Operating Principles PDF
Operating Principles PDF
High speeds up to
70,000 rpm
■■ Keine magnetischen
Komponenten oder Felder,
Hysterese oder Entmagneti-
sierungs Gefahr
No magnetic components
No magnetic field hystere-
sis or demagnetisation risk
■■ Schutzklasse IP67
wasserdichte Impulsgeber
Die AMOSIN®-Winkelmesssysteme sind offene Hohlwellen-Messsysteme und haben dadurch generell keine Eigenlagerung und benötigen keine
Kupplungen für den mechanischen Anschluss. Mit den rein induktiv arbeitenden AMOSIN®-Systemen sind hohe Systemgenauigkeiten kleiner
+/-2µm Bogenlänge und darunter realisierbar. Die AMOSIN®-Systeme sind aber dennoch extrem robust gegenüber Umwelteinflüssen wie Staub,
Feuchtigkeit usw. und weisen eine extrem hohe Schock- und Vibrationsfestigkeit auf.
Die hohe Genauigkeit ist hauptsächlich auf das Herstellverfahren des stabilen Stahl-Maßbandringes und auf das ausgezeichnete Sensorsignal
mit Sinusgenauigkeits-Abweichungen von < 0,1 % (Oberwellenanteil als Maß der erreichbaren Interpolationsgenauigkeit innerhalb einer Teilungs-
periode) zurückzuführen. Wie aus dem nachfolgend beschriebenem Messprinzip hervorgeht, besteht das Messsystem aus keinen magnetischen
Teilen (weder Maßverkörperung noch Abtastkopf) und ist dadurch völlig unempfindlich gegen jede Art von elektromagnetischen Störfeldern, im
Gegensatz zu magnetischen Messsystemen und weist auch keine Hysterese auf. Die Systeme liefern in Echtzeit entweder 1 Vss Sinus/Cosinus-
Signale oder Rechteck-Signale nach RS-422.
Die breite Anwendungspalette der AMOSIN®-Winkelmesssysteme reicht von extrem genauen Positionierungen von Rundtischen über hochdre-
hende Spindeln mit ausgezeichneter Geschwindigkeitsregelgüte bis hin zu generellen Antrieben, wo hohe Dynamik und Steifigkeit gefordert ist.
AMO‘s proven and original technology for length and angle measurements uses techniques for scanning high precision graduations consisting
of structures photo-lithographically etched onto steel. Based on this, inductive sensors and integrated evaluation electronics (ASIC) have been
developed to create a new and powerful generation of measuring systems.
The AMOSIN® angle measuring systems are open hollow-shaft measuring systems, and generally therefore do not have their own bearings, nor
do they require any couplings for mechanical connection. Operating entirely on an inductive basis, with AMOSIN® systems high system accuracies
less than +/-2µm arc length and better can be achieved. Nevertheless AMOSIN® systems are very well able to resist environmental influences
such as dust, humidity and so forth, and also feature extremely high resistance to shock and vibration.
The high precision is mainly due to the procedure used to manufacture the rigid steel measuring ring, and to the exceptionally high quality sensor
signal, with deviations in the sine wave down to < 0.1 % harmonic content, as a measure of the achievable interpolation precision within the grat-
ing pitch. As will be seen from the measuring principle described below, the measuring system does not include any magnetic parts (either in the
scale or in the scanning head). As a result it is not at all sensitive to electromagnetic interference of any kind and has no hysteresis in contrast to
magnetic measuring systems. The systems output interfaces either 1 Vpp sine/cosine signals, or RS-422 square wave signals, in real-time.
The wide range of available AMOSIN® angle measuring system types means that they can be used for large application fields from the slow, ex-
tremely precise positioning of a turntable through to the high speeds and the closely controlled velocities of a machine spindle. They are of value
in general for drives where high dynamic range and stiffness is required.
2
Allgemeine Informationen Eigenschaften, Anwendungsbeispiele
General informations Properties, typical applications
The AMOSIN® measuring systems function on the principle of a transformer with a moving reluctance core. The mutual inductance of the primary
and secondary windings of a transformer changes in accordance with the relative position of the core.
The AMOSIN® system consists primarily of a planar coil and a Measuring scale (Fig.1). The coil structure, with a number of winding elements (in-
dividual main elements with primary and secondary SIN/COS coils) aligned in the direction of measurement, is implemented on a substrate using
micro-multi-layer technology. The measuring scale is a stainless-steel ring onto which a highly precise graduations (e.g. λ = 1000 µm) of variable
reluctance has been etched using photo-lithographic techniques.
The relative angular movement in the direction of measurement between the sensor structure (in the scanning head) and the Measuring
scale(measuring flange) periodically changes the mutual inductance of the individual coils, generating two sinusoidal signals with a 90° phase dif-
ference (SIN and COS). The extremely accurate signal, and its immunity to environmental influences, has the effect that, after conditioning of the
signal in the evaluation electronics (Fig. 2), deviations of no more than 0.1% from the ideal sinusoidal form (harmonic content) remains. This allows
high interpolation factors (further levels of sub-dividing ) to
be car ried out in the course of signal digitisation. This can
AMOSIN MESSSYSTEM
EEPROM
AMOSIN MEASURING SYSTEM either be done in the measuring system itself, or in the
Konfigurationsdaten
Configuration data (Fig. 2) subsequent electronics (CNC etc.).
3
Allgemeine Informationen Messgenauigkeit
General informations Measuring accuracy
Messgenauigkeit
Als offenes Winkelmesssystem, wo die Systemkomponenten, Maßverkörperung und Abtastkopf getrennt geliefert werden, ohne dass eine mecha-
nische Verbindung wie eigene Lagerung besteht, kann die Genauigkeit folgendermaßen zu diesen Komponenten zugeordnet werden:
1. Teilungsgenauigkeit - bestimmt durch die Genauigkeit der Massverkörperung am Messflansch und Formabweichungen von dem Idealzylin-
der der Messflanschmechanik
2. Genauigkeit innerhalb der Teilungsperiode - hauptsächlich bestimmt von der Güte des Sensorsignals und der Qualität der Auswerteelektronik
des Messsystems.
Zusätzlich ist für die Messsysteme mit Ausgangsschnittstelle 1 Vss folgendes zu beachten:
1. Teilungsgenauigkeit
Jeder Messflansch wird auf einem Winkelprüfstand vermessen und ein Prüfzertifikat, das die Genauigkeitsklasse laut Spezifikation angibt,
ausgestellt. Obwohl die absolute Messabweichung für ein offenes Messsystem von der Genauigkeit der Zentrierung des Messflansches auf die
Anwendungsachse abhängig ist, kann optional auch ein Prüfprotokoll der Teilungsgenauigkeit (unter idealen Montagebedingungen vermessen),
wie folgt mitgeliefert werden.
Für höchste Genauigkeitsanwendungen soll die Zentrierung des Messflansches möglichst genau realisiert werden. Die Genauigkeit der Winkel-
messung ist abhängig vom Teilungsfehler und der Zentrizität der Montage. Daraus resultierende systematische (langwellige) Fehler können in
der Steuerung kompensiert werden.
Durch den Einsatz eines MHS- bzw. CHS-Winkelmesssystems können systematische Fehler, wie z.B.: Exzentrizität, komplett eliminiert werden
(siehe auch Seite 55).
Die periodisch innerhalb der Teilung auftretenden Abweichungen betragen auf Grund der hervorragenden Signalerfassung und Auswertung
max. 0,1% der Teilungsperiode (z.B.: max. Abweichung von 0,5µm bei einer Teilungsperiode von 500µm). Diese höchste Genauigkeit gilt nicht
nur für den idealen Anbau sondern bleibt auch bei Ausnutzung der angegebenen Montagetoleranzen und des Arbeitstemperaturbereiches erhal-
ten. Jeder Abtastkopf wird in Anlehnung an diese hohen Qualitätskriterien justiert bzw. abgeglichen und geprüft.
Für die Unterdrückung der unter Pkt. „3“ und „4“ erwähnten Aspekte, wurde in der neuen Generation der AMOSIN -Systeme eine neue Ausgangs-
schnittstelle realisiert, in der die Sin, Cos- und Referenzsignale im Format 1 Vss unterteilt, und über Linedriver zur Verfügung gestellt werden (sie-
he Signaldiagramm Seite 69). Die Periodenunterteilung (mit programmierbaren Faktoren „D“) generiert in Echtzeit Ausgangssignale mit Perioden
bis zu 10µm Bogenlänge.
Die Auswirkung einer möglichen Abweichung in der Auswertung der Gebersignale durch die Folgeelektronik (Steuerung, usw.) wird bei dieser
Signalschnittstelle genau um den Periodenunterteilungsfaktor („D“) verringer t. Zusätzlich führt diese verringer te Sinussignalperiode zu einer
feineren Quantisierung in der Folgeelektronik, was vor allem bei anspruchsvollen Antriebsanwendungen in Anbetracht der Regelgüte in punkto
Gleichlauf und Steifigkeit von großer Bedeutung ist. Darüber hinaus wird durch die Signalunterteilung der Einfluss von Störungen (Rauschen, ...)
auf die Signalübertragung, proportional dem Unterteilungsfaktor „D“ verringer t d.h. ein verbessertes Signal/Rausch Verhältnis erreicht.
Aufgrund der metrologischen Eigenschaft der AMOSIN® -Systeme arbeiten diese vollkommen hysteresefrei.
4
Allgemeine Informationen Messgenauigkeit
General informations Measuring accuracy
Measuring accuracy
As an open angle-measuring system, in which the system components, measuring scale and scanning head are supplied separately, that means
there is no mechanical connection requiring own bearings. Therefore the precision can be assigned to these components as follows:
1. Scale accuracy - determined by the precision of the Measuring scale on the measuring flange, and by deviations of the measuring flange
mechanics from an ideal cylindrical form
2. Precision within one grating pitch - primarily determined by the quality of the sensor signal and the evaluation electronics of the scanning
head.
The following should also be considered for the measuring systems with a 1 Vpp output interface:
3. Precision of the analog/digital conversion at the input stage of the subsequent electronics (in the controller)
4. Noise coupled into the output signals as it is transferred from the scanning head to the subsequent electronics
1. Scale accuracy
Every measuring flange is measured on an angle test bench, and a test certificate, quoting the precision class in accordance with specification,
is completed. Although the absolute angular deviation for an open measuring system depends on the precision with which the measuring flange
is centred on the axes being measured, it is to possible supply a measuring diagram (registered under ideal assembly conditions), as follows.
For applications requiring the greatest precision, the measuring flange should be centred as accurately as possible. The precision of the angular
measurement depends on the graduation error and on the concentricity of the assembly. Systematic (long-wave) errors resulting from this can
be compensated for in the controller.
Systematic errors as for example eccentricity can be eliminated completely by using the MHS or CHS angle measuring system (see also page
55).
The periodical deviation which appears within the grating pitch is less than 0,1% of the pitch because of the high quality of the sensor signal and
the signal evalutation (e.g.. maximum deviation is 0,5µm on a 500µm pitch).
This high accuracy level will be achieved not just for the ideal, nominal mounting and environmental conditions but for the whole specified func-
tional range of geometrical mounting deviations or temperature.
In order to suppress the errors discussed above under points „3“ and „4“, a new output interface has been implemented in the new generation of
AMOSIN® systems, in which the sine, cosine and reference signals, for the 1 Vpp output interface delivered over line drivers (see signal diagram
on Page 69).
The real time conversion of the original signal (e.g. 1000 µm) in finer sine wave periods down to 10 µm. arc length is realised over a program-
mable factor „D“. The effect of any possible deviation in the evaluation of the encoder signals in the subsequent electronics (controller etc.), is
reduced exactly the dividing factor (D) that is applied. In addition, this reduced sinusoidal signal period leads to finer quantisation in the subsequent
electronics, which is of particularly great importance to demanding high stability, high stiffness drive applications. Additionally, the signal dividing
reduces the effect of interfered noise on the signal transfer line in proportion to the dividing factor „D“; in other words, an improved signal/noise
ratio is achieved.
The metrological principle on which the AMOSIN® systems operate means that they are entirely free from hysteresis and don´t lead to a “backlash
effect”.
5
Allgemeine Informationen Schematischer Messsystemaufbau
General informations Measuring system configuration
Schematischer Messsystemaufbau
Mittels eines speziellen Herstellungsverfahren wird die Maßverkörperung mit variabler Reluktanz zu einem geschlossenen Messring gefertigt,
der wiederum fest auf einem Messflansch vom Typ WMF montiert wird, oder als dünner Messring vom Typ WMR, für die kundenseitige Montage
geliefert wird.
Die Ausführung der Maßverkörperung WMR als in sich geschlossener Maßbandring für Winkel- und/oder Drehzahlerfassung bietet eine hohe
Flexibilität in der konstruktiven Antriebsgestaltung.
Ein bestehendes Maschinenteil wird durch die Montage des Messringes zu einem Messflansch.
Einzigartig bei dem AMOSIN-Winkelmesssystem ist die Gestaltung der Sensoreinheit (Fig. 3).
Das Messsystem basiert auf den Grundkomponenten Maßverkörperung und Abtastkopf und kann sehr flexibel den spezifischen Anwendungsan-
forderungen angepasst werden. Die Hauptauswahlkriterien sind in der Auswahltabelle auf Seite 8 dargestellt.
Generell kann jede Art von Maßverkörperung mit jeder Abtastkopfausführung kombiniert werden, solange folgende Eigenschaften
für beide Komponenten übereinstimmen:
• Teilungsperiode
• Art der Abtastung
• Anzahl der Teilstriche pro Umdrehung
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Allgemeine Informationen Schematischer Messsystemaufbau
General informations Measuring system configuration
Implementing the new measuring scale WMR as a thin, closed ring for the measurement of angles or rotation speeds offers high flexibility to drive
design.
Fitting the measuring ring in the transmission chain turns an existing part of the machine into a measuring flange. Other advantages of the mea-
suring ring design:
The design of the sensor unit (Fig. 3) is unique to the AMOSIN® angle measuring systems.
The measuring system is based on two basic components, the measuring scale and the measuring head. These two components can be adapted
to the special requirements of any particular application in a very flexible way. The main selection criteria are given further. (See also selection
table page 8)
Generally speaking, any type of measuring scale can be combined with any measuring head as long as the following properties
for the two components match:
• Grating pitch
• Type of scanning
• Number of grating pitches per revolution
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Auswahltabelle
Hohe Auflösung Große Montagetoleranzen
Hohe Genauigkeit Hohe Dynamik / Drehzahl
WMF-10x
Scale type
Seite 15 Seite 15
Page 15 Page 15
Measuring head type
Mehrkopfabtastung
Multiple head scanning MHS / CHS
Für höchste Genauigkeitsanforderungen.
For highest requirements in accuracy.
Seite 55
Page 55
Messring
Maßbandtyp
Measuring ring
Scale type
Miniatur Abtastkopf
Miniature measuring head
WMK-115x WMK-11x
Seite 47 Seite 47
Page 47 Page 47
Measuring head type
Mehrkopfabtastung
Multiple head scanning
MHS / CHS
Für höchste Genauigkeitsanforderungen.
For highest requirements in accuracy.
Seite 55
Page 55
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Außenabtastung Messflansche und Messringe
Outside scanning Measuring flanges and rings
No magnetic components,
no Hysteresis
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Außenabtastung Messflansche und Messringe
Outside scanning Measuring flanges and rings
Technische Daten
Technical data
WMF-10x
Teilungsperiode [Bogenlänge]: 1000 µm
Grating pitch [arc length]:
WMF für 500 µm oder 3000 µm auf Anfrage
WMF for 500 µm or 3000 µm on request
Teilungsgenauigkeit [Bogenlänge]: +/- 10µm oder (or) +/- 5µm
Grating accuracy [arc length]:
Mechanische Ausführung: Rostfreier Messflansch in 2 Ausführungen: WMF-10x-xxxx-0
Mechanical execution: Stainless steel measuring flange in 2 versions: WMF-10x-xxxx-1
Referenzmarke: 1 Marke / 360° - standard oder beliebige Anzahl und Lage oder abstandskodiert (siehe Seite 68)
Reference mark: 1 mark / 360° as standard or any desired number and position or distance coded (see page 68)
Standardgrößen N: 0256, 0360. 0512, 0720, 0900, 1024
Standard sizes N:
N ... Teilstriche pro Umdrehung
N … Grating pitches per revolution
Standardmessflansche
Standard measuring flanges
Type ØA ØI ØB Teilungsgenauigkeit 1)
WMF-10x [mm] [mm] [mm] β Scale accuracy 1)
WMF-100 WMF-101
+0
0256-1 81,27 60 -0,01 70 6 x 60° ±50” ±25”
+0
0360-0 115,07 60 -0,01 75
6 x 60° ±36” ±18”
+0
0360-1 115,07 95 -0,01 105
+0
0512-0 163,54 105 -0,01 120
6 x 60° ±24” ±12”
+0
0512-1 2)
163,54 143 -0,01 153
+0
0720-0 229,78 180 -0,01 195
6 x 60° ±18” ±9”
+0
0720-1 2) 229,78 209 -0,01 219
+0
0900-0 287,08 180 -0,01 195
12 x 30° ±14” ±7”
+0
0900-1 2)
287,08 266 -0,01 276
+0
1024-0 326,55 220 -0,01 235
12 x 30° ±12” ±6”
+0
1024-1 2) 326,55 296 -0,01 311
1) Die Genauigkeit kann durch den Einsatz des Messsystems MHS oder CHS um bis zu einem Faktor 4 verbessert werden (siehe Seite 55).
The precision can be increased up to a factor of 4 by using MHS or CHS as measuring system (see page 55)
10
Außenabtastung Messflansche und Messringe
Outside scanning Measuring flanges and rings
Montagezeichnung WMF-10x
Assembly drawings WMF-10x
WMF-10X-XXXX-0
0,1
6
M
0,005
X WMF-10X-XXXX-1
I-0,01 DETAIL X
A M2:1
0,1+0,1
0,5x45°
2+0,5
4,5
11 0,05
4,5
5,2
0,5x45°
A 0,02
0,005 A
0,005
Bestellcode:
Ordering code:
11
Außenabtastung Messflansche und Messringe
Outside scanning Measuring flanges and rings
Dünner, nichtrostender Messring, bestehend aus Stahlträgerring, Maß- Thin, stainless steel measuring ring, consisting of a steel carrier ring,
bandring und Abdeckring, welcher mit leichter Presspassung auf dem a graduation ring and a protection ring. Easily pressfitted mounting to
kundenspezifischen Flansch aufgezogen wird. (siehe Montageanlei- the corresponding flange by the customer. (see mounting instruction at
tungen auf [Link]) [Link])
Für Sonderanwendungen kann der Messring auch werksseitig auf den For special applications the measuring ring (circular segment also pos-
Flansch montiert werden, auch Kreissegmente sind möglich. sible) can be mounted on a flange at the factory.
Innendurchmesser Innendurchmesser
Inner diameter Inner diameter
F F
0,55 (WMR-105x)
0,65 (WMR-10x)
0,65
10
14
Technische Daten
Technical data
Teilungsperiode [Bogenlänge]:
Grating pitch [arc length]:
500 µm 1000 µm 3000 µm
Typ:
Type:
WMR-105x WMR-10x WMR-30x
Teilungsgenauigkeit [Bogenlänge]:
+/- 10µm oder (or) +/- 5µm +/- 20µm oder (or) +/- 10µm
Grating accuracy [arc length]:
Mechanische Ausführung: Rostfreier Maßbandring
Mechanical execution: Stainless steel measuring ring
Flanschmaterial: Kein spezielles Material erforderlich
Flange material: No special material required
Referenzmarke: 1 Marke / 360° - standard oder beliebige Anzahl und Lage oder abstandskodiert (siehe Seite 68)
Reference mark: 1 mark / 360° as standard or any desired number and position or distance coded (see page 68)
Standardgrößen N: 0512, 0720, 1440, 0256, 0360. 0512, 0720, 0900, 0120, 0128, 0170,
Standard sizes N: 1800, 2048 1024, 1440, 2048 0240, 0256, 0300
0341, 0360, 0480, 0512
N ... Teilstriche pro Umdrehung
N … Grating pitches per revolution
12
Außenabtastung Messflansche und Messringe
Outside scanning Measuring flanges and rings
Montagezeichnung WMR-105x
Assembly drawing WMR-105x
WMR-105x
Teilungsperiode [Bogenlänge]:
>11
Grating pitch [arc length]:
500 µm
l
0,5-1 0,8
N ØF [mm]
3,2
15
ØS = ØF+ 1,05±0,05
*) Rundlaufempfehlung: Höhere Werte bis ~0,03mm haben keinen Einfluss auf die Funktion des Gerätes, beeinträchtigen aber verhältnismäßig die Positioniergenauigkeit.
*) Recommended eccentricity: Greater eccentricities up to ~0,03mm do not affect the function of the device, but cause a proportional loss in positioning accuracy.
Montagezeichnung WMR-10x
Assembly drawing WMR-10x
WMR-10x
Teilungsperiode [Bogenlänge]:
>11
Grating pitch [arc length]:
1000 µm
l
0,5-1 0,8
N ØF [mm]
3,2
15
ØS = ØF+ 1,15±0,05
WMR-105 RI-Lage
RI-Position
WMR-10 00 ..... ohne / none
01 ..... 1 RI / Umdrehung
Teilungsgenauigkeit 1 RI / revolution
Grating accuracy
Kxx ....Abstandscodiert (Basisabstand x Perioden)
0 ....... +/- 10µm arc length Teilstriche / Umdrehung (N) Distance coded (basic spacing x periods)
1 ....... +/- 5µm arc length Grating pitches / revolution (N)
13
Außenabtastung Messflansche und Messringe
Outside scanning Measuring flanges and rings
Montagezeichnung WMR-30x
Assembly drawing WMR-30x
WMR-30x
Teilungsperiode [Bogenlänge]:
0,01 A
Grating pitch [arc length]:
3000 µm
>15
N ØF [mm]
l
0,5-1 0,8
3,2
85 bis (to) 169 Nx3/π – 0,82 ±0,01
15°
ØS = ØF + 1,15±0,05
A
N: ganzzahlige Anzahl der Teilstriche pro Umdrehung
N: Integer number of grating pitches per revolution
*) Rundlaufempfehlung: Höhere Werte bis ~0,10mm haben keinen Einfluss auf die Funktion des Gerätes, beeinträchtigen aber verhältnismäßig die Positioniergenauigkeit.
*) Recommended eccentricity: Greater eccentricities up to ~0,10mm do not affect the function of the device, but cause a proportional loss in positioning accuracy.
Bestellcode: WMR-30x
Ordering code: WMR-30x
WMR-30 RI-Lage
RI-Position
01 ..... 1 RI / Umdrehung
Teilungsgenauigkeit 1 RI / revolution
Grating accuracy
Kxx ....Abstandscodiert (Basisabstand x Perioden)
0 ....... +/- 20µm arc length Teilstriche / Umdrehung (N) Distance coded (basic spacing x periods)
1 ....... +/- 10µm arc length Grating pitches / revolution (N)
Für die Fertigungszeichung des Trägerflansches kann eine Freigabe The procuction drawing for the carrier flange can be released by
durch AMO herangezogen werden. AMO.
Bei Anwendungen mit großen Durchmessern und bedeutenden Tem- For applications with large diameters or significant variations in tem-
peraturschwankungen im Betrieb und dort wo keine Stahlträgerflan- perature during operation and when the carrier flanges are not made of
sche eingesetzt werden, muss das Systemdesign entsprechend aus- steel, the system must be designed accordingly.
gelegt werden.
14
Außenabtastung Miniaturabtastkopf
Outside scanning Miniature measuring head
■■ Elektronik im Stecker
integriert
Electronic integrated in
connector
■■ Schutzklasse IP67
15
Außenabtastung Miniaturabtastkopf
Outside scanning Miniature measuring head
Technische Daten
Technical data
Teilungsperiode [Bogenlänge]:
Grating pitch [arc length]:
500 µm 1000 µm
Typ:
Type:
WMK-105x WMK-10x
Arbeitstemperatur:
-10°C … 100°C
Operating temperature:
Lagertemperatur:
-20°C … 100°C
Storage temperature:
Schutzklasse: Abtastkopf:
IP67
Protection class: Measuring head:
Steckerelektronik mit Connei Stecker:
IP67
Connector electronics with Connei connector:
Steckerelektronik mit Sub-D Stecker:
IP54
Connector electronics with Sub-D connector:
Vibration:
< 400 m/s² for 55 – 2000 Hz
Vibration:
Schock:
< 2000 m/s² for 6 ms
Shock:
Versorgung:
5V +/- 5%
Power supply:
Kabel: Kabelspezifikation siehe Seite 70
Cable: Cable specification see page 70
Ausgangssignale: Sinus 1Vss oder TTL (RS422); siehe Diagramm auf Seite 69
Output signals: Sine 1Vpp or TTL (RS422); see diagram on page 69
Systemauflösungen:
System resolutions:
[Bogenlänge / arc length]
Signalperiode 1Vss: 500µm … 10µm 1000µm … 20µm
Signal period 1Vpp:
Auflösung TTL: 125µm … 0,125µm (1) 250µm … 0,25µm (1)
Resolution TTL:
Detaillierte Tabelle der möglichen Auflösungen siehe auf den nächsten Seiten.
Detailed list of possible resolutions see on following pages.
Max. Drehzahl: Siehe Tabelle auf Seite 66
Max. speed: See table on page 66
Passende Maßverkörperung: WMR-105x WMF-10x
Suitable measuring scale: WMR-10x
(WMF-105x auf Anfrage)
(WMF-105x on request)
16
Außenabtastung Miniaturabtastkopf
Outside scanning Miniature measuring head
Ausgangsfrequenz fa (Eingangsfrequenz für Folgeelektronik) ist für 1Vss-Systeme auf 300kHz begrenzt.
Output frequency fa (input frequency for subsequent electronics) is limited to 300 kHz for 1Vpp-systems.
Montagezeichnung WMK-105x
Kabel zur
Assembly drawing WMK-105x Steckerelektronik
Connection to
12 Massefläche subsequent electronics
(beidseitig) 34 ~8
Ground surface 5,
(both sides) = 16 = 2
3
Count direction+
WMR-1050
A
ØA
RI-Marke
RI-mark
A
0,55
RI-Marke RI-Marke
Maßverkörperung Abtastkopf
RI-mark RI-mark
measuring scale scanning head
10
17
Außenabtastung Miniaturabtastkopf
Outside scanning Miniature measuring head
18
Außenabtastung Miniaturabtastkopf
Outside scanning Miniature measuring head
Ausgangsfrequenz fa (Eingangsfrequenz für Folgeelektronik) ist für 1Vss-Systeme auf 300kHz begrenzt.
Output frequency fa (input frequency for subsequent electronics) is limited to 300 kHz for 1Vpp-systems.
Luftspalt 0,15±0,1
mit Folie einstellen
0,1 A 0,1 A Air gap0,15±0,1
set with spacer film
1 ±0,5 1 ±0,5
Zählrichtung +
A/2+9,1 0,1
Count direction +
WMR-100 WMF-100
11
10
A A
RI-Marke
RI-mark
ØA
A
0,65
RI-Marke RI-Marke
10 Maßverkörperung Abtastkopf
RI-mark RI-mark
measuring scale scanning head
19
Außenabtastung Miniaturabtastkopf
Outside scanning Miniature measuring head
20
Außenabtastung Miniaturabtastkopf
Outside scanning Miniature measuring head
Abmessungen Steckerelektronik
Dimensions connector electronics
27
27
14,5
14,5
~10 67 22 67
~111
9
5,2
9
17
25
6
25
17
4,5 8/4tief
en 4,5
r u ng 8/4deep
h s
b o o le
ge g h
4, 4, 5
nta ntin CONNEI-Kupplung
Mo Mou
5
Stift 12 pol.
s n
le ge
CONNEI-coupling CONNEI-Kupplung
ho n
Stift 12 pol.
g ru
male 12 pin
in h
CONNEI-coupling
nt bo
8/4tief
ou ge
male 12 pin
M n ta
8/4deep
o
M
16
14,5
2,5
67
~105
13,25
9
5,2
32,5
25
17
40
5
4, CONNEI-Kupplung
en ,5
3, , 3
Ø12mm u Connei-coupling
h r le Sub-D connector 15 pin
le n
ge g
s
Ø 12mm ta ntin
i n ru
n
nt oh
o u
M Mo
ou b
M age
t
on
M
21
22
Außenabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Outside scanning Measuring head with integrated electronics
■■ Komplette Sensorik u.
Elektronik im Abtastkopf
integriert
■■ Zwei Ausführungen
„hoch“ (WMK-200)
„flach“ (WMKF-200)
■■ Schutzklasse IP67
23
Außenabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Outside scanning Measuring head with integrated electronics
Technische Daten
Technical data
Teilungsperiode [Bogenlänge]:
Grating pitch [arc length]:
500 µm 1000 µm 3000 µm
Typ: WMK-205x WMK-20x WMK-30x
Type: WMKF-205x WMKF-20x WMKF-30x
Arbeitstemperatur:
-10°C … 100°C
Operating temperature:
Lagertemperatur:
-20°C … 100°C
Storage temperature:
Schutzklasse:
IP67
Protection class:
Vibration:
< 200 m/s² for 55 – 2000 Hz
Vibration:
Schock:
< 2000 m/s² for 6 ms
Shock:
Versorgung:
5V +/- 5%
Power supply:
Kabel: Kabelspezifikation siehe Seite 70
Cable: Cable specification see page 70
Ausgangssignale: Sinus 1Vss oder TTL (RS422); siehe Diagramm auf Seite 69
Output signals: Sine 1Vpp or TTL (RS422); see diagram on page 69
Systemauflösungen:
System resolutions:
[Bogenlänge / arc length]
Signalperiode 1Vss: 500µm … 10µm 1000µm … 20µm 3000µm … 60µm
Signal period 1Vpp:
Auflösung TTL: 125µm … 0,125µm (1) 250µm … 0,25µm (1) 750µm … 0,75µm (1)
Resolution TTL:
Detaillierte Tabelle der möglichen Auflösungen siehe auf den nächsten Seiten.
Detailed list of possible resolutions see on following pages.
Max. Drehzahl: Siehe Tabelle auf Seite 66
Max. speed: See table on page 66
Passende Maßverkörperung: WMR-105x WMF-10x WMR-30x
Suitable measuring scale: WMR-10x
(WMF-105x auf Anfrage) (WMF-30x auf Anfrage)
(WMF-105x on request) (WMF-30x on request)
siehe Seite 12 / see page 12 siehe Seite 10 / see page 10 siehe Seite 12 / see page 12
24
Außenabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Outside scanning Measuring head with integrated electronics
Ausgangsfrequenz fa (Eingangsfrequenz für Folgeelektronik) ist für 1Vss-Systeme auf 300kHz begrenzt.
Output frequency fa (input frequency for subsequent electronics) is limited to 300 kHz for 1Vpp-systems.
25
Außenabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Outside scanning Measuring head with integrated electronics
26
Außenabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Outside scanning Measuring head with integrated electronics
Montagezeichnung WMK-205x
Assembly drawing WMK-205x
Luftspalt 0,10±0,05 73
mit Folie einstellen
Air gap 0,10±0,05 61
16 set with spacer film 49
Massefläche
Ground surface
5,
22,5
0,1 A 2
29
10
3
Zahlrichtung +
R2
3 ±0,3
,25
Count direction+
A/2+3,6
WMR-1050
A
ØA
RI-Marke A
RI-mark
0.55
RI-Marke RI-Marke
10 Maßverkörperung Abtastkopf
RI-mark RI-mark
measuring scale scanning head
Montagezeichnung WMKF-205x
Assembly drawing WMKF-205x
Luftspalt 0,10±0,05 73
mit Folie einstellen 61
Air gap 0,10±0,05
25 set with spacer film 49
12,5
0,1 A
7
R2
2
A/2+3,6
RI-Marke
RI-mark
ØA
WMR-1050
A
0,55
5,2
10
RI-Marke RI-Marke
Maßverkörperung Abtastkopf
RI-mark RI-mark
measuring scale scanning head
27
Außenabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Outside scanning Measuring head with integrated electronics
Ausgangsfrequenz fa (Eingangsfrequenz für Folgeelektronik) ist für 1Vss-Systeme auf 300kHz begrenzt.
Output frequency fa (input frequency for subsequent electronics) is limited to 300 kHz for 1Vpp-systems.
28
Außenabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Outside scanning Measuring head with integrated electronics
29
Außenabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Outside scanning Measuring head with integrated electronics
Montagezeichnung WMK-20x
Assembly drawing WMK-20x
Luftspalt 0,15±0,1 73
mit Folie einstellen
Air gap 0,15±0,1 61
set with spacer film 49
16
Massefläche
Ground surface
5,
22,5
0,1 A 2
0,1 A
29
10
3
Zahlrichtung +
R
2 ±0,5
2,
3 ±0,5
25
Count direction+
A/2+3,6
13
WMF-100
WMR-100
A
A
ØA
10 A
RI-Marke
RI-mark
11
0.65
RI-Marke RI-Marke
Maßverkörperung Abtastkopf
10 RI-mark RI-mark
measuring scale scanning head
Montagezeichnung WMKF-20x
Assembly drawing WMKF-20x
Luftspalt 0,15±0,1
mit folie einstellen 73
Air gap 0,15±0,1
25 25 set with spacer film 61
49 5,
2
0,1 A
12,5
0,1 A
7
2
6,5 ±0,5
2,
7,5 ±0,5
25
Massefläche
Ground surface
A/2+3,6
(17,5)
Zahlrichtung +
WMF-100
A A Count direction+
RI-Marke
RI-mark
ØA
A
WMR-100
0,65
10 10 RI-Marke RI-Marke
Maßverkörperung Abtastkopf
11 RI-mark RI-mark
measuring scale scanning head
30
Außenabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Outside scanning Measuring head with integrated electronics
Ausgangsfrequenz fa (Eingangsfrequenz für Folgeelektronik) ist für 1Vss-Systeme auf 300kHz begrenzt.
Output frequency fa (input frequency for subsequent electronics) is limited to 300 kHz for 1Vpp-systems.
31
Außenabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Outside scanning Measuring head with integrated electronics
32
Außenabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Outside scanning Measuring head with integrated electronics
Montagezeichnung WMK-30x
Assembly drawing WMK-30x Luftspalt 0,40±0,2
mit Folie einstellen
73 Kabel zur
Air gap 0,40±0,2 61 Steckerelektronik
16 set with spacer film Connection to
49 subsequent electronics
5,2
22.5
0,1 A
10
3
R2
Massefläche Zahlrichtung +
.2
1 ±1 Ground surface
A/2+3,6
Count direction+
WMR-300
RI-Marke
ØA
RI-mark
A
0,65
RI-Marke RI-Marke
14 Maßverkörperung Abtastkopf
RI-mark RI-mark
measuring scale scanning head
Montagezeichnung WMKF-30x
Assembly drawing WMKF-30x
Luftspalt 0,40±0,2
73
mit Folie einstellen 61
25 Air gap 0,40±0,2
set with spacer film 49
5,2
13,5
0,1 A
7
2
5,5 ±1
R
2,
25
Massefläche Zahlrichtung +
Ground surface
A/2+3,6
Count direction+
WMR-300
A
ØA
RI-Marke
RI-mark
A
0,65
14
RI-Marke RI-Marke
Maßverkörperung Abtastkopf
RI-mark RI-mark
measuring scale scanning head
33
34
Innennabtastung Messringe
Inside scanning Measuring rings
No magnetic components,
no Hysteresis
35
Innennabtastung Messringe
Inside scanning Measuring rings
Für Sonderanwendungen, nach Rücksprache mit dem Hersteller, kann For special applications, in agreement with the customer, the measu-
der Messring (auch Kreissegmente sind möglich) werkseitig auf dem ring ring (circular segments also possible) can be mounted on a flange
Flansch montiert werden. at the factory.
Außendurchmesser Außendurchmesser
Outer diameter Outer diameter
B B
0,50 (WMR-115x)
0,60 (WMR-11x)
0,60
10
14
Technische Daten
Technical data
Teilungsperiode [Bogenlänge]:
Grating pitch [arc length]:
500 µm 1000 µm 3000 µm
Typ:
Type:
WMR-115x WMR-11x WMR-31x
Teilungsgenauigkeit [Bogenlänge]:
+/- 10µm oder (or) +/- 5µm +/- 20µm oder (or) +/- 10µm
Grating accuracy [arc length]:
Mechanische Ausführung: Rostfreier Maßbandring
Mechanical execution: Stainless steel measuring ring
Flanschmaterial: Kein spezielles Material erforderlich
Flange material: No special material required
Referenzmarke: 1 Marke / 360° - standard oder beliebige Anzahl und Lage oder abstandskodiert (siehe Seite 68)
Reference mark: 1 mark / 360° as standard or any desired number and position or distance coded (see page 68)
Standardgrößen N: 0720, 1440, 0512, 0720, 0900, 0170, 0240, 0256, 0300
Standard sizes N: 1800, 2048 1024, 1440, 2048 0341, 0360, 0480, 0512
N ... Teilstriche pro Umdrehung
N … Grating pitches per revolution
36
Innennabtastung Messringe
Inside scanning Measuring rings
Montagezeichnung WMR-115x
Assembly drawings WMR-115x
WMR-115x
Teilungsperiode [Bogenlänge]:
+0,1
10,01 0 Grating pitch [arc length]:
500 µm
N ØB [mm]
0,005* A
1024 bis (to) 1439 N/2π + 0,73 ±0,02
0,02 A
1440 bis (to) 2049 N/2π + 0,67 ±0,02
0,5
3,2
2050 bis (to) 3000 N/2π + 0,64 ±0,03
Freiraum für Abtastkopf
3001 bis (to) 4000 N/2π + 0,60 ±0,06
Measuring head width
ØS = ØB -1,05±0,05
A
N: ganzzahlige Anzahl der Teilstriche pro Umdrehung
N: Integer number of grating pitches per revolution
0,8 0,8
*) Rundlaufempfehlung: Höhere Werte bis ~0,03mm haben keinen Einfluss auf die Funktion des Gerätes, beeinträchtigen aber verhältnismäßig die Positioniergenauigkeit.
*) Recommended eccentricity: Greater eccentricities up to ~0,05mm do not affect the function of the device, but cause a proportional loss in positioning accuracy.
Montagezeichnung WMR-11x
Assembly drawings WMR-11x
WMR-11x
Teilungsperiode [Bogenlänge]:
+0,1
10,01 0 Grating pitch [arc length]:
1000 µm
N ØB [mm]
0,005* A 512 bis (to) 719 N/π + 0,73 ±0,01
0720 bis (to) 1024 N/π + 0,67 ±0,02
0,5
3,2 0,02 A
1025 bis (to) 1500 N/π + 0,64 ±0,03
1501 bis (to) 2000 N/π + 0,60 ±0,05
Freiraum für Abtastkopf
ØS = ØB -1,15±0,05
A
N: ganzzahlige Anzahl der Teilstriche pro Umdrehung
N: Integer number of grating pitches per revolution
0,8 0,8
*) Rundlaufempfehlung: Höhere Werte bis ~0,05mm haben keinen Einfluss auf die Funktion des Gerätes, beeinträchtigen aber verhältnismäßig die Positioniergenauigkeit.
*) Recommended eccentricity: Greater eccentricities up to ~0,05mm do not affect the function of the device, but cause a proportional loss in positioning accuracy.
WMR-115 RI-Lage
RI-Position
WMR-11 00 ..... ohne / none
01 ..... 1 RI / Umdrehung
Teilungsgenauigkeit 1 RI / revolution
Grating accuracy
Kxx ....Abstandscodiert (Basisabstand x Perioden)
0 ....... +/- 10µm arc length Teilstriche / Umdrehung (N) Distance coded (basic spacing x periods)
1 ....... +/- 5µm arc length Grating pitches / revolution (N)
37
Innennabtastung Messringe
Inside scanning Measuring rings
Montagezeichnung WMR-31x
Assembly drawings WMR-31x
WMR-31x
+0,1 Teilungsperiode [Bogenlänge]:
14,01 0 Grating pitch [arc length]:
3000 µm
N ØB [mm]
170 bis (to) 240 Nx3/π + 0,73 ±0,01
0,005* A
241 bis (to) 342 Nx3/π + 0,67 ±0,02
0,5
0,02 A
343 bis (to) 500 Nx3/π + 0,64 ±0,03
3,2
501 bis (to) 830 Nx3/π + 0,60 ±0.05
Freiraum für Abtastkopf
Measuring head width
ØS = ØB - 1,15±0,05
ØS Länge >18mm
A
N: ganzzahlige Anzahl der Teilstriche pro Umdrehung
N: Integer number of grating pitches per revolution
0,8
0,8
*) Rundlaufempfehlung: Höhere Werte bis ~0,10mm haben keinen Einfluss auf die Funktion des Gerätes, beeinträchtigen aber verhältnismäßig die Positioniergenauigkeit.
*) Recommended eccentricity: Greater eccentricities up to ~0,10mm do not affect the function of the device, but cause a proportional loss in positioning accuracy.
Bestellcode: WMR-31x
Ordering code: WMR-31x
WMR-31 RI-Lage
RI-Position
01 ..... 1 RI / Umdrehung
Teilungsgenauigkeit 1 RI / revolution
Grating accuracy
Kxx ....Abstandscodiert (Basisabstand x Perioden)
0 ....... +/- 20µm arc length Teilstriche / Umdrehung (N) Distance coded (basic spacing x periods)
1 ....... +/- 10µm arc length Grating pitches / revolution (N)
Für die Fertigungszeichung des Trägerflansches kann eine Freigabe The procuction drawing for the carrier flange can be released by
durch AMO herangezogen werden. AMO.
Bei Anwendungen mit großen Durchmessern und bedeutenden Tem- For applications with large diameters or significant variations in tempe-
peraturschwankungen im Betrieb und dort wo keine Stahlträgerflan- rature during operation and when the carrier flanges are not made of
sche eingesetzt werden, muss das Systemdesign entsprechend aus- steel, the system must be designed accordingly.
gelegt werden.
38
Innennabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Inside scanning Measuring head with integrated electronics
■■ Komplette Sensorik u.
Elektronik im Abtastkopf
integriert
■■ Schutzklasse IP67
■■ Kombinierbar mit
Messringen
39
Innennabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Inside scanning Measuring head with integrated electronics
Technische Daten
Technical data
Teilungsperiode [Bogenlänge]:
Grating pitch [arc length]:
500 µm 1000 µm 3000 µm
Typ:
Type:
WMK-215x WMK-21x WMK-31x
Arbeitstemperatur:
-10°C … 100°C
Operating temperature:
Lagertemperatur:
-20°C … 100°C
Storage temperature:
Schutzklasse:
IP67
Protection class:
Vibration:
< 200 m/s² for 55 – 2000 Hz
Vibration:
Schock:
< 2000 m/s² for 6 ms
Shock:
Versorgung:
5V +/- 5%
Power supply:
Kabel: Kabelspezifikation siehe Seite 70
Cable: Cable specification see page 70
Ausgangssignale: Sinus 1Vss oder TTL (RS422); siehe Diagramm auf Seite 69
Output signals: Sine 1Vpp or TTL (RS422); see diagram on page 69
Systemauflösungen:
System resolutions:
[Bogenlänge / arc length]
Signalperiode 1Vss: 500µm … 10µm 1000µm … 20µm 3000µm … 60µm
Signal period 1Vpp:
Auflösung TTL: 125µm … 0,125µm (1) 250µm … 0,25µm (1) 750µm … 0,75µm (1)
Resolution TTL:
Detaillierte Tabelle der möglichen Auflösungen siehe auf den nächsten Seiten.
Detailed list of possible resolutions see on following pages.
Max. Drehzahl: Siehe Tabelle auf Seite 66
Max. speed: See table on page 66
Passende Maßverkörperung: WMR-115x WMR-11x WMR-31x
Suitable measuring scale:
siehe Seite 35 / see page 35 siehe Seite 35 / see page 35 siehe Seite 35 / see page 35
40
Innennabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Inside scanning Measuring head with integrated electronics
Ausgangsfrequenz fa (Eingangsfrequenz für Folgeelektronik) ist für 1Vss-Systeme auf 300kHz begrenzt.
Output frequency fa (input frequency for subsequent electronics) is limited to 300 kHz for 1Vpp-systems.
Montagezeichnung WMK-215x
Assembly drawing WMK-215x
41
Innennabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Inside scanning Measuring head with integrated electronics
42
Innennabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Inside scanning Measuring head with integrated electronics
Ausgangsfrequenz fa (Eingangsfrequenz für Folgeelektronik) ist für 1Vss-Systeme auf 300kHz begrenzt.
Output frequency fa (input frequency for subsequent electronics) is limited to 300 kHz for 1Vpp-systems.
Montagezeichnung WMK-21x
Assembly drawing WMK-21x
43
Innennabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Inside scanning Measuring head with integrated electronics
44
Innennabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Inside scanning Measuring head with integrated electronics
Ausgangsfrequenz fa (Eingangsfrequenz für Folgeelektronik) ist für 1Vss-Systeme auf 300kHz begrenzt.
Output frequency fa (input frequency for subsequent electronics) is limited to 300 kHz for 1Vpp-systems.
Montagezeichnung WMK-31x
Assembly drawing WMK-31x
45
Innennabtastung Abtastkopf mit integrierter Elektronik
Inside scanning Measuring head with integrated electronics
46
Innennabtastung Miniaturabtastkopf
Inside scanning Miniature measuring head
■■ Elektronik im Stecker
integriert
Electronic integrated in
connector
■■ Kombinierbar mit
Messringen
■■ Schutzklasse IP67
47
Innennabtastung Miniaturabtastkopf
Inside scanning Miniature measuring head
Technische Daten
Technical data
Teilungsperiode [Bogenlänge]:
Grating pitch [arc length]:
500 µm 1000 µm
Typ:
Type:
WMK-115x WMK-11x
Arbeitstemperatur:
-10°C … 100°C
Operating temperature:
Lagertemperatur:
-20°C … 100°C
Storage temperature:
Schutzklasse: Abtastkopf:
IP67
Protection class: Measuring head:
Steckerelektronik mit Connei Stecker:
IP67
Connector electronics with Connei connector:
Steckerelektronik mit Sub-D Stecker:
IP54
Connector electronics with Sub-D connector:
Vibration:
< 400 m/s² for 55 – 2000 Hz
Vibration:
Schock:
< 2000 m/s² for 6 ms
Shock:
Versorgung:
5V +/- 5%
Power supply:
Kabel: Kabelspezifikation siehe Seite 70
Cable: Cable specification see page 70
Ausgangssignale: Sinus 1Vss oder TTL (RS422); siehe Diagramm auf Seite 69
Output signals: Sine 1Vpp or TTL (RS422); see diagram on page 69
Systemauflösungen:
System resolutions:
[Bogenlänge / arc length]
Signalperiode 1Vss: 500µm … 10µm 1000µm … 20µm
Signal period 1Vpp:
Auflösung TTL: 125µm … 0,125µm (1) 250µm … 0,25µm (1)
Resolution TTL:
Detaillierte Tabelle der möglichen Auflösungen siehe auf den nächsten Seiten.
Detailed list of possible resolutions see on following pages.
Max. Drehzahl: Siehe Tabelle auf Seite xx
Max. speed: See table on page xx
Passende Maßverkörperung: WMR-115x WMR-11x
Suitable measuring scale:
48
Innennabtastung Miniaturabtastkopf
Inside scanning Miniature measuring head
Ausgangsfrequenz fa (Eingangsfrequenz für Folgeelektronik) ist für 1Vss-Systeme auf 300kHz begrenzt.
Output frequency fa (input frequency for subsequent electronics) is limited to 300 kHz for 1Vpp-systems.
Montagezeichnung WMK-115x
Assembly drawing WMK-115x
49
Innennabtastung Miniaturabtastkopf
Inside scanning Miniature measuring head
50
Innennabtastung Miniaturabtastkopf
Inside scanning Miniature measuring head
Ausgangsfrequenz fa (Eingangsfrequenz für Folgeelektronik) ist für 1Vss-Systeme auf 300kHz begrenzt.
Output frequency fa (input frequency for subsequent electronics) is limited to 300 kHz for 1Vpp-systems.
Montagezeichnung WMK-11x
Assembly drawing WMK-11x
51
Innennabtastung Miniaturabtastkopf
Inside scanning Miniature measuring head
52
Innennabtastung Abmessungen Steckerelektronik
Inside scanning Dimensions connector electronics
Abmessungen Steckerelektronik
Dimensions connector electronics
27
27
14,5
14,5
~10 67 22 67
~111
9
5,2
9
17
25
6
25
17
4,5 8/4tief
en 4,5
r u ng 8/4deep
h s
b o o le
ge g h
4, 4, 5
nta ntin CONNEI-Kupplung
Mo Mou
5
Stift 12 pol.
s n
le ge
CONNEI-coupling CONNEI-Kupplung
ho n
Stift 12 pol.
g ru
male 12 pin
in h
CONNEI-coupling
nt bo
8/4tief
ou ge
male 12 pin
M n ta
8/4deep
o
M
16
14,5
2,5
67
~105
13,25
9
5,2
32,5
25
17
40
5
4, CONNEI-Kupplung
en ,5
3, , 3
Ø12mm u Connei-coupling
h r le Sub-D connector 15 pin
le n
ge g
s
Ø 12mm ta ntin
i n ru
n
nt oh
o u
M Mo
ou b
M age
t
on
M
53
54
Mehrkopfabtastung MHS / CHS
Multiple head scanning
■■ Eliminiert Exzentrizitäts-
und Rundlauffehler
■■ Schutzklasse IP67
55
Mehrkopfabtastung MHS / CHS
Multiple head scanning
The new AMO angle measuring system with multi head scanning provides absolute accuracies of several arc seconds for rotary tables and swiv-
elling axis. The influence of eccentricity will be eliminated and the system accuracy can be improved up to a factor of 4 compared with a single
head measuring system.
Mögliche Fehlerquellen
Possible sources of error
Grundsätzlich ist festzuhalten, dass jede exzentrische Montage eines Winkelmesssystems einen Messfehler verursacht, unabhängig davon ob
dieses mit oder ohne Eigenlagerung ausgeführt ist.
Generally it should be noted that each eccentric mounting of an angle measuring system causes an error in measuring position, independent
whether there is an integral bearing or not.
Bei genauerer Betrachtung möglicher Fehlerquellen in einer Rundachsmessanordnung stößt man auf folgende Fehler:
b) Zufällige Fehler
• Lagerspiel
• Lastabhängige Verformung
On a detailed view of possible sources of error on a rotary axis one encounters the following errors:
b) Coincidental errors
Die oben aufgeführten systematischen Fehler sind in der Praxis nicht völlig vermeidbar, jedoch reproduzierbar. Dafür bieten wir zwei wirtschaftli-
che Kompensationsmöglichkeiten:
Since the systematically errors specified above are in practice not completely avoidable, we present two economic compensation possibilities:
56
Mehrkopfabtastung MHS / CHS
Multiple head scanning
Das Winkelmesssystem besteht aus einem Messflansch bzw. Messring, 2 Abtastköpfen und der Auswerteelektronik wie unten dargestellt.
The AMOSIN angle measuring system MHS-21x is designed for high accuracy applications, where precision bearings are used. Therefore, most
of the measuring errors are systematic and repeatable, and the non-repeatable errors for the majority of applications can be neglected.
The measuring system consists of a measuring flange, 2 reading heads and an evaluation electronics box and as shown on below.
2. Abtastköpfe WMK
Measuring heads WMK
3. MHS - Auswerteelektronik
MHS - evaluation electronics
Während die Achse in Betrieb ist, werden die Positionsinformationen beider Abtastköpfe kontinuierlich erfasst und die korrigierte Positionsinforma-
tion berechnet und am Ausgang der Auswerteelektronik MHS-21x der nachfolgenden Steuerung zur Verfügung gestellt.
Ergebnis: Der Exzentrizitätsfehler wird eliminiert und die systematischen Fehler werden um den Faktor 2 reduziert.
Ein weiterer großer Vorteil der MHS-21x ist, dass wechselnde Exzentrizitäten, wie sie während der Bearbeitung und bei Lastwechseln
auftreten können ebenfalls eliminiert werden.
During a rotary movement of the measuring flange the MHS-21x reads position data from both heads continuously and evaluates a corrected
position signal on the system output.
Consequence: The eccentricity error is completely eliminated and the influences of systematic errors is reduced by a factor of 2.
The great advantage of the MHS-21x is that also changing eccentricity during the machining process (i.e rotary tables, milling heads
which gets different radial loads) is compensated.
57
Mehrkopfabtastung MHS / CHS
Multiple head scanning
Das anwenderfreundliche CHS-Winkelmesssystem arbeitet in der Praxis mit der Genauigkeit eines Mehrkopf-Systems. Die einzigartige Be-
sonderheit ist, dass im Betrieb nur ein Messkopf benötigt wird und nur zum Zeitpunkt der Kalibrierung ein zweiter Kalibrier-Kopf angeschlossen
werden muss.
An high precision angle measuring system with multiple head scanning provides, as described above, a significant increase in system accuracy
compared with a single reading head system.
The user friendly CHS angle measuring system achieves the accuracy of a multiple head [Link] unique feature is that there is only one
reading head necessary for normal operation. Only for initial start up of the axis a second reading head has to be mounted for the calibration
procedure.
Das CHS-Winkelmesssystem besteht aus einem Messflansch, einem Messkopf, der Signalelektronik und dem für die Kalibrierung notwendigen
Kalibrierkopf , wie unten dargestellt.
The CHS angle measuring system consists of a measuring flange or measuring ring, one reading head, an evaluation electronics and a calibration
unit as shown below.
2. Abtastkopf WMK
Measuring head WMK
3. CHS – Auswerteelektronik
CHS – evaluation electronics
58
Mehrkopfabtastung MHS / CHS
Multiple head scanning
Bei einer folgenden Drehbewegung wird bei Erkennung der Referenzmarke durch den Messkopf der Kalibriervorgang gestartet. Die Positionswer-
te von Messkopf und Kalibrierkopf werden an die Elektronik übertragen. Nach einer Umdrehung ist die Datenerfassung abgeschlossen und die
Abweichungen zwischen Mess- und Kalibrierkopf automatisch ermittelt.
Bei der Kalibrierung entsprechend einer 4-Kopf-Abtastung ist der gleiche Vorgang mit dem Kalibrierkopf an den weiteren Positionen (90° und
270°) zu wiederholen. Nach der dritten Fahrt ist der Kalibriervorgang auch für das 4-Kopf-System abgeschlossen.
During the calibration procedure, the calibrating head is temporarily mounted diametrically opposite (180°) to the active measuring head.
During a rotary movement of the measuring flange collecting and transmitting of the position data from both heads starts when the reference mark
passes the reading head. The calibration procedure for this position of the calibration head is completed after one revolution and the error devia-
tions are stored in the evaluation electronic box automatically.
For the quadruple encoder head calibration procedure, which results in an even higher accuracy, the calibration head must be mounted succes-
sively also in the positions 90° and 270°. After the third calibration procedure at position 270° the calibration is done.
Ergebnis: Der Fehler, verursacht durch eine Exzentrizität wird vollständig kompensiert und der Einfluss der systematischen Messfehler um den
Faktor 2 (bei der Zweikopfkalibrierung) und um den Faktor 4 (bei der Vierkopfkalibrierung) reduziert.
Der große Vorteil eines CHS-Winkelmesssystems besteht darin, dass im Betrieb mit nur einem Abtastkopf die hohen Genauigkeiten
eines Doppel- bzw. Vierkopfsystems bei wesentlich geringeren Systemkosten erreicht werden.
Consequence: The eccentricity error is completely eliminated and the influence of systematic errors is reduced by a factor of 2 with 2 head calibra-
tion and/or 4 with 4 head calibration.
The great advantage of the CHS-11x is that only one reading head is used for normal operation, offering highest accuracy similar to a
double and/or quadruple reading head design but with lower system costs.
59
Mehrkopfabtastung MHS / CHS
Multiple head scanning
Metrologische Betrachtung
Metrological consideration
Um die Genauigkeitsverbesserung unserer Winkelmesssysteme darzustellen, sind nachfolgend, auf Basis eines Standardmessflansches, einige
Messergebnisse gegenüber gestellt.
Der Standardflansch WMF-101-1024 hat auf einem Durchmesser von rund 326mm eine Teilungsgenauigkeit von ca. ±6 Winkelsekunden für eine
Einkopflösung unter idealen Montagebedingungen, d.h. keine Exzentrizität.
Das anwenderfreundliche CHS-Winkelmesssystem arbeitet in der Praxis mit der Genauigkeit eines Mehrkopf-Systems. Die einzigartige Be-
sonderheit ist, dass im Betrieb nur ein Messkopf benötigt wird und nur zum Zeitpunkt der Kalibrierung ein zweiter Kalibrier-Kopf angeschlossen
werden muss.
To illustrate the accuracies that can be reached with the CHS are given further measuring diagrams of a system WMI-101-1024 which is a standard
angle measuring system with a grating ring of about 326 mm diameter and an accuracy of ±6 arc seconds for a standard single head encoder
under ideal mounting conditions, that means no eccentricity.
The immense sinusodial deviation over 360° shows the typical influence of an eccentricity of only 10µm. At a diameter of 326mm and an eccen-
tricity of 10µm the calculated value for the deviation is ±12,6µm and therefore 2 times higher than the accuracy of the measuring flange as
shown below.
15
Error: ± 12,9 "
10
Fehler [Winkelsekunden]
5
Error [arcsec]
-5
-10
-15
0 45 90 135 180 225 270 315 360
Position [Winkelgrad]
Position [degree]
Messflansch montiert mit 10µm Exzentrizität, Zweikopfabtastung mit MHS- oder CHS-System
Measuring flange mounted with 10 µm eccentricity, double head scanning with MHS- or CHS-system
Bei der Verwendung des CHS- oder MHS- Winkelmesssystems mit 2-Kopf-Kalibrierung und dem identischen Messflansch mit unveränderter
Exzentrizität von 10µm ergibt sich ein Genauigkeitsverlauf wie unten dargestellt. Der Fehler durch die Exzentrizität hat keinen Einfluss mehr, die
anderen systematischen Messabweichungen wurden halbiert.
With a CHS- or MHS angle measuring system with double head scanning and an identical measuring flange with unchanged eccentricity of 10µm
the deviation is as shown below.
The influence of eccentricity is completely eliminated, the error of the measuring flange is halve the value compared to single head scanning.
15
10
Error: ± 2,4"
Fehler [Winkelsekunden]
5
Error [arcsec]
-5
-10
-15
0 45 90 135 180 225 270 315 360
Position [Winkelgrad]
Position [degree]
60
Mehrkopfabtastung MHS / CHS
Multiple head scanning
With a quadruple head calibration on a CHS-angle measuring system the absolute accuracy of the position is increased again by a factor of 2,
as shown in the diagram below.
15
Error: ± 1,2"
10
Fehler [Winkelsekunden]
5
Error [arcsec]
-5
-10
-15
0 45 90 135 180 225 270 315 360
Position [Winkelgrad]
Position [degree]
Die Resultate der Diagramme zeigen, welche hohe absolute Genauigkeit bei einer Winkelmessung erreichbar ist.
The diagrams above show the high accuracy which can be achieved in angle position measurement.
In untenstehender Tabelle sind nochmals die erreichbaren Systemgenauigkeiten für verschiedene Messflanschgrößen zusammengestellt.
The obtainable system accuracies for different sizes of the measuring flange are shown in the table below.
61
Mehrkopfabtastung MHS / CHS
Multiple head scanning
Technische Daten
Technical data
MHS CHS
Mögliche Teilungsperiode:
[Bogenlänge]
500µm / 1000µm / 3000µm
Possible grating pitch
[arc length]:
Arbeitstemperatur: Abtastkopf:
-10°C … 100°C
Operating temperature: Measuring head:
Auswerteelektronic:
-10°C … 80°C
Evaluation electronics:
Lagertemperatur:
-20°C … 100°C
Storage temperature:
Schutzklasse: Abtastkopf:
IP67
Protection class: Measuring head:
Auswerteelektronic:
IP66
Evaluation electronics:
Vibration:
< 400 m/s² for 55 – 2000 Hz
Vibration:
Schock:
< 2000 m/s² for 6 ms
Shock:
Versorgung: 7V bis (to) 36V - 180mA bei (at) 24V
Power supply: Versorgung über separates Kabel, 3m Länge
Power supply on a separate cable with 3m length
Kabel: Kabelspezifikation siehe Seite 70
Cable: Cable specification see page 70
Ausgangssignale: Sinus 1Vss oder TTL (RS422); siehe Diagramm auf Seite 69
Output signals: Sine 1Vpp or TTL (RS422); see diagram on page 69
Systemauflösungen (2):
System resolutions (2):
[Bogenlänge / arc length]
Signalperiode 1Vss:
3000µm … ~15µm
Signal period 1Vpp:
Auflösung TTL:
3µm … 0,125µm (1)
Resolution TTL:
Detaillierte Tabelle der möglichen Auflösungen siehe auf den nächsten Seiten.
Detailed list of possible resolutions see on following pages.
Max. Drehzahl: Siehe Tabelle auf Seite 66
Max. speed: See table on page 66
Passende Maßverkörperung: WMR-105x
Suitable measuring scale: (WMF-105x auf Anfrage / on request)
oder / or
WMF-10x / WMR-10x
oder / or
WMR-30x
(WMF-30x auf Anfrage / on request)
62
Mehrkopfabtastung MHS / CHS
Multiple head scanning
Die Auswerteelektronik MHS bzw. CHS kann mit den Abtastköfpen WMK-1050, WMK-100 oder WMK-300, je nach gewählter Teilungsperiode
kombiniert werden.
The evaluation electronics MHS or CHS can be combined with the measuring heads WMK-1050, WMK-100 or WMK-300, depending on the
selected grating pitch.
Teilungsperiode
Typ / Type Teilungsfaktor Grating pitch Max. Eingangsfrequenz
Max. input frequency
500 µm 1000 µm 3000 µm
MHS/CHS Dividing factor f[kHz]
Perioden / Periods [µm]
x11.10 1 500 1000 3000
x11.11 8 62,5 125 375
x11.12 10 50 100 300
10
x11.13 25 20 40 120
x11.14 32 ~15 31,25 93,75
x11.15 4 125 250 750
Interpolations- Teilungsperiode
Typ / Type faktor Grating pitch Max. Eingangsfrequenz
Max. input frequency
500 µm 1000 µm 3000 µm
MHS/CHS Interpolation f[kHz]
factor Auflösung / Resolution [µm] (1)
63
Mehrkopfabtastung MHS / CHS
Multiple head scanning
CHS-111.1 8 0 ............. 1
1.............. 8
2............ 10
3 ........... 25
4............ 32
5 ............. 4
MHS-212. 8 Interpolationsfaktor
Interpolation factor
WMK-1050 , 8
WMK-100 , 8 Kabellänge in Meter / Cable length in meter
WKE-1052.4 3,0 8
WKE-102.4 3,0 8
WKE-302.4 3,0 8
64
Mehrkopfabtastung MHS / CHS
Multiple head scanning
PIN 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
Signal B- 5V-Sensor RI+ RI- A+ A- - B+ - 0V 0V-Sensor +5V
Farbe weiss rot-weiss rosa grau grün gelb - braun - blau blau-weiss rot
Color white red-white pink grey green yellow - brown - blue blue-white red
Die interne 5V Spannungsversorgung einer NC-Steuerung bzw. einer Folgeelektronik wird in der CHS auf die Sense-Leitungen
gebrückt.
Die Versorgung der Elektronik mit 5VDC ist nicht erforderlich.
Schirm am Gehäuse angeschlossen.
The sense pins are connected to the 5V/0V pins inside the CHS to provide a defined voltage level for the sense input of a
subsequent NC-controller.
+5V is not connected to the CHS-electronics.
Shield of the extension cable must be connected to the housing of the connector.
Abmessungen MHS
Dimensions MHS
Abtastkopf E2 Abtastkopf E2
measuring head E2 measuring head E2
Spannungsversorgung
power supply
Ausgang Messsystem
system output
Abmessungen CHS
Dimensions CHS
WKE - Kalibriereinheit Abtastkopf E1
WKE - calibration unit measuring head E1
Spannungsversorgung
power supply
Ausgang Messsystem
system output
65
Allgemeine Informationen Maximale Drehzahlen
General informations Maximum speed
Maximale Drehzahlen
Maximum speed
a) Max. Drehzahl
Max. speed
Die maximale mögliche Drehzahl nmax für ein Messsystem errechnet sich aus der max. Eingangsfrequenz f des Abtastkopfes und der Anzahl der
Teilstriche pro Umdrehung N des Messflansches wie folgt:
The maximum speed nmax of a measuring system can be calculated considering the max. input frequency f of the measuring head and the number
of pitches per revolution N of the measuring flange as follows:
b) Ausgangsfrequenz
Output frequency
Die maximale Ausgangsfrequenz fa des Abtastkopfes ist abhängig von der max. Drehzahl n der Applikation, der Anzahl der Teilstriche pro Umdre-
hung N des Messflansches und dem Teilungsfaktor D des Abtastkopfes bei 1Vss Ausführung, bzw. dem Interpolationsfaktor I bei TTL Ausführung.
Es ist darauf zu achten, das die max. Ausgangsfrequenz die Grenzfrequenz der Nachfolgeelektronik nicht übersteigt.
The max. output signal frequency fa of the measuring head depends on the max. speed n used in the application, the number of grating pitches
per revolution N and the dividing factor D of a measuring head with 1Vpp output respectively the interpolation factor I of a measuring head with
TTL output.
It’s important to not exceed the max. input frequency of the subsequent electronics.
In den nachfolgenden Tabellen sind max. Drehzahlen für Standardmessflansche bzw. Messringe angeführt.
Maximum rotary speeds for standard measuring flanges respectively measuring rings are shown below.
Teilungsperiode:
Grating pitch: 500 µm
Max. Eingangs- Drehzahl n [U/min]
frequenz Rotary speed n [rev/min]
Typ
Max. input Messring WMR-105x
Type
frequency Measuring ring WMR-105x
f[khz] 0512 0720 1024 1440 1800 2048
WMK-1x51.1x
10 1100 830 580 410 330 290
WMK-2x51.1x
WMK-1x51.2x
40 4600 3300 2300 1600 1300 1150
WMK-2x51.2x
WMK-1x51.S0
100 11700 8300 5800 4100 3300 2900
WMK-2x51.S0
WMK-1x52.0/1
20 2300 1650 1150 800 650 580
WMK-2x52.0/1
WMK-1x52.4
10 1100 830 580 410 330 290
WMK-2x52.4
WMK-1x52.5
2,5 290 200 140 100 80 70
WMK-2x52.5
WMK-1x52.6/7
40 4600 3300 2300 1600 1300 1150
WMK-2x52.6/7
WMK-1x52.A/B/C/E/Z
40 4600 3300 2300 1600 1300 1150
WMK-2x52.A/B/C/E/Z
Die angegebene Werte gelten auch für die Gehäuseform WMKF.
The values shown above are also valid for the housing WMKF.
66
Allgemeine Informationen Maximale Drehzahlen
General informations Maximum speed
Teilungsperiode:
Grating pitch: 1000 µm
Max. Eingangs- Drehzahl n [U/min]
frequenz Rotary speed n [rev/min]
Typ
Max. input Standardmessflansch WMF-10x oder Messring WMR-10x
Type
frequency Standard measuring flange WMF-10x or measuring ring WMR-10x
f[khz] 0256 0360 0512 0720 0900 1024
WMK-1x1.1x
10 2300 1600 1100 830 660 580
WMK-2x1.1x
WMK-1x1.2x
40 9375 6600 4600 3300 2600 2300
WMK-2x1.2x
WMK-1x1.S0
100 23400 16600 11700 8300 6600 5800
WMK-2x1.S0
WMK-1x2.0/1
20 4600 3200 2200 1660 1320 1160
WMK-2x2.0/1
WMK-1x2.4
10 2300 1600 1100 830 660 580
WMK-2x2.4
WMK-1x2.5
2,5 580 400 225 200 160 140
WMK-2x2.5
WMK-1x2.6/7
40 9375 6600 4600 3300 2600 2300
WMK-2x2.6/7
WMK-1x2.A/B/C/E/Z
40 9375 6600 4600 3300 2600 2300
WMK-2x2.A/B/C/E/Z
Die angegebene Werte gelten auch für die Gehäuseform WMKF.
The values shown above are also valid for the housing WMKF.
Teilungsperiode:
Grating pitch: 3000 µm
Max. Eingangs- Drehzahl n [U/min]
frequenz Rotary speed n [rev/min]
Typ
Max. input Messring WMR-30x
Type
frequency Measuring ring WMR-30x
f[khz] 0085 0120 0170 0240 0300 0341
WMK-3x1.1x 10 7000 5000 3500 2500 2000 1700
WMK-3x1.2x 40 28000 20000 14000 10000 8000 7000
WMK-3x1.S0 100 70500 50000 35000 25000 20000 17500
67
Allgemeine Informationen Referenzmarken
General informations Reference marks
Diese kann am Maßbandring beliebig positioniert warden. Standardmäßig wird ein Referenzimpuls
pro Umdrehung ausgegeben, der einer Bohrung des Messflansches zugeordnet ist.
Single reference marks can be placed at any desired position on the measuring ring. As a standard,
a single reference pulse per revolution occurs on the output, assigned to a mounting hole at the
measuring flange. Referenzmarke
Reference mark
Die Position der Referenzmarke ist am Maßbandring durch ein schwarzes Dreieck gekennzeichnet.
The position of the reference mark on the measuring ring is indicated with a blach triangle.
Durch die kodierte Anordnung der Referenzmarken am Maßbandring kann die Steuerung, sofern Positive
Zählrichtung
diese Funktion vorhanden ist, nach dem Überfahren von zwei benachbarten Referenzmarken die Positive direction
Absolutposition feststellen. of counting
The coded distribution of the reference marks on the measuring ring allows the controller, if it has
implemented this functionality, to determine the absolute position after passing two neighbouring Erste Basismarke
marks. First basic mark
Die Position der ersten Referenzmarke, des Basisabstandes und der positiven Zählrichtung ist am
Maßbandring wie unten dargestellt gekennzeichnet.
The position of the first reference mark, the basic spacing and the positive direction of counting is
indicated on the measuring ring as shown below.
D.... Unterteilungsfaktor
Dividing factor
Basisabstand K
40 64 60
Basic spacing K
Absolutposition nach max.
40° 45° 24°
Absolute position after max.
68
Allgemeine Informationen Ausgangssignale
General informations Output signals
69
Allgemeine Informationen Kabel
General informations Cable
Kabel
Cable
Technische Daten
Technical data
Bestellcode: Verlängerungskabel
Ordering code: extension cable
Messsystem
Measuring system Verlängerungskabel / Extension cable
Buchse Stift
Socket Pin
VK - 4 -
70
Allgemeine Informationen Steckerbelegungen
General informations Plug and connection assignments
Steckerbelegungen
Plug and connection assignments
PIN 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
Signal B- 5V-Sensor RI+ RI- A+ A- LL B+ LR 0V 0V-Sensor +5V
Farbe weiss rot-weiss rosa grau grün gelb violett braun schwarz blau blau-weiss rot
Color white red-white pink grey green yellow violet brown black blue blue-white red
Schirm am Gehäuse / Shield on housing
Die Sensorleitungen 0V-Sensor und 5V-Sensor sind intern mit den entsprechenden Versorgungsleitungen verbunden. Diese dienen zur Überprü-
fung bzw. Nachregelung der Spannung am Gerät und können auch parallel zu den Versorgungsleitungen 0V und 5V verwendet werden, um somit
den Spannungsabfall der Leitung zu verringern.
Falls die Option „Endlage“ nicht vorhanden ist dürfen die zwei Leitungen „LL“ und „LR“ nicht an die Folgeelektronik (z.B. Steuerung) angeschlos-
sen werden. Diese Leitungen dienen nur für Testzwecke in Verbindung mit dem AMO-Testgerät STU-20.
The sensor lines 0V sensor and 5V sensor are connected internally to the corresponding supply lines. They serve the purpose of checking and
readjusting the supply voltage at the device and can also be used parallel to the 0V and 5V supply lines for the purpose of reducing the voltage
drop in the line.
In case that the option „Limit Switch“ is not used, it is not allowed to connect the pins „LL“ and „LR“ to the following electronics (for example cont-
roller). These pins serve alone for test purposes only with the AMO testdevice STU-20.
PIN A B C D E F G H J K L M
Signal – 0V A+ A- B+ – RI+ RI- – +5V B- –
Farbe – blau grün gelb braun – rosa grau – rot weiss –
Color – blue green yellow brown – pink grey – red white –
Schirm am Gehäuse / Shield on housing
71
AMO GmbH
A-4963 St. Peter am Hart, Nöfing 4
[Link]