1
Circuitos Integrados y Microlectrnica
ANLISIS Y DISEO DE CIRCUITOS
INTEGRADOS DIGITALES A NIVEL FSICO
Autores:
Almudena Lindoso
Marta Portela
Enrique San Milln
Mario Garca
Luis Entrena
Celia Lpez
Circuitos Integrados y Microlectrnica
NDICE
Mscaras necesarias para la fabricacin de
un circuito integrado CMOS.
Layout de una puerta NAND
Layout de un inversor
Reglas de diseo
Ejemplos
2
2
Circuitos Integrados y Microlectrnica
3
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS
Las mscaras se utilizan para seleccionar las partes
del silicio dnde se quieren aplicar los distintos
procesos de las fases de fabricacin.
La representacin grfica de las mscaras necesarias
en la fabricacin de un circuito es el layout del circuito.
Un layout se compone de rectngulos que representan
las mscaras necesarias agrupadas por capas con las
mismas caractersticas fsicas (Sustratos y pozos,
regiones de difusin, polisilicio, interconexiones
metlicas y contactos y vias)
Circuitos Integrados y Microlectrnica
4
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS: puerta NAND
[Link].,Diseo
decircuitosysistemas
integradosEdiciones
UPC,2003.
3
Circuitos Integrados y Microlectrnica
5
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS: puerta NAND
[Link].,Diseo
decircuitosysistemas
integradosEdiciones
UPC,2003.
Implantacin de pozos N
Circuitos Integrados y Microlectrnica
6
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS: puerta NAND
[Link].,Diseo
decircuitosysistemas
integradosEdiciones
UPC,2003.
Implantacin de pozos P
4
Circuitos Integrados y Microlectrnica
7
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS: puerta NAND
[Link].,Diseo
decircuitosysistemas
integradosEdiciones
UPC,2003.
Creacin de la mscara para seleccionar las reas activas y
crecimiento de oxido grueso para aislar transistores
Circuitos Integrados y Microlectrnica
8
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS: puerta NAND
[Link].,Diseo
decircuitosysistemas
integradosEdiciones
UPC,2003.
Formacin de las puertas con polisilicio
5
Circuitos Integrados y Microlectrnica
9
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS: puerta NAND
[Link].,Diseo
decircuitosysistemas
integradosEdiciones
UPC,2003.
Implantacin de dopantes N+
Circuitos Integrados y Microlectrnica
10
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS: puerta NAND
[Link].,Diseo
decircuitosysistemas
integradosEdiciones
UPC,2003.
Implantacin de dopantes P+
6
Circuitos Integrados y Microlectrnica
11
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS: puerta NAND
[Link].,Diseo
decircuitosysistemas
integradosEdiciones
UPC,2003.
Aadir aislante, dejando libre las zonas para realizar contactos
Circuitos Integrados y Microlectrnica
12
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS: puerta NAND
[Link].,Diseo
decircuitosysistemas
integradosEdiciones
UPC,2003.
Metalizacin: primer nivel
7
Circuitos Integrados y Microlectrnica
13
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS: puerta NAND
[Link].,Diseo
decircuitosysistemas
integradosEdiciones
UPC,2003.
Aadir aislante dejando libre las zonas para realizar las
conexiones con otro nivel de metalizacin (vias)
Circuitos Integrados y Microlectrnica
14
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS: puerta NAND
[Link].,Diseo
decircuitosysistemas
integradosEdiciones
UPC,2003.
Metalizacin: segundo nivel
8
Circuitos Integrados y Microlectrnica
15
Mscaras necesarias para la fabricacin de un circuito integrado
CMOS: inversor
Circuitos Integrados y Microlectrnica
Reglas de diseo
Establecen las reglas que permiten traducir el
diseo del circuito a la geometra real
correspondiente en Silicio.
Un conjunto completo de reglas de diseo est
compuesto por los siguientes elementos:
Conjunto de capas
Relaciones entre objetos situados en la misma capa
Relaciones entre objetos situados en distintas capas
Imponen al diseador restricciones geomtricas
16
9
Circuitos Integrados y Microlectrnica
Reglas de diseo
Existen dos tipos:
Escalables.- Expresadas en funcin de un parmetro
()
Reglas adimensionales.
2 es la anchura mnima. Depende de la dimensin mnima
de la mscara que puede ser transferida con seguridad al
silicio. Determinada por la resolucin del proceso de
litografa.
Usadas en este curso (herramienta Microwind)
Para tecnologas menores a 0.18m el escalado no es lineal.
Representan el peor caso => diseos sobredimensionados
No escalables
Son las usadas en la industria
17
Circuitos Integrados y Microlectrnica
Reglas de diseo
18
[Link]
PozoN PozoN
r102
r101
r101 Tamaomnimodepozo
r102 Distanciamnimaentrepozos
PozoN Difusin
PozoN
Dif.P+ Dif.P+
Dif.N+
r203
r201
r202
r204
r201 TamaomnimodedifusinP
r202 DistanciamnimaentredifusionesP
r203 PozoNdespusdeladifusinPcomomnimo
r204 DistanciamnimaentrepozoNydifusinN
10
Circuitos Integrados y Microlectrnica
Reglas de diseo
19
[Link]
r301 Anchuramnimaparapolisilicio
r302 Anchuramnimaparapolisilicio sobredifusin(puerta)
r304 Distanciamnimaentredospolisilicios
Polisilicio
PozoN
Dif.P+
Dif.N+
r301
r304
r305
r306
r305 Distanciamnimaentrepolisilico yotradifusin
r306 Difusindespusdelpolisilicio
r307 Extensindelpolisilico despusdedifusin
r302
r307
Circuitos Integrados y Microlectrnica
Reglas de diseo
20
[Link]
r401 Anchuramnimadeuncontacto
r402 Distanciamnimaentredoscontactos
r403 Metalextradespusdeuncontacto
Contactos
Dif.N+
r404 Polisilicio extradespusdeuncontacto
r405 Difusinextradespusdeuncontacto
r404
r403
r402
r401
Metal1
r405
r501 Anchuramnimademetal1
r502 Distanciamnimaentredosmetales1
r502
r501
Metal1
Metal1
Metal1
11
Circuitos Integrados y Microlectrnica
Reglas de diseo
21
[Link]
r601 Anchuramnimadeunavia
r602 Distanciamnimaentredosvias
r603 Distanciamnimaentrevia ycontacto
r604 Metal1extratraslavia
r605 Metal2extratraslavia
Via
r605
r602
r601
contacto
r701 Anchuramnimademetal2
r702 Distanciamnimaentredosmetales2
Metal2
via
r603
Metal2
r701
r702
Metal2 Metal2
Circuitos Integrados y Microlectrnica
Ejemplos
22
NANDde2entradas
12
Circuitos Integrados y Microlectrnica
Ejemplos
23
NORde3entradas
Circuitos Integrados y Microlectrnica
Ejemplos
24