie interdite ?

2
E(k)

2
∣Ψ ±G / 2  r ∣
1 Bande d’énergie interdite

-2 -1 0 1 2

k = k / G / 2  29/45
 Théorie des bandes d’énergies: modèle des liaisons fortes (1)

m−1 m m1
∣n, m〉
En

p2
Hm=  V  x−m a 
2m
∣n, m 〉 = Ψ n , m  x  = Ψ n  x − m a 
H m ∣n ,m 〉 = E n∣n, m 〉
On va chercher des solutions combinaison linéaire d’orbitales atomiques ∣n,m〉 (CLOA)

30/45
 Rappel: Liaison chimique (1)
m m1

Hamiltonien de deux atomes voisins:

∣n, m〉 ∣n, m1 〉
p2 En
H=  V  x−m a   V  x−  m1  a
2m E n− 1

Approximation des liaisons fortes: 1- Les niveaux En sont indépendants

2- La base {∣n ,m 〉 , ∣n, m1 〉 } est complète

L’espace de Hilbert décrivant les deux atomes voisins est de dimension 2:

Termes diagonaux
〈n , m∣H ∣n ,m〉 = E n  〈n , m∣V  x −  m1  a ∣ n, m〉 ≈ E n
Termes non diagonaux En 0

〈n , m∣H ∣n ,m1 〉 = E n 〈n , m∣n ,m1 〉 〈n , m∣V  x − m a ∣n ,m1 〉 ≈ − An

Tunnel 31/45
 Rappel: Liaison chimique (2)

En = E n  An ∣n〉− =
1
 ∣n , m〉 − ∣n ,m1 〉 

[ ]
2
E n − An
H=
−A n E n
E−n = E n − An ∣n〉 =
1
 ∣n , m〉  ∣n ,m1 〉 
2

Anti-liant

En 2An

liant
Linus Pauling

E n− 1
32/45
 Théorie des bandes d’énergies: modèle des liaisons fortes (2)

Considérant tout le cristal et ne prenant que les plus proches voisins:

][ ]
Les états propres sont des CLOA

[
...
. .. −A n 0 0
c n, m− 1 ψn = ∑ cn , m ∣n ,m 〉
− An E n −An 0
Hn = cn , m m
0 −A n E n −An solutions de l’équation de Schrödinger
c n, m 1
0 0 −An . ..
... H n ψn = E ψ n

Suite de Fibonacci −An cn , m−1  E n cn , m − An c n, m1 = E cn , m

m imα i k m a 
cn , m = λ = e =e
car n de carré sommable

E  k  = E n − 2 An cos  k a 
33/45
 Théorie des bandes d’énergies: modèle des liaisons fortes (3)

E k

bande de conduction
En
En
E n  k  = E n − 2 An cos  k a 

bande interdite
E n− 1
E n− 1 E n− 1  k  = E n−1 − 2 An−1 cos  k a 
bande de valence

−
π k π
a a

Bord de zone de Brillouin

34/45
 Masse effective

E k
E n  k  = E n − 2 An cos  k a 

Près d’un extremum:

 
E n k − E c ≈ An a2 k2 Ec

ℏ2
mc = 2
0
En  k  − E c ≈
ℏ2
k
2 2 a An
2 mc ℏ2
mv = 0 k
2
2 a An−1

Près d’un extremum, concept de masse effective: Pour l’instant

pas de connection
ℏ2 avec la dynamique
E  k  = ℏ ω  k  =E ext 
t −1

2
 k − k ext  M  k − k ext 
35/45
 Théorie des bandes d’énergies: modèle des liaisons fortes (5)

Ψ n, k = ∑ e

[ ∑ ]
ik ma ik r −i k x
Ψ n  x−m a  = e Ψ n r  e
m m

u n , k périodique
ei k x ⇔ porteuse u n , k ⇔ signal

Ψ n x 

En

x
un,k : réminiscence du matériau hôte
eikr : indépendante du matériau, non diffusé 36/45
Structure de bande de l’arséniure de gallium

k
ℏ2
E n  k  = E c 
2

2 mc

kz

ky

kx

Surface d’équi-énergie

37/45
Structure de bande du silicium

E n  k  = E c 
ℏ2
2  Δk x 2
ml

k y2
mt

kz2
mt 

Surface d’équi-énergie

38/45
 PHYSIQUE DES SEMICONDUCTEURS:
RAPPELS ET FONDAMENTAUX

A: Éléments d’histoire des D: Quelques éléments de réponse

semiconducteurs - métal, isolant, semiconducteur
- des questions des pionniers… - semiconducteurs IV-IV, III-V et II-VI
- …aux chefs d’œuvre des bâtisseurs
B: Symétries et périodicité
- Réseau réciproque
- États de Bloch
- Zone de Brillouin
C: Structure de Bandes
- Modèle de l’électron quasi-libre
- Modèle chimique LCOA
- Gaps (directs et indirects)
- Densité d’états

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 Remplissage des bandes: principe de Pauli

F
Ec  k 

Natomes niveaux
de l’énergie

k Wolfgang Pauli

N electrons
Usuellement: = entier Entier pair Entier impair:
N atomes Ex: Si, C, … Ex: Li, Al,..

Isolant Métal 40/45

Métal, Isolant, Semiconducteur

qq kT h

Semiconducteur
Isolant
Métal
0 eV<
GapGap
=
>04<eV
4 eV 41/45
Tableau de Mendelieev

42/45
Tableau de Mendeljeev

Semiconducteur IV-IV
43/45
Tableau de Mendeljeev

Semiconducteur III-V
44/45
Tableau de Mendeljeev

Semiconducteur II-VI
45/45